JP2015045623A - 静電容量型センサシート及び静電容量型センサ - Google Patents

Abstract

【課題】静電容量の変化を計測する際の検出感度及び検出精度に優れる静電容量型センサシートを提供すること。【解決手段】本発明の静電容量型センサシートは、エラストマー組成物（Ａ）からなる誘電層と、上記誘電層の表面に積層された表側電極層と、上記誘電層の裏面に積層された裏側電極層とを備え、厚さ方向における上記表側電極層と上記裏側電極層との交差部分を検出部とする静電容量型センサシートであって、上記検出部を複数箇所備え、上記表側電極層上にエラストマー組成物（Ｂ１）からなる表側可撓層を介して上記検出部を覆うように形成された表側被覆電極層、及び／又は、上記裏側電極層上にエラストマー組成物（Ｂ２）からなる裏側可撓層を介して上記検出部を覆うように形成された裏側被覆電極層を備え、上記検出部における静電容量の変化を計測するために用いられることを特徴とする。【選択図】図１

Description

本発明は、静電容量型センサシート、及び、この静電容量型センサシートを用いた静電容量型センサに関する。

静電容量型センサシートは、一対の電極層間の静電容量変化から測定対象物の凸凹形状等を検出することができ、面圧分布センサや歪みゲージ等のセンサに用いることができる。一般に静電容量型センサにおける静電容量（キャパシタンス）は、以下の式（１）で表される。
Ｃ＝ε_０ε_ｒＳ／ｄ・・・（１）
ここで、Ｃはキャパシタンス、ε_０は自由空間の誘電率、ε_ｒは誘電層の比誘電率、Ｓは電極層面積、ｄは電極間距離である。

従来、面圧分布センサとして使用する静電容量型センサシートとして、例えば、エラストマー製の誘電層と、該誘電層の表側に複数列並んで配列された帯状の表側電極と、該誘電層の裏側に複数列並んで配列された裏側電極と、該表側電極と該裏側電極とが、表裏方向から見て、交差することにより形成される複数の検出部とを有し、一体的に伸縮可能なセンサシートが知られている（例えば、特許文献１参照）。
このようなセンサシートでは、各検出部における静電容量の変化を測定することにより、
測定対象物の荷重分布を測定することができる。

特開２０１０−４３８８１号公報

しかしながら、特許文献１に開示されたような静電容量の変化を測定するセンサシートにおいて、複数の検出部を備えたセンサシートでは、近接する検出部間のクロストークノイズにより静電容量が上乗せされ、初期状態（無変形状態）において、検出部の静電容量が理論値より大きくなる。そして、このような場合、微小な静電容量の変化を計測することができず、検出感度が不充分になるとの問題があった。
また、隣接する検出部間のクロストークノイズにより静電容量が上乗せされた場合、静電容量型センサシートを変形させた際に、無変形の領域でも静電容量の変化が計測されその結果、検出精度が不充分になるとの問題があった。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、検出感度及び検出精度に優れた静電容量型センサシートを提供することにある。

本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、検出部を覆うように可撓層を介して被覆電極層を設けることにより、近接する検出部間のクロストークノイズによる静電容量の上乗せを抑制することができることを見出し本発明を完成した。

本発明の静電容量型センサシートは、エラストマー組成物（Ａ）からなる誘電層と、上記誘電層の表面に積層された表側電極層と、上記誘電層の裏面に積層された裏側電極層とを備え、厚さ方向における上記表側電極層と上記裏側電極層との交差部分を検出部とする静電容量型センサシートであって、
上記検出部を複数箇所備え、
上記表側電極層上にエラストマー組成物（Ｂ１）からなる表側可撓層を介して上記検出部を覆うように形成された表側被覆電極層、及び／又は、上記裏側電極層上にエラストマー組成物（Ｂ２）からなる裏側可撓層を介して上記検出部を覆うように形成された裏側被覆電極層を備え、
上記検出部における静電容量の変化を計測するために用いられる
ことを特徴とする。

上記静電容量型センサシートにおいて、上記表側電極層及び上記裏側電極層は、カーボンナノチューブを含む導電性組成物からなることが好ましい。ここで、上記カーボンナノチューブは、単層カーボンナノチューブと多層カーボンナノチューブとの混合物であることが好ましい。

上記静電容量型センサシートにおいて、上記エラストマー組成物（Ａ）はエラストマーがウレタンゴムであることが好ましい。
また、上記エラストマー組成物（Ｂ１）及び／又は上記エラストマー組成物（Ｂ２）もエラストマーがウレタンゴムであることが好ましい。

上記静電容量型センサシートは、一軸引張りに耐えられる伸長率が３０％以上であることが好ましい。

上記静電容量型センサシートは、伸縮変形歪み量、伸縮変形歪み分布及び面圧分布のうちの少なくとも１つの測定に使用されることが好ましく、伸縮変形歪み量及び／又は伸縮変形歪み分布の測定に使用されることがより好ましい。

本発明の静電容量型センサは、
本発明の静電容量型センサシートと、
計測手段と、
上記静電容量型センサシートが備える表側電極層及び裏側電極層のそれぞれと、上記計測手段とを接続する外部配線とを備え、
上記静電容量型センサシートが有する検出部における静電容量の変化を計測することにより、伸縮変形歪み量、伸縮変形歪み分布及び面圧分布のうちの少なくとも１つの測定することを特徴とする。

本発明の静電容量型センサシートでは、少なくとも片面側に検出部を覆うように被覆電極層が形成されているため、検出部におけるクロストークノイズによる静電容量の上乗せを抑制することができ、静電容量の変化を計測する際の検出感度及び検出精度が格別優れたものとなる。

また、本発明の静電容量型センサは、本発明の静電容量型センサシートを備えているため、高感度及び高精度で静電容量の変化を測定することができる。

（ａ）は、本発明の静電容量型センサシートの一例を模式的に示す上面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示した静電容量型センサシートのＡ−Ａ線断面図である。 図１に示した静電容量型センサシートの分解斜視図である。 図１、２に示した静電容量型センサシートを用いた静電容量型センサの一例を示す模式図である。 本発明の静電容量型センサシートの別の一例を模式的に示す断面図である。 （ａ）は、本発明の静電容量型センサシートの別の一例を模式的に示す上面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。 本発明の静電容量型センサシートが備える誘電層の作製に使用する成形装置の一例を説明するための模式図である。 （ａ）（ｂ）は、比較例１の静電容量型センサシートを用いて作製した静電容量型センサの実物写真である。 （ａ）〜（ｃ）は、実施例１の静電容量型センサシートで計測した静電容量の分布を示す３次元グラフである。 （ａ）〜（ｃ）は、実施例２の静電容量型センサシートで計測した静電容量の分布を示す３次元グラフである。 （ａ）〜（ｃ）は、比較例１の静電容量型センサシートで計測した静電容量の分布を示す３次元グラフである。 （ａ）〜（ｃ）は、実施例１の静電容量型センサシート用い、別の条件で計測した静電容量の分布を示す３次元グラフである。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参酌しつつ説明する。
（第１実施形態）
図１（ａ）は、本発明の静電容量型センサシートの一例を模式的に示す上面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示した静電容量型センサシートのＡ−Ａ線断面図であり、図２は、図１に示した静電容量型センサシートの分解斜視図である。

図１（ａ）、（ｂ）及び図２に示すように、本発明の静電容量型センサシート１は、シート状の誘電層２と、誘電層２の表面（おもて面）に積層された帯状の表側電極層０１Ａ〜１６Ａと、誘電層２の裏面に積層された帯状の裏側電極層０１Ｂ〜１６Ｂと、表側電極層０１Ａ〜１６Ａ上に表側可撓層３Ａを介して積層された表側被覆電極層４Ａと、裏側電極層０１Ｂ〜１６Ｂ上に裏側可撓層３Ｂを介して積層された裏側被覆電極層４Ｂと、表側被覆電極層４Ａ及び裏側被覆電極層４Ｂのそれぞれに積層されたオーバーコート層５Ａ、５Ｂとを備える。
更に、表側電極層０１Ａ〜１６Ａの一端、及び、裏側電極層０１Ｂ〜１６Ｂの一端には、外部配線と接続するための表側接続部０１Ａ１〜１６Ａ１及び裏側接続部０１Ｂ１〜１６Ｂ１がそれぞれ設けられており、表側被覆電極層４Ａの一辺の一部、及び、裏側被覆電極層４Ｂの一辺の一部には、それぞれ外部配線と接続するための被覆電極用接続部４Ａ１、４Ｂ１がそれぞれ設けられている。
そして、上記表側電極層と裏側電極層とが表裏方向（誘電層の厚さ方向）で交差する部分が検出部Ｃ０１０１〜Ｃ１６１６となる。なお、検出部の符号「Ｃ○○△△」中、上２桁の「○○」は、表側電極層０１Ａ〜１６Ａに対応し、下２桁の「△△」は、裏側電極層０１Ｂ〜１６Ｂに対応する。

表側電極層０１Ａ〜１６Ａは、それぞれ帯状を呈しており、誘電層２の表面に合計１６本積層されている。表側電極層０１Ａ〜１６Ａは、それぞれＸ方向（図１（ａ）中、左右方向）に延在している。表側電極層０１Ａ〜１６Ａは、それぞれＹ方向（図１（ａ）中、上下方向）に所定間隔ごとに離間して、互いに略平行となるようにそれぞれ配置されている。

裏側電極層０１Ｂ〜１６Ｂは、それぞれ帯状を呈しており、誘電層２の裏面に合計１６本積層されている。裏側電極層０１Ｂ〜１６Ｂは、それぞれ表側電極層０１Ａ〜１６Ａと表裏方向（誘電層の厚さ方向）から見て略直角で交差するように配置されている。すなわち、裏側電極層０１Ｂ〜１６Ｂは、それぞれＹ方向に延在している。また、裏側電極層０１Ｂ〜１６Ｂは、Ｘ方向に所定間隔ごとに離間して、互いに略平行となるようにそれぞれ配置されている。

表側電極層０１Ａ〜１６Ａ及び裏側電極層０１Ｂ〜１６Ｂのそれぞれをこのように配置することにより、静電容量の変化を計測するに際し、計測用電極層の配置数及び電極配線数を少なくすることができる。即ち、上記態様の場合、検出部が効率良く配置されていることとなる。

もう少し詳しく説明すると、図１に示した例では、表側電極層と裏側電極層とが厚さ方向で交差する検出部が、１６×１６＝２５６で２５６箇所存在するが、２５６箇所の検出部をそれぞれ独立して形成した場合には、各検出部につき表側電極と裏側電極とが存在するため、検出部の静電容量を検出するためには２５６×２で５１２本の配線が必要となるのに対して、図１、２に示した例のように、表側電極層及び裏側電極層がそれぞれ平行に配置された複数の帯状体からなり、この表側電極層と裏側電極層とが表裏方向から見て略直角で交差するように配置されている場合には、検出部の静電容量を検出するための配線が１６＋１６の３２本で済むのである。そのため、上記の通り検出部が効率良く配置されていることとなる。

一方、上記のように検出部が効率良く配置されている場合、各検出部では特にクロストークノイズによる静電容量の上乗せが発生しやすくなる。一方、本発明の静電容量型センサシートは、複数の検出部を有するともに被覆電極層（表側被覆電極層及び／又は裏側被覆電極層）を備えており、上記被覆電極層を備えることにより、クロストークノイズによる検出感度及び検出精度の低下を防止することができる。
また、上記被覆電極層を備えることにより、外的環境ノイズ（例えば、静電気等）を遮断することができ、それにより、検出感度及び検出精度がより優れたものとなる。

表側被覆電極層４Ａ及び裏側被覆電極層４Ｂは、それぞれ静電容量型センサシート１を平面視した際に、検出部Ｃ０１０１〜Ｃ１６１６を覆うように（検出部Ｃ０１０１〜Ｃ１６１６と表裏方向（厚さ方向）で重複する領域に）それぞれ表側可撓層３Ａ及び裏側可撓層３Ｂを介して配置されている。
更に、静電容量型センサシート１の最外層には、表側被覆電極層４Ａ及び裏側被覆電極層４Ｂのそれぞれを覆うようにオーバーコート層５Ａ、５Ｂが形成されている。

このような構成を備えた静電容量型センサシート１では、後述するように計測手段と接続して静電容量型センサとし、各１６本の配線をそれぞれ外部の切替回路で切り替えることで、２５６箇所の検出部を１箇所ずつ切り替えながら各検出部の静電容量を測定することができ、その結果、各検出部の歪み量や歪みの位置、面圧分布等を検知することができる。
なお、本発明の説明においては、被覆電極層と表側電極層及び裏側電極層とを区別すべく、表側電極層及び裏側電極層の両者を合わせて計測用電極層と称することもある。
また、表側可撓層及び裏側可撓層の両者を合わせて単に可撓層と称することもあり、更には、表側被覆電極層及び裏側被覆電極層の両者を合わせて単に被覆電極層と称すこともある。

本発明の静電容量型センサシートは、一軸引張りに耐えられる伸長率が３０％以上であることが好ましく、５０％以上であることがより好ましく、１００％以上であることが更に好ましく、２００％以上であることが特に好ましい。上記伸長率を大きくすることで、柔軟な測定対象物の変形や動作に対する追従性が向上し、より正確に、かつ広い測定レンジで静電容量の変化を測定することが可能となるからである。
なお、本発明において、一軸引張りに耐えられる伸長率とは、ＪＩＳ Ｋ ６２５１に準拠した引張り試験において、破断時伸び以下の伸長率であって、かつ、引張荷重を開放後元の状態に復元する伸長率をいい、例えば、一軸引張りに耐えられる伸長率が３０％であるとは、一軸方向に３０％伸長させた際に破断に至らず、かつ、引張荷重を開放した後に元の状態に復元する（即ち、弾性変形範囲にある）ことを意味する。

上記静電容量型センサシートにおいて、一軸引張りに耐えられる伸長率は、誘電層、計測用電極層、可撓層、被覆電極層、オーバーコート層の設計、例えば、誘電層や可撓層、オーバーコート層を構成するエラストマー組成物や、計測用電極層及び被覆電極層の含有成分や含有量の選択等により制御することができる。

なお、本発明の静電容量型センサシートは、上述した通り、一軸引張りに耐えられる伸長率が大きいほど好ましく、２００％以上であることが特に好ましいが、例えば、カーボンナノチューブを用いて形成した電極層（計測用電極層及び被覆電極層）であれば上記伸長率を容易に達成することができる。
そのため、上記電極層がカーボンナノチューブを含む導電性組成物からなる場合には、上記静電容量型センサシートの伸長率は、上記誘電層の伸長率に依存することとなり、通常、誘電層の伸長率が２００％を超えれば静電容量型センサシートの伸長率も２００％を超えることとなる。

このような構成からなる静電容量型センサシート１は後述するように、表側電極層及び裏側電極層のそれぞれを外部配線を介して計測手段と接続することにより静電容量型センサとなり、伸縮変形歪み量及び／又は伸縮変形歪み分布を測定することが可能となる。

図１、２に示した静電容量型センサシート１を用いた静電容量型センサとしては、例えば、図３に示したような構成を備えたものが挙げられる。
図３は、図１、２に示した静電容量型センサシートを用いた静電容量型センサの一例を示す模式図である。

図３に示す静電容量型センサ１０１は、図１に示した静電容量型センサシート１と、外部配線１０２及び１０３と、計測手段１０４と、ＧＮＤ線１０５Ａ、１０５Ｂとを備えている。
静電容量型センサシート１の表側接続部０１Ａ１〜１６Ａ１のそれぞれは、複数（１６本）の配線が結束された外部配線１０３を介して計測手段１０４と接続されており、また、裏側接続部０１Ｂ１〜１６Ｂ１のそれぞれは、複数（１６本）の配線が結束された外部配線１０２を介して計測手段１０４と接続されている。
なお、外部配線は、図２に示すように表側電極層及び裏側電極層の片端にのみ接続されていればよいが、場合によっては両端に接続されていても良い。

計測手段１０４は、図示しないが、電源回路、演算回路、静電容量測定回路、画素切替回路及び表示装置等を必要に応じて備えており、その具体例としては、例えば、ＬＣＲメータ等が挙げられる。

また、ＧＮＤ線１０５Ａ、１０５Ｂのそれぞれは、表側被覆電極層４Ａ及び裏側被覆電極層４Ｂのそれぞれに設けられた被覆電極用接続部４Ａ１、４Ｂ１と計測手段１０４に設けられたＧＮＤ端子（図示せず）と接続しており、これにより、被覆電極用接続部４Ａ１、４Ｂ１は接地（アース）されている。
このような静電容量型センサシートを備えた静電容量型センサもまた本発明の一つである。

なお、静電容量型センサシート１の平均厚み、幅及び長さ等の外観形状は、用いられる静電容量型センサシート１の用途によって適宜設計変更可能である。
また、上記静電容量型センサでは、被覆電極用接続部（被覆電極層）が接地されているが、本発明の静電容量型センサシートを用いる場合、被覆電極層は必ずしも接地されている必要はない。しかしながら、接地することにより、より確実にクロストークノイズによる静電容量の上乗せを低減することができる。

本発明の静電容量型センサシートを用いた静電容量型センサにおいて、静電容量の測定方法は特に限定されないが、ＬＣＲメータのような交流信号でのインピーダンスを計測して静電容量を計測する手法や、交流信号でのインピーダンスにより出力信号の電圧を変化させることで静電容量を計測する手法など、交流インピーダンスを用いた測定方法が好ましい。
交流インピーダンスを用いた測定方法では、高い周波数信号を用いた測定でも繰返し精度に優れ、高い周波数信号を用いることで、インピーダンスが大きくなり過ぎないため計測精度をより高めることができるばかりでなく、静電容量計測に要する時間を短縮することができ、センサとしては時間あたりの計測回数を増加させることが可能となる。そのため、例えば、測定対象物の歪み（変形）を時間分解して計測することで、動きの速さなどを検知する測定も行うことができる。
そして、本発明に静電容量型センサは、高い周波数信号を用いた測定にも適している。

以下、本発明の静電容量型センサシートの各構成部材について説明する。
＜誘電層＞
上記誘電層は、シート状を有し、エラストマー組成物（Ａ）からなる。なお、その平面視形状は特に限定されず、図１に示すように矩形状であってもよいし、円形状等の他の形状であってもよい。
上記エラストマー組成物（Ａ）は、少なくともエラストマーを含有する。
上記エラストマーとしては、例えば、天然ゴム、イソプレンゴム、ニトリルゴム（ＮＢＲ）、エチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ）、スチレン・ブタジエンゴム（ＳＢＲ）、ブタジエンゴム（ＢＲ）、クロロプレンゴム（ＣＲ）、シリコーンゴム、フッ素ゴム、アクリルゴム、水素添加ニトリルゴム、ウレタンゴム等が挙げられる。これらは単独で用いても良いし、２種以上併用しても良い。
これらのなかでは、ウレタンゴム又はシリコーンゴムが好ましい。永久歪みが小さいからである。永久歪みが小さいと、繰り返し使用しても（例えば、１０００回の伸縮を繰り返したとしても）初期静電容量（無負荷時の静電容量）が変化しにくく、静電容量型センサシートとして優れた測定精度を長期間に渡って維持することができる。
更に、カーボンナノチューブとの密着性に優れる点から、ウレタンゴムがより好ましい。

上記ウレタンゴムとしては特に限定されず、オレフィン系ポリオールをポリオール成分とするオレフィン系ウレタンゴム、エステル系ポリオールをポリオール成分とするエステル系ウレタンゴム、エーテル系ポリオールをポリオール成分とするエーテル系ウレタンゴム、カーボネート系ポリオールをポリオール成分とするカーボネート系ウレタンゴム、ひまし油系ポリオールをポリオール成分とするひまし油系ウレタンゴム等が挙げられる。これらは単独で用いても良いし、２種以上併用しても良い。
また、上記ウレタンゴムは、２種以上の上記ポリオール成分を併用したものであってもよい。
これらのなかでは、体積抵抗率が高い点からはオレフィン系ウレタンゴムが好ましく、伸長率が大きく、比誘電率が高い点からはエステル系ウレタンゴムやエーテル系ウレタンゴムが好ましい。
勿論、誘電層に付与すべき、体積抵抗率、伸長率及び誘電率を考慮して各種ウレタンゴムを混合することもできる。

上記オレフィン系ポリオールとしては、例えば、エポール（出光興産株式会社製）等が挙げられる。
また、上記エステル系ポリオールとしては、例えば、ポリライト８６５１（ＤＩＣ株式会社製）等が挙げられる。
また、上記エーテル系ポリオールとしては、例えば、ポリオキシテトラメチレングリコール、ＰＴＧ−２０００ＳＮ（保土谷化学工業株式会社製）、ポリプロピレングリコール、プレミノールＳ３００３（旭硝子株式会社製）等が挙げられる。

また、上記エラストマー組成物はエラストマー以外に、可塑剤、鎖延長剤、架橋剤、触媒、加硫促進剤、酸化防止剤、老化防止剤、着色剤等の添加剤を含有してもよい。

また、上記エラストマー組成物は、更にチタン酸バリウムなどの誘電フィラーを含有してもよい。これにより、静電容量Ｃを大きくすることができ、その結果、静電容量型センサシートの検出感度を高めることができるからである。
上記誘電フィラーを含有する場合、上記エラストマー組成物中におけるその含有量は、通常、０体積％より多く、２５体積％以下程度である。
誘電フィラーの含有量が２５体積％を超えると、誘電層の硬度が高くなったり、永久歪みが大きくなったりすることがある。また、誘電層の成形に際して硬化前の液粘度が高くなるため高精度の薄膜形成が難しくなることがある。

上記誘電層の平均厚さは、静電容量Ｃを大きくして検出感度の向上を図る観点、及び、測定対象物への追従性の向上を図る観点から、１０〜１０００μｍであることが好ましく、３０〜２００μｍであることがより好ましい。

上記誘電層の常温における比誘電率は、２以上が好ましく、５以上がより好ましい。誘電層の比誘電率が２未満であると、静電容量Ｃが小さくなり、静電容量型センサとして使用した際に充分な感度が得られないおそれがある。

上記誘電層のヤング率は、０．１〜１ＭＰａであることが好ましい。ヤング率が０．１ＭＰａ未満であると、誘電層が軟らかすぎ、高品質な加工が難しく、充分な測定精度が得られないことがある。一方、ヤング率が１ＭＰａを超えると、誘電層が硬すぎ、測定対象物の変形荷重が小さい場合に測定対象物の変形動作を阻害してしまい、計測目的に対して計測結果がそぐわないおそれがある。

上記誘電層の硬さは、ＪＩＳ Ｋ ６２５３に準拠したタイプＡデュロメータを用いた硬さ（ＪＩＳ Ａ硬さ）で、０〜３０°であるか、又は、ＪＩＳ Ｋ ７３２１に準拠したタイプＣデュロメータを用いた硬さ（ＪＩＳ Ｃ硬さ）で１０〜５５°が好ましい。
上記Ｃ硬さが１０°未満では、誘電層が軟らかすぎるため高品質な加工が難しく、充分な測定精度を確保することができない場合があり、一方、５５°を超えると、誘電層が硬すぎるため、測定対象物の変形荷重が小さい場合に測定対象物の変形動作を阻害してしまい、計測目的に対して測定結果がそぐわないおそれがある。

＜表側電極層／裏側電極層＞
表側電極層及び裏側電極層は、ともに導電材料を含有する導電性組成物からなる。
上記表側電極層及び裏側電極層は通常同一の材料を用いて形成されるが、必ずしも同一材料を用いる必要はない。
上記導電材料としては、例えば、カーボンナノチューブ、グラフェン、カーボンナノホーン、カーボンファイバー、導電性カーボンブラック、グラファイト、金属ナノワイヤー、金属ナノ粒子、導電性高分子等が挙げられる。これらは単独で用いても良いし、２種以上併用してもよい。
上記導電材料としては、カーボンナノチューブが好ましい。

上記カーボンナノチューブとしては公知のカーボンナノチューブを使用することができ、単層カーボンナノチューブ（ＳＷＮＴ）であってもよいし、２層又は３層以上の多層カーボンナノチューブ（ＭＷＮＴ）であってもよい。
更に、各カーボンナノチューブの形状（平均長さや繊維径、アスペクト比）も特には限定されず、静電容量型センサの使用目的、計測用電極層に要求される導電性や耐久性、更には計測用電極層を形成するための処理や費用を総合的に判断して適宜選択すればよい。

本発明では、カーボンナノチューブとして、特に、（ｉ）直径（繊維径）が小さくアスペクト比が大きい長尺の単層カーボンナノチューブを単独で使用するか、又は、（ｉｉ）単層カーボンナノチューブと多層カーボンナノチューブとの混合物を使用することが好ましい。

（ｉ）直径が小さくアスペクト比が大きい長尺の単層カーボンナノチューブを単独で使用する場合
上記単層カーボンナノチューブの平均長さの下限は、１０μｍが好ましく、１００μｍがより好ましく、３００μｍがさらに好ましく、６００μｍが特に好ましい。一方、上記平均長さの上限は、７００μｍが好ましい。
特に、平均長さが１００〜７００μｍの単層カーボンナノチューブを使用することにより、繰返し使用した際の電気抵抗のバラツキを顕著に抑制することができる。

また、上記カーボンナノチューブのアスペクト比は、１００以上であることが好ましく、１０００以上であることがより好ましく、１００００以上であることが更に好ましく、３００００以上であることが特に好ましい。

長尺の単層カーボンナノチューブを用いることで、計測用電極層（表側電極層／裏側電極層）は優れた伸縮性を発揮し、誘電層の変形に対する追従性を向上させることができる。また、誘電層を繰り返し伸長させた際に、電気抵抗の変動が少ないため長期信頼性にも優れる。この理由は、長尺のカーボンナノチューブの場合、カーボンナノチューブ自体が伸縮しやすく、その結果、計測用電極層が誘電層に追従して伸長した時に導電パスがより切断されにくいためと考えられる。また、カーボンナノチューブを含む導電性組成物を用いて計測用電極層を形成した場合、導電性はカーボンナノチューブ同士が接触する（電気接点を形成する）ことにより発現する。ここで、長尺のカーボンナノチューブを用いた場合、短尺のカーボンナノチューブを用いた場合に比べて、少ない電気接点数で導電性が確保されるとともに、１本のカーボンナノチューブにおける他のカーボンナノチューブとの電気接点数が多くなるためより高次元な電気的ネットワークを形成することができ、このことが導電パスが切断されにくくなる理由と考えられる。

本発明では、長尺のカーボンナノチューブ（長さが長く、アスペクト比の大きいカーボンナノチューブ）を用いることが以下の点からも有利である。
カーボンナノチューブからなる計測用電極層の導電性を向上させる手法としては、一般に、電荷移動材料やイオン液体等の低分子材料をドーパントとして、計測用電極層にコーティング又は混合させる方法が考えられる。しかしながら、本発明の静電容量型センサシートが備える計測用電極層においてドーパントを使用した場合、ドーパントが誘電層や可撓層中に移行することが懸念され、例えば、誘電層中にドーパントが移行した場合、誘電層の絶縁性の低下（体積抵抗率の低下）や、繰り返し使用時の耐久性の低下が懸念され、その結果、測定精度が低下するおそれがある。
これに対し、カーボンナノチューブとして上記のような長尺のカーボンナノチューブを用いた場合には、ドーパントを使用しなくても計測用電極層に充分な導電性を付与することができるのである。

上記長尺の単層カーボンナノチューブは、炭素純度が９９重量％以上であることが好ましい。
不純物を多量に含有する長尺の単層カーボンナノチューブを用いて計測用電極層を形成した場合、計測用電極層の導電性や伸長率が低下することがあり、また、計測用電極層の弾性率が上昇し、センサシートが硬くなり、その伸縮性が低下するおそれがあるからである。

（ｉｉ）単層カーボンナノチューブと多層カーボンナノチューブとの混合物を使用する場合
この場合、計測用電極層において無伸長状態（０％伸長状態）での電気抵抗を低く抑えることができるとともに、繰返し使用した場合における測定結果のバラツキを抑えることができる。
ここで、上記単層カーボンナノチューブとしては、上述した長尺の単層カーボンナノチューブが好ましい。
一方、上記多層カーボンナノチューブは、２層カーボンナノチューブ（ＤＷＮＴ）であっても良いし、３層以上の多層カーボンナノチューブ（ＭＷＮＴ）であってもよい（本明細書では、両者を合わせて単に多層カーボンナノチューブと称する。）。

上記多層カーボンナノチューブの平均長さは、１〜１０μｍが好ましい。多層カーボンナノチューブの平均長さが、１μｍ未満では、導電パス中でのカーボンナノチューブ同士の接触が多くなり、その結果、接触抵抗が増加して導電性が低くなることがあり、一方、１０μｍを超えると、カーボンナノチューブの分散が悪くなり、その結果、導電パスが広がらず導電性が低くなることがある。
より好ましくは１〜５μｍであり、更に好ましくは１〜３μｍである。

上記多層カーボンナノチューブの繊維径は、５〜１５ｎｍが好ましい。
上記繊維径が５ｎｍ未満では、多層カーボンナノチューブの分散が悪くなり、その結果導電パスが広がらず、導電性が不充分になることがあり、一方、１５ｎｍを超えると、同じ重量でもカーボンナノチューブの本数が少なくなり、導電性が不充分になることがある。
また、上記多層カーボンナノチューブのアスペクト比は、５０〜２０００が好ましい。

上記単層カーボンナノチューブと多層カーボンナノチューブとの混合物において、上記単層カーボンナノチューブと上記多層カーボンナノチューブとの合計量に対する、上記単層カーボンナノチューブの含有量は、２０〜７０重量％が好ましい。
上記単層カーボンナノチューブの含有量が２０重量％未満では、繰返し使用した際の測定値のバラツキが大きくなることがあり、一方、上記単層カーボンナノチューブの含有量が７０重量％を超えると、電気抵抗（特に無伸長状態（０％伸長状態）での電気抵抗）が高くなることがある。
上記単層カーボンナノチューブの含有量の下限は、より確実に電気抵抗のバラツキを抑制することができる点から３０重量％が好ましい。

上記導電性組成物は、導電材料以外に、導電材料のつなぎ材料として、バインダー成分を含んでいてもよい。
上記バインダー成分を含有する場合、計測用電極層自体の強度を向上させることができ、計測用電極層の厚さが厚くてもその形状を維持し、計測用電極層に中割れやシワ等が発生することを防止することができる。また、誘電層や可撓層との密着性を向上させることもできる。
さらに、後述した方法で計測用電極層を形成する際に導電材料の飛散を抑制することができるため、計測用電極層形成時の安全性も高めることができる。

上記バインダー成分としては、例えば、ブチルゴム、エチレンプロピレンゴム、ポリエチレン、クロロスルホン化ポリエチレン、天然ゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、ポリスチレン、クロロプレンゴム、ニトリルゴム、ポリメタクリル酸メチル、ポリ酢酸ビニル、ポリ塩化ビニル、アクリルゴム、スチレン−エチレン−ブチレン−スチレンブロック共重合体（ＳＥＢＳ）、エポキシ樹脂等が挙げられる。これらは単独で用いても良いし、２種以上併用してもよい。
また、上記バインダー成分としては、生ゴム（天然ゴム及び合成ゴムの加硫させていない状態のもの）も使用することができ、このように比較的弾性の弱い材料を用いることで、誘電層の変形に対する計測用電極層の追従性も高めることができる。

上記バインダー成分の溶解度パラメータ（ＳＰ値［（ｃａｌ／ｃｍ^３）^１／２］）は、上記エラストマー組成物（Ａ）や、後述するエラストマー組成物（Ｂ１）又は（Ｂ２）に含まれるエラストマーの溶解度パラメータ（ＳＰ値）との差が小さいほど好ましく、±１（ｃａｌ／ｃｍ^３）^１／２以内であることがより好ましい。
溶解度パラメータ（ＳＰ値）の差が±１（ｃａｌ／ｃｍ^３）^１／２以内であれば、誘電層や可撓層と計測用電極層との密着性が極めて優れたものとなり、繰返し使用時に両者の間で剥離が発生せず耐久性（長期信頼性）に優れたものとなるからである。
特に、上記バインダー成分と上記エラストマー組成物（Ａ）、（Ｂ１）又は（Ｂ２）に含まれるエラストマーとは、同種のポリマーであることが好ましい。

本発明において、エラストマー組成物に含まれるエラストマー、及び、上記バインダー成分の溶解度パラメータ（ＳＰ値）は、下記計算式（１）に基づき、Ｆｅｄｏｒｓの推算法により算出した値である。
δ＝［ΣＥｃｏｈ／ΣＶ］^１／２・・・（１）
（式中、ΣＥｃｏｈは凝集エネルギーを、ΣＶはモル分子容を示す。）

上記バインダー成分は、上記バインダー成分自体の物性として、一軸引張りに耐えられる伸長率が３０％以上であることが好ましい。また、バインダー成分自体の物性として、ＪＩＳ Ｋ ６２５３に準拠したタイプＡデュロメータを用いた硬さ（ＪＩＳ Ａ硬さ）で、０〜３０°であるか、又は、ＪＩＳ Ｋ ７３２１に準拠したタイプＣデュロメータを用いた硬さ（ＪＩＳ Ｃ硬さ）で１０〜５５°であることが好ましい。
さらに、上記伸長率及び上記硬さは、誘電層や可撓層の伸長率及び硬さと近似することが好ましいく、同一であることがより好ましい。
特に、上記バインダー成分は、上記エラストマー組成物（Ａ）、（Ｂ１）又は（Ｂ２）に含まれるエラストマーと同一であることが好ましい。

上記計測用電極層は、導電材料やバインダー成分以外に、各種添加剤を含有してもよい。上記添加剤としては、例えばカーボンナノチューブの分散性を高めるための分散剤、バインダー成分のための架橋剤、加硫促進剤、加硫助剤、老化防止剤、可塑剤、軟化剤、着色剤等が挙げられる。
ここで、上記計測用電極層が可塑剤を含有し、かつ、上記エラストマー組成物（Ａ）や（Ｂ１）、（Ｂ２）もまた可塑剤を含有する場合には、両組成物において可塑剤濃度は同一であることが好ましい。誘電層や可撓層と計測用電極層と間での可塑剤の移行を防止し、これにより静電容量型センサシートにおける反りやシワの発生を抑制することができるからである。

上記計測用電極層がカーボンナノチューブを含む導電性組成物からなる場合、上記カーボンナノチューブの含有量は要求される導電性が発現する濃度であれば特に限定されず、計測用電極層の全固形成分に対して０．１〜９９．９重量％であることが好ましい。より好ましくは５．０〜９０．０重量％である。更に好ましくは２０〜７０重量％であり、特に好ましくは２０〜５０重量％である。

また、上記導電性組成物がバインダー成分を含有する場合、上記バインダー成分の含有量は、バインダー成分の種類にもよるが、計測用電極層の全固形成分に対して１０〜９５重量％であることが好ましい。
上記バインダー成分の含有量は、より好ましい下限が３０重量％であり、更に好ましい下限が５０重量％である。一方、より好ましい上限は８０重量％である。この範囲であれば、センサシートの柔軟性や伸縮性を阻害することのない膜厚（例えば、１０μｍ以下）で、十分な導電性を確保することができるとともに、計測用電極層の厚さが厚くなっても（例えば、１μｍ以上）、計測用電極層の層内剥離（計測用電極層の中割れ）をより回避しやすくなるからである。

上記計測用電極層の平均厚さ（表側電極層及び裏側電極層のそれぞれの平均厚さ）は、０．１〜１０μｍであることが好ましい。計測用電極層の平均厚さが上記範囲であることで、計測用電極層が誘電層の変形に対し優れた追従性を発揮することができるからである。
これに対して、上記平均厚さが０．１μｍ未満では、導電性が不足し、測定精度が低下するおそれがあり、一方、１０μｍを超えるとカーボンナノチューブ等に導電材料の補強効果により静電容量型センサシートが硬くなり、測定対象物への追従性が低下し、伸縮等の変形を阻害するおそれがある。
上記計測用電極層の平均厚さは、１〜１０μｍであることがより好ましい。

本発明において、「計測用電極層の平均厚さ」はレーザー顕微鏡（例えば、キーエンス社製、ＶＫ−９５１０）を用いて測定する。
具体的には、誘電層の表面に積層された計測用電極層の厚さ方向を０．０１μｍ刻みでスキャンし、その３Ｄ形状を測定した後、誘電層の表面に計測用電極層が積層されている領域及び積層されていない領域において、それぞれ縦２００×横２００μｍの矩形領域の平均高さを計測し、その平均高さの段差を計測用電極層の平均厚さとする。

上記計測用電極層の透明性（可視光の透過率）は特に限定されず、透明であってもよいし、不透明であってもよい。
本発明の静電容量型センサシートを構成するエラストマー組成物からなる誘電層は、容易に透明な誘電層とすることもでき、上記計測用電極層の透明性を高めることにより、全体として透明な静電容量型センサシートとすることもできる。しかしながら、例えば、カーボンナノチューブを含む導電性組成物を用いて計測用電極層を形成する場合、カーボンナノチューブに対して高度な分散化処理や精製処理等の前処理が必要となり、計測用電極層の形成工程が煩雑となり経済的にも不利となる。
一方、計測用電極層の透明性は静電容量型センサシートとしての性能には影響しない。
そのため、静電容量型センサシートとして透明性が要求される場合には透明な計測用電極層（例えば、可視光（５５０ｎｍ光）透過率が８５％以上）を形成すればよく、そうでない場合には不透明な計測用電極層を形成すればよく、不透明な計測用電極層の方が容易にかつ安価に製造することができる。
なお、透明な静電容量型センサシートとする場合には、可撓層や被覆電極層、オーバーコート層においても透明性（例えば、可視光（５５０ｎｍ光）透過率が８５％以上）を確保する必要がある。

＜表側可撓層／裏側可撓層＞
上記表側可撓層はエラストマー組成物（Ｂ１）からなり、上記裏側可撓層はエラストマー組成物（Ｂ２）からなる。また、上記表側可撓層及び裏側可撓層はともに、その平面視形状が上記誘電層と略同様であり、シート状を有している。
上記エラストマー組成物（Ｂ１）及び（Ｂ２）としては、それぞれ上記エラストマー組成物（Ａ）として例示したエラストマー組成物と同様のエラストマー組成物を用いることができ、その好ましい組成も上記エラストマー組成物（Ａ）と同様である。

上記エラストマー組成物（Ｂ１）と上記エラストマー組成物（Ｂ２）とは同一の組成であっても良いし、異なる組成であってもよい。
また、上記エラストマー組成物（Ｂ１）及び（Ｂ２）は、両方又は一方がエラストマーとしてウレタンゴムを含有することが好ましい。エラストマーがウレタンゴムであるエラストマー組成物からなる可撓層は、計測用電極層や被覆電極層との密着性が極めて良好となるからである。

上記静電容量型センサシートにおいて、誘電層を構成するエラストマー組成物（Ａ）と可撓層を構成するエラストマー組成物（Ｂ１）及び／又は（Ｂ２）とは必ずしも同一である必要はないが、同一であることが好ましい。同一の組成のエラストマー組成物からなる誘電層と可撓層とは計測用電極層を挟んで特に優れた密着性を有するからである。

上記可撓層の平均厚さ（表側可撓層及び裏側可撓層のそれぞれの平均厚さ）は、１〜２００μｍが好ましい。
平均厚さ１μｍ未満の可撓層は、欠陥のなく、均一な層として形成することが困難であり、もし欠陥が生じた場合には、その欠陥を通じて計測用電極層と被覆電極層とが短絡してしまい静電容量型センサシートとして性能を確保することができない場合がある。更に、平均厚さが１μｍ未満では、計測用電極層と被覆電極層との距離が近すぎ、クロストークノイズは充分に除去されるものの、計測用電極層の導電性が不充分となり、結果として静電容量型センサシートの性能が不充分となることがある。特に、高い信号周波数で計測を行った際に計測誤差が大きくなるおそれがある。なお、計測用電極層の導電性が低くなるのは、計測用電極層と被覆電極層との間の静電容量が大きすぎるためである。
一方、上記可撓層の平均厚さが２００μｍを超えると、静電容量型センサシートの柔軟性や伸縮性が低下するとともに、計測用電極層と被覆電極層との距離が遠すぎ、クロストークノイズの除去能力が不充分となることがある。なお、クロストークノイズを充分に除去することができないのは、計測用電極層と被覆電極層との間の静電容量が小さすぎるためである。
勿論、上記可撓層の平均厚さは、上記範囲に限定される訳ではなく、誘電層の比誘電率や厚さ、可撓層の比誘電率、計測用電極層の寸法や本数などのパータン等に応じて適宜設計変更することができる。

＜表側被覆電極層／裏側被覆電極層＞
上記表側被覆電極層及び上記裏側被覆電極層は、ともに導電材料を含有する導電性組成物からなる電極層であり、それぞれ表側可撓層及び裏側可撓層を介して検出部を覆うように形成されている。
上記導電性組成物としては、上記計測用電極層を構成する導電性組成物として例示したものと同様の導電性組成物が挙げられる。

上記被覆電極層（表側被覆電極層及び裏側被覆電極層）もまたカーボンナノチューブを含む導電性組成物からなることが好ましく、導電性組成物の好ましい組成は上記表側電極層や裏側電極層を構成する導電性組成物の好ましい組成と同様である。即ち、カーボンナノチューブとして、（ｉ）直径が小さくアスペクト比が大きい長尺の単層カーボンナノチューブを単独で使用する、又は、（ｉｉ）単層カーボンナノチューブと多層カーボンナノチューブとの混合物を使用する導電性組成物からなることが好ましい。
上記被覆電極層もまた、静電容量型センサシートの変形に追従して変形するため、繰返し変形への耐久性に優れることが求められ、また、クロストークノイズをより確実に除去するために高い導電性が求められるからである。
また、上記被覆電極層を構成する導電性組成物は、上記計測用電極層を構成する導電性組成物と同様、バインダー成分等を含んでいてもよく、この場合、上記バインダー成分は、上記エラストマー組成物（Ｂ１）又は（Ｂ２）や、オーバーコート層に含まれるエラストマーと近いＳＰ値を有するか、同種又は同一のポリマーであることが好ましい。

また、上記表側被覆電極層及び裏側被覆電極層のそれぞれは、上記計測用電極層と同一の導電性組成物で構成されていても良く、異なる導電性組成物で構成されていても良いが、上記表側被覆電極層及び裏側被覆電極層のそれぞれと、上記計測用電極層とは同一の導電性組成物で構成されていることが好ましい。その理由は、上記計測用電極層及び上記被覆電極層は、上記静電容量型センサシートの使用時に、変形により同じ程度の変形範囲や使用回数の変形が加えられることとなるため、静電容量型センサシートの変形レンジの広さや、繰り返し使用回数に対する特性は、計測用電極層と被覆電極層とで同程度であることが好ましいからである（どちらか一方が過剰スペックでも優位ではない）。また、計測用電極層と被覆電極層とが同一の導電性組成物で構成されていることにより、静電容量型センサシートを変形させた際に両者の挙動が類似することとなり、その結果、静電容量型センサシートに計測用電極層及び被覆電極層の変形時の挙動の違いに起因する応力集中等が発生しにくくなる。

上記被覆電極層の平均厚さ（表側被覆電極層及び裏側被覆電極層のそれぞれの平均厚さ）は、０．１〜１０μｍであることが好ましい。被覆電極層の平均厚さが上記範囲であることで、誘電層等の他の層の変形に対し優れた追従性を発揮することができるからである。
これに対して、上記平均厚さが０．１μｍ未満では、導電性の不足により、クロストークを除去する能力が不充分となる恐れがある。特に、高い信号周波数での計測においてクロストークノイズを充分に除去することができない場合がある。
一方、１０μｍを超えるとカーボンナノチューブ等の導電材料による補強効果により静電容量型センサシートが硬くなり、測定対象物への追従性が低下し、伸縮等の変形を阻害するおそれがある。
上記被覆電極層の平均厚さは、１〜１０μｍであることがより好ましい。

＜オーバーコート層＞
上記オーバーコート層は、その平面視形状が上記誘電層と略同様であり、シート状を有している。上記オーバーコート層を備えることにより、被覆電極層等を外部からの衝撃やゴミや埃から保護することができ、また、被覆電極層が外部の部材と導通することを抑制することができる。

上記オーバーコート層を形成する場合、その目的は、被覆電極層の保護に限定されるわけでなく、例えば、着色したオーバーコート層を形成することにより、被覆電極層等を外部から見えなくしたり、また、一部のみ着色することにより静電容量型センサシートに意匠性を付与したりすることもできる。また、オーバーコート層の表面は印字されていてもよい。
また、例えば、オーバーコート層を接着性又は粘着性を有する層とすることで、測定対象物を静電容量型センサシートに貼り付けることができ、また、例えば、オーバーコート層の表面を摩擦係数の低い低μ表面層とすることもできる。

上述したように、オーバーコート層に意匠性を付与する場合（表面に印字する場合）の具体例としては、例えば、本発明の静電容量型センサシートを柔軟で伸縮性を有するタッチパネルの入力インターフェイスとして使用する例が挙げられ、この場合には、例えば、オーバーコート層の表面に入力位置の疑似ボタンやキーボード、製品ロゴ等を印字する。

上記オーバーコート層の表面を印字する場合には、例えば、水性インク、溶剤系インク、ＵＶ硬化インク等を用いて、インクジェット印刷、スクリーン印刷、グラビア印刷等により行えば良い。
より具体的には、例えば、溶剤系インクであれば、主に溶剤、顔料、ビヒクル、及び、更に必要に応じて配合される補助剤からなる従来公知の溶剤系インクを使用すればよい。
ここで、上記溶剤としては、例えば、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、テトラエチレングリコールモノブチルエーテル等のグリコールエーテル系溶剤、γ−ブチロラクトン等のラクトン系溶剤、低沸点芳香族ナフサ、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等が挙げられる。
また、上記顔料としては、カーボンブラック（ブラック）、銅フタロシアニン（シアン）、ジメチルキナクリドン（マゼンタ）、ピグメント・イエロー（イエロー）、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、ニッケル化合物等が挙げられるが、既に、種々の顔料が知られており、勿論上記したものに限定されるわけではない。

上記オーバーコート層の材質は特に限定されず、その形成目的に応じて適宜選択すればよいが、例えば、上記エラストマー組成物（Ａ）として例示したエラストマー組成物と同様のエラストマー組成物に、必要に応じて着色剤（顔料や染料）を配合した組成物等を使用することができる。この場合、オーバーコート層に含まれるエラストマーは、被覆電極層を挟んで対向する可撓層を構成するエラストマー組成物（Ｂ１）又は（Ｂ２）に含まれるエラストマーと同種又は同一のエラストマーであるか、ＳＰ値の近いエラストマーであることが好ましい。オーバーコート層が可撓層との密着性に優れることとなるからである。
なお、本発明の静電容量型センサシートは、上記オーバーコート層を必ずしも備える必要はなく、上記オーバーコート層は本発明の静電容量型センサシートにおいて必須構成要件ではない。
また、本発明の静電容量型センサシートにおいて、オーバーコート層は表側又は裏側のいずれか一方にのみ形成されていてもよい。

上記オーバーコート層の平均厚さは、１〜１００μｍが好ましい。
その理由は、平均厚さ１μｍ未満のオーバーコート層は、欠陥のなく、均一な層として形成することが困難であり、もし欠陥が生じた場合には、その欠陥を通じて計測用電極層や被覆電極層が露出してしまい、これらを保護する役割を果たすことができない場合がある。
一方、上記オーバーコート層の平均厚さが１００μｍを超えると、静電容量型センサシートの柔軟性や伸縮性が低下することがある。
勿論、上記オーバーコート層の平均厚さは上記範囲に限定される訳ではなく、上述の通り、オーバーコート層には、印字された表面としたり、接着性や低μ性の表面とする等の付加機能を付与することが可能であるため、上記付加機能に応じて適宜設計変更することができる。

＜検出部：図１中、Ｃ０１０１〜Ｃ１６１６＞
検出部Ｃ０１０１〜Ｃ１６１６は、図１にハッチングで示すように、表側電極層０１Ａ〜１６Ａと、裏側電極層０１Ｂ〜１６Ｂとが誘電層の表裏方向（厚さ方向）に交差する部分（重複する部分）に配置されている。検出部Ｃ０１０１〜Ｃ１６１６は、静電容量型センサシート１では、合計２５６個（＝１６個×１６個）配置されている。検出部Ｃ０１０１〜Ｃ１６１６は、静電容量型センサシート１の略全面に亘って、略等間隔に配置されている。検出部Ｃ０１０１〜Ｃ１６１６は、それぞれ表側電極層０１Ａ〜１６Ａの一部と、裏側電極層０１Ｂ〜１６Ｂの一部と、誘電層２の一部とを備えている。

このような構成からなる本発明の静電容量型センサシートでは、測定対象物との接触により変形する前の静電容量Ｃと変形した後の静電容量Ｃから静電容量の変化量ΔＣを検出し、伸縮変形歪み量や伸縮変形歪み分布、面圧分布を求めることができる。
また、本発明の静電容量型センサシートは、伸長率が高く、１軸方向に３０％以上繰り返し伸長させることが可能であり、柔軟な測定対象物の変形や動作に追従することが可能で、かつ伸縮変形や繰り返し変形に対する耐久性に優れ、例えば測定対象物の形をトレースしたり、測定対象物の動きを直接的に検知したりすること等ができる。

（他の実施形態）
本発明の静電容量型センサシートの構成は、図１及び２に示した静電容量型センサシートの構成に限定されるわけではなく、例えば、図４に示したような構成を備えていてもよい。
図４は、本発明の静電容量型センサシートの別の一例を模式的に示す断面図である。

図４に示す静電容量型センサシート２０１は、誘電層２の片面側（表面側）にのみ被覆電極層４Ａ（表側被覆電極層４Ａ）が設けられている点で、図１及び２に示した静電容量型センサシート１と異なる。なお、静電容量型センサシート２０１の構成は、裏側可撓層３Ｂ及び裏側被覆電極層４Ｂが形成されていない以外は、図１及び２に示した静電容量型センサシート１と同一である。
このように、本発明の静電容量型センサシートでは片面側にのみ被覆電極層が形成されていてもよく、この場合も同様の効果を奏し、その目的を達成することができる。
なお、静電容量型センサシート２０１では表側被覆電極層のみが形成されているが、静電容量型センサシートにおいて、片面側にのみ被覆電極層が形成されている場合には、裏側被覆電極層のみが形成されていてもよい。

本発明の静電容量型センサシートは、上述したように、表側被覆電極層及び裏側被覆電極層の両方を備えていても良いし、いずれか一方のみを備えていてもよい。
ここで、両方を備えるか、又は、いずれか一方のみを備えるかは、静電容量型センサシートに要求される特性を考慮して適宜選択すればよい。
具体的には、クロストークノイズによる静電容量の上乗せをより確実に除去することができる点、及び、センサシートとしての測定精度により優れる点、からは表側被覆電極層及び裏側被覆電極層の両方を備えることが好ましく、一方、被覆電極層を形成しつつ計測用電極層の導電性を維持しやすい点、静電容量型センサシートの柔軟性を確保しやすい点、及び、静電容量型センサシートの薄型化を達成しやすい点、からは表側被覆電極層及び裏側被覆電極層のいずれか一方を備えることが好ましい。

本発明の静電容量型センサシートの構成は、図５に示すような構成を備えたものであってもよい。
図５（ａ）は、本発明の静電容量型センサシートの別の一例を模式的に示す上面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
図５に示す静電容量型センサシート３０１は、シート状の誘電層３０２と、誘電層３０２の表面に積層された帯状の表側電極層０１Ｄ〜１６Ｄと、誘電層３０２の裏面に積層された帯状の裏側電極層０１Ｅ〜１６Ｅと、表側電極層０１Ｄ〜１６Ｄの一端と接続され、誘電層３０２の外縁部まで延設された表側配線０１ｄ〜１６ｄと、裏側電極層０１Ｅ〜１６Ｅの一端と接続され、誘電層３０２の外縁部まで延設された裏側配線０１ｅ〜１６ｅとを備える。
また、表側電極層０１Ｄ〜１６Ｄ上には表側可撓層３０３Ａを介して積層された表側被覆電極層３０４Ａを、裏側電極層０１Ｅ〜１６Ｅ上には裏側可撓層３０３Ｂを介して積層された裏側被覆電極層３０４Ｂを備え、さらに、表側被覆電極層３０４Ａ上及び裏側被覆電極層３０４Ｂ上のそれぞれにはオーバーコート層３０５Ａ、３０５Ｂが積層されている。

そして、静電容量型センサシート３０１においても、表側電極層０１Ｄ〜１６Ｄと裏側電極層０１Ｅ〜１６Ｅとが表裏方向（誘電層の厚さ方向）で交差する部分が検出部Ｆ０１０１〜Ｆ１６１６となる。なお、検出部の符号「Ｆ○○△△」中、上２桁の「○○」は、表側電極層０１Ｄ〜１６Ｄに対応し、下２桁の「△△」は、裏側電極層０１Ｅ〜１６Ｅに対応する。

表側電極層０１Ｄ〜１６Ｄは、それぞれ帯状を呈しており、誘電層３０２の表面に合計１６本積層されている。表側電極層０１Ｄ〜１６Ｄは、それぞれＸ方向（図５（ａ）中、左右方向）に延在している。表側電極層０１Ｄ〜１６Ｄは、それぞれＹ方向（図５（ｂ）中、上下方向）に所定間隔ごとに離間して、互いに略平行となるようにそれぞれ配置されている。表側電極層０１Ｄ〜１６Ｄの左端には、それぞれＹ方向に延設された線状の表側配線０１ｄ〜１６ｄが接続されている。表側配線０１ｄ〜１６ｄの他端は誘電層３０２の外縁部まで延在している。

裏側電極層０１Ｅ〜１６Ｅは、それぞれ帯状を呈しており、誘電層３０２の裏面に合計１６本積層されている。裏側電極層０１Ｅ〜１６Ｅは、それぞれ表側電極層０１Ｄ〜１６Ｄと表裏方向から見て略直角に交差するように配置されている。すなわち、裏側電極層０１Ｅ〜１６Ｅは、それぞれＹ方向に延在している。また、裏側電極層０１Ｅ〜１６Ｅは、Ｘ方向に所定間隔ごとに離間して、互いに略平行となるようにそれぞれ配置されている。裏側電極層０１Ｅ〜１６Ｅの一端（上端）には、それぞれＸ方向に延設された線状の裏側配線０１ｅ〜１６ｅが接続されている。裏側配線０１ｅ〜１６ｅの他端は誘電層３０２の外縁部まで延在している。

このような静電容量型センサシート３０１において、上記表側配線及び裏側配線を構成する材料としては特に限定されず、従来公知の電気配線に使用される材料を用いることができるが、上述した計測用電極層と同一の構成のものとすることで各配線（表側配線及び裏側配線）も伸縮変形でき、測定対象物によるセンサシートの変形を阻害しないため好ましい。
より具体的には、計測用電極層を形成する材料と同様の材料を用いて、線幅を細く、かつ、厚さが厚くなるように上記表側配線及び裏側配線を形成することにより、充分な導電性を確保しつつ、センサシートの伸縮性を損なわず追従することができ、計測用電極層と同様に繰返し伸張に耐えられる配線とすることができる。
これに対し、例えば、上記表側配線及び裏側配線が金属材料を用いて形成された場合には、配線を形成した部分の伸縮性が損なわれるおそれがあるため不利である。

なお、表側配線０１ｄ〜１６ｄの他端及び裏側配線０１ｅ〜１６ｅの他端のそれぞれは、図示していないが、金属製の接点を有するコネクタと接続されており、このコネクタを介して外部配線と接続することができる。

このような構成からなる静電容量型センサシート３０１もまた、図１、２に示した静電容量型センサシート１と同様、表側電極層と裏側電極層のそれぞれを外部配線を介して計測手段と接続することにより静電容量型センサとなる。

更に、本発明は上記実施態様の他、種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。
例えば、図１、２に示した実施形態における静電容量型センサシート１では、表側電極層０１Ａ〜１６Ａ及び裏側電極層０１Ｂ〜１６Ｂの配置数を１６個としているが、この配置数は特に限定されない。また、上記実施形態における表側電極層０１Ａ〜１６Ａと裏側電極層０１Ｂ〜１６Ｂの交差角度も特に限定されない。

また、図１、２に示した実施形態における静電容量型センサシート１では、表側被覆電極層４Ａ及び裏側被覆電極層４Ｂがともに、被覆電極層を形成する領域全体がベタ塗りされた形状の電極層であるが、本発明の静電容量型センサシートにおける被覆電極層は、検出部を覆うように形成されていれば、例えば、平面視形状が格子状の電極層であってもよい。
なお、上記静電容量型センサシートが、表側被覆電極層及び裏側被覆電極層を備える場合、両者の形状は同一であってもよいし、異なっていてもよい。

次に、本発明の静電容量型センサシートの製造方法について説明する。
ここでは、図１、２に示した静電容量型センサシート１を例にその製造方法を説明する。
上記静電容量型センサシートは、例えば、
（１）誘電層、表側可撓層、裏側可撓層及びオーバーコート層をそれぞれ別々に形成する工程（以下、「工程（１）」ともいう）、
（２）カーボンナノチューブ等の導電材料及び分散媒等を含む電極層形成用塗布液を調製する工程（以下、「工程（２）」ともいう）、及び、
（３）誘電層、表側可撓層、裏側可撓層及びオーバーコート層を所定の順序で積層しつつ、所定の時期に電極層形成用塗布液を塗布、乾燥させることにより、電極層（計測用電極層又は被覆電極層）の形成を行う工程（以下、「工程（３）」ともいう）
を経ることより製造することができる。
以下、工程順に説明する。

［工程（１）］
本工程では、誘電層、可撓層（表側可撓層、裏側可撓層）及びオーバーコート層をそれぞれ別々に形成する。上記誘電層、上記可撓層及び上記オーバーコート層はいずれもエラストマーを含有する原料組成物をシート状に成形することにより形成することができる。
まず、原料組成物としてエラストマー（又はその原料）に、必要に応じて、誘電フィラー、可塑剤、鎖延長剤、架橋剤、加硫促進剤、触媒、酸化防止剤、老化防止剤、着色剤等の添加剤を配合した組成物を調製する。

上記原料組成物の調製方法、及び、シート状物の成形方法としては特に限定されず、従来公知の方法を用いることができる。
具体的には、エラストマーがウレタンゴムである場合には、例えば、ポリオール成分、可塑剤及び酸化防止剤を計量し、加熱、減圧下において一定時間撹拌混合し、混合液を調製する。次に、混合液を計量し、温度を調整した後、触媒を添加しアジター等で撹拌する。その後、所定量のイソシアネート成分を添加し、アジター等で撹拌後、即座に混合液を図６に示す成形装置に注入し、保護フィルムでサンドイッチ状にして搬送しつつ架橋硬化させ、保護フィルム付きの所定厚みのロール巻シートを得る。そのあと、必要に応じて、さらに炉で一定時間架橋反応（後架橋）させることで、誘電層、可撓層（表側可撓層、裏側可撓層）及びオーバーコート層のいずれかとなるシート状物を製造することができる。

なお、図６は、シート状物の作製に使用する成形装置の一例を説明するための模式図である。図６に示した成形装置３０では、原料組成物３３を、離間して配置された一対のロール３２、３２′から連続的に送り出されるポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）製の保護フィルム３１の間隙に流し込み、その間隙に原料組成物３３を保持した状態で硬化反応（架橋反応）を進行させつつ、加熱装置３４内に導入し、原料組成物３３を一対の保護フィルム３１間で保持した状態で熱硬化させ、シート状物を成形する。

また、エラストマーがアクリルゴムである場合には、例えば、アクリル酸エステルと光重合開始剤とを混合した後、ＵＶ光を照射してプレポリマーを調製し、その後、このプレポリマーに、アクリル酸等の鎖延長剤とトリメチロールプロパントリグリシジルエーテル等の架橋剤とを混合し、得られた混合物を加熱装置３４に代えてＵＶ照射装置を備える以外は図６に示した成形装置３０と同様の構成を備えた成形装置に投入し、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）製の保護フィルムの間隙に混合物を保持した状態でＵＶ光を照射して架橋させ、シート状物を成形すればよい。

また、エラストマーがＥＰＤＭの場合には、例えば、ＥＰＤＭと架橋剤とを混合した後、プレス成型することによりシート状物を製造することができる。
また、エラストマーがシリコーンゴムである場合には、シリコーンゴムと架橋剤とを混合した後、得られた混合物を図６に示した成形装置に投入し、硬化させることにより誘電層を製造することができる。

また、上記シート状物は、原料組成物を調製した後、各種コーティング装置、バーコート、ドクターブレードなどの汎用の成膜装置や成膜方法を用いて形成してもよい。

［工程（２）］
本工程では、カーボンナノチューブ等の導電材料及び分散媒等を含む電極層形成用塗布液を調製する。
具体的には、まず、導電材料をトルエン等の分散媒に添加する。このとき、必要に応じて、バインダー成分（又はその原料）、分散剤、その他各種添加剤等を添加してもよい。
次に、導電材料を含む各成分を湿式分散機を用いて分散媒中に分散（又は溶解）させることより電極層形成用塗布液を調製する。ここでは、例えば、超音波分散機、ジェットミル、ビーズミル、スターラーなど既存の分散機を用いて分散させればよい。

上記電極層形成用塗布液の調製において、上記分散媒は、トルエンに限定されるわけではなく、これ以外にも、例えば、メチルイソブチルケトン（ＭＩＢＫ）、アルコ−ル類、水等が挙げられる。これらの分散媒は、単独で用いてもよいし、２種以上併用してもよい。

また、上記導電材料がカーボンナノチューブの場合、上記電極層形成用塗布液におけるカーボンナノチューブの濃度は、０．０１〜１０重量％が好ましい。
０．０１重量％未満では、カーボンナノチューブの濃度が薄すぎて繰返し塗布する必要が生じる場合があり、一方、１０重量％を超えると、塗布液の粘度が高くなりすぎ、また再凝集によりカーボンナノチューブの分散性が低下し、均一な電極層（計測用電極層、被覆電極層）を形成することが困難となる場合がある。

また、上記カーボンナノチューブとして、単層カーボンナノチューブと多層カーボンナノチューブとの混合物を使用する場合には、（ａ）単層カーボンナノチューブと多層カーボンナノチューブとを別々の分散媒に添加し、湿式分散機を用いてそれぞれの分散媒中に分散（又は溶解）させた後、単層カーボンナノチューブの分散液と多層カーボンナノチューブの分散液とを混合して塗布液としても良いし、（ｂ）単層カーボンナノチューブと多層カーボンナノチューブとを１つの分散媒に同時に添加し、湿式分散機を用いて分散媒中に分散（又は溶解）させて塗布液としても良い。

［工程（３）］
本工程では、誘電層、表側可撓層、裏側可撓層及びオーバーコート層を所定の順序で積層しつつ、所定の時期に電極層形成用塗布液を塗布、乾燥させることにより、電極層（表側電極層、裏側電極層、表側被覆電極層又は裏側被覆電極層）の形成を行う。
具体的には、例えば、
（３−１）工程（１）で形成したオーバーコート層（完成品において裏側のオーバーコート層５Ｂとなる）の片面の所定の位置に、エアブラシ等を用い、工程（２）で調製した電極層形成用塗布液を塗布して乾燥させることにより、裏側被覆電極層を形成する。このとき、必要に応じて、裏側被覆電極層を形成しない位置をマスキングしてから塗布液を塗布してもよい。
上記塗布液の乾燥条件は特に限定されず、分散媒の種類等に応じて適宜選択すればよい。
また、上記塗布液を塗布する方法は、エアブラシを用いた方法に限定されるわけではなく、その他、スクリーン印刷法、インクジエット印刷法等も採用することができる。

（３−２）裏側被覆電極層を形成したオーバーコート層上に、金属製のハンドローラ等を用いて裏側可撓層をラミネートし、オーバーコート層との間で裏側被覆電極層を挟むように裏側可撓層を積層する。

（３−３）上記裏側可撓層の表面の所定の位置に所定の形状（帯状）で上記電極層形成用塗布液を塗布して乾燥させ、裏側電極層を形成する。上記裏側電極層は、例えば、幅は１ｍｍ〜２０ｍｍ程度、長さは５０ｍｍ〜５００ｍｍ程度であり、１ｍｍ〜５ｍｍ程度の間隔で離間して、互いに略平行となるように形成する。このとき、必要に応じて、裏側可撓層表面の裏側電極層を形成しない位置をマスキングしてから塗布液を塗布してもよい。
ここで、上記電極層形成用塗布液の塗布方法や乾燥条件としては、上記（３―１）と同様の方法を採用することができる。

（３−４）上記裏側電極層を形成した裏側可撓層上に、金属製のハンドローラ等を用いて誘電層をラミネートし、裏側可撓層との間で裏側電極層を挟むように誘電層を積層する。

（３−５）上記誘電層の表側の表面の所定の位置に所定の形状（帯状）で上記電極層形成用塗布液を塗布して乾燥させ、表側電極層を形成する。ここで、上記表側電極層を形成する方法としては、上記（３−３）で裏側電極層を形成した方法と同様の方法を採用することができる。

（３−６）上記表側電極層を形成した誘電層上に、金属製のハンドローラ等を用いて表側可撓層をラミネートし、誘電層との間で表側電極層を挟むように表側可撓層を積層する。続いて、上記表側可撓層の表面に上記（３−１）と同様の方法を用いて、表側被覆電極層を形成する。

（３−７）上記表側被覆電極層を形成した表側可撓層上に、金属製のハンドローラ等を用いてオーバーコート層をラミネートし、表側可撓層との間で表側被覆電極層を挟むようにオーバーコート層（完成品において表側のオーバーコート層５Ａとなる）を積層する。

このような工程を経ることに図１、２に示した構成の静電容量型センサシートを製造することができる。ここまで、説明した静電容量型センサシートの製造方法は、図２に分解斜視図で示した各構成部材を下から順に積層する方法である。
また、例えば、図４に示したような片側にのみ被覆電極層を備えた静電容量型センサシートを製造する場合には、裏面被覆電極層及び裏面可撓層を形成する工程を削除すればよい。

また、上述した製造方法において、電極層（計測用電極層及び被覆電極層）を形成する前に、電極層とオーバーコート層、可撓層又は誘電層との密着性を高めるべく、オーバーコート層、可撓層、誘電層の表面に前処理を施してもよいが、導電材料としてカーボンナノチューブを含有する電極層形成用塗布液を使用する場合、カーボンナノチューブは、誘電層等のシート状物と極めて優れた密着性を有しているため、何ら前処理を施すことなく充分な密着性を確保することができる。なお、この密着性はファンデルワールス力によるものと推測している。

また、誘電層、可撓層又はオーバーコート層をラミネートする場合、予め被ラミネート層の表面にプライマー溶液を塗布しておいてもよい。
上記プライマー溶液としては、例えば、上記エラストマー組成物（Ａ）のトルエン希釈液等が挙げられる。

また、上記静電容量型センサシートは下記の方法等によっても製造することができる。
例えば、上述した方法により誘電層、可撓層（表側可撓層、裏側可撓層）及びオーバーコート層をそれぞれ作製した後、誘電層の表面には表側電極層及び裏側電極層を、表側可撓層の表面には表側被覆電極層を、裏側可撓層の表面には裏側被覆電極層を、それぞれ予め形成した後、表側電極層及び裏側電極層が形成された誘電層と、表側被覆電極層が形成された表側可撓層と、裏側被覆電極層が形成された裏側可撓層と、オーバーコート層とを所定の順で積層することにより静電容量型センサシートを製造してもよい。
また、例えば、上述した方法により誘電層、可撓層（表側可撓層、裏側可撓層）及びオーバーコート層をそれぞれ作製した後、オーバーコート層には被覆電極層（表側被覆電極層及び裏側被覆電極層のいずれか）を、表側可撓層には表側電極層を、裏側可撓層には裏側電極層を先に形成した後、表側被覆電極層又は裏側被覆電極層が形成されたオーバーコート層と、表側電極層又は裏側電極層が形成された可撓層と、誘電層とを所定の順で積層することにより静電容量型センサシートを製造してもよい。
即ち、上記静電容量型センサシートを製造する場合には、各電極層（表側電極層、裏側電極層、表側被覆電極層又は裏側被覆電極層）を、それと接する誘電層、可撓層及びオーバーコート層のいずれかに予め形成した後、各層を所定の順で積層してもよい。

また、予め作製しておいたシート状物を所定の順序でラミネートしていく方法に代えて、シート状物の原料組成物を各種コーティング装置、バーコート、ドクターブレードなどの汎用の成膜装置や成膜方法を用いて順次積層していく方法で静電容量型センサシートを製造してもよい。

以下、実施例によって本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。

＜誘電層の作製＞
水添水酸基末端液状ポリオレフィンポリオール（エポール、出光興産株式会社製）１００質量部、アルキル置換ジフェニルエーテルを主成分とした高温用潤滑油（モレスコハイルーブＬＢ−１００、ＭＯＲＥＳＣＯ社製）１００質量部を計量し、自転公転ミキサー（ＴＨＩＮＫＹ社製）を用いて２０００ｒｐｍで３分間撹拌混合した。次に、得られた混合物に触媒（Ｆｏｍｒｅｚ ｃａｔａｌｙｓｔ ＵＬ−２８、Ｍｏｍｅｎｔｉｖｅ社製）０．０７質量部を添加し、自転公転ミキサーで１．５分間撹拌した。その後、イソホロンジイソシアネート（デスモジュールＩ、住化バイエルウレタン社製）１１質量部を添加し、自転公転ミキサーで３分間撹拌し、１．５分間脱泡し、誘電層用の原料組成物を調製した後、これを図６に示した成形装置３０に注入し、保護フィルムでサンドイッチ状にして搬送しつつ、炉内温度１１０℃、炉内時間３０分間の条件で架橋硬化させ、保護フィルム付きの所定厚みのロール巻シートを得た。その後、８０℃に調節した炉で１２時間後架橋させたのち裁断し、オレフィン系ウレタンゴムを含むエラストマー組成物からなる１５０ｍｍ×１５０ｍｍ×厚さ５０μｍの誘電層を作製した。

また、作製した誘電層について、破断時伸び（％）及び比誘電率を測定したところ、破断時伸び（％）は２１８％、比誘電率は２．９であった。
ここで、破断時伸びは、ＪＩＳ Ｋ ６２５１に準拠して測定した。
比誘電率は、２０ｍｍΦの電極でシート状の測定試料（誘電層）を挟み、ＬＣＲハイテスタ（日置電機社製、３５２２−５０）を用いて計測周波数１ｋＨｚで静電容量を測定し、電極面積と測定試料の厚さから算出した。

＜電極層材料の調製＞
（１）単層カーボンナノチューブ分散液
単層カーボンナノチューブとして、スーパーグロースＣＮＴ（繊維径の中央値が約３ｎｍ、成長長さ５００μｍ〜７００μｍ、アスペクト比約１００，０００、炭素純度９９．９％、産業技術総合研究所提供）５０ｍｇをメチルイソブチルケトン２４．９５ｇに添加し、ジェットミル（ナノジェットパル ＪＮ１０−ＳＰ００３、常光社製）を用いて湿式分散処理を施し、さらにメチルイソブチルケトン２５ｇを添加し、濃度０．１重量％の単層カーボンナノチューブ分散液を得た。
なお、カーボンナノチューブの成長長さとは、カーボンナノチューブを作製する際に成長基板上で成長したフォレストの高さをいい、実質的にカーボンナノチューブの平均長さに相当する。

（２）多層カーボンナノチューブ分散液
多層カーボンナノチューブとして、ナノシル社製、ＮＣ７０００（繊維径９．５ｎｍ、平均長さ１．５μｍ、アスペクト１５８、炭素純度９０％）５０ｍｇをメチルイソブチルケトン２４．９５ｇに添加し、ジェットミル（ナノジェットパル ＪＮ１０−ＳＰ００３、常光社製）を用いて湿式分散処理を施し、さらにメチルイソブチルケトン２５ｇを添加し、濃度０．１重量％の多層カーボンナノチューブ分散液を得た。

（３）カーボンナノチューブ塗布液
上記単層カーボンナノチューブ分散液と上記多層カーボンナノチューブ分散液とを３０：７０（重量比）で混合し、単層カーボンナノチューブ及び多層カーボンナノチューブの混合物からなるカーボンナノチューブ塗布液とした。

＜可撓層の作製＞
上述した誘電層の作製と同様の方法を用いて、オレフィン系ウレタンゴムを含むエラストマー組成物からなる層厚５０μｍの表側可撓層及び裏側可撓層を作製した。

＜オーバーコート層の作製＞
上述した誘電層の作製と同様の方法を用いて、オレフィン系ウレタンゴムを含むエラストマー組成物からなる層厚５０μｍのオーバーコート層を作製した。

＜プライマー溶液の調製＞
誘電層用の原料組成物と同配合の組成物をトルエンに溶解した０．１重量％トルエン溶液を調製し、これをプライマー溶液とした。

（実施例１）
ここでは、下記の方法により、表側電極層及び裏側電極層における帯状電極の本数は異なるものの、図１、２に示した静電容量型センサシートと同様の層構成の静電容量型センサシートを作製した。
（１）オーバーコート層の片面に、上記カーボンナノチューブ塗布液（電極層材料）をエアブラシで塗布して乾燥させ、１３７ｍｍ×１３７ｍｍ×厚さ１μｍの裏側被覆電極層を形成した。その後、裏側被覆電極層の１辺の端部に銅箔を貼り付けて被覆電極用接続部を形成した。

（２）次に、プライマー溶液８ｇを裏側被覆電極層上にエアブラシで塗布し、１００℃で３０分間乾燥させた。その後、裏側被覆電極層を形成したオーバーコート層の裏側被覆電極層を形成した側に、上記裏側可撓層を金属製ハンドローラを用いてラミネートし、オーバーコート層との間で裏側被覆電極層を挟むように裏側可撓層を積層した。

（３）裏側可撓層の表面に、上記カーボンナノチューブ塗布液（電極層材料）をエアブラシで塗布して乾燥させ、裏側電極層を形成した。裏側電極層は互いに平行に配置された帯状の電極層であり、平均厚さが約１μｍ、幅が１０ｍｍ、長さが１４０ｍｍのものを、５ｍｍ間隔で８本形成した。その後、各帯状電極の端部に銅箔を貼り付け裏側接続部を形成した。

（４）次に、プライマー溶液８ｇを裏側電極層上にエアブラシで塗布し、１００℃で３０分間乾燥させた。その後、裏側電極層を形成した裏側可撓層の裏側電極層を形成した側に、上記誘電層を金属製ハンドローラを用いてラミネートし、可撓層との間で裏側電極層を挟むように誘電層を積層した。

（５）誘電層の表面に、上記カーボンナノチューブ塗布液（電極層材料）をエアブラシで塗布して乾燥させ、表側電極層を形成した。表側電極層は裏側電極層と直交し、かつ、互いに平行に配置された帯状の電極層であり、平均厚さが約１μｍ、幅が１０ｍｍ、長さが１４０ｍｍのものを、５ｍｍ間隔で８本形成した。その後、各帯状電極の端部に銅箔を貼り付け表側接続部を形成した。

（６）次に、プライマー溶液８ｇを表側電極層上にエアブラシで塗布し、１００℃で３０分間乾燥させた。その後、表側電極層を形成した誘電層の表側電極層を形成した側に、上記表側可撓層を金属製ハンドローラを用いてラミネートし、誘電層との間で表側電極層を挟むように表側可撓層を積層した。

（７）表側可撓層の表面に、上記カーボンナノチューブ塗布液（電極層材料）をエアブラシで塗布して乾燥させ、１３７ｍｍ×１３７ｍｍ×厚さ１μｍの表側被覆電極層を形成した。その後、表側被覆電極層の１辺の端部に銅箔を貼り付け被覆電極用接続部を形成した。

（８）次に、プライマー溶液８ｇを表側被覆電極層上にエアブラシで塗布し、１００℃で３０分間乾燥させた。その後、表側被覆電極層を形成した表側可撓層の表側被覆電極層を形成した側に、上記オーバーコート層を金属製ハンドローラを用いてラミネートし、表側可撓層との間で表側被覆電極層を挟むようにオーバーコート層を積層し、誘電層を挟んだ両側に被覆電極層（表側被覆電極層及び裏側被覆電極層）を備えた静電容量型センサシートを完成した。

（実施例２）
ここでは、オーバーコート層を出発材料とし、誘電層の片側にのみ被覆電極層を形成した以外は実施例１と同様の構成の静電容量型センサシートを作製した。
（１）オーバーコート層の表面に、上記カーボンナノチューブ塗布液（電極層材料）をエアブラシで塗布して乾燥させ、裏側電極層を形成した。裏側電極層は互いに平行に配置された帯状の電極層であり、平均厚さが約１μｍ、幅が１０ｍｍ、長さが１４０ｍｍのものを、５ｍｍ間隔で８本形成した。その後、各帯状電極の端部に銅箔を貼り付け裏側接続部を形成した。

（２）次に、プライマー溶液８ｇを裏側電極層上にエアブラシで塗布し、１００℃で３０分間乾燥させた。その後、裏側電極層を形成したオーバーコート層の裏側電極層を形成した側に、上記誘電層を金属製ハンドローラを用いてラミネートし、オーバーコート層との間で裏側電極層を挟むように誘電層を積層した。

（３）誘電層の表面に、上記カーボンナノチューブ塗布液（電極層材料）をエアブラシで塗布して乾燥させ、表側電極層を形成した。表側電極層は裏側電極層と直交し、かつ、互いに平行に配置された帯状の電極層であり、平均厚さが約１μｍ、幅が１０ｍｍ、長さが１４０ｍｍのものを、５ｍｍ間隔で８本形成した。その後、各帯状電極の端部に銅箔を貼り付け表側接続部を形成した。

（４）次に、プライマー溶液８ｇを表側電極層上にエアブラシで塗布し、１００℃で３０分間乾燥させた。その後、表側電極層を形成した誘電層の表側電極層を形成した側に、上記表側可撓層を金属製ハンドローラを用いてラミネートし、誘電層との間で表側電極層を挟むように表側可撓層を積層した。

（５）表側可撓層の表面に、上記カーボンナノチューブ塗布液（電極層材料）をエアブラシで塗布して乾燥させ、１３７ｍｍ×１３７ｍｍ×厚さ１μｍの表側被覆電極層を形成した。その後、表側被覆電極層の１辺の端部に銅箔を貼り付け被覆電極用接続部を形成した。

（６）次に、プライマー溶液８ｇを表側被覆電極層上にエアブラシで塗布し、１００℃で３０分間乾燥させた。その後、表側被覆電極層を形成した表側可撓層の表側被覆電極層を形成した側に、上記オーバーコート層を金属製ハンドローラを用いてラミネートし、表側可撓層との間で表側被覆電極層を挟むようにオーバーコート層を積層し、誘電層の片側にのみ被覆電極層を備えた静電容量型センサシートを完成した。

（比較例１）
ここでは、被覆電極層を備えていない静電容量型センサシートを作製した。
（１）オーバーコート層の表面に、上記カーボンナノチューブ塗布液（電極層材料）をエアブラシで塗布して乾燥させ、裏側電極層を形成した。裏側電極層は互いに平行に配置された帯状の電極層であり、平均厚さが約１μｍ、幅が１０ｍｍ、長さが１４０ｍｍのものを、５ｍｍ間隔で８本形成した。その後、各帯状電極の端部に銅箔を貼り付け裏側接続部を形成した。

（２）次に、プライマー溶液８ｇを裏側電極層上にエアブラシで塗布し、１００℃で３０分間乾燥させた。その後、裏側電極層を形成したオーバーコート層の裏側電極層を形成した側に、上記誘電層を金属製ハンドローラを用いてラミネートし、オーバーコート層との間で裏側電極層を挟むように誘電層を積層した。

（３）誘電層の表面に、上記カーボンナノチューブ塗布液（電極層材料）をエアブラシで塗布して乾燥させ、表側電極層を形成した。表側電極層は裏側電極層と直交し、かつ、互いに平行に配置された帯状の電極層であり、平均厚さが約１μｍ、幅が１０ｍｍ、長さが１４０ｍｍのものを、５ｍｍ間隔で８本形成した。その後、各帯状電極の端部に銅箔を貼り付け表側接続部を形成した。

（４）次に、プライマー溶液８ｇを表側電極層上にエアブラシで塗布し、１００℃で３０分間乾燥させた。その後、表側電極層を形成した誘電層の表側電極層を形成した側に、上記オーバーコート層を金属製ハンドローラを用いてラミネートし、誘電層との間で表側電極層を挟むようにオーバーコート層を積層し、静電容量型センサシートを完成した。

（評価１：被覆電極層の有無による静電容量計測への影響）
実施例１、２及び比較例１で作製した各静電容量型センサシートにつき、センサシートの４辺を剛体フレームで固定した後、表側接続部及び裏側接続部のそれぞれを、リード線、端子台及びＤＩＰスイッチを介してＬＣＲメータ（日置電機株式会社製、ＬＣＲハイテスタ３５２２−５０）と接続し、被覆電極用接続部をリード線を介してＬＣＲメータのＧＮＤ端子と接続し、静電容量型センサとした。
比較例１の静電容量型センサシートを用いて作製した静電容量型センサの実物写真を図７（ａ）に示した。

上記静電容量型センサにつき、初期状態（未変形状態）における各検出部の静電容量を測定した。結果を３次元グラフにプロットした。
次に、図７（ｂ）に示すように、センサシートの２箇所を先端にシリコーン樹脂製の球状（直径１０ｍｍ）の当接部を備えたガラス棒で下側から押し込み、センサシートを変形させ、その状態における各検出部の静電容量を測定した。結果を３次元グラフにプロットした。なお、ガラス棒の押し込み量は、１２．７ｍｍとした。

（結果）
図８には実施例１の静電容量型センサシートを用いた静電容量型センサの評価結果を、図９には実施例２の静電容量型センサシートを用いた静電容量型センサの評価結果を、図１０には比較例１の静電容量型センサシートを用いた静電容量型センサの評価結果を、それぞれ３次元グラフで示した。
図８〜１０のそれぞれにおいて、（ａ）は初期状態（未変形状態）における各検出部の静電容量を示し、（ｂ）はセンサシートを変形させた際の各検出部の静電容量を示し、（ｃ）はセンサシートを変形させた際の各検出部の静電容量の初期状態の静電容量に対する変化量を示す。

図８〜１０に示した結果から明らかな通り、被覆電極層を誘電層の片側又は両側に設けることにより、検出部における静電容量の上乗せを抑制することができることが明らかとなり、特に、誘電層の両側に被覆電極層を形成することにより、初期状態における各検出部の静電容量が略理論値に近づくことが明らかとなった。なお、初期状態の各検出部の静電容量の理論値は５０ｐＦである。
また、被覆電極層を形成することにより、検出感度及び検出精度が向上することが明らかとなり、特に、誘電層の両側に被覆電極層を形成することにより、誘電層の片側にのみ被覆電極層を形成した場合に比べて、検出感度及び検出精度がより向上することが明らかとなった。

（評価２：ＧＮＤ端子への接続（接地）の有無による静電容量計測への影響）
上記評価１で使用した、実施例１で作製した静電容量型センサシートを用いた静電容量型センサにおいて、被覆電極用接続部をＧＮＤ端子と接続せず、この状態で初期状態の静電容量、及び、変形時の各検出部における静電容量を測定した。なお、センサシートの変形条件は上記評価１と同条件とした。結果を３次元グラフにプロットし、図１１に示した。

図１１においても、（ａ）は初期状態（未変形状態）における各検出部の静電容量を示し、（ｂ）はセンサシートを変形させた際の各検出部の静電容量を示し、（ｃ）はセンサシートを変形させた際の各検出部の静電容量の初期状態の静電容量に対する変化量を示す。

図８及び図１１に示した結果を比較すれば明らかな通り、被覆電極層は接地することにより、初期状態の静電容量から上乗せを抑制することができることが明らかとなった。
また、被覆電極層は接地することにより、測定精度が向上することも明らかとなった。

本発明の静電容量型センサシートは、測定対象物との接触により変形する前の静電容量Ｃと変形した後の静電容量Ｃから静電容量の変化量ΔＣを検出し、伸縮変形歪み量や伸縮変形歪み分布、面圧分布を求めることができる。
そして、本発明の静電容量型センサシートを用いた静電容量型センサは、例えば、柔軟物の形状をトレースするためのセンサや、人など測定対象物の動きを計測するセンサ等として使用することができる。より具体的には、例えば、足裏による靴底インナーの変形や、臀部による座面クッション変形等を測定（検出）することができる。
また、測定対象物がセンサシートに接触した状態で移動した際の位置情報を検出するのにも適している。
更に、例えば、タッチパネル用の入力インターフェイスとしても使用することができる。
なお、本発明の静電容量型センサは、既存のセンサである光学式のモーションキャプチャーでは測定できない光の遮蔽部位での測定にも利用することが可能である。

１、２０１、３０１ 静電容量型センサシート
２、３０２ 誘電層
３Ａ、３０３Ａ 表側可撓層
３Ｂ、３０３Ｂ 裏側可撓層
４Ａ、３０４Ａ 表側被覆電極層
４Ｂ、３０４Ｂ 裏側被覆電極層
５Ａ、５Ｂ、３０５Ａ、３０５Ｂ オーバーコート層
０１Ａ１〜１６Ａ１ 表側接続部
０１Ａ〜１６Ａ、０１Ｄ〜１６Ｄ 表側電極層
０１Ｂ１〜１６Ｂ１ 裏側接続部
０１Ｂ〜１６Ｂ、０１Ｅ〜１６Ｅ 裏側電極層
Ｃ０１０１〜Ｃ１６１６、Ｆ０１０１〜Ｆ１６１６ 検出部
０１ｄ〜１６ｄ 表側配線
０１ｅ〜１６ｅ 裏側配線
３０ 成形装置
１０１ 静電容量型センサ
１０２、１０３ 外部配線
１０４ 計測手段
１０５Ａ、１０５Ｂ ＧＮＤ線

Claims (9)

1. エラストマー組成物（Ａ）からなる誘電層と、前記誘電層の表面に積層された表側電極層と、前記誘電層の裏面に積層された裏側電極層とを備え、厚さ方向における前記表側電極層と前記裏側電極層との交差部分を検出部とする静電容量型センサシートであって、
   前記検出部を複数箇所備え、
   前記表側電極層上にエラストマー組成物（Ｂ１）からなる表側可撓層を介して前記検出部を覆うように形成された表側被覆電極層、及び／又は、前記裏側電極層上にエラストマー組成物（Ｂ２）からなる裏側可撓層を介して前記検出部を覆うように形成された裏側被覆電極層を備え、
   前記検出部における静電容量の変化を計測するために用いられる
   ことを特徴とする静電容量型センサシート。
2. 前記表側電極層及び前記裏側電極層は、カーボンナノチューブを含む導電性組成物からなる請求項１に記載の静電容量型センサシート。
3. 前記カーボンナノチューブは、単層カーボンナノチューブと多層カーボンナノチューブとの混合物である請求項１又は２に記載の静電容量型センサシート。
4. 前記エラストマー組成物（Ａ）は、エラストマーがウレタンゴムである請求項１〜３のいずれかに記載の静電容量型センサシート。
5. 前記エラストマー組成物（Ｂ１）及び／又は前記エラストマー組成物（Ｂ２）は、エラストマーがウレタンゴムである請求項１〜４のいずれかに記載の静電容量型センサシート。
6. 一軸引張りに耐えられる伸長率が３０％以上である請求項１〜５のいずれかに記載の静電容量型センサシート。
7. 伸縮変形歪み量、伸縮変形歪み分布及び面圧分布のうちの少なくとも１つの測定に使用される請求項１〜６のいずれかに記載の静電容量型センサシート。
8. 伸縮変形歪み量及び／又は伸縮変形歪み分布の測定に使用される請求項１〜６のいずれかに記載の静電容量型センサシート。
9. 請求項１〜８のいずれかに記載の静電容量型センサシートと、
   計測手段と、
   前記静電容量型センサシートが備える表側電極層及び裏側電極層のそれぞれと、前記計測手段とを接続する外部配線とを備え、
   前記静電容量型センサシートが有する検出部における静電容量の変化を計測することにより、
   伸縮変形歪み量、伸縮変形歪み分布及び面圧分布のうちの少なくとも１つの測定することを特徴とする静電容量型センサ。