JP2637852B2 - 半導体ウェハーのダイシング方法 - Google Patents
半導体ウェハーのダイシング方法Info
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- JP2637852B2 JP2637852B2 JP1463691A JP1463691A JP2637852B2 JP 2637852 B2 JP2637852 B2 JP 2637852B2 JP 1463691 A JP1463691 A JP 1463691A JP 1463691 A JP1463691 A JP 1463691A JP 2637852 B2 JP2637852 B2 JP 2637852B2
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- cut
- cutting
- wafer
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Description
ング方法に関する。
ーという)のダイシングは、2組のスピンドルを有する
ダイシング装置により、2種類のブレードを使用して行
なわれていた。
ピンドルにセットされた幅厚ブレード5Aにより、フラ
ットリングの粘着テープ2に貼付けてあるウェハー1
を、ウェハー厚みの約2/3程度の切り込み深さでハー
フカットを行なう。次に図2(b)に示すように、後続
するスピンドル5Bにセットされた幅薄ブレード4Bに
より、ハーフカット切断面6の中心をウェハー厚以上の
切り込み深でフルカットを行なう。以下対象の切断線に
対し順次行い、ウェハー全面にわたるダイシングを行
う。
ング方法では、使用するダイシング装置にスピンドルが
2組あるため、スピンドルの共振によりブレード先端部
のぶれ量が大きくなり、チッピングが発生し歩留りが低
下するという欠点がある。また使用するブレードが幅厚
と幅薄の2品種必要となる。このためスピンドルが1組
の装置に比べ装置価格が高価になるという問題点もあ
る。
のダイシング方法は、切断実行幅より薄いブレードを使
用し、最初にウェハーの厚み約2/3程度の切り込み深
さの条件でウェハーの切断線をハーフカットし、次に切
断位置を少しづらし切断実行幅と同じ幅になるように前
記条件と同じ深さでハーフカットを行う工程と、次に前
工程でハーフカットされた切断線の中心位置を前記ブレ
ードでフルカットを行う工程とを含むものである。
る。図1(a)〜(c)は本発明の一実施例を説明する
ためのブレード近傍の断面図である。
5にフランジ3を介し、切断実行幅より薄いブレード4
を固定して回転を与え、チャックテーブル(図示せず)
を移動させることにより、フラットリングを介し粘着テ
ープ2に貼り付けられたウェハー1の切断線を、ウェハ
ー厚みの約2/3程度の切込み深さの条件でハーフカッ
トを行い、初回ハーフカット切断面6Aを形成する。
の位置を前条件より少しずらし、切断実行幅と同じ幅に
なるようにし、前条件と同じ深さでハーフカットを行い
最終ハーフカット切断面6Bを形成する。次に図1
(c)に示すように、ブレード4の高さを下げ、ハーフ
カットされた切断線の中心位置をフルカットする。この
操作を全ての切断線に対し順次行い、フルカット切断面
7を形成させながらウェハー1の全面にわたるダイシン
グを行う。
ルが1組の装置を使用し、切断実行幅より薄いブレード
により2回以上の操作でハーフカットを行い、その後ハ
ーフカット切断面にフルカットを行うことにより、スピ
ンドルどうしの共振によるチッピングの発生率が低下す
るため、歩留りが向上するという効果がある。
価格が安くなるという効果もある。
傍の断面図である。
するためのブレード近傍の断面図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 切断実行幅より薄いブレードを使用し、
最初にウェハーの厚み約2/3程度の切り込み深さの条
件でウェハーの切断線をハーフカットし、次に切断位置
を少しづらし切断実行幅と同じ幅になるように前記条件
と同じ深さでハーフカットを行う工程と、次に前工程で
ハーフカットされた切断線の中心位置を前記ブレードで
フルカットを行う工程とを含むことを特徴とする半導体
ウェハーのダイシング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1463691A JP2637852B2 (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | 半導体ウェハーのダイシング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1463691A JP2637852B2 (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | 半導体ウェハーのダイシング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04254352A JPH04254352A (ja) | 1992-09-09 |
JP2637852B2 true JP2637852B2 (ja) | 1997-08-06 |
Family
ID=11866687
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1463691A Expired - Fee Related JP2637852B2 (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | 半導体ウェハーのダイシング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2637852B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
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---|---|---|---|---|
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US6863061B2 (en) | 2003-01-15 | 2005-03-08 | International Business Machines Corporation | Row slicing method in tape head fabrication |
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JP6961289B2 (ja) * | 2016-11-08 | 2021-11-05 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
-
1991
- 1991-02-06 JP JP1463691A patent/JP2637852B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JPH04254352A (ja) | 1992-09-09 |
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