JP2022121467A - 発光装置 - Google Patents
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Abstract
Description
。
一態様は、物、方法、又は、製造方法に関する。本発明の一態様は、プロセス、マシン、
マニュファクチャ、又は、組成物(コンポジション・オブ・マター)に関する。そのため
、より具体的に本明細書で開示する発明の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示
装置、発光装置、蓄電装置、記憶装置、電子機器、照明装置、それらの駆動方法、又は、
それらの製造方法、を一例として挙げることができる。
光素子などの機能素子が設けられたフレキシブルデバイスの開発が進められている。フレ
キシブルデバイスの代表的な例としては、照明装置、画像表示装置の他、トランジスタな
どの半導体素子を有する種々の半導体回路などが挙げられる。
Electroluminescence)素子を備えたフレキシブルなアクティブマト
リクス型の発光装置が開示されている。
。例えば、携帯情報端末として、タッチパネルを備えるスマートフォンやタブレット端末
の開発が進められている。
入力する機能を付加した可撓性を有するタッチパネルが望まれている。
は、本発明の一態様は、軽量なタッチパネルを提供することを目的の一とする。または、
本発明の一態様は、厚さの薄いタッチパネルを提供することを目的の一とする。または、
本発明の一態様は、検出感度の高いタッチパネルを提供することを目的の一とする。また
は、本発明の一態様は、信頼性の高いタッチパネルを提供することを目的の一とする。ま
たは、本発明の一態様は、繰り返しの曲げに強いタッチパネルを提供することを目的の一
とする。または、本発明の一態様は、タッチパネルの薄型化と、高い検出感度を両立する
ことを目的の一とする。
することを目的の一とする。または、本発明の一態様は、厚さが薄く、繰り返しの曲げに
強く、検出感度の高いタッチパネルを提供することを目的の一とする。
ッチパネル、電子機器、又は照明装置を提供することを目的の一とする。
態様は、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。なお、これら以外の課題
は、明細書、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図
面、請求項などの記載から、これら以外の課題を抽出することが可能である。
及び接着層を有し、表示パネルは、可撓性を有し、タッチセンサは、可撓性を有し、接着
層は、表示パネル及びタッチセンサの間に位置し、接着層は第1の部分、第2の部分、及
び第3の部分を有し、第1の部分のヤング率は、1kPa以上300kPa以下であり、
第2の部分の厚さは、0.1mm以上1mm以下であり、第3の部分の透過率は、70%
以上である、タッチパネルである。
ましい。
とが好ましい。
好ましい。
0%以下であることが好ましい。
きいことが好ましく、100以上であることがより好ましい。
素子にコネクター、例えば異方導電性フィルム、もしくはTCP(Tape Carri
er Package)が取り付けられたモジュール、TCPの先にプリント配線板が設
けられたモジュール、又は発光素子にCOG(Chip On Glass)方式により
IC(集積回路)が直接実装されたモジュールは発光装置を有する場合がある。さらに、
照明器具等も、発光装置を含む場合がある。
発明の一態様では、軽量なタッチパネルを提供することができる。または、本発明の一態
様では、厚さの薄いタッチパネルを提供することができる。または、本発明の一態様では
、検出感度の高いタッチパネルを提供することができる。または、本発明の一態様では、
信頼性の高いタッチパネルを提供することができる。または、本発明の一態様では、繰り
返しの曲げに強いタッチパネルを提供することができる。または、本発明の一態様では、
タッチパネルの薄型化と、高い検出感度を両立することができる。
供することができる。または、本発明の一態様では、厚さが薄く、繰り返しの曲げに強く
、検出感度の高いタッチパネルを提供することができる。
タッチパネル、電子機器、又は照明装置を提供することができる。
態様は、必ずしも、これらの効果の全てを有する必要はない。なお、これら以外の効果は
、明細書、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図面
、請求項などの記載から、これら以外の効果を抽出することが可能である。
れず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し
得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の
記載内容に限定して解釈されるものではない。
一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。また、同様の
機能を指す場合には、ハッチパターンを同じくし、特に符号を付さない場合がある。
際の位置、大きさ、範囲などを表していない場合がある。このため、開示する発明は、必
ずしも、図面等に開示された位置、大きさ、範囲などに限定されない。
本実施の形態では、本発明の一態様のタッチパネルについて説明する。
タッチセンサ、及び接着層を有する。該表示パネル及び該タッチセンサは、それぞれ可撓
性を有する。該接着層は、該表示パネル及び該タッチセンサの間に位置する。該接着層の
ヤング率は、1kPa以上300kPa以下である。
電極との間には、寄生容量が形成される場合がある。この寄生容量によって、指などを近
づけた際の容量変化が小さくなり、タッチセンサの検出感度が低下する恐れがある。また
、表示パネルを駆動させたときに生じるノイズが、寄生容量を通してタッチセンサ側に伝
わることでも、タッチセンサの検出感度が低下する恐れがある。したがって、タッチセン
サと表示パネルの距離を十分広くすることが好ましい。
げにくくなる場合や、曲げにより接着層が剥がれる場合や、クラックが発生し破壊される
場合がある。
せる接着層のヤング率を、1kPa以上300kPa未満とする。これにより、接着層を
厚く設けても、繰り返しの曲げに強いタッチパネルを実現することができる。そのため、
静電容量方式のタッチセンサを用いた場合でも、タッチセンサの検出感度の低下を抑制す
ることができる。
a以下であることがより好ましく、1kPa以上50kPa以下であることが特に好まし
い。
50mm以下、好ましくは1mm以上100mm以下、より好ましくは1mm以上50m
m以下、さらに好ましくは1mm以上5mm以下とすることができる。
ましい。例えば、本発明の一態様のタッチパネルにおいて、接着層の厚さは、0.1mm
以上1mm以下とすることが好ましく、0.1mm以上0.5mm以下であることがより
好ましい。
寄生容量の影響が少ない場合としては、例えば、後述するアクティブマトリクス方式のタ
ッチセンサを用いる場合などが挙げられる。このような際、本発明の一態様のタッチパネ
ルにおいて、接着層の厚さを0.001mm以上0.1mm未満、又は0.01mm以上
0.1mm未満等としてもよい。これにより、厚さが薄く、繰り返しの曲げに強く、検出
感度の高いタッチパネルを実現することができる。
とが好ましく、90%以上であることがより好ましい。タッチパネルの使用者は、接着層
を介して表示パネルの表示を視認する。したがって、接着層の透過率は高いことが好まし
い。
が好ましく、100以上がより好ましい。
であることが好ましい。
囲をそれぞれ挙げた。本発明の一態様において、接着層全体が該数値範囲に含まれる値を
示していなくてもよく、一部が該数値範囲に含まれる値を示せばよい。
、1kPa以上300kPa以下であればよい。同様に、本発明の一態様において、接着
層は第2の部分を有し、第2の部分の厚さは、0.1mm以上1mm以下であればよい。
同様に、本発明の一態様において、接着層は第3の部分を有し、第3の部分の透過率は、
70%以上であればよい。針入度や圧縮永久歪み率についても同様である。
、接着層に用いることができる材料として、シリコーンゲルが挙げられる。例えば、低分
子シロキサンを含むシリコーンゲルを用いてもよい。
する。
げた際に、表示パネル11と、タッチセンサ13とでは、曲げの曲率半径が異なるため、
一方に対する他方の相対的な位置にずれが生じる。ここで、図1(B)に示すように、本
発明の一態様で用いる接着層12は、曲げにより変形することができる。したがって、タ
ッチパネルを曲げても、接着層12が剥がれにくく、接着層12にクラックが発生しにく
い。
チセンサ側に設けられた層と、表示パネル側に設けられた層との位置に着目する。具体的
には、曲げているときと、曲げていないときとで、タッチセンサ側に設けられた層の、表
示パネル側に設けられた層に対する相対的な位置に変化があるか否かを、確認する。
極に着目する。そして、図18(A)に示す、サンプルを曲げていない状態と、図18(
B)に示す、該サンプルを曲げた状態とを比較する。図18(A)、(B)では、それぞ
れ、左側に実際のサンプルの写真を示し、右側にサンプルを上面からみたときのカラーフ
ィルタ98と電極99の位置関係を説明する模式図を示す。実施例で作製したサンプルは
、曲げることで、カラーフィルタ98に対する電極99の相対的な位置が変化する。この
ことから、タッチセンサ及び表示パネルの間に位置する接着層が曲げにより変形している
と考えられる。
ッチパネルは、それぞれ、表示パネル11と、接着層12と、タッチセンサ13と、を有
する。図1(C)~(E)では、表示パネル11やタッチセンサ13の構成がそれぞれ異
なる。
る。表示素子15は、一対の可撓性基板16の間に位置する。図1(C)では、タッチセ
ンサ13は、検知素子(センサ素子ともいう)17と、一対の可撓性基板16と、を有す
る。検知素子17は、一対の可撓性基板16の間に位置する。このように、本発明の一態
様のタッチパネルは、可撓性基板16を4つ有する。表示パネル11の一方の可撓性基板
16とタッチセンサ13の一方の可撓性基板16が対向し、接着層12によって接着され
ている。言い換えると、本発明の一態様のタッチパネルにおいて、表示素子15と検知素
子17は、2つの可撓性基板16を介して重なる。
性基板16と、を有する。図1(D)では、タッチセンサ13は、検知素子17と、1つ
の可撓性基板16と、を有する。検知素子17と、表示パネル11の一方の可撓性基板1
6とが対向し、接着層12によって接着されている。このように、本発明の一態様のタッ
チパネルは、可撓性基板16を3つ有していてもよい。
の可撓性基板16を介して重なる。
)の構成に限られない。例えば、タッチセンサ13が検知素子17と、一対の可撓性基板
16と、を有し、表示パネル11が、表示素子15と、1つの可撓性基板16と、を有し
ていてもよい。例えば、表示素子15と、タッチセンサ13の一方の可撓性基板16とが
対向し、接着層12によって接着されていてもよい。また、表示素子15又は検知素子1
7と、可撓性基板16との間に、他の機能素子、機能層、絶縁層、導電層等が設けられて
いてもよい。
)では、図1(D)と同様に、タッチセンサ13は、検知素子17と、1つの可撓性基板
16と、を有する。表示素子15及び検知素子17が対向し、接着層12によって接着さ
れている。このように、本発明の一態様のタッチパネルは、可撓性基板16を2つ有して
いてもよい。
性基板16を介さずに重なる。
構成に限られない。例えば、表示素子15と検知素子17との間に、他の機能素子、機能
層、絶縁層、導電層等が設けられていてもよい。
たが、可撓性基板の数は限定されない。タッチパネルが有する可撓性基板の数が少ないと
、タッチパネル全体の厚みを薄くできる、又はタッチパネルを軽量にできるため、好まし
い。
図19(A)、(B)に示す。
を有する。図1(F)に示すタッチパネルは、図1(C)で示した4つの可撓性基板16
を有するタッチパネルの一例である。
絶縁層19、トランジスタ15a、トランジスタ15c、導電層857、絶縁層815、
導電層816、絶縁層817a、絶縁層817b、発光素子15b、絶縁層821、スペ
ーサ827、着色層845、遮光層847、及びオーバーコート849等を有する。
15bの下部電極と電気的に接続している。
スタ15aは、ボトムゲート構造としたが、トップゲート構造であってもよい。また、ト
ランジスタ15cは、トランジスタ15aのゲート電極と同一表面上に位置する第1のゲ
ート電極と、導電層816と同一表面上に位置する第2のゲート電極と、を有するデュア
ルゲート構造としたが、これに限られない。
トランジスタは、同じ構造であってもよいし、異なる構造であってもよい。また、駆動回
路部が有する複数のトランジスタは、すべて同じ構造であってもよく、二種以上の構造で
あってもよい。また、表示部が有する複数のトランジスタは、すべて同じ構造であっても
よく、二種以上の構造であってもよい。
る。
の絶縁層19、及び検知素子17等を有する。
、接続体825を介して電気的に接続している。また、電極322とFPC305が、接
続体355を介して電気的に接続している。
できる。また、接着層18には、接着層12に用いることができる材料を用いてもよい。
タッチパネルの一例である。図1(F)と図19(A)では、タッチセンサ13の、表示
パネル11と貼り合わせる面が異なる。図19(A)の構成では、FPC305が貼り付
けられる方の可撓性基板16が接着層12と接する。このように、タッチセンサ13の、
表示パネル11と貼り合わせる面は限定されない。
ッチパネルの一例である。図2(A)に示すタッチパネルは、検知素子17が絶縁層19
、接着層18、及び可撓性基板16を介さずに接着層12と重なる点で、図1(F)と異
なる。
ッチパネルの一例である。図2(B)に示すタッチパネルは、発光素子15bが絶縁層1
9、接着層18、及び可撓性基板16を介さずに接着層12と重なる点で、図2(A)と
異なる。また、図2(B)に示すタッチパネルは、絶縁層19、着色層、遮光層、及びオ
ーバーコートを、検知素子17と接着層12の間に有する点においても、図2(A)と異
なる。
よいし、タッチセンサ側に位置していてもよい。
タッチパネルの一例である。表示パネル11及びタッチセンサ13がそれぞれ1つの可撓
性基板16を有する。表示パネル11及びタッチセンサ13の可撓性基板16が設けられ
ていない面にはそれぞれ絶縁層19が露出する。絶縁層19どうしを接着層12で貼り合
わせることで、図19(B)に示すタッチパネルを作製することができる。図19(B)
では、着色層や遮光層が、接着層12から見て、表示素子側に位置している例を示す。
ルの端部に露出しなくてもよい。特に、絶縁層817a、817bに有機樹脂を用いる場
合に、水分の侵入等を抑制することができ、好ましい。
ネルの一例である。
19、複数のトランジスタ、コンタクト部15d、容量部15e、導電層857、絶縁層
815、導電層816、絶縁層817a、絶縁層817b、発光素子15b、絶縁層82
1、スペーサ827、着色層845、遮光層847、及びオーバーコート849等を有す
る。
ス電極又はドレイン電極が発光素子15bの下部電極と接続するトランジスタにも、トラ
ンジスタ15cを用いている。また、表示部が有する他のトランジスタとしてトランジス
タ15aを用いている。トランジスタ15cは、トランジスタ15aに比べて電界効果移
動度を高めることが可能であり、オン電流を増大させることができる。この結果、高速動
作が可能な駆動回路部を作製することができる。また、駆動回路部の占有面積の小さいタ
ッチパネルを作製することができる。また、オン電流の大きいトランジスタ15cを表示
部に設けることで、大型のタッチパネルや、高精細なタッチパネルにおいて配線数が増大
しても、各配線における信号遅延を低減することが可能であり、表示むらを抑えることが
可能である。
クス方式のタッチセンサである。該トランジスタ及び該容量素子は電気的に接続する。
知素子17等を有する。
知素子17はトランジスタ15aと電気的に接続する。
ない工程数でタッチセンサを作製することができ、好ましい。図3では、トランジスタ1
5cの第2のゲート電極と同一工程で作製できる導電層23を用いる例を示す。なお、容
量素子の電極と同一工程で成膜する層としては、例えば、トランジスタのゲート電極、ソ
ース電極、ドレイン電極、半導体層、又は配線等が挙げられる。
を2つ、又は3つに減らしてもよい。
実施の形態2を参照することができる。図3に示すアクティブマトリクス方式のタッチセ
ンサの詳細は、実施の形態3を参照することができる。
しては、表面型静電容量方式、投影型静電容量方式等がある。投影型静電容量方式として
は、自己容量方式、相互容量方式などがある。相互容量方式を用いると同時多点検出が可
能となるため好ましい。なお、抵抗膜方式、超音波方式、光学方式等のタッチセンサを用
いてもよい。
マトリクス方式を用いることができる。
。本実施の形態では、表示素子として発光素子を例に説明したが、本発明の一態様の表示
パネルは、他の表示素子や発光素子を用いたパネル又は装置であってもよい。
発光素子を有する装置である発光装置は、様々な形態を用いること、又は様々な素子を有
することができる。表示素子、表示装置、発光素子又は発光装置は、例えば、EL素子(
有機物及び無機物を含むEL素子、有機EL素子、無機EL素子)、LED(白色LED
、赤色LED、緑色LED、青色LEDなど)、トランジスタ(電流に応じて発光するト
ランジスタ)、電子放出素子、液晶素子、電子インク、電気泳動素子、グレーティングラ
イトバルブ(GLV)、プラズマディスプレイパネル(PDP)、MEMS(マイクロ・
エレクトロ・メカニカル・システム)を用いた表示素子、デジタルマイクロミラーデバイ
ス(DMD)、DMS(デジタル・マイクロ・シャッター)、干渉変調(IMOD)素子
、シャッター方式のMEMS表示素子、光干渉方式のMEMS表示素子、エレクトロウェ
ッティング素子、圧電セラミックディスプレイ、カーボンナノチューブを用いた表示素子
などの少なくとも一つを有している。これらの他にも、電気的又は磁気的作用により、コ
ントラスト、輝度、反射率、透過率などが変化する表示媒体を有していてもよい。EL素
子を用いた表示装置の一例としては、ELディスプレイなどがある。電子放出素子を用い
た表示装置の一例としては、フィールドエミッションディスプレイ(FED)又はSED
方式平面型ディスプレイ(SED:Surface-conduction Elect
ron-emitter Display)などがある。液晶素子を用いた表示装置の一
例としては、液晶ディスプレイ(透過型液晶ディスプレイ、半透過型液晶ディスプレイ、
反射型液晶ディスプレイ、直視型液晶ディスプレイ、投射型液晶ディスプレイ)などがあ
る。電子インク、電子粉流体(登録商標)、又は電気泳動素子を用いた表示装置の一例と
しては、電子ペーパーなどがある。なお、半透過型液晶ディスプレイや反射型液晶ディス
プレイを実現する場合には、画素電極の一部又は全部が、反射電極としての機能を有する
ようにすればよい。例えば、画素電極の一部又は全部が、アルミニウム、銀などを有する
ようにすればよい。さらに、その場合、反射電極の下に、SRAMなどの記憶回路を設け
ることも可能である。これにより、さらに、消費電力を低減することができる。
アクティブマトリクス方式、又は画素に能動素子を有しないパッシブマトリクス方式を用
いることができる。
能動素子を用いることができる。例えば、MIM(Metal Insulator M
etal)、又はTFD(Thin Film Diode)などを用いることも可能で
ある。これらの素子は、製造工程が少ないため、製造コストの低減、又は歩留まりの向上
を図ることができる。または、これらの素子は、素子のサイズが小さいため、開口率を向
上させることができ、低消費電力化や高輝度化を図ることができる。
低減、又は歩留まりの向上を図ることができる。または、能動素子を用いないため、開口
率を向上させることができ、低消費電力化、又は高輝度化などを図ることができる。
態様は、これに限定されない。例えば、情報を表示しないようにしてもよい。一例として
は、表示装置のかわりに、照明装置として用いてもよい。照明装置に適用することにより
、デザイン性に優れたインテリアとして、活用することができる。または、様々な方向を
照らすことができる照明として活用することができる。または、表示装置のかわりに、バ
ックライトやフロントライトなどの光源として用いてもよい。つまり、表示パネルのため
の照明装置として活用してもよい。
センサとが、接着層で貼り合わされた、可撓性を有するタッチパネルである。接着層のヤ
ング率を1kPa以上300kPa以下とすることで、繰り返しの曲げに強く、検出感度
の高いタッチパネルを実現できる。
本実施の形態では、本発明の一態様のタッチセンサについて説明する。
)は、図4中の切断線C-D、E-Fにおける断面図である。
と、複数の電極322と、を有する。電極321は複数の配線311のいずれかと電気的
に接続する。電極322は複数の配線312のいずれかと電気的に接続する。配線311
及び配線312は、可撓性基板301の外周部にまで延在し、FPC305と電気的に接
続される。
321の間に設けられている。電極321を挟む2つの電極322が電極321と交差す
る配線323によって電気的に接続されている。配線323と電極321との間には誘電
層324が設けられ、容量が形成されている。タッチセンサ112は、配線323によっ
て電気的に接続された複数の電極322が一方向に複数配列して設けられ、この方向と交
差する方向に複数の電極321が配列して設けられることで、複数の容量がマトリクス状
に配置された構成を有する。
で、図4に示すように、電極321と電極322は、これらの間にできるだけ隙間が生じ
ない形状として配置することが好ましい。また、これらの隙間に電極321、電極322
、又は配線323と同一の導電膜を含むダミー電極を設けてもよい。このように、電極3
21と電極322との間の隙間をできるだけ少なくすることで、透過率のムラを低減でき
る。その結果、タッチセンサ112を透過する光の輝度ムラを低減することができる。
ム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム
酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム錫酸化物(以下、ITOと示
す。)、インジウム亜鉛酸化物、酸化ケイ素を添加したインジウム錫酸化物、ガリウムを
添加した酸化亜鉛などの導電性酸化物、又はグラフェンを用いることができる。
ラフィ法等の様々なパターニング技術により、不要な部分を除去して、電極321、電極
322及び配線323を形成することができる。グラフェンはCVD法のほか、酸化グラ
フェンを分散した溶液を塗布した後にこれを還元して形成してもよい。
外周部においてその表面が露出するように設けられ、接続体355を介してFPC305
と電気的に接続することができる。なお、電極321と電気的に接続する配線311も同
様の構成とすればよい。
チタン、タングステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、又はパラジウム等の金
属材料や、該金属材料を含む合金材料を用いることができる。
ductive Film)や、異方性導電ペースト(ACP:Anisotropic
Conductive Paste)などを用いることができる。
いる。また、可撓性基板301と絶縁層320とは接着層331を介して接着されている
。また、可撓性基板302と、電極等が設けられた可撓性基板301とは接着層332に
よって接着されている。
例えば、熱硬化性樹脂や紫外線硬化樹脂を用いることができ、具体的には、アクリル、ウ
レタン、エポキシ、又はシロキサン結合を有する樹脂などの樹脂を用いることができる。
層335はセラミックコートとも呼ぶことができ、指やスタイラスなどでタッチセンサ1
12を操作する際に、可撓性基板302の表面を保護する機能を有する。特に、外装部材
を設けない場合には好適である。保護層335は、例えば酸化シリコン、酸化アルミニウ
ム、酸化イットリウム、イットリア安定化ジルコニア(YSZ)などの無機絶縁材料を用
いることができる。保護層335はスパッタリング法やゾルゲル法等で形成することがで
きる。特にエアロゾルデポジション法を用いて保護層335を形成すると、低温で緻密性
の高い膜を形成でき、機械的強度を高めることができるため好ましい。
5を可撓性基板302の表面に設ける場合を示したが、可撓性基板301の表面に設けて
もよい。
上面に絶縁層320が設けられている構成を示している。また、図5(C)では、さらに
絶縁層320を設けない構成とし、可撓性基板301上に電極321、電極322等が設
けられている構成を示している。
、(B)を用いて作製方法例も示す。
ることができる。この方法によれば、例えば、耐熱性の高い作製基板上で形成した被剥離
層を、耐熱性の低い基板に転置することができる。このため、被剥離層の作製温度が、耐
熱性の低い基板によって制限されない。
。被剥離層としては、絶縁層320、電極321、電極322、配線312、誘電層32
4、配線323、絶縁層395、接着層332、及び可撓性基板302を形成する(図6
(A))。
絶縁層395を設けることが好ましいが、不要であれば設けなくてもよい。絶縁層395
としては、無機絶縁膜や有機絶縁膜を用いればよく、例えば、酸化窒化シリコン膜やアク
リル膜などが挙げられる。絶縁層395の膜厚は、例えば、500nm以上2000nm
以下とすればよい。なお、他の絶縁層に用いることができる無機材料、有機材料を適用し
てもよく、膜厚も上記に限られない。
。
わせる(図6(C))。また、可撓性基板302及び接着層332の一部を除去すること
で、配線312を露出する。例えば、基板に含まれる樹脂を溶かすことで配線312を露
出してもよい。そして、配線312、接続体355、及びFPC305を電気的に接続す
る。
層を用いて作製基板から別の基板に被剥離層を転置する方法については、実施の形態3で
詳述する内容を参酌できる。
本実施の形態では、本発明の一態様のタッチセンサについて説明する。
一態様のタッチセンサ100Bの構成を説明する図である。
図7(B)は変換器CONV及び検知ユニット10Uの構成を説明する回路図である。図
7(C)及び図7(D)はタッチセンサ100の駆動方法を説明するタイミングチャート
である。
。図8(B)は変換器CONV及び検知ユニット10UBの構成を説明する回路図である
。図8(C)はタッチセンサ100Bの駆動方法を説明するタイミングチャートである。
本実施の形態で説明するタッチセンサ100は、検知ユニット10U、走査線G1、信号
線DL、及び可撓性基板16を有する(図7(A))。複数の検知ユニット10Uは、n
行m列(n及びmは1以上の自然数)のマトリクス状に配置される。走査線G1は、行方
向に配置される複数の検知ユニット10Uと電気的に接続される。信号線DLは、列方向
に配置される複数の検知ユニット10Uと電気的に接続される。また、駆動回路GDと変
換器CONVを有していてもよい。同一の工程で形成できるトランジスタを用いて、複数
の検知ユニット10U、駆動回路GD、及び変換器CONVを構成することができる。
気的に接続されている。これにより、検知素子Cの第1の電極の電位を、配線CSが供給
する制御信号を用いて制御することができる。
極が配線VPIと電気的に接続される第1のトランジスタM1を備える(図7(B))。
配線VPIは、例えば、接地電位を供給することができる。
第2の電極と電気的に接続され、第2の電極が信号線DLと電気的に接続される第2のト
ランジスタM2を備える構成であってもよい。走査線G1は、例えば、選択信号を供給す
ることができる。信号線DLは、例えば、検知信号DATAを供給することができる。
電気的に接続され、第2の電極が配線VRESと電気的に接続される第3のトランジスタ
M3を備える構成であってもよい。配線RESは、リセット信号を供給することができる
。配線VRESは、例えば、第1のトランジスタM1を導通状態にすることができる電位
を供給することができる。
は第1の電極及び第2の電極の間隔が変化することにより変化する。これにより、検知ユ
ニット10Uは検知素子Cの容量又は寄生する容量の大きさの変化に基づく検知信号DA
TAを供給することができる。
御信号を供給することができる配線CSを備える。なお、検知素子Cの第1の電極と、配
線CSが同一の層であってもよい。
タM3の第1の電極が電気的に接続される結節部をノードAという。
るトランジスタを導通状態にする電位を、当該トランジスタのゲートに供給することがで
きる。配線VPIは例えば接地電位を供給することができ、配線VPO及び配線BRは例
えば高電源電位を供給することができる。
ることができ、配線CSは検知素子Cの第1の電極の電位を制御する制御信号を供給する
ことができる。
TAに基づいて変換された信号を供給することができる。
フトレジスタを適用できる。変換器CONVは変換回路を備える。検知信号DATAを変
換して端子OUTに供給することができるさまざまな回路を、変換器CONVに用いるこ
とができる。例えば、変換器CONVを検知ユニット10Uと電気的に接続することによ
り、ソースフォロワ回路又はカレントミラー回路などが構成されるようにしてもよい。
構成できる(図7(B))。なお、第1のトランジスタM1乃至第3のトランジスタM3
と同一の工程で作製することができるトランジスタをトランジスタM4に用いてもよい。
、4族の元素、化合物半導体又は酸化物半導体を半導体層に用いることができる。具体的
には、シリコンを含む半導体、ガリウムヒ素を含む半導体又はインジウムを含む酸化物半
導体などを適用できる。
第1のステップにおいて、第3のトランジスタM3を導通状態にした後に非導通状態にす
るリセット信号をゲートに供給し、検知素子Cの第2の電極の電位を所定の電位にする(
図7(C)期間T1参照)。
トランジスタM3は、ノードAの電位を例えば第1のトランジスタM1を導通状態にする
ことができる電位にする(図7(B))。
第2のステップにおいて、第2のトランジスタM2を導通状態にする選択信号をゲートに
供給し、第1のトランジスタM1の第2の電極を信号線DLに電気的に接続する。
スタM2は、第1のトランジスタM1の第2の電極を信号線DLに電気的に接続する(図
7(C)期間T2参照)。
第3のステップにおいて、制御信号を検知素子Cの第1の電極に供給し、制御信号及び検
知素子Cの容量に基づいて変化する電位を第1のトランジスタM1のゲートに供給する。
給された検知素子Cは、検知素子Cの容量に基づいてノードAの電位を上昇する(図7(
C)期間T2の後半を参照)。
子Cの第1の電極に近接して配置された場合、検知素子Cの容量は見かけ上大きくなる。
ものが近接して配置されていない場合に比べて小さくなる(図7(D)実線参照)。
第4のステップにおいて、第1のトランジスタM1のゲートの電位の変化がもたらす信号
を信号線DLに供給する。
電流を信号線DLに供給する。
する。
第5のステップにおいて、第2のトランジスタM2を非導通状態にする選択信号をゲート
に供給する。
ら第5のステップを繰り返す。
本実施の形態で説明するタッチセンサ100Bは、検知ユニット10Uに換えて検知ユニ
ット10UBを備える点が図7を参照しながら説明するタッチセンサ100とは異なる。
において配線CSに電気的に接続される検知素子Cの第1の電極が、検知ユニット10U
Bにおいては走査線G1に電気的に接続される。検知ユニット10Uにおいて第2のトラ
ンジスタM2を介して信号線DLと電気的に接続される第1のトランジスタM1の第2の
電極が、検知ユニット10UBにおいては第2のトランジスタM2を介すことなく信号線
DLと電気的に接続される。ここでは検知ユニット10Uとは異なる構成について詳細に
説明し、検知ユニット10Uと同様の構成を用いることができる部分は、上記の説明を援
用する。
基板16を有する(図8(A))。複数の検知ユニット10UBは、n行m列(n及びm
は1以上の自然数)のマトリクス状に配置される。走査線G1は、行方向に配置される複
数の検知ユニット10UBと電気的に接続される。信号線DLは、列方向に配置される複
数の検知ユニット10UBと電気的に接続される。
と電気的に接続されている。これにより、選択信号を用いて検知素子Cの第1の電極の電
位を、選択された一の走査線G1に電気的に接続される複数の検知ユニット10UBごと
に制御することができる。
配線を走査線G1に用いることができる。
て形成された配線を走査線G1に用いてもよい。例えば、行方向に隣接する検知ユニット
10UBが備える検知素子Cの第1の電極を接続し、接続された第1の電極を走査線G1
に用いることができる。
電極が配線VPIと電気的に接続される第1のトランジスタM1を備える(図8(B))
。
電気的に接続され、第2の電極が配線VRESと電気的に接続される第3のトランジスタ
M3を備える構成であってもよい。
第1のステップにおいて、第3のトランジスタM3を導通状態にした後に非導通状態にす
るリセット信号をゲートに供給し、検知素子Cの第2の電極の電位を所定の電位にする(
図8(C)期間T1参照)。
トランジスタM3は、ノードAの電位を例えば第1のトランジスタM1を導通状態にする
ことができる電位にする(図8(B))。
第2のステップにおいて、選択信号を検知素子Cの第1の電極に供給し、選択信号及び検
知素子Cの容量に基づいて変化する電位を第1のトランジスタM1のゲートに供給する(
図8(C)期間T2参照)。
1の電極に供給された検知素子Cは、検知素子Cの容量に基づいてノードAの電位を上昇
する。
子Cの第1の電極に近接して配置された場合、検知素子Cの容量は見かけ上大きくなる。
ものが近接して配置されていない場合に比べて小さくなる。
第3のステップにおいて、第1のトランジスタM1のゲートの電位の変化がもたらす信号
を信号線DLに供給する。
電流を信号線DLに供給する。
該電圧を出力する。
ら第3のステップを繰り返す(図8(C)期間T2~T4参照)。
本実施の形態では、本発明の一態様の表示パネルと、該表示パネルの作製方法について説
明する。
た発光装置を例示する。
図9(A)に発光装置の平面図を示し、図9(A)における一点鎖線A1-A2間の断面
図の一例を図9(C)に示す。具体例1で示す発光装置は、カラーフィルタ方式を用いた
トップエミッション型の発光装置である。本実施の形態において、発光装置は、例えば、
R(赤)、G(緑)、B(青)の3色の副画素で1つの色を表現する構成や、R(赤)、
G(緑)、B(青)、W(白)の4色の副画素で1つの色を表現する構成、R(赤)、G
(緑)、B(青)、Y(黄)の4色の副画素で1つの色を表現する構成等が適用できる。
色要素としては特に限定はなく、RGBWY以外の色を用いてもよく、例えば、シアン、
マゼンタなどで構成されてもよい。
。発光部804及び駆動回路部806に含まれる発光素子やトランジスタは基板801、
基板803、及び接着層823によって封止されている。
ジスタ、導電層857、絶縁層815、絶縁層817、複数の発光素子、絶縁層821、
接着層823、オーバーコート849、着色層845、遮光層847、絶縁層843、接
着層841、及び基板803を有する。接着層823、オーバーコート849、絶縁層8
43、接着層841、及び基板803は可視光を透過する。
20及び発光素子830を有する。発光素子830は、絶縁層817上の下部電極831
と、下部電極831上のEL層833と、EL層833上の上部電極835と、を有する
。下部電極831は、トランジスタ820のソース電極又はドレイン電極と電気的に接続
する。下部電極831の端部は、絶縁層821で覆われている。下部電極831は可視光
を反射することが好ましい。上部電極835は可視光を透過する。
遮光層847と、を有する。着色層845及び遮光層847はオーバーコート849で覆
われている。発光素子830とオーバーコート849の間は接着層823で充填されてい
る。
る。また、絶縁層817は、トランジスタ起因の表面凹凸を低減するために平坦化機能を
有する絶縁層を選択することが好適である。
タを複数有する。図9(C)では、駆動回路部806が有するトランジスタのうち、1つ
のトランジスタを示している。
43と基板803は接着層841によって貼り合わされている。絶縁層813や絶縁層8
43に防湿性の高い膜を用いると、発光素子830やトランジスタ820に水等の不純物
が侵入することを抑制でき、発光装置の信頼性が高くなるため好ましい。
ート信号、又はリセット信号等)や電位を伝達する外部入力端子と電気的に接続する。こ
こでは、外部入力端子としてFPC808を設ける例を示している。工程数の増加を防ぐ
ため、導電層857は、発光部や駆動回路部に用いる電極や配線と同一の材料、同一の工
程で作製することが好ましい。ここでは、導電層857を、トランジスタ820を構成す
る電極と同一の材料、同一の工程で作製した例を示す。
は、基板803、接着層841、絶縁層843、接着層823、絶縁層817、及び絶縁
層815に設けられた開口を介して導電層857と接続している。また、接続体825は
FPC808に接続している。接続体825を介してFPC808と導電層857は電気
的に接続する。導電層857と基板803とが重なる場合には、基板803を開口する(
又は開口部を有する基板を用いる)ことで、導電層857、接続体825、及びFPC8
08を電気的に接続させることができる。
図9(B)に発光装置の平面図を示し、図9(B)における一点鎖線A3-A4間の断面
図の一例を図9(D)に示す。具体例2で示す発光装置は、具体例1とは異なる、カラー
フィルタ方式を用いたトップエミッション型の発光装置である。ここでは、具体例1と異
なる点のみ詳述し、具体例1と共通する点は説明を省略する。
7を設けることで、基板801と基板803の間隔を調整することができる。
808が絶縁層843上に位置し、基板803と重ならない。接続体825は、絶縁層8
43、接着層823、絶縁層817、及び絶縁層815に設けられた開口を介して導電層
857と接続している。基板803に開口を設ける必要がないため、基板803の材料が
制限されない。
図10(A)に発光装置の平面図を示し、図10(A)における一点鎖線A5-A6間の
断面図の一例を図10(C)に示す。具体例3で示す発光装置は、塗り分け方式を用いた
トップエミッション型の発光装置である。
る。発光部804及び駆動回路部806に含まれる発光素子やトランジスタは基板801
、基板803、枠状の接着層824、及び接着層823によって封止されている。
ンジスタ、導電層857、絶縁層815、絶縁層817、複数の発光素子、絶縁層821
、接着層823、枠状の接着層824、及び基板803を有する。接着層823及び基板
803は可視光を透過する。
により、外部から水分等の不純物が発光装置に侵入することを抑制できる。したがって、
信頼性の高い発光装置を実現することができる。
。したがって、接着層823は、枠状の接着層824に比べて透光性が高いことが好まし
い。また、接着層823は、枠状の接着層824に比べて屈折率が高いことが好ましい。
また、接着層823は、枠状の接着層824に比べて硬化時の体積の収縮が小さいことが
好ましい。
20及び発光素子830を有する。発光素子830は、絶縁層817上の下部電極831
と、下部電極831上のEL層833と、EL層833上の上部電極835と、を有する
。下部電極831は、トランジスタ820のソース電極又はドレイン電極と電気的に接続
する。下部電極831の端部は、絶縁層821で覆われている。下部電極831は可視光
を反射することが好ましい。上部電極835は可視光を透過する。
タを複数有する。図10(C)では、駆動回路部806が有するトランジスタのうち、1
つのトランジスタを示している。
防湿性の高い膜を用いると、発光素子830やトランジスタ820に水等の不純物が侵入
することを抑制でき、発光装置の信頼性が高くなるため好ましい。
気的に接続する。ここでは、外部入力端子としてFPC808を設ける例を示している。
また、ここでは、導電層857を、トランジスタ820を構成する電極と同一の材料、同
一の工程で作製した例を示す。
は、基板803、接着層823、絶縁層817、及び絶縁層815に設けられた開口を介
して導電層857と接続している。また、接続体825はFPC808に接続している。
接続体825を介してFPC808と導電層857は電気的に接続する。
図10(B)に発光装置の平面図を示し、図10(B)における一点鎖線A7-A8間の
断面図の一例を図10(D)に示す。具体例4で示す発光装置は、カラーフィルタ方式を
用いたボトムエミッション型の発光装置である。
ンジスタ、導電層857、絶縁層815、着色層845、絶縁層817a、絶縁層817
b、導電層816、複数の発光素子、絶縁層821、接着層823、及び基板803を有
する。基板801、接着層811、絶縁層813、絶縁層815、絶縁層817a、及び
絶縁層817bは可視光を透過する。
20、トランジスタ822、及び発光素子830を有する。発光素子830は、絶縁層8
17b上の下部電極831と、下部電極831上のEL層833と、EL層833上の上
部電極835と、を有する。下部電極831は、トランジスタ820のソース電極又はド
レイン電極と電気的に接続する。下部電極831の端部は、絶縁層821で覆われている
。上部電極835は可視光を反射することが好ましい。下部電極831は可視光を透過す
る。発光素子830と重なる着色層845を設ける位置は、特に限定されず、例えば、絶
縁層817aと絶縁層817bの間や、絶縁層815と絶縁層817aの間等に設ければ
よい。
タを複数有する。図10(D)では、駆動回路部806が有するトランジスタのうち、2
つのトランジスタを示している。
防湿性の高い膜を用いると、発光素子830やトランジスタ820、822に水等の不純
物が侵入することを抑制でき、発光装置の信頼性が高くなるため好ましい。
気的に接続する。ここでは、外部入力端子としてFPC808を設ける例を示している。
また、ここでは、導電層857を、導電層816と同一の材料、同一の工程で作製した例
を示す。
図10(E)に具体例1~4とは異なる発光装置の例を示す。
4、導電層857a、導電層857b、発光素子830、絶縁層821、接着層823、
及び基板803を有する。
的に接続させることができる。
電極831の端部は、絶縁層821で覆われている。発光素子830はボトムエミッショ
ン型、トップエミッション型、又はデュアルエミッション型である。光を取り出す側の電
極、基板、絶縁層等は、それぞれ可視光を透過する。導電層814は、下部電極831と
電気的に接続する。
凹凸構造が施されたフィルム、光拡散フィルム等を有していてもよい。例えば、樹脂基板
上に上記レンズやフィルムを、該基板又は該レンズもしくはフィルムと同程度の屈折率を
有する接着剤等を用いて接着することで、光取り出し構造を有する基板を形成することが
できる。
を抑制できるため、設けることが好ましい。また、同様の目的で、上部電極835と電気
的に接続する導電層を絶縁層821上、EL層833上、又は上部電極835上などに設
けてもよい。
、スカンジウム、ニッケル、アルミニウムから選ばれた材料又はこれらを主成分とする合
金材料等を用いて、単層で又は積層して形成することができる。導電層814の膜厚は、
例えば、0.1μm以上3μm以下とすることができ、好ましくは、0.1μm以上0.
5μm以下である。
次に、発光装置に用いることができる材料等を説明する。なお、本明細書中で先に説明し
た構成については説明を省略する場合がある。
素子からの光を取り出す側の基板は、該光に対する透光性を有する材料を用いる。
さのガラス、金属、合金を用いることができる。
ラスを用いる場合に比べて発光装置を軽量化でき、好ましい。
しにくい発光装置を実現できる。例えば、有機樹脂基板や、厚さの薄い金属基板もしくは
合金基板を用いることで、ガラス基板を用いる場合に比べて、軽量であり、破損しにくい
発光装置を実現できる。
の局所的な温度上昇を抑制することができ、好ましい。金属材料や合金材料を用いた基板
の厚さは、10μm以上200μm以下が好ましく、20μm以上50μm以下であるこ
とがより好ましい。
、銅、ニッケル、又は、アルミニウム合金もしくはステンレス等の金属の合金などを好適
に用いることができる。
でき、発光装置の破壊や信頼性の低下を抑制できる。例えば、基板を金属基板と熱放射率
の高い層(例えば、金属酸化物やセラミック材料を用いることができる)の積層構造とし
てもよい。
)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル樹脂、ポリアクリロニトリル
樹脂、ポリイミド樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリカーボネート(PC)樹脂
、ポリエーテルスルホン(PES)樹脂、ポリアミド樹脂、シクロオレフィン樹脂、ポリ
スチレン樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂等が挙げられる。特に、熱膨
張率の低い材料を用いることが好ましく、例えば、ポリアミドイミド樹脂、ポリイミド樹
脂、PET等を好適に用いることができる。また、繊維体に樹脂を含浸した基板(プリプ
レグともいう)や、無機フィラーを有機樹脂に混ぜて熱膨張率を下げた基板を使用するこ
ともできる。
ート層(例えば、窒化シリコン層など)や、押圧を分散可能な材質の層(例えば、アラミ
ド樹脂層など)等と積層されて構成されていてもよい。
すると、水や酸素に対するバリア性を向上させ、信頼性の高い発光装置とすることができ
る。
を用いることができる。当該ガラス層の厚さとしては20μm以上200μm以下、好ま
しくは25μm以上100μm以下とする。このような厚さのガラス層は、水や酸素に対
する高いバリア性と可撓性を同時に実現できる。また、有機樹脂層の厚さとしては、10
μm以上200μm以下、好ましくは20μm以上50μm以下とする。このような有機
樹脂層をガラス層よりも外側に設けることにより、ガラス層の割れやクラックを抑制し、
機械的強度を向上させることができる。このようなガラス材料と有機樹脂の複合材料を基
板に適用することにより、極めて信頼性が高いフレキシブルな発光装置とすることができ
る。
気型接着剤などの各種硬化型接着剤を用いることができる。これら接着剤としてはエポキ
シ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、イミド樹脂
、PVC(ポリビニルクロライド)樹脂、PVB(ポリビニルブチラル)樹脂、EVA(
エチレンビニルアセテート)樹脂等が挙げられる。特に、エポキシ樹脂等の透湿性が低い
材料が好ましい。また、二液混合型の樹脂を用いてもよい。また、接着シート等を用いて
もよい。
カルシウムや酸化バリウム等)のように、化学吸着によって水分を吸着する物質を用いる
ことができる。または、ゼオライトやシリカゲル等のように、物理吸着によって水分を吸
着する物質を用いてもよい。乾燥剤が含まれていると、水分などの不純物が機能素子に侵
入することを抑制でき、発光装置の信頼性が向上するため好ましい。
らの光取り出し効率を向上させることができる。例えば、酸化チタン、酸化バリウム、ゼ
オライト、ジルコニウム等を用いることができる。
マトリクス方式のタッチセンサに用いたトランジスタと同様の構成を適用してもよい。例
えば、スタガ型のトランジスタとしてもよいし、逆スタガ型のトランジスタとしてもよい
。また、トップゲート型又はボトムゲート型のいずれのトランジスタ構造としてもよい。
トランジスタに用いる半導体材料は特に限定されず、例えば、シリコン、ゲルマニウム等
が挙げられる。または、In-Ga-Zn系金属酸化物などの、インジウム、ガリウム、
亜鉛のうち少なくとも一つを含む酸化物半導体を用いてもよい。
晶性を有する半導体(微結晶半導体、多結晶半導体、単結晶半導体、又は一部に結晶領域
を有する半導体)のいずれを用いてもよい。結晶性を有する半導体を用いると、トランジ
スタ特性の劣化を抑制できるため好ましい。
酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜などの無機
絶縁膜を用い、単層で又は積層して作製することができる。下地膜はスパッタリング法、
CVD(Chemical Vapor Deposition)法(プラズマCVD法
、熱CVD法、MOCVD(Metal Organic CVD)法など)、ALD(
Atomic Layer Deposition)法、塗布法、印刷法等を用いて形成
できる。なお、下地膜は、必要で無ければ設けなくてもよい。上記各構成例では、絶縁層
813がトランジスタの下地膜を兼ねることができる。
が制御される素子をその範疇に含んでいる。例えば、発光ダイオード(LED)、有機E
L素子、無機EL素子等を用いることができる。
いずれであってもよい。光を取り出す側の電極には、可視光を透過する導電膜を用いる。
また、光を取り出さない側の電極には、可視光を反射する導電膜を用いることが好ましい
。
ndium Tin Oxide)、インジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、ガリウムを添加
した酸化亜鉛などを用いて形成することができる。また、金、銀、白金、マグネシウム、
ニッケル、タングステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、パラジウム、もしく
はチタン等の金属材料、これら金属材料を含む合金、又はこれら金属材料の窒化物(例え
ば、窒化チタン)等も、透光性を有する程度に薄く形成することで用いることができる。
また、上記材料の積層膜を導電膜として用いることができる。例えば、銀とマグネシウム
の合金とITOの積層膜などを用いると、導電性を高めることができるため好ましい。ま
た、グラフェン等を用いてもよい。
テン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、もしくはパラジウム等の金属材料、又は
これら金属材料を含む合金を用いることができる。また、上記金属材料や合金に、ランタ
ン、ネオジム、又はゲルマニウム等が添加されていてもよい。また、アルミニウムとチタ
ンの合金、アルミニウムとニッケルの合金、アルミニウムとネオジムの合金等のアルミニ
ウムを含む合金(アルミニウム合金)や、銀と銅の合金、銀とパラジウムと銅の合金、銀
とマグネシウムの合金等の銀を含む合金を用いて形成することができる。銀と銅を含む合
金は、耐熱性が高いため好ましい。さらに、アルミニウム合金膜に接する金属膜又は金属
酸化物膜を積層することで、アルミニウム合金膜の酸化を抑制することができる。該金属
膜、金属酸化物膜の材料としては、チタン、酸化チタンなどが挙げられる。また、上記可
視光を透過する導電膜と金属材料からなる膜とを積層してもよい。例えば、銀とITOの
積層膜、銀とマグネシウムの合金とITOの積層膜などを用いることができる。
クジェット法などの吐出法、スクリーン印刷法などの印刷法、又はメッキ法を用いて形成
することができる。
と、EL層833に陽極側から正孔が注入され、陰極側から電子が注入される。注入され
た電子と正孔はEL層833において再結合し、EL層833に含まれる発光物質が発光
する。
孔注入性の高い物質、正孔輸送性の高い物質、正孔ブロック材料、電子輸送性の高い物質
、電子注入性の高い物質、又はバイポーラ性の物質(電子輸送性及び正孔輸送性が高い物
質)等を含む層をさらに有していてもよい。
化合物を含んでいてもよい。EL層833を構成する層は、それぞれ、蒸着法(真空蒸着
法を含む)、転写法、印刷法、インクジェット法、塗布法等の方法で形成することができ
る。
り、発光素子に水等の不純物が侵入することを抑制でき、発光装置の信頼性の低下を抑制
できる。
む膜や、窒化アルミニウム膜等の窒素とアルミニウムを含む膜等が挙げられる。また、酸
化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜等を用いてもよい。
以下、好ましくは1×10-6[g/(m2・day)]以下、より好ましくは1×10
-7[g/(m2・day)]以下、さらに好ましくは1×10-8[g/(m2・da
y)]以下とする。
ム膜などの無機絶縁膜を用いることができる。また、絶縁層817、絶縁層817a、及
び絶縁層817bとしては、例えば、ポリイミド、アクリル、ポリアミド、ポリイミドア
ミド、ベンゾシクロブテン系樹脂等の有機材料をそれぞれ用いることができる。また、低
誘電率材料(low-k材料)等を用いることができる。また、絶縁膜を複数積層させる
ことで、各絶縁層を形成してもよい。
、例えば、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、アクリル樹脂、シロキサン樹脂、エポキシ
樹脂、又はフェノール樹脂等を用いることができる。特に感光性の樹脂材料を用い、絶縁
層821の側壁が連続した曲率を持って形成される傾斜面となるように形成することが好
ましい。
蒸着法、液滴吐出法(インクジェット法等)、印刷法(スクリーン印刷、オフセット印刷
等)等を用いればよい。
きる。例えば、無機絶縁材料や有機絶縁材料としては、上記絶縁層に用いることができる
各種材料が挙げられる。金属材料としては、チタン、アルミニウムなどを用いることがで
きる。導電材料を含むスペーサ827と上部電極835とを電気的に接続させる構成とす
ることで、上部電極835の抵抗に起因した電位降下を抑制できる。また、スペーサ82
7は、順テーパ形状であっても逆テーパ形状であってもよい。
る導電層は、例えば、モリブデン、チタン、クロム、タンタル、タングステン、アルミニ
ウム、銅、ネオジム、スカンジウム等の金属材料又はこれらの元素を含む合金材料を用い
て、単層で又は積層して形成することができる。また、導電層は、導電性の金属酸化物を
用いて形成してもよい。導電性の金属酸化物としては酸化インジウム(In2O3等)、
酸化スズ(SnO2等)、酸化亜鉛(ZnO)、ITO、インジウム亜鉛酸化物(In2
O3-ZnO等)又はこれらの金属酸化物材料に酸化シリコンを含ませたものを用いるこ
とができる。
光を透過する赤色(R)のカラーフィルタ、緑色の波長帯域の光を透過する緑色(G)の
カラーフィルタ、青色の波長帯域の光を透過する青色(B)のカラーフィルタなどを用い
ることができる。各着色層は、様々な材料を用いて、印刷法、インクジェット法、フォト
リソグラフィ法を用いたエッチング方法などでそれぞれ所望の位置に形成する。
の光を遮光し、隣接する発光素子間における混色を抑制する。ここで、着色層の端部を、
遮光層と重なるように設けることにより、光漏れを抑制することができる。遮光層として
は、発光素子からの発光を遮る材料を用いることができ、例えば、金属材料や顔料や染料
を含む樹脂材料を用いてブラックマトリクスを形成すればよい。なお、遮光層は、駆動回
路部などの発光部以外の領域に設けると、導波光などによる意図しない光漏れを抑制でき
るため好ましい。
設けることで、着色層に含有された不純物等の発光素子への拡散を防止することができる
。オーバーコートは、発光素子からの発光を透過する材料から構成され、例えば窒化シリ
コン膜、酸化シリコン膜等の無機絶縁膜や、アクリル膜、ポリイミド膜等の有機絶縁膜を
用いることができ、有機絶縁膜と無機絶縁膜との積層構造としてもよい。
接着層の材料に対してぬれ性の高い材料を用いることが好ましい。例えば、オーバーコー
トとして、ITO膜などの酸化物導電膜や、透光性を有する程度に薄いAg膜等の金属膜
を用いることが好ましい。
状の、熱圧着によって異方性の導電性を示す材料を用いることができる。金属粒子として
は、例えばニッケル粒子を金で被覆したものなど、2種類以上の金属が層状となった粒子
を用いることが好ましい。
次に、本発明の一態様の表示パネルの作製方法を例示する。ここでは、図9(A)、図9
(C)に示すカラーフィルタ方式を用いたトップエミッション構造の発光装置(上記具体
例1)を作製する例を示す。
03上に絶縁層813を形成する。次に、絶縁層813上に複数のトランジスタ(トラン
ジスタ820等)、導電層857、絶縁層815、絶縁層817、複数の発光素子(発光
素子830等)、及び絶縁層821を形成する。なお、導電層857が露出するように、
絶縁層821、絶縁層817、及び絶縁層815は開口する。ここでは、露出した導電層
857上に、発光素子のEL層と同一材料、同一工程でEL層862を形成し、EL層8
62上に、発光素子の上部電極と同一材料、同一工程で導電層864を形成する。なお、
EL層862及び導電層864は設けなくてもよい。ここで、絶縁層813から発光素子
までを被剥離層とする。
基板201から被剥離層を剥離する際に、作製基板201と剥離層203の界面、剥離層
203と被剥離層の界面、又は剥離層203中で剥離が生じるような材料を選択する。本
実施の形態では、被剥離層と剥離層203の界面で剥離が生じる場合を例示するが、剥離
層203や被剥離層に用いる材料の組み合わせによってはこれに限られない。なお、被剥
離層が積層構造である場合、剥離層203と接する層を特に第1の層と記す。
タングステン膜と酸化タングステン膜との界面(又は界面近傍)で剥離が生じることで、
被剥離層側に剥離層203の一部(ここでは酸化タングステン膜)が残ってもよい。また
被剥離層側に残った剥離層203は、その後除去してもよい。
用いる。作製基板201としては、例えばガラス基板、石英基板、サファイア基板、半導
体基板、セラミック基板、金属基板、樹脂基板、プラスチック基板などを用いることがで
きる。
地膜として、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン
膜等の絶縁膜を形成すると、ガラス基板からの汚染を防止でき、好ましい。
バルト、ジルコニウム、亜鉛、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジ
ウム、シリコンから選択された元素、該元素を含む合金材料、又は該元素を含む化合物材
料等を用いて形成できる。シリコンを含む層の結晶構造は、非晶質、微結晶、多結晶のい
ずれでもよい。また、酸化アルミニウム、酸化ガリウム、酸化亜鉛、二酸化チタン、酸化
インジウム、インジウムスズ酸化物、インジウム亜鉛酸化物、In-Ga-Zn酸化物等
の金属酸化物を用いてもよい。剥離層203に、タングステン、チタン、モリブデンなど
の高融点金属材料を用いると、被剥離層の形成工程の自由度が高まるため好ましい。
ング法、液滴吐出法、ディスペンス法等を含む)、印刷法等により形成できる。剥離層2
03の厚さは例えば10nm以上200nm以下、好ましくは20nm以上100nm以
下とする。
リブデンの混合物を含む層を形成することが好ましい。また、タングステンの酸化物もし
くは酸化窒化物を含む層、モリブデンの酸化物もしくは酸化窒化物を含む層、又はタング
ステンとモリブデンの混合物の酸化物もしくは酸化窒化物を含む層を形成してもよい。な
お、タングステンとモリブデンの混合物とは、例えば、タングステンとモリブデンの合金
に相当する。
層構造を形成する場合、タングステンを含む層を形成し、その上層に酸化物で形成される
絶縁膜を形成することで、タングステン層と絶縁膜との界面に、タングステンの酸化物を
含む層が形成されることを活用してもよい。また、タングステンを含む層の表面を、熱酸
化処理、酸素プラズマ処理、亜酸化窒素(N2O)プラズマ処理、オゾン水等の酸化力の
強い溶液での処理等を行ってタングステンの酸化物を含む層を形成してもよい。またプラ
ズマ処理や加熱処理は、酸素、窒素、亜酸化窒素単独、あるいは該ガスとその他のガスと
の混合気体雰囲気下で行ってもよい。上記プラズマ処理や加熱処理により、剥離層203
の表面状態を変えることにより、剥離層203と後に形成される絶縁層との密着性を制御
することが可能である。
例えば、作製基板としてガラスを用い、ガラスに接してポリイミド、ポリエステル、ポリ
オレフィン、ポリアミド、ポリカーボネート、アクリル等の有機樹脂を形成する。次に、
レーザ照射や加熱処理を行うことで、作製基板と有機樹脂の密着性を向上させる。そして
、有機樹脂上に絶縁膜やトランジスタ等を形成する。その後、先のレーザ照射よりも高い
エネルギー密度でレーザ照射を行う、又は、先の加熱処理よりも高い温度で加熱処理を行
うことで、作製基板と有機樹脂の界面で剥離することができる。また、剥離の際には、作
製基板と有機樹脂の界面に液体を浸透させて分離してもよい。
工程で基板に高温をかけることができない。ここで、酸化物半導体を用いたトランジスタ
は、高温の作製工程が必須でないため、有機樹脂上に好適に形成することができる。
被剥離層の露出した面に接着剤を用いて別の基板を貼り合わせてもよい。
を加熱し、金属層と有機樹脂の界面で剥離を行ってもよい。
23上に絶縁層843を形成する。次に、絶縁層843上に遮光層847及び着色層84
5を形成する。なお、ここでは図示しないが、図9(D)に示すように、遮光層847及
び着色層845を覆うオーバーコートを設けてもよい。ここで、絶縁層843、遮光層8
47、及び着色層845を被剥離層とする。
3を硬化させる。作製基板201と作製基板221の貼り合わせは減圧雰囲気下で行うこ
とが好ましい。
異なる大きさの剥離層を用いてもよい。
C)に示すように、接着層823の端部は、剥離層203の端部よりも外側に位置しない
ことが好ましい。接着層823が剥離層203と重ならない領域を有すると、その領域の
広さや、接着層823と接する層との密着性によって、剥離不良が生じやすくなる場合が
ある。したがって、接着層823は剥離層203の内側に位置する、もしくは、接着層8
23の端部と剥離層203の端部とが重なることが好ましい。
お、シート状の接着剤は流動性が低いため、所望の領域にのみ配置することができ、剥離
層203の外側に接着層823が広がること、さらには、剥離工程の歩留まりが低下する
ことを抑制できる。そして、剥離工程の歩留まりを向上させることができる。
縁層813及び剥離層203の一部を除去する例を示す。なお、剥離の起点を形成する工
程を示す各図において、剥離の起点が形成される領域は点線で囲って示す。
して照射する。レーザ光は、どちらの基板側から照射してもよいが、散乱した光が機能素
子等に照射されることを抑制するため、剥離層203が設けられた作製基板201側から
照射することが好ましい。なお、レーザ光を照射する側の基板は、該レーザ光を透過する
材料を用いる。
る(膜割れやひびを生じさせる)ことで、第1の層の一部を除去し、剥離の起点を形成で
きる。このとき、第1の層だけでなく、被剥離層の他の層や、剥離層203、接着層82
3の一部を除去してもよい。レーザ光の照射によって、被剥離層、剥離層203、又は接
着層823に含まれる膜の一部を溶解、蒸発、又は熱的に破壊することができる。
た後に、剥離をし、可撓性基板を貼り合わせることができる。したがって、被剥離層の貼
り合わせの際に、可撓性が低い作製基板どうしを貼り合わせることができ、可撓性基板ど
うしを貼り合わせた際よりも貼り合わせの位置合わせ精度を向上させることができる。し
たがって、発光素子とカラーフィルタの貼り合わせの位置合わせ精度が高い作製方法であ
るといえる。
被剥離層が作製基板201から作製基板221に転置される(図12(A))。
る場合、大きい剥離層を形成した基板から剥離してもよいし、小さい剥離層を形成した基
板から剥離してもよい。一方の基板上にのみ半導体素子、発光素子、表示素子等の素子を
作製した場合、素子を形成した基板から剥離してもよいし、他方の基板から剥離してもよ
い。ここでは、作製基板201を先に剥離する例を示す。
回転させながら分離する処理等)によって被剥離層と作製基板201とを分離すればよい
。
剥離層とを分離してもよい。毛細管現象により液体が剥離層203と被剥離層の間にしみ
こむことで、容易に分離することができる。また、剥離時に生じる静電気が、被剥離層に
含まれる機能素子に悪影響を及ぼすこと(半導体素子が静電気により破壊されるなど)を
抑制できる。
11により接着する。本実施の形態では、接着層811にシート状の接着剤を用いるが、
これに限られない。
剥離の起点から、絶縁層843と作製基板221とを分離する(図12(C))。
ことができる。
を用いて貼り合わせる工程と、を行う。どちらの工程を先に行ってもよい。本実施の形態
では、先に絶縁層843及び基板803を、接着層841を用いて貼り合わせる(図13
(A))。ここでは、接着層841にシート状の接着剤を用いるが、これに限られない。
お、基板803が導電層857と重なる構成の場合は、導電層857を露出させるために
、基板803及び接着層841も開口する。
ームスパッタリング法などを用いればよい。また、導電層857上の膜に針やカッターな
どの鋭利な刃物等を用いて切り込みを入れ、物理的な力で膜の一部を引き剥がしてもよい
。
層841、絶縁層843、接着層823、EL層862、及び導電層864を除去する(
図13(B))。例えば、粘着性のローラーを基板803に押し付け、ローラーを回転さ
せながら相対的に移動させる。または、粘着性のテープを基板803に貼り付け、剥がし
てもよい。EL層862と導電層864の密着性や、EL層862を構成する層どうしの
密着性が低いため、EL層862と導電層864の界面、又はEL層862中で分離が生
じる。これにより、基板803、接着層841、絶縁層843、接着層823、EL層8
62、又は導電層864の導電層857と重なる領域を選択的に除去することができる。
なお、導電層857上にEL層862等が残存した場合は、有機溶剤等により除去すれば
よい。
ば、導電層857と重なる層を除去する方法は問わない。必要が無ければEL層862や
導電層864を導電層857に重ねて形成しなくてもよい。例えば、EL層862中で分
離が生じる場合は導電層864を設けなくてもよい。また、用いる材料によっては、EL
層862と接着層823が接することで、2層の材料が混合する、層の界面が不明確にな
る等の不具合が生じる場合がある。このようなときには、発光装置の信頼性の低下を抑制
するため、EL層862と接着層823の間に導電層864を設けることが好ましい。
C808を貼り付ける。必要があればICチップなどを実装させてもよい。なお、可撓性
基板がたわみやすいと、FPCやTCPを取り付ける際に、貼り合わせの精度が低下する
場合がある。したがって、FPCやTCPを取り付ける際に、作製した装置をガラスやシ
リコーンゴム等で支持してもよい。これによりFPC又はTCPと、機能素子との電気的
な接続を確実にすることができる。
被剥離層とを剥離しやすい状態にしてから、剥離を行う。これにより、剥離工程の歩留ま
りを向上させることができる。したがって、歩留まりよく発光装置を作製できる。
本実施の形態では、本発明の一態様のタッチパネルを適用して作製できる電子機器及び照
明装置について、図14及び図15を用いて説明する。
や照明装置に好適に用いることができる。また、本発明の一態様を適用することで、信頼
性が高く、繰り返しの曲げに対して強い電子機器や照明装置を作製できる。
う)、コンピュータ用などのモニタ、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタル
フォトフレーム、携帯電話機(携帯電話、携帯電話装置ともいう)、携帯型ゲーム機、携
帯情報端末、音響再生装置、パチンコ機などの大型ゲーム機などが挙げられる。
外壁、又は、自動車の内装もしくは外装の曲面に沿って組み込むことも可能である。
よい。このとき、非接触電力伝送を用いて、二次電池を充電することができると好ましい
。
ンポリマー電池)等のリチウムイオン二次電池、ニッケル水素電池、ニカド電池、有機ラ
ジカル電池、鉛蓄電池、空気二次電池、ニッケル亜鉛電池、銀亜鉛電池などが挙げられる
。
アンテナで信号を受信することで、表示部で映像や情報等の表示を行うことができる。ま
た、タッチパネルが二次電池を有する場合、アンテナを、非接触電力伝送に用いてもよい
。
に組み込まれた表示部7402のほか、操作ボタン7403、外部接続ポート7404、
スピーカ7405、マイク7406などを備えている。なお、携帯電話機7400は、本
発明の一態様のタッチパネルを表示部7402に用いることにより作製される。本発明の
一態様により、湾曲した表示部を備え、且つ信頼性の高い携帯電話機を提供できる。
報を入力することができる。また、電話を掛ける、或いは文字を入力するなどのあらゆる
操作は、指などで表示部7402に触れることにより行うことができる。
表示される画像の種類を切り替えることができる。例えば、メール作成画面から、メイン
メニュー画面に切り替えることができる。
、筐体7101、表示部7102、バンド7103、バックル7104、操作ボタン71
05、入出力端子7106などを備える。
ーネット通信、コンピュータゲームなどの種々のアプリケーションを実行することができ
る。
とができる。また、表示部7102はタッチセンサを備え、指やスタイラスなどで画面に
触れることで操作することができる。例えば、表示部7102に表示されたアイコン71
07に触れることで、アプリケーションを起動することができる。
動作、マナーモードの実行及び解除、省電力モードの実行及び解除など、様々な機能を持
たせることができる。例えば、携帯情報端末7100に組み込まれたオペレーティングシ
ステムにより、操作ボタン7105の機能を自由に設定することもできる。
ある。例えば無線通信可能なヘッドセットと相互通信することによって、ハンズフリーで
通話することもできる。
介して直接データのやりとりを行うことができる。また入出力端子7106を介して充電
を行うこともできる。なお、充電動作は入出力端子7106を介さずに無線給電により行
ってもよい。
れている。本発明の一態様により、湾曲した表示部を備え、且つ信頼性の高い携帯情報端
末を提供できる。
210、及び照明装置7220は、それぞれ、操作スイッチ7203を備える台部720
1と、台部7201に支持される発光部を有する。
。したがってデザイン性の高い照明装置となっている。
発光部が対称的に配置された構成となっている。したがって照明装置7210を中心に全
方位を照らすことができる。
がって、発光部7222からの発光を、照明装置7220の前面に集光するため、特定の
範囲を明るく照らす場合に適している。
はフレキシブル性を有しているため、発光部を可塑性の部材や可動なフレームなどの部材
で固定し、用途に合わせて発光部の発光面を自在に湾曲可能な構成としてもよい。
備える筐体を天井に固定する、又は天井からつり下げるように用いることもできる。発光
面を湾曲させて用いることができるため、発光面を凹状に湾曲させて特定の領域を明るく
照らす、又は発光面を凸状に湾曲させて部屋全体を明るく照らすこともできる。
態様により、湾曲した発光部を備え、且つ信頼性の高い照明装置を提供できる。
、筐体7301、表示部7302、操作ボタン7303、引き出し部材7304、制御部
7305を備える。
示部7302を備える。
映像を表示部7302に表示することができる。また、制御部7305にはバッテリをそ
なえる。また、制御部7305にコネクターを接続する端子部を備え、映像信号や電力を
有線により外部から直接供給する構成としてもよい。
等を行うことができる。
チパネル7300を示す。この状態で表示部7302に映像を表示することができる。ま
た、筐体7301の表面に配置された操作ボタン7303によって、片手で容易に操作す
ることができる。また、図14(F)のように操作ボタン7303を筐体7301の中央
でなく片側に寄せて配置することで、片手で容易に操作することができる。
定するため、表示部7302の側部に補強のためのフレームを設けていてもよい。
て音声を出力する構成としてもよい。
様により、軽量で、且つ信頼性の高いタッチパネルを提供できる。
展開した状態の携帯情報端末310を示す。図15(B)に展開した状態又は折りたたん
だ状態の一方から他方に変化する途中の状態の携帯情報端末310を示す。図15(C)
に折りたたんだ状態の携帯情報端末310を示す。携帯情報端末310は、折りたたんだ
状態では可搬性に優れ、展開した状態では、継ぎ目のない広い表示領域により表示の一覧
性に優れる。
る。ヒンジ313を介して2つの筐体315間を屈曲させることにより、携帯情報端末3
10を展開した状態から折りたたんだ状態に可逆的に変形させることができる。本発明の
一態様のタッチパネルをタッチパネル314に用いることができる。例えば、曲率半径1
mm以上150mm以下で曲げることができるタッチパネルを適用できる。
であることを検知して、検知情報を供給するセンサを備える構成としてもよい。タッチパ
ネルの制御装置は、タッチパネルが折りたたまれた状態であることを示す情報を取得して
、折りたたまれた部分(又は折りたたまれて使用者から視認できなくなった部分)の動作
を停止してもよい。具体的には、表示を停止してもよい。また、タッチセンサによる検知
を停止してもよい。
報を取得して、表示やタッチセンサによる検知を再開してもよい。
表示部326が外側になるように折りたたんだ状態の携帯情報端末329を示す。図15
(E)に、表示部326が内側になるように折りたたんだ状態の携帯情報端末329を示
す。携帯情報端末329を使用しない際に、非表示部325を外側に折りたたむことで、
表示部326の汚れや傷つきを抑制できる。本発明の一態様のタッチパネルを表示部32
6に用いることができる。
帯情報端末330の上面図である。図15(H)は携帯情報端末340の外形を説明する
斜視図である。
つ又は複数の機能を有する。具体的には、スマートフォンとしてそれぞれ用いることがで
きる。
。例えば、3つの操作ボタン339を一の面に表示することができる(図15(F)、(
H))。また、破線の矩形で示す情報337を他の面に表示することができる(図15(
G)、(H))。なお、情報337の例としては、SNS(ソーシャル・ネットワーキン
グ・サービス)の通知、電子メールや電話などの着信を知らせる表示、電子メールなどの
題名もしくは送信者名、日時、時刻、バッテリの残量、アンテナ受信の強度などがある。
または、情報337が表示されている位置に、情報337の代わりに、操作ボタン339
、アイコンなどを表示してもよい。なお、図15(F)、(G)では、上側に情報337
が表示される例を示したが、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、図15(
H)に示す携帯情報端末340のように、横側に表示されていてもよい。
した状態で、その表示(ここでは情報337)を確認することができる。
から観察できる位置に表示する。使用者は、携帯情報端末330をポケットから取り出す
ことなく、表示を確認し、電話を受けるか否かを判断できる。
示部333には、本発明の一態様のタッチパネルを用いることができる。本発明の一態様
により、湾曲した表示部を備え、且つ信頼性の高い携帯情報端末を提供できる。
い。ここでは、情報354、情報356、情報357がそれぞれ異なる面に表示されてい
る例を示す。
ネルを用いることができる。本発明の一態様により、湾曲した表示部を備え、且つ信頼性
の高い携帯情報端末を提供できる。
説明する。本実施例で作製したタッチパネルは、図19(A)に示すように、カラーフィ
ルタ方式を用いたトップエミッション型の表示パネルと、静電容量方式のタッチセンサと
、を有する。
まず、可撓性を有する表示パネルと可撓性を有するタッチセンサを作製した。いずれも作
製基板であるガラス基板上に素子を形成し、作製基板から該素子を剥離して、可撓性基板
上に該素子を転置した。剥離層としては、タングステン膜と、該タングステン膜上の酸化
タングステン膜の積層構造を形成した。作製方法の詳細は実施の形態2~3を参酌できる
。
(C Axis Aligned Crystalline Oxide Semico
nductor)を用いたトランジスタを有する。
ることができる。また、CAAC-OSは結晶粒界を有さないため、可撓性を有する装置
を湾曲させたときの応力によってCAAC-OS膜にクラックが生じにくい。
ことである。酸化物半導体の結晶構造としては他にナノスケールの微結晶集合体であるn
ano-crystal(nc)など、単結晶とは異なる多彩な構造が存在することが確
認されている。CAAC-OSは、単結晶よりも結晶性が低く、ncに比べて結晶性が高
い。
いた。該トランジスタは、ガラス基板上で500℃未満のプロセスで作製した。
の作製工程の温度を、有機樹脂の耐熱温度よりも低くしなくてはならない。本実施例では
、作製基板がガラス基板であり、また、無機膜である剥離層の耐熱性が高いため、ガラス
基板上にトランジスタを作製する場合と同じ温度でトランジスタを作製することができ、
トランジスタの性能、信頼性を容易に確保できる。
する発光層及び赤色の光を呈する発光層を有する燐光発光ユニットと、を有するタンデム
型の有機EL素子を用いた。有機EL素子は、トップエミッション型である。有機EL素
子は、光学調整層として機能するITO膜を有する。光学調整層の膜厚は、各画素の色に
応じて変化させた。カラーフィルタとマイクロキャビティ構造との組み合わせにより、本
実施例で作製した表示パネルからは、色純度の高い光を取り出すことができる。
しては、厚さ20μmの有機樹脂フィルムを用いた。
300μmの接着層を形成した。サンプルでは、シリコーン系ゲル粘着層を用いた。比較
サンプルでは、アクリル系ゲル粘着層を用いた。
、針入度は100、透過率は91%、圧縮永久歪み率は32%である。また、比較サンプ
ルに用いたアクリル系ゲル粘着層の物性を示す。ヤング率は約300kPa、針入度は7
5である。
その後、60℃で100時間加熱処理を行い、各基板と、接着層との密着性を向上させた
。
プルは、1つ作製し、動作を確認した後、曲げ試験を行った。
プルはどちらも、表示パネルで表示している際に、タッチセンサによるセンシングが可能
であることが確認できた。
重ねた場合、表示パネルで表示している際に、タッチセンサによる正常なセンシングはで
きなかった。次に、表示パネルとタッチセンサを、積層体を介して重ねることで、表示パ
ネルとタッチセンサの間の距離を離した。積層体は、膜厚25μmのシリコーン樹脂と、
膜厚50μmのPETフィルムと、を交互に積層した構造である。その結果、表示パネル
とタッチセンサの間の距離が100μm及び175μmのときには、表示パネルで表示し
ている際には、タッチセンサによる正常なセンシングはできなかったが、該距離が250
μmのときには、正常なセンシングが可能であった。ただし、膜厚250μmの積層体を
用いたタッチパネルは、繰り返し曲げて使用することは難しかった。
(Bent portion)はタッチパネルの中央部であり、表示部とスキャンドライ
バを含む。曲げ試験は図17に示すブック型曲げ試験機を用いて行った。
)参照)を繰り返すことで曲げ試験を行う。曲げた際の板と板との間の距離を定めること
で、タッチパネルの曲げの曲率半径を決めている。なお、図17(A)、(B)に示すパ
ネルは本実施例のサンプルではない。
、7万回、内曲げを行ったところ、表示部に欠陥の発生はなかった。また、曲げ試験後に
、曲げ癖はほぼ見られなかった。なお、ここでは、タッチパネルの表示面を内側にした場
合を内曲げと記す。
ンプルを示す。なお、7万回曲げた後も、図18(D)に示す状態とほぼ変わりがなかっ
た。
サ側に設けられた電極99との位置関係に着目した。図18(A)に示す、サンプルを曲
げていない状態に比べて、図18(B)に示す、該サンプルを曲げた状態の方が、カラー
フィルタ98と電極99の間隔が広いことがわかった。このことから、実施の形態1で示
したように、接着層12が図1(A)の状態から図1(B)の状態に変形しているといえ
る。
ついた(図18(E)に示す点線部参照)。
ッチセンサを貼り合わせることで、繰り返しの折り曲げに強い信頼性の高いフレキシブル
なタッチパネルを作製することができた。また、タッチパネルの薄型化と、高い検出感度
を両立することができた。
Pa未満、さらには50kPa以下とすることで、タッチパネルの薄型化と、高い検出感
度の両立や、繰り返しの曲げに強いタッチパネルの作製が可能であると示唆された。
10UB 検知ユニット
11 表示パネル
12 接着層
13 タッチセンサ
15 表示素子
15a トランジスタ
15b 発光素子
15c トランジスタ
15d コンタクト部
15e 容量部
16 可撓性基板
17 検知素子
18 接着層
19 絶縁層
20 絶縁層
21 導電層
23 導電層
98 カラーフィルタ
99 電極
100 タッチセンサ
100B タッチセンサ
112 タッチセンサ
201 作製基板
203 剥離層
221 作製基板
223 剥離層
301 可撓性基板
302 可撓性基板
305 FPC
310 携帯情報端末
311 配線
312 配線
314 タッチパネル
313 ヒンジ
315 筐体
320 絶縁層
321 電極
322 電極
323 配線
324 誘電層
325 非表示部
326 表示部
329 携帯情報端末
330 携帯情報端末
331 接着層
332 接着層
333 表示部
335 保護層
336 筐体
337 情報
338 筐体
339 操作ボタン
340 携帯情報端末
345 携帯情報端末
351 筐体
354 情報
355 接続体
356 情報
357 情報
358 表示部
391 作製基板
393 剥離層
395 絶縁層
801 基板
803 基板
804 発光部
806 駆動回路部
808 FPC
811 接着層
813 絶縁層
814 導電層
815 絶縁層
816 導電層
817 絶縁層
817a 絶縁層
817b 絶縁層
820 トランジスタ
821 絶縁層
822 トランジスタ
823 接着層
824 接着層
825 接続体
827 スペーサ
830 発光素子
831 下部電極
833 EL層
835 上部電極
841 接着層
843 絶縁層
845 着色層
847 遮光層
849 オーバーコート
857 導電層
857a 導電層
857b 導電層
862 EL層
864 導電層
7100 携帯情報端末
7101 筐体
7102 表示部
7103 バンド
7104 バックル
7105 操作ボタン
7106 入出力端子
7107 アイコン
7200 照明装置
7201 台部
7202 発光部
7203 操作スイッチ
7210 照明装置
7212 発光部
7220 照明装置
7222 発光部
7300 タッチパネル
7301 筐体
7302 表示部
7303 操作ボタン
7304 部材
7305 制御部
7400 携帯電話機
7401 筐体
7402 表示部
7403 操作ボタン
7404 外部接続ポート
7405 スピーカ
7406 マイク
Claims (4)
- 可撓性を有し、かつ、第1の基板及び第2の基板の間に設けられた発光素子を有する表示パネルと、
タッチセンサと、
前記表示パネルの前記第2の基板と前記タッチセンサとの間に設けられた接着層と、を有する発光装置であって、
前記接着層は、ゲル状であり、
前記接着層のヤング率は、1kPa以上300kPa以下であり、
前記接着層の厚さは、0.1mm以上1mm以下であり、
前記接着層の透過率は、70%以上であり、
前記表示パネルは、前記発光素子と前記第2の基板との間に、窒素及び珪素を含む第1の絶縁層を有し、
前記表示パネルに配置された第1の導電層と、第1のFPCとの接続箇所は、前記接着層と重なりを有さず、
前記タッチセンサに配置された第2の導電層と、第2のFPCとの接続箇所は、前記接着層と重なりを有さない発光装置。 - 可撓性を有し、かつ、第1の基板及び第2の基板の間に設けられた発光素子を有する表示パネルと、
タッチセンサと、
前記表示パネルの前記第2の基板と前記タッチセンサとの間に設けられた接着層と、を有する発光装置であって、
前記接着層は、シリコーンを含み、
前記接着層は、ゲル状であり、
前記接着層のヤング率は、1kPa以上300kPa以下であり、
前記接着層の厚さは、0.1mm以上1mm以下であり、
前記接着層の透過率は、70%以上であり、
前記表示パネルは、前記発光素子と前記第2の基板との間に、窒素及び珪素を含む第1の絶縁層を有し、
前記表示パネルに配置された第1の導電層と、第1のFPCとの接続箇所は、前記接着層と重なりを有さず、
前記タッチセンサに配置された第2の導電層と、第2のFPCとの接続箇所は、前記接着層と重なりを有さない発光装置。 - 可撓性を有し、かつ、第1の基板及び第2の基板の間に設けられた発光素子を有する表示パネルと、
タッチセンサと、
前記表示パネルの前記第2の基板と前記タッチセンサとの間に設けられた接着層と、を有する発光装置であって、
前記接着層は、ゲル状であり、
前記接着層のヤング率は、1kPa以上300kPa以下であり、
前記接着層の厚さは、0.1mm以上1mm以下であり、
前記接着層の透過率は、70%以上であり、
前記表示パネルは、前記発光素子と前記第2の基板との間に、窒素及び珪素を含む第1の絶縁層を有し、
前記表示パネルは、前記発光素子と前記第1の基板との間に、窒素及び珪素を含む第2の絶縁層を有し、
前記表示パネルに配置された第1の導電層と、第1のFPCとの接続箇所は、前記接着層と重なりを有さず、
前記タッチセンサに配置された第2の導電層と、第2のFPCとの接続箇所は、前記接着層と重なりを有さない発光装置。 - 可撓性を有し、かつ、第1の基板及び第2の基板の間に設けられた発光素子を有する表示パネルと、
タッチセンサと、
前記表示パネルの前記第2の基板と前記タッチセンサとの間に設けられた接着層と、を有する発光装置であって、
前記接着層は、シリコーンを含み、
前記接着層は、ゲル状であり、
前記接着層のヤング率は、1kPa以上300kPa以下であり、
前記接着層の厚さは、0.1mm以上1mm以下であり、
前記接着層の透過率は、70%以上であり、
前記表示パネルは、前記発光素子と前記第2の基板との間に、窒素及び珪素を含む第1の絶縁層を有し、
前記表示パネルは、前記発光素子と前記第1の基板との間に、窒素及び珪素を含む第2の絶縁層を有し、
前記表示パネルに配置された第1の導電層と、第1のFPCとの接続箇所は、前記接着層と重なりを有さず、
前記タッチセンサに配置された第2の導電層と、第2のFPCとの接続箇所は、前記接着層と重なりを有さない発光装置。
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