JPH10282650A - 黒色感光性樹脂組成物及びこれを用いたカラーフィルタの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】光を遮断するのに充分な濃度を持ち、反射率が
低くブラックマトリックスが形成でき、かつ表面荒れが
少なく膜強度が高くパターンの欠けが無いブラックマト
リクスを持つカラーフィルターを作製することのできる
黒色感光性樹脂組成物、及びこれを用いたカラーフィル
タの製造方法を提供すること。 【解決手段】分子中に隣り合う二つの水酸基を持つジヒ
ドロキシアルキル構造を有しかつアルカリ性水溶液可溶
性である共重合体２０〜４５重量％、架橋剤５〜２０重
量％、光酸発生剤２〜１５重量％、黒色顔料２０〜６０
重量％からなることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は液晶ディスプレイ等
に用いるカラーフィルタのブラックマトリックスに用い
る黒色感光性樹脂組成物とそれを用いたカラーフィルタ
の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】カラーフィルタは液晶ディスプレイ装置
の分野にて広く用いられるようになってきている。この
カラーフィルタは通常赤、緑、青等の複数色画素を透明
基板上に配列し、さらにコントラストの良好な画像を得
るために、これらの画素間にブラックマトリックスを形
成する。このブラックマトリクスは特にＴＦＴ駆動方式
の液晶表示の場合、トランジスターの誤動作を防ぐ目的
でも使用されている。

【０００３】このブラックマトリクスは微細パターンか
らなる金属薄膜で形成される場合が多い。その形成方法
としては、クロム、ニッケル、アルミニウム等の金属あ
るいは金属化合物を蒸着法、スパッタ法などの真空成膜
法等で薄膜を形成し、これをフォトリソグラフィ法で微
細パターンを形成する方法が一般的である。

【０００４】具体的な工程としては、金属等の薄膜上に
フォトレジストを塗布、乾燥し、フォトマスクを介して
紫外線を照射し、現像することによりレジストパターン
を形成する。その後、エッチング工程、レジスト剥離工
程を経て、ブラックマトリクスを形成する。

【０００５】しかし、このようにして製造されたブラッ
クマトリクスはその工程の煩雑さから製造コストが非常
に高く、また、これを用いるカラーフィルタのコストも
高くなるという問題がある。また、透過型の液晶ディス
プレイに、このクロム薄膜などの金属薄膜を用いたカラ
ーフィルタを用いたた場合、金属表面の反射率が高く、
強い外光がカラーフィルタに入射した場合、反射光が強
く表示品位を著しく低下するという問題もある。

【０００６】この様な金属薄膜を用いたブラックマトリ
クスの問題点を改善するため、感光性樹脂組成物にカー
ボンブラックと必要に応じて有機顔料を分散し、これを
用いてブラックマトリクスを形成する方法が提案されて
いる。

【０００７】しかし、カーボンブラックで十分な遮光性
を得るためには、約１μｍの膜厚を必要とするため、位
置合わせのマージンである複数色画素との重なりの部分
が、つの状の突起となり、表示ムラの原因になってい
た。

【０００８】この問題を解決するため、特開平６−５９
１１９号公報において、黒色感光性樹脂層を複数色画素
上及び間に設けた後、複数色画素をマスクとして、基板
側から全面露光することにより複数色画素の隙間にのみ
選択的にブラックマトリックスを設ける方法および材料
が提案されている。このいわゆる裏露光法を用いると、
つの状の突起はなくなる。

【０００９】しかし、ブラックマトリックスの膜厚を十
分に取り、かつ複数色画素上には黒色感光性樹脂層が残
らないためには、複数色画素の黒色感光性樹脂組成物の
感光波長域での遮光性が十分に高くなければいけなかっ
た。そのため、マスクとなる複数色画素中に酸化チタ
ン、酸化亜鉛、ベンゾトリアゾール系化合物、クマリン
系化合物等の紫外線吸収剤を添加しなければならなかっ
た。そのため、複数色画素のカラーフィルタとしての光
学特性即ち透明性およびコントラスト比を著しく損ねて
しまうという問題があった。

【００１０】また一方、光重合系感光性樹脂において
は、感光特性曲線が比較的なだらかでγ値が小さいため
に、十分な膜厚を得るためには、十分に大きな露光量が
必要で、そのため複数色画素の遮光性が十分高いことが
必要であった。さらに、カーボンブラックが、紫外線照
射により光重合系感光樹脂にて用いる光重合開始剤から
発生したラジカルを捕捉してしまう性質を有するため、
光重合を阻害し、経済的な露光量においては充分な画素
形成が困難であり、現像時にパターンが剥離する等の問
題があった。

【００１１】この点については、特開平４−１７７２０
２号公報において、光酸発生剤と架橋剤、架橋点を持つ
バインダーポリマーおよび黒色顔料からなるブラックマ
トリックス用材料が提案されている。

【００１２】しかし、このブラックマトリックス用材料
を裏露光法に適用すると、感度と膜厚は十分得られるも
のの、未反応の極性基が多く残り、現像時に露光部のブ
ラックマトリックスの界面から現像液の浸透および未架
橋の樹脂成分の溶出が起こり、現像後形成されたブラッ
クマトリクスは界面付近の樹脂成分の減少により表面荒
れ、膜強度の減少、パターンの欠けという問題が起こっ
た。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題点を解決するためになされたものであり、その課題と
するところは、光を遮断するのに充分な濃度を持ち、反
射率が低くブラックマトリックスが形成でき、かつ表面
荒れが少なく膜強度が高くパターンの欠けが無いブラッ
クマトリクスを持つカラーフィルタに用いる黒色感光性
樹脂組成物、及びこれを用いたカラーフィルタの製造方
法を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明はこの課題を解決
するために、樹脂系材料として分子中に隣り合う二つの
水酸基を持つジヒドロキシアルキル構造を有しかつアル
カリ性水溶液可溶性である共重合体２０〜４５重量％、
架橋剤５〜２０重量％、光酸発生剤２〜１５重量％、黒
色顔料２０〜６０重量％からなることを特徴とする黒色
感光性樹脂組成物を提供する。

【００１５】また、これを用いたカラーフィルタの製造
方法として、基板上に複数色画素を設ける工程、分子中
に隣り合う二つの水酸基を持つジヒドロキシアルキル構
造を有しかつアルカリ性水溶液可溶性である樹脂、架橋
剤、光酸発生剤、黒色顔料からなる黒色感光性樹脂組成
物を複数色画素上及び間に設ける工程、透明基板側から
露光する工程、加熱する工程、非露光部の黒色感光性樹
脂組成物を溶解させうる液体を、黒色感光性樹脂組成物
に接触させることにより複数色画素上の黒色感光性樹脂
組成物を溶解除去する工程を少なくとも含むことを特徴
とするカラーフィルタの製造方法を提供する。

【００１６】

【発明の実施形態】以下本発明の実施形態につき説明す
る。本発明における黒色感光性樹脂組成物としては、樹
脂系材料として分子中に隣り合う二つの水酸基を持つジ
ヒドロキシアルキル構造を有しかつアルカリ性水溶液可
溶性である樹脂、架橋剤、光酸発生剤、黒色顔料とから
なる黒色感光性樹脂組成物を用いる。

【００１７】分子中に隣り合う二つの水酸基を持つジヒ
ドロキシアルキル構造は、樹脂の主鎖と側鎖のどちらに
有されてもよく、主鎖に

【００１８】

【化１】

【００１９】（Ｒ１、Ｒ２は水素原子またはメチル基を
表しｎは主鎖中での繰り返し）の構造を持つか、または
側鎖に

【００２０】

【化２】

【００２１】（Ｒ３〜Ｒ７は同一であっても異なってい
てもよく、水素原子、炭素数１〜６のアルキル基または
アリール基、ｍは０〜６の整数）の構造を持つもので示
される。また、主鎖及び側鎖の両方に含まれても良い。

【００２２】本発明の樹脂系材料はアルカリ性水溶液可
溶性の共重合体を用いる。アルカル性水溶液可溶性な官
能基を持つモノマーとしては、フェノール性水酸基を持
つフェノールノボラック、ｐ−ヒドロキシスチレンに代
表されるフェノール化合物モノマー、または、カルボキ
シル基を有するアクリル酸、メタクリル酸、マレイン
酸、フマル酸、クロトン酸などの不飽和カルボン酸等が
使用可能である。

【００２３】本発明における樹脂系材料には、前記モノ
マーの他にさらに、スチレン、フェニルマレイミド、ア
クリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸ブチ
ル、アクリル酸ベンジル、メタクリル酸メチル、メタク
リル酸エチル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸ベン
ジル、メタクリル酸２−ヒドロキシエチル、アクリル酸
２−ヒドロキシエチルが使用可能である。

【００２４】本発明は、分子中に隣り合う二つの水酸基
を持つジヒドロキシアルキル構造を持つことにより、露
光後発生した酸存在下の加熱により隣り合う二つの水酸
基同士が脱水反応を起こしケトン構造になり、樹脂の極
性は低下し、アルカリ溶解性は大幅に低下する。その結
果、露光部のブラックマトリックスの界面からの現像液
の浸透がほとんどなくなり、未架橋の樹脂成分の溶出が
起こらず、その結果、表面荒れ、膜強度の減少、パター
ンの欠けが無い樹脂ブラックマトリクスを形成すること
ができる。

【００２５】前記ジヒドロキシ構造をもつモノマーの含
有量は、５〜３０重量％が好ましい。５重量％より少な
いと極性変化によるアルカリ溶解性低下の効果は得られ
ず、３０重量％より多いと感光性着色組成物の保存安定
性が悪くなる。

【００２６】本発明の上記樹脂系材料は２０〜４５重量
％、好ましくは２５〜３５重量％の範囲内で使用され
る。少なすぎると、感光機能が劣化すること、カーボン
の凝集によりパターン形状が劣化すること、膜強度や密
着性が不足するなどの問題が生じ、多すぎると、遮光性
が不足する。

【００２７】本発明における架橋剤としては、たとえば
メチロール化尿素、尿素樹脂、メチロール化メラミン、
ブチロール化メラミン、メチロール化グアナミンあるい
はこれらの化合物のアルキルエーテルを用いることが可
能である。熱安定性が優れている点からアルキルエーテ
ル化物がより好ましい。このアルキルエーテルのアルキ
ル基としては炭素数１〜５のアルキル基が好ましい。特
に、このアルキルエーテル化合物としては感度の点で優
れているヘキサメチロールメラミンのアルキルエーテル
化物がより好ましい。また、エポキシ基を２つ以上持つ
化合物も用いることができる。これらの架橋剤は５〜２
０重量％の範囲内で使用される。少なすぎると、感光特
性に支障をきたし、多すぎると遮光性が不足する。

【００２８】光酸発生剤としては、光源の発光に含まれ
る波長域において吸収がありかつ、光吸収により酸を発
生するトリハロメチル基含有トリアジン誘導体またはオ
ニウム塩類が使用できる。たとえば、トリハロメチル基
含有トリアジン誘導体としては、たとえば２，４，６−
トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−
（ｐ−メトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロ
メチル）−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビ
ス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ピペロ
ニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリア
ジン、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，６−ビス
（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−ク
ロロフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−
ｓ−トリアジン、２−（４’−メトキシ−１’−ナフチ
ル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリア
ジン、２−（ｐ−メチルチオフェニル）−４，６−ビス
（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ピペロニ
ル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジ
ンなどを挙げることができる。

【００２９】またオニウム塩類としては、ジフェニルヨ
ードニウムテトラフルオロボレート、ジフェニルヨード
ニウムヘキサフルオロホスホネート、ジフェニルヨード
ニウムヘキサフルオロアルセネート、ジフェニルヨード
ニウムトリフルオロメタンスルホナート、ジフェニルヨ
ードニウムトリフルオロアセテート、ジフェニルヨード
ニウム−ｐ−トルエンスルホナート、４−メトキシフェ
ニルフェニルヨードニウムテトラフルオロボレート、４
−メトキシフェニルフェニルヨードニウムヘキサフルオ
ロホスホネート、４−メトキシフェニルフェニルヨード
ニウムヘキサフルオロアルセネート、４−メトキシフェ
ニルフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホナ
ート、４−メトキシフェニルフェニルヨードニウムトリ
フルオロアセテート、４−メトキシフェニルヨードニウ
ム−ｐ−トルエンスルホナート、ビス（４−ｔｅｒｔ−
ブチルフェニル）ヨードニウムテトラフルオロボレー
ト、ビス（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウ
ムヘキサフルオロホスホネート、ビス（４−ｔｅｒｔ−
ブチルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアルセネ
ート、ビス（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニ
ウムトリフルオロメタンスルホナート、ビス（４−ｔｅ
ｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムトリフルオロアセ
テート、ビス（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨード
ニウム−ｐ−トルエンスルホナート等のジアリールヨー
ドニウム塩、トリフェニルスルホニウムテトラフルオロ
ボレート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホ
スホネート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロ
アルセネート、トリフェニルスルホニウムトリフルオロ
メタンスルホナート、トリフェニルスルホニウムトリフ
ルオロアセテート、トリフェニルスルホニウム−ｐ−ト
ルエンスルホナート、４−メトキシフェニルジフェニル
スルホニウムテトラフルオロボレート、４−メトキシフ
ェニルジフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスホネ
ート、４−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムヘ
キサフルオロアルセネート、４−メトキシフェニルジフ
ェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、
４−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムトリフル
オロアセテート、４−メトキシフェニルジフェニルスル
ホニウム−ｐ−トリエンスルホナート、４−フェニルチ
オフェニルジフェニルテトラフルオロボレート、４−フ
ェニルチオフェニルジフェニルヘキサフルオロホスホネ
ート、４−フェニルチオフェニルジフェニルヘキサフル
オロアルセネート、４−フェニルチオフェニルジフェニ
ルトリフルオロメタンスルホナート、４−フェニルチオ
フェニルジフェニルトリフルオロアセテート、４ーフェ
ニルチオフェニルジフェニル−ｐ−トルエンスルホナー
ト等のトリアリールスルホニウム塩等が挙げられる。

【００３０】これらの光酸発生剤は、単独で、あるい
は、混合して使用しても良い。さらに、光吸収剤と酸発
生剤を組み合わて用いることができる。これらの光酸発
生剤は２〜１５重量％の範囲内で使用される。これは、
１５重量％を越えて添加した場合は、酸発生量が多すぎ
パターン露光後の加熱によって未露光部にも酸が拡散し
架橋反応を起こし、解像性が低下してしまう原因とな
る。また、添加量が２重量％より少ない場合において
は、酸発生量が乏しく、架橋反応が十分進行せず、パタ
ーンが形成できない。

【００３１】黒色顔料としては、カーボンブラック、酸
化チタン、鉄黒、アニリンブラック、有機顔料の混合品
が使用可能であり、必要に応じて顔料の分散性を向上さ
せるため分散媒としてアクリル系樹脂、エポキシ系樹脂
等を加えることも可能である。また、分散剤として高分
子系分散剤や有機色素の誘導体等を加えてもよい。更に
高分子化合物によりグラフト化されたポリマーグラフト
化カーボンブラックを用いてもよい。これらの黒色顔料
は２０〜６０重量％、好ましくは４０〜５０重量％の範
囲内で使用される。少なすぎると、充分な遮光性を得る
ことが出来ず、多すぎると感光性樹脂としての機能を保
持することが出来ない。

【００３２】これらの材料を、２本ロールミル、３本ロ
ールミル、サンドミル、ペイントコンディショナー等の
分散機を用いて混練し、黒色感光性樹脂組成物とする。
更に分散時の作業性を向上させるため希釈溶剤として、
トルエン、キシレン、エチルセロソルブ、エチルセロソ
ルブアセテート、ブチルセロソルブ、ブチルセロソルブ
アセテート、エチルカルビトール、エチルカルビトール
アセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、
シクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメチルエ
ーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセ
テート、乳酸エステル類等の有機溶剤を用いてもよい。

【００３３】以下、本発明のカラーフィルタの製造方法
の工程の一例を図面に基づき説明する。基板１上に複数
色画素２を設け、この上及び間に本発明の黒色感光性樹
脂組成物３を複数色画素上にスピンナー法、バーコート
法、ロールコート法、カーテンコート法等を用いてに均
一に塗布し黒色樹脂層を形成する。

【００３４】複数色画素の形成方法としては、従来技術
である染色法、顔料分散法、印刷法、電着法等の現在実
用化されているいずれの方法を用いても良く、また、黒
色樹脂層と透明基板を密着させる場合には、７０〜１０
０℃程度の熱を加えてもかまわない。

【００３５】次に、透明基板の裏面から紫外線を照射し
露光を行い、複数色画素間隙部の黒色樹脂層にのみ酸を
発生させる。露光に用いる光源としては、高圧水銀灯、
超高圧水銀灯等を用いる。黒色感光性組成物の感光波長
域が４００ｎｍ以上にも伸びている場合には、可視光カ
ットフィルターを通して露光することが好ましい。

【００３６】次に、加熱温度９０〜１５０℃、時間１５
秒〜５分にて酸の触媒反応を利用して、黒色感光性樹脂
層の複数色画素間隙部のみを架橋反応を起こさせる。最
後に次に、現像液を用いて、複数色画素上の未架橋部の
黒色樹脂を除去して、図２に示すようにカラーフィルタ
を得る。

【００３７】上記現像液としては、たとえば水酸化ナト
リウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウ
ムなどの無機アルカリ、トリエチルアミンなどのアルキ
ルアミン類、トリエタノールアミンなどのアルコールア
ミン類、テトラメチルアンモニウムヒドロキサイドなど
の第４級アンモニウム塩などを用いることができる。ま
た、必要に応じて上記現像液に他の添加剤、たとえば、
界面活性化剤、湿潤剤、有機溶剤などを添加しても良
い。

【００３８】以上の様に本発明においては、樹脂系材料
として分子中に隣り合う二つの水酸基を持つジヒドロキ
シアルキル構造を有しかつアルカリ性水溶液可溶性であ
る共重合体、架橋剤、光酸発生剤、黒色顔料とからなる
黒色感光性樹脂組成物を用いることにより、露光後発生
した酸の存在下の加熱により樹脂系材料中の隣り合う二
つの水酸基同士が脱水反応を起こしケトン構造になり、
樹脂の極性が低下する。その結果、露光部のブラックマ
トリックスの界面からの現像液の浸透がほとんどなくな
り未架橋の樹脂成分の溶出が起こらなくなるという作用
が発現する。この作用により、表面荒れが無く平坦性が
優れ、膜強度の減少が無く密着性に優れ、パターンの欠
けが無いブラックマトリクスを形成することができる。

【００３９】さらに、本発明によって、これら全ての作
用により従来の透明基板裏側からの露光方法のように多
量の紫外線で黒色樹脂層の内部まで硬化させる必要がな
く、複数色画素の紫外域の吸収、黒色樹脂層の光学濃度
によらず、透明基板裏側から少量の紫外線による露光に
よって、複数色画素上への遮光膜の重なりがなく平坦性
に優れ、光を遮断するのに充分な濃度を持ち、反射率が
低いカラーフィルタを形成することが可能となる。

【００４０】

【実施例】

＜実施例１＞ 透明基板としてコーニング社製：「７０５９」を基板と
し、この上にフジハント社製：「カラーモザイクＣＲＹ
７０００、ＣＧＹ７０００、ＣＢＶ７０００」を用いて
常法により赤、緑、青の着色パターンを形成した。これ
らの複数色画素の膜厚は１．５μｍであった。

【００４１】黒色顔料として三菱化学（株）製：「＃２
０ブラック」１１．６ｇ、分散剤としてゼネカ（株）
製：「ソルスパース２４０００ＧＲ、５０００（１：１
で配合）」０．６ｇ、樹脂系材料としてメタクリル酸
２，３−ジヒドロキシプロピル／メタクリル酸／メタク
リル酸エチル共重合体（重量組成比３０／１５／５５）
を８．０ｇ、架橋剤として三和ケミカル（株）製：「ニ
ッカラックＭＷ−３０Ｍ」を２．０ｇ、光酸発生剤とし
てはみどり化学（株）製：「ＴＡＺ−１０４、ＴＡＺ−
１０７（１：１．２５で配合した）」を１．４ｇ、溶剤
としてシクロヘキサノンを８０ｇ、さらにガラスビーズ
を１００ｇをガラス瓶に入れ、ペイントシェーカーを用
いて２時間分散し、黒色感光性樹脂分散液を作製した。
この黒色感光性樹脂分散液を複数色画素にて形成された
赤、緑、青の着色パターン上にスピンナーにより塗布
し、乾燥して黒色樹脂層を形成した。

【００４２】これを３ｋＷ超高圧水銀灯により６０ｍＪ
／ｃｍ² の露光量で、前記複数色画素をマスクとして透
明基板側より全面露光を行った。その後、ホットプレー
トを用いて、９０℃で１分間加熱を行った。その後１．
０％の水酸化ナトリウム水溶液を用いて、基板を回転さ
せながらシャワー噴霧する方式を用いて３０秒間現像を
行い、複数色画素である赤、緑、青の着色パターン上の
未露光部の黒色感光性樹脂層を除去した。最後にクリー
ンオーブン中にて２３０℃で１時間加熱しカラーフィル
タを得た。形成されたカラーフィルタのブラックマトリ
クスの表面粗さは１００Å以下であり平坦性に優れ、パ
ターンの欠けは無かった。

【００４３】＜実施例２＞樹脂系材料としてメタクリル
酸２，３−ジヒドロキシプロピル／メタクリル酸ブチル
／ｐ−ヒドロキシスチレン共重合体（重量組成比２５／
１５／６０）を用い、それ以外は上記実施例１と同様に
してブラックマトリクスを形成しカラーフィルタを得
た。形成されたカラーフィルタのブラックマトリクスの
表面粗さは１００Å以下であり平坦性に優れ、パターン
の欠けは無かった。

【００４４】＜実施例３＞樹脂系材料としてメタクリル
酸２，３−ジヒドロキシプロピル／アクリル酸／スチレ
ン共重合体（重量組成比２５／２５／５０）を用い、そ
れ以外は上記実施例１と同様にしてブラックマトリクス
を形成しカラーフィルタを得た。形成されたカラーフィ
ルタのブラックマトリクスの表面粗さは１００Å以下で
あり平坦性に優れ、パターンの欠けは無かった。

【００４５】＜比較例＞樹脂系材料としてメタクリル酸
メチル／ｐ−ヒドロキシスチレン共重合体（重量組成比
５０／５０）を用い、それ以外は上記実施例１と同様に
してブラックマトリクスを形成しカラーフィルタを得
た。形成されたブラックマトリクスの表面粗さは３００
Å以上であり、複数色画素周辺のブラックマトリクスに
は欠けが生じていた。

【００４６】

【発明の効果】以上に示したように、本発明において樹
脂系材料として分子中に隣り合う二つの水酸基を持つジ
ヒドロキシアルキル構造を有しかつアルカリ性水溶液可
溶性である共重合体、架橋剤、光酸発生剤、黒色顔料と
からなる黒色感光性樹脂組成物を用いることにより樹脂
の極性変換及び架橋が起こり、露光部のブラックマトリ
ックスへの現像液の浸透による未架橋の樹脂成分の溶出
が起こらなくなり、表面荒れが無く平坦性が優れ、膜強
度の減少が無く密着性に優れ、パターンの欠けが無いブ
ラックマトリクスを形成することができる効果を持つ。

【００４７】さらに、樹脂系材料、架橋剤、光酸発生
剤、黒色顔料とからなる黒色感光性樹脂組成物が持つ周
知の特性であるγ値が高く高感度であることにより、実
用レベルの露光量でブラックマトリックスが形成でき、
複数色画素上にカブリを生じないで十分の残膜が得られ
る。

【００４８】さらに、その際マスクとして用いる赤、
緑、青等の複数色画素中に紫外線吸収剤や蛍光増白剤等
の添加物を添加する必要がない。これにより、透明基板
の裏側からの露光であっても充分な架橋度合いを示し、
各複数色画素間を埋め、かつ従来のように各複数色画素
とブラックマトリックスとの重なりによるつの状の突起
が生じない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のカラーフィルタの製造方法の一実施例
の断面の構造を示す説明図である。

【図２】本発明のカラーフィルタの一実施例の断面の構
造を示す説明図である。

【符号の説明】

１…基板 ２…複数色画素 ３…ブラックマトリックス

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｇ０３Ｆ 7/032 Ｇ０３Ｆ 7/032

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】樹脂系材料、架橋剤、光酸発生剤、黒色顔
   料からなる黒色感光性樹脂組成物において、樹脂系材料
   として分子中に隣り合う二つの水酸基を持つジヒドロキ
   シアルキル構造を有しかつアルカリ性水溶液可溶性であ
   る共重合体を用いることを特徴とする黒色感光性樹脂組
   成物。
2. 【請求項２】前記樹脂系材料を用いた黒色感光性樹脂組
   成物において、組成物の割合が全固形分に対して、樹脂
   系材料２０〜４５重量％、架橋剤５〜２０重量％、光酸
   発生剤２〜１５重量％、黒色顔料２０〜６０重量％から
   なることを特徴とする黒色感光性樹脂組成物。
3. 【請求項３】１）基板上に複数色画素を設ける工程、 ２）分子中に隣り合う二つの水酸基を持つジヒドロキシ
   アルキル構造を有しかつアルカリ性水溶液可溶性である
   共重合体、架橋剤、光酸発生剤、黒色顔料からなる黒色
   感光性樹脂組成物を複数色画素上及び間に設ける工程、 ３）透明基板側から露光する工程、 ４）加熱する工程、 ５）非露光部の黒色感光性樹脂組成物を溶解させうる液
   体を、黒色感光性樹脂組成物に接触させることにより複
   数色画素上の黒色感光性樹脂組成物を溶解除去する工程
   を少なくとも含むことを特徴とするカラーフィルタの製
   造方法。