JP2587653B2 - カラーフィルターの製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、カラーフィルターの製造方法に関するもの
であり、特に液晶カラーテレビや固体撮像素子等に使用
するカラーフィルターの製造方法に関するものである。

〔従来の技術〕

液晶表示装置などに使用するカラーフィルターの製造
方法としては、すでに種々の方法が知られている。例え
ば、特開昭58−4107号公報には、透明基板上に複数の着
色素子を設け、次に中間保護膜で被覆し、更にその上に
感光性樹脂層を設け、透明基板の裏面から紫外線を照射
して全面露光して樹脂パターンを形成した後、特定の染
料で染色して最終着色素子を形成し、次いで紫外線透過
性の高い着色素子に対して紫外線領域に吸収がある有機
物を含浸させた後、更に保護膜で被覆する方法が記載さ
れている。しかしながら、この方法は、樹脂パターンを
形成した後、特定の染料で染色して着色素子を形成する
ので操作が煩雑であり、又シャドーマスクを形成してい
ないので、カラーの鮮明さに劣るという欠点がある。
又、特開昭61−116333号公報には、先ずシャドーマスク
を形成し、そのシャドーマスクをパターン形成用マスク
として基板の裏面から露光して電極パターンを形成し、
しかる後にカラーフィルターを形成する方法が開示され
ている。この方法では、シャドーマスクとカラー部分と
が透明基板を挟んで設けられているので、視野角が狭い
という問題がある。一方、特開昭61−194404号公報に
は、光透過性の基板表面に複数色のパターンを有するカ
ラーフィルターを製造するに当たり、一色を除く他の色
の色パターンを形成した後、それらの他の色の各色パタ
ーンをマスクとして透明基板の裏側から全面露光するこ
とによって前記一色の色パターンについてのパターンニ
ングを行う方法が開示されている。しかしながら、この
方法では、最後の一色を除く色パターンは、該色パター
ン形成用の感光性樹脂層を透明基板の上に塗布した後、
色パターン形成面側から露光しているので、該色パター
ンの一部がシャドーマスク上に形成され、その部分のみ
が外側に飛び出すという欠点がある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従って、本発明は、シャドーマスクを用いるととも
に、簡単な位置合わせで該シャドーマスクの開口部に全
く位置づれなしに色パターンを形成する方法を提供する
ことを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、パターン化された遮光層の間に光透過性着
色層を形成させるにあたり、光透過性着色層を染料又は
顔料を含有するネガ型感光性組成物を用い且つ透明基板
の裏面から露光してネガ型感光性組成物を不溶性にする
と、上記問題点を有効に解決できるとの知見に基づいて
なされたのである。

すなわち、本発明は、透明基板上に複数色の光透過性
着色層と遮光層とからなるカラー表示層を配置したカラ
ーフィルターの製造方法において、透明基板上に格子状
又は縞状の光不透過性の遮光層を形成した後、各色毎
に、各々の色の染料又は顔料を含有するネガ型感光性組
成物を前記遮光層の設けられた透明基板上に塗布し、前
記各々の色の光透過性着色層が形成されるべき前記遮光
層の開口部に対応したフォトマスクを前記透明基板の裏
側において位置合わせをし、前記裏側から露光し、次い
で現像することによって前記各々の色の光透過性着色層
を形成する工程を繰り返すことにより、前記遮光層に隣
接して各色の光透過性着色層を形成させることを特徴と
するカラーフィルターの製造方法を提供する。

本発明で用いる透明基板としては、ガラス板、プラス
チックスボード、プラスチックシートなどをあげること
ができる。これらは、表面や裏面に加工が施されていて
もよい。尚、基板としてガラスを使う場合は表面にSiO₂
等のアンダーコートを施してナトリウムイオン等の析出
を防止するのがよい。

上記透明基板上に形成する遮光層は、カーボンブラッ
クなどの光不透過性顔料を分散したネガ型感光性組成物
によって形成するか、オフセット印刷法あるいはシルク
スクリーン印刷法によって形成するかまたはメッキや蒸
着層のフォトエッチング法によって形成することができ
る。

また光透過性着色層は、染料や顔料などの着色するた
めの物質を含有、例えば溶解または分散したネガ型感光
性組成物を用いて形成することができる。

ここで用いるネガ型感光性組成物としては、例えば次
の４種類のものがあげられる。

〔１〕ジアゾ樹脂とバインダとからなる感光性組成物 ネガ作用感光性ジアゾ化合物としては、米国特許第2,
063,631号及び同2,667,415号の各明細書に開示されてい
るジアゾニウム塩と、アルドール又はアセタールのよう
な反応性カルボニル基を含有する有機縮合剤との反応生
成物であるジフェニルアミン−ｐ−ジアゾニウム塩とフ
ォルムアルデヒドの縮合生成物（所謂感光性ジアゾ樹
脂）が好適である。この他の有用な縮合ジアゾ化合物は
特公昭49−48001号、同49−45322号、同49−45323号の
各公報等に開示されている。

これらの型の感光性ジアゾ化合物は通常水溶性無機塩
の型で得られ、従って水溶液として塗布することが出来
る。また、これらの水溶性ジアゾ化合物を特公昭47−11
67号公報に開示された方法により１個またはそれ以上の
フェノール性水酸基、スルホン酸基またはその両者を有
する芳香族または脂肪族化合物と反応させ、その反応生
成物である実質的に水不溶性の感光性ジアゾ樹脂を使用
することもできる。

フェノール性水酸基を有する反応物の例としては、ヒ
ドロキシベンゾフェノン、4,4−ビス（４′−ヒドロキ
シフェニル）ペンタン酸、レゾルシノール、またはレゾ
ルシノールのようなジフェノール酸であって、これらは
更に置換基を有していてもよい。ヒドロキシベンゾフェ
ノンには４−ヒドロキシベンゾフェノン、2,4−ジヒド
ロキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−メトキシ
ベンゾフェノン、2,2′−ジヒドロキシ−4,4′−ジメト
キシベンゾフェノンまたは2,2′,4,4′−テトラヒドロ
キシベンゾフェノンが含まれる。

好ましいスルホン酸としては、例えばベンゼン、トル
エン、キシレン、ナフタリン、フェノール、ナフトール
及びベンゾフェノン等のスルホン酸のような芳香族スル
ホン酸、またはそれらの可溶性塩類、例えばアンモニウ
ム及びアルカリ金属塩が例示できる。スルホン酸基含有
化合物は、一般に低級アルキル、ニトロ基、ハロ基、お
よび／またはもう１つのスルホン酸基で置換されていて
もよい。このような化合物の好ましいものとしては、ベ
ンゼンスルホン酸、トルエンスルホン酸、ナフタレンス
ルホン酸、2,5−ジメチルベンゼンスルホン酸、ベンゼ
ンスルホン酸ナトリウム、ナフタリン−２−スルホン
酸、１−ナフトール−２（または４）−スルホン酸、2,
4−ジニトロ−１−ナフトール−７−スルホン酸、２−
ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン−５−スルホ
ン酸、ｍ（Ｐ′−アニリノフェニルアゾ）ベンゼンスル
ホン酸ナトリウム、アリザリンスルホン酸、Ｏ−トイル
ジン−ｍ−スルホン酸及びエタンスルホン酸等があげら
れる。

アルコールのスルホン酸エステルとその塩類もまた有
用である。このような化合物は通常アニオン性界面活性
剤として容易に入手できる。その例としてはラウリルサ
ルフェート、アルキルアリールサルフェート、ｐ−ノニ
ルフェニルサルフェート、２−フェニルエチルサルフェ
ート、イソオクチルフェノキシジエトキシエチルサルフ
ェート等のアンモニウムまたはアルカリ金属塩があげら
れる。

これらの実質的に水不溶性ジアゾ樹脂は、水溶性の感
光性ジアゾ樹脂と、前記の芳香族または脂肪族化合物の
水溶液を好ましくはほぼ等量となる量で混合することに
よって沈澱として単離される。

また、英国特許第1,312,925号明細書に記載されてい
るジアゾ樹脂も好ましい。最も好適なジアゾ樹脂はｐ−
ジアゾジフェニルアミンとホルムアルデヒドとの縮合物
の２−メトキシ−４−ヒドロキシ−５−ベンゾイルベン
ゼンスルホン酸塩である。

ジアゾ樹脂の含有量は、感光層中に５〜50重量％が適
当である。ジアゾ樹脂の量が少なくなれば感光性は当然
良化するが、経時安定性が低下する。適当のジアゾ樹脂
の量は約８〜20重量％である。

一方、バインダーとしては、種々の高分子化合物が使
用され得るが、本発明においてはヒドロキシ、アミノ、
カルボン酸アミド、スルホンアミド、活性メチレン、チ
オアルコール、エポキシ等の基を含むものが好ましい。
この様な好ましいバインダーには、英国特許第1,350,52
1号明細書に記載されているシェラック、英国特許第1,4
60,978号及び米国特許第4,123,276号の各明細書に記載
されているようなヒドロキシエチルアクリレート単位ま
たはヒドロキシエチルメタアクリレート単位を主なる繰
り返し単位として含むポリマー、米国特許第3,751,257
号明細書に記されているポリアミド樹脂、英国特許第1,
074,392号明細書に記されているフェノール樹脂及び例
えばポリビニールフォルマール樹脂、ポリビニールブチ
ラール樹脂のようなポリビニールアセタール樹脂、米国
特許第3,660,097号明細書に記されている線状ポリウレ
タン樹脂、ポリビニールアルコールのフタレート化樹
脂、ビスフェノールＡとエピクロルヒドリンから縮合さ
れたエポキシ樹脂、ポリアミノスチレンやポリアルキル
アミノ（メタ）アクリレートのようなアミノ基を含むポ
リマー、酢酸セルロース、セルロースアルキルエーテ
ル、セルロースアセテートフタレート等のセルロース誘
導体、水溶性のポリビニールアルコール等が包含され
る。

〔２〕光重合性感光性組成物 光重合性感光性組成物は、米国特許第3,549,367号明
細書等に開示されている付加重合性不飽和モノマー、光
重合開始剤およびバインダーからなる。付加重合性不飽
和モノマーは少なくとも１個の付加重合可能なエチレン
性不飽和基をもち沸点が常圧で100℃以上の化合物であ
る。例えばポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリ
レート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリ
レート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、等の
単官能のアクリレートやメタアクリレート；ポリエチレ
ングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロール
エタントリ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコ
ールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールト
リ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ
（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ
（メタ）アクリレート、ヘキサンジオール（メタ）アク
リレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイル
オキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイロキシエ
チル）イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロール
エタン等の多官能アルコールやエチレンオキサイドやプ
ロピレンオキサイドを付加させた後（メタ）アクリレー
ト化したもの、特公昭48−41708号、特公昭50−6034
号、特開昭51−37193号各公報に記載されているような
ウレタンアクリレート類、特開昭48−64183号、特公昭4
9−43191号、特公昭52−30490号各公報に記載されてい
るポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メ
タ）アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレー
ト類等の多官能のアクリレートやメタアクリレートをあ
げることができる。更に日本接着協会誌Vol.20、No.7、
300〜308頁に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹
介されているものも使用できる。使用量は、５〜70重量
％好ましくは、10〜60重量％である。

光重合開始剤としては、米国特許第2,367,660号明細
書に開示されているビシナールポリケトアルドニル化合
物、米国特許第2,367,661号および第2,367,670号明細書
に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第2,
448,828号明細書に開示されているアシロインエーテ
ル、米国特許第2,722,512号明細書に開示されているα
−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国
特許第3,046,127号および第2,951,758号明細書に開示さ
れている多核キノン化合物、米国特許第3,549,367号明
細書に開示されているトリアリルイミダゾールダイマー
/p−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭51−48516
号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物／ト
リハロメチール−ｓ−トリアジン系化合物、特願昭61−
186238号公報に開示されている感光性Ｓ−トリアジン化
合物、米国特許第4,239,850号明細書に開示されている
トリハロメチル−ｓ−トリアジン系化合物、米国特許第
4,212,976号明細書に記載されているオキサジアゾール
化合物等があげられる。使用量は固形分比で約0.2〜20
重量％、より好ましくは0.5〜15重量％が適当である。

バインダーは、モノマーに対して相溶性のある線状有
機高分子重合体で、有機溶剤に可溶であり、弱アルカリ
水溶液で現像できるものが好ましい。このような線状有
機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポ
リマー、例えば、特開昭59−44615号、特公昭54−34327
号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭59
−53836号、特開昭59−71048号明細書に記載されている
ようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イ
タコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共
重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等があり、
また同様に側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘
導体がある。この他に水酸基を有するポリマーに酸無水
物を付加させたものなどが有用である。特にこれらのな
かでベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル
酸共重合体やベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）
アクリル酸／および他のモノマーとの多元共重合体が好
適である。この他に水溶性ポリマーとして、ポリビニー
ルピロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニール
アルコール等も有用である。また硬化被膜の強度をあげ
るためにアルコール可溶性ナイロン或は2,2−ビス−
（４−ヒドロキシフェニル）−プロパンとエピクロルヒ
ドリンのポリエーテルなども有用である。これらのポリ
マーは任意な量を混合させることが出来るが、90重量％
を越えることは形成される画像強度等の点で好ましい結
果を与えない。好ましくは30〜85重量％である。

以上の他に、更に、熱重合防止剤を加えておくことが
好ましく、例えば、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェ
ノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロー
ル、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4′−チ
オビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、2,
2′−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェ
ノール）、２−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用
である。

〔３〕アジド化合物とバインダー（高分子化合物）から
なる感光性組成物 例えば、英国特許第1,235,281号、同第1,495,861号の
各明細書および特開昭51−32331号、同51−36128号公報
などに記載されているアジド化合物と水溶性またはアル
カリ可溶性高分子化合物からなる組成物の他、特開昭50
−5102号、同50−84302号、同53−12984号公報などに記
載されているアジド基を含むポリマーとバインダーとし
ての高分子化合物からなる組成物が含まれる。

〔４〕感光性ポリマー 例えば、特開昭52−96696号に開示されているポリエ
ステル化合物、英国特許第1,112,277号、同第1,313,390
号、同第1,341,004号、同第1,377,747号等の各明細書に
記載のポリビニールシンナメート系感光性ポリマーなど
が含まれる。

本発明では、上記ネガ型感光性組成物を用いて光透過
性着色層を形成する。該組成物に含有させる顔料又は染
料としては、例えば、アゾ系、アンスラキノン系、キサ
ンテン系、キナクリドン系、インジゴ系、ジオキサジン
系、インダンスロン系、イソインドリノン系、フタロシ
アニン系、トリフェニルメタン系、ニトロソ系、ペリレ
ン系、イソインドリン系等の顔料、酸性染料、塩基性染
料、分散染料、建染染料、油溶性染料等の染料が有用で
あり、これらは、上記光硬化型感光性組成物に分散する
かまたは／および溶解して着色感光性組成物を製造す
る。

感光層中に占める該顔料または染料の比率は、固形分
比で５〜90重量％であり、より好ましくは10〜60重量％
である。

該感光層は、光不溶化型感光性組成物を適当な溶媒に
溶解し、該顔料を分散するかまたは／および染料を溶解
した溶液をスピンナ、ホワイラー、ローラーコーター、
ナイフコーター、ワイヤーバーコーター等により適当な
基板上に塗設する。

好ましい溶剤は、エチレングリコール、モノメチルエ
ーテル、エチレングリコール、モノエチルエーテル、プ
ロピレングリコール、モノメチルエーテル、プロピレン
グリコール モノエチルエーテル、エチレングリコール
モノメチルエーテルアセテート、エチレングリコール
モノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコー
ル モノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコ
ール モノエチルエーテルアセテート、メチルエチルケ
トン等であり、単独または組合せで使用することができ
る。

溶液濃度は、１〜50重量％の範囲で利用できるが、よ
り好ましい範囲は、５〜30重量％であり、感光層の乾燥
厚は0.5〜５μｍが適当である。尚、色の鮮やかさを改
良するための螢光増白剤や塗布性改良剤としてフッソ系
界面活性剤などを添加してもよい。

上記感光性組成物を用いて形成した感光層に常法によ
りパターン露光し、現像して遮光層を形成し、次いで着
色層用の感光性組成物を塗布、形成した感光層を裏面、
すなわち感光層が形成されていない透明基板側からパタ
ーン露光、現像する操作をくり返し、赤、緑、青などの
光透過型着色層を形成する。

本発明の方法では、透明基板の上に直接遮光層と着色
層を形成することができるが、カラーフィルターを液晶
表示装置として使用する場合には透明基板に透明電極を
形成し、該透明電極上に着色層を形成することができ
る。ここで、該基板上に設ける透明電極層は、インジウ
ムや錫の酸化物が良く知られており、特にITO膜をスパ
ッタリングにより所望厚み、例えば数10〜数1000Åに形
成し、所望により公知の方法でパターンニングしてコモ
ン電極４を形成するのがよい。

上記透明基板に透明電極を形成する場合には配向膜を
使用するが、光重合性組成物によって形成された光透過
性パターンは、配向膜のためのポリイミドプレカーサー
の塗布によって、膨潤あるいは下層との密着不良を引き
起こすことがある。これは、ポリイミドプレカーサーの
主溶媒であるＮ−メチル ピロリドン、ジメチルフォル
ムアミド、シクロヘキサノン等による膨潤が原因と考え
られる。このような場合、感光性組成物を用いて形成し
た感光層に所望のパターンを露光した後加熱するか、加
熱しながら露光するか、あるいは両者の組合せ条件で露
光し、加熱した後現像するとこの欠陥は改良される。加
熱温度は室温〜100℃、好ましくは35℃〜85℃の範囲
で、加熱時間は10秒〜１時間であり、好ましくは、30秒
〜30分間である。この加熱は、露光時間を短縮するのに
も有効であり、特に光透過率を下げるためにカーボンブ
ラックを分散した遮光用の感光性組成物や光透過型着色
用の感光性組成物も、それ自身の光吸収のために感光性
組成物の感光性を極めて悪化させるが、該加熱処理によ
り露光量を通常の1/2〜1/8程度に抑えることができる。
またイミド化工程で200〜350℃に数分間〜数10分間加熱
すると、カーボンブラックを分散した光重合性感光性組
成物から形成した遮光層は、絶縁性不良を引き起こすこ
とがあるが、該加熱処理を行うことによってこの点も改
良される。

更に必要ならば、現像後、曝光および／または加熱す
ることができる。この工程での曝光および／または加熱
処理も上記の耐溶剤性および絶縁性改良に効果がある。
曝光は、パターン露光量と同程度か若しくはその数倍程
度が好ましく、特に酸素を遮断した条件で露光すること
が好ましい。加熱温度は120℃以上とすることが必要で
あり、150℃〜300℃が好ましく、より好ましい範囲は18
0℃〜260℃、時間は５分間から30分間程度である。

〔発明の効果〕

本発明によれば、格子状または縞状に形成された遮光
層間に簡易に色パターンが形成でき、同一平面上の遮光
層と光透過型着色層とが全く位置ずれすることがなく、
かつ裏面から露光するので該遮光層上に色パターンが重
なった状態で敬されることもなく、簡易にカラーフィル
ターを製造することができる。

従って、本発明のカラーフィルターは、液晶ディスプ
レー、液晶カラーテレビ、カラー撮像管、カラーイメー
ジセンサー、固体撮像素子などに幅広く利用できる。

次に実施例により本発明を説明する。

実施例１ 第１図の（イ）に示すように、ナトリウムイオン溶出
防止のためのSiO₂膜を形成したソーダガラス基板２上
に、下記の遮光用の感光性組成物50を所要厚さに塗着し
た。なお（ ）内は各成分の機能等を示している。

ベンジルメタアクリレート／メタアクリル酸共重合体
（バインダー） 62g 〔モル比70/30、平均分子量Σw20,000〕 ペンタエリスリトール テトラアクリレート（モノマ
ー） 38g 光重合開始剤 カーボンブラック〔例えば三菱化成製のMA−100〕（顔
料） 20g セロソルブ アセテート（溶剤） 650g 塗着後80℃で２分程度乾燥した。

次に、PVA（ポリビニールアルコール）膜51を感光層5
0上に形成した。これは感光層の露光の際に酸素を遮断
するためのものである。PVA膜51に用いるPVAはケン化度
82％、重合度約500の５％水溶液であり、塗着後80℃で
２分程度乾燥した。

次いで、第１図（ロ）に示すように形成すべき遮光層
５の格子状パターンに対応するマスク52をPVA膜51上に
配して2Kwのメタルハイドランプにて１分間程度露光し
た。

露光後直ちに70℃で５分程度加熱した。これにより現
像の際の水洗時にパターンが流出する虞れがなくなる。
なお、このような露光後の加熱工程に替えて加熱しなが
ら露光しても同じ効果を奏するし、更に露光時間を５分
間と長くした場合も同じ効果を奏する。最後に炭酸ナト
リウムの１％水溶液を用いて感光層50を現像した。露光
された部分が不溶となっているので、この部分が残って
格子状の遮光層５が形成された（第１図（ハ））。

次に、第１図の（ニ）に示すように該表面に下記の組
成からなる光透過型着色層形成用の感光層61をスピンコ
ーターにより１μｍ厚に塗布した。

ベンジルメタアクリレート／メタアクリル酸共重合体
（バインダー） 62g （モル比70/30 平均分子量Σw20,000） ペンタエリスリトールテトラアクリレート（モノマー）
38g ２−ベンゾイルメチレン−３−メチル−β−ナフトチア
ゾリン（光重合開始剤） 3g ２−（ｐ−メトキシフェニル）−4,6−ビス（トリスク
ロルメチル）−ｓ−トリアジン（光重合開始剤） 3g セロソルブアセテート（溶剤） 650g カーミン6B（C.I12490）（赤色顔料） 20g 80℃２分乾燥後、ポリビニルアルコール（PVA）の５
％水溶液を該感光層表面に塗布し再度80℃、２分乾燥し
た。ネガマスク52を通して、透明基板の裏面から2Kwメ
タルハライドランプにて１分間露光し、直ちに70℃５分
加熱した後、炭酸ナトリウム１％水溶液で現像した（第
１図（ホ））。

パターンを露光後、加熱なしで現像したサンプルは、
その後の水洗で、パターンのほとんどが流出したが、露
光量を５倍の５分にアップしたものは、加熱なしでもパ
ターンを形成した。

次に該感光層の顔料をフタロシアニングリーン（C.I.
74260）（緑色）18gに変えたものを同様に塗布し、上記
の方法と同様にしてパターンを形成した。さらに顔料を
フタロシアニンブルー（C.I.74160）（青色）18gに変え
たものを同様に塗布し、上記の方法と同様にして裏面か
ら露光してパターンを形成した（第１図（ヘ））。

続いて200℃で10分加熱し、冷却後ポリビニルアルコ
ール製の保護膜８を塗布し、乾燥後300℃で30分間加熱
し、保護膜を形成しカラーフィルターを製造した（第１
図（ト））。

実施例２ 本発明では、透明電極を含むカラーフィルターを第２
図の方法により製造した。すなわち、第２図の（イ）に
おいて、1.1mm厚のソーダガラスよりなる基板２にナト
リウムイオンの析出を防止するためのSiO₂アンダーコー
ト膜（図示せず）を施した上にスパッタリングにより、
透明電極４となるITO膜を形成した。次いで、ITO膜を所
定の方法によりエッチングして、透明電極４を形成し
た。次に実施例１で用いたのと同じ遮光性感光性組成物
50を透明電極４と同一平面上に所要の厚さに塗布、乾燥
した。さらに、実施例１と同様に感光の際に酸素を遮断
するためのPVA（ポリビニルアルコール）膜51を塗布、
乾燥した。つづいて、格子状遮光層５に対応するマスク
52をPVA膜51の上に配して、メタルハライドランプにて
露光した。露光後直ちに70℃で５分程度加熱し、露光部
分の反応を十分すすめた。

つづいて、炭酸ナトリウム１％水溶液を用いて遮光性
感光性組成物50を現像した。露光された部分が不溶にな
っているので、第２図の（ニ）に示すように格子状の遮
光層５が形成された。その後200℃で５分程度のポスト
ベークを行った。

第２図の（ホ）において、透明電極４、遮光層５と同
一平面上に、実施例１で用いたのと同じ光透過型着色層
形成用感光性組成物〔１色目〕61を塗布・乾燥し、さら
に、PVA膜51を塗布して乾燥した。但し、光重合開始剤
２種類を実施例１の遮光層形成用感光性組成物用に用い
た光重合開始剤5gで置き換えた。つづいて、膜面と反対
側に、所定のマスク62を配し、ガラス基板を通して、メ
タルハライドランプにて露光した。露光後、ただちに70
℃で５分程度加熱し、露光部分の反応を十分にすすめ
た。つづいて、炭酸ナトリウム１％水溶液を用いて現像
した。露光された部分は不溶となっているので、第２図
（ヘ）に示すようにカラーフィルター〔１色目〕６が形
成された。その後、200℃で５分程度ポストベークを行
った。同様に、２色目、３色目のカラーフィルターを形
成し、第２図（ト）を得た。さらに、200℃で10分程度
ポストベークを行い、公知の方法で保護膜８を形成し、
第２図（チ）を得た。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は、本発明のカラーフィルターの製造
工程図である。 図中、２……透明基板、 ４……透明電極、 ５……遮光層、 ６……光透過型着色層、 ８……保護膜。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 古橋 弘幸 大阪府守口市京阪本通２丁目18番地 三 洋電機株式会社内 (56)参考文献 特開 昭54−17627（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−295502（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−226305（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−253124（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−2009（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】透明基板上に複数色の光透過性着色層と遮
   光層とからなるカラー表示層を配置したカラーフィルタ
   ーの製造方法において、透明基板上に格子状又は縞状の
   光不透過性の遮光層を形成した後、各色毎に、各々の色
   の染料又は顔料を含有するネガ型感光性組成物を前記遮
   光層の設けられた透明基板上に塗布し、前記各々の色の
   光透過性着色層が形成されるべき前記遮光層の開口部に
   対応したフォトマスクを前記透明基板の裏側において位
   置合わせをし、前記裏側から露光し、次いで現像するこ
   とによって前記各々の色の光透過性着色層を形成する工
   程を繰り返すことにより、前記遮光層に隣接して各色の
   光透過性着色層を形成させることを特徴とするカラーフ
   ィルターの製造方法。