JP2021536131A - ウェハレベルパッケージング方法およびパッケージング構造 - Google Patents
ウェハレベルパッケージング方法およびパッケージング構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021536131A JP2021536131A JP2021511671A JP2021511671A JP2021536131A JP 2021536131 A JP2021536131 A JP 2021536131A JP 2021511671 A JP2021511671 A JP 2021511671A JP 2021511671 A JP2021511671 A JP 2021511671A JP 2021536131 A JP2021536131 A JP 2021536131A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- wafer
- electrode
- packaging
- dielectric layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 title claims abstract description 106
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 102
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 155
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 54
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 38
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 17
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 12
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 11
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 9
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 claims description 8
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 8
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 7
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 6
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 claims description 6
- 239000011135 tin Substances 0.000 claims description 6
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 6
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 claims description 5
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims description 5
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 claims description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract description 11
- 238000012858 packaging process Methods 0.000 abstract description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 187
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 27
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 12
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 5
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 5
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 5
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 4
- MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N lanthanum(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[La+3].[La+3] MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 3
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 2
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012536 packaging technology Methods 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MSVOWLCCSIJLAG-UHFFFAOYSA-N [Si]=O.[Si]=O Chemical compound [Si]=O.[Si]=O MSVOWLCCSIJLAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001195 gallium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Substances N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 238000006479 redox reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008093 supporting effect Effects 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6835—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
- H01L21/561—Batch processing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
- H01L23/3107—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
- H01L23/3114—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed the device being a chip scale package, e.g. CSP
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
- H01L23/3107—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
- H01L23/3121—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed a substrate forming part of the encapsulation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/538—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates
- H01L23/5384—Conductive vias through the substrate with or without pins, e.g. buried coaxial conductors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/02—Bonding areas ; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/07—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas after the connecting process
- H01L24/08—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas after the connecting process of an individual bonding area
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/02—Bonding areas ; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/07—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas after the connecting process
- H01L24/09—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas after the connecting process of a plurality of bonding areas
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/18—High density interconnect [HDI] connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/23—Structure, shape, material or disposition of the high density interconnect connectors after the connecting process
- H01L24/24—Structure, shape, material or disposition of the high density interconnect connectors after the connecting process of an individual high density interconnect connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L24/82—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected by forming build-up interconnects at chip-level, e.g. for high density interconnects [HDI]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/91—Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L24/80 - H01L24/90
- H01L24/92—Specific sequence of method steps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/93—Batch processes
- H01L24/94—Batch processes at wafer-level, i.e. with connecting carried out on a wafer comprising a plurality of undiced individual devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
- H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
- H01L25/065—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L25/0652—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the devices being arranged next and on each other, i.e. mixed assemblies
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/50—Multistep manufacturing processes of assemblies consisting of devices, each device being of a type provided for in group H01L27/00 or H01L29/00
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68354—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support used to support diced chips prior to mounting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
- H01L2224/0555—Shape
- H01L2224/05551—Shape comprising apertures or cavities
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/07—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas after the connecting process
- H01L2224/08—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas after the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/081—Disposition
- H01L2224/0812—Disposition the bonding area connecting directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding
- H01L2224/08135—Disposition the bonding area connecting directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding the bonding area connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
- H01L2224/08145—Disposition the bonding area connecting directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding the bonding area connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/18—High density interconnect [HDI] connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/23—Structure, shape, material or disposition of the high density interconnect connectors after the connecting process
- H01L2224/24—Structure, shape, material or disposition of the high density interconnect connectors after the connecting process of an individual high density interconnect connector
- H01L2224/241—Disposition
- H01L2224/24135—Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
- H01L2224/24145—Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/18—High density interconnect [HDI] connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/23—Structure, shape, material or disposition of the high density interconnect connectors after the connecting process
- H01L2224/24—Structure, shape, material or disposition of the high density interconnect connectors after the connecting process of an individual high density interconnect connector
- H01L2224/245—Material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/27—Manufacturing methods
- H01L2224/275—Manufacturing methods by chemical or physical modification of a pre-existing or pre-deposited material
- H01L2224/27505—Sintering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29099—Material
- H01L2224/2919—Material with a principal constituent of the material being a polymer, e.g. polyester, phenolic based polymer, epoxy
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29099—Material
- H01L2224/29198—Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
- H01L2224/29199—Material of the matrix
- H01L2224/29286—Material of the matrix with a principal constituent of the material being a non metallic, non metalloid inorganic material
- H01L2224/29288—Glasses, e.g. amorphous oxides, nitrides or fluorides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/80001—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected by connecting a bonding area directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding
- H01L2224/80003—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected by connecting a bonding area directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding involving a temporary auxiliary member not forming part of the bonding apparatus
- H01L2224/80006—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected by connecting a bonding area directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding involving a temporary auxiliary member not forming part of the bonding apparatus being a temporary or sacrificial substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/80001—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected by connecting a bonding area directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding
- H01L2224/8034—Bonding interfaces of the bonding area
- H01L2224/80345—Shape, e.g. interlocking features
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/80001—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected by connecting a bonding area directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding
- H01L2224/808—Bonding techniques
- H01L2224/80894—Direct bonding, i.e. joining surfaces by means of intermolecular attracting interactions at their interfaces, e.g. covalent bonds, van der Waals forces
- H01L2224/80896—Direct bonding, i.e. joining surfaces by means of intermolecular attracting interactions at their interfaces, e.g. covalent bonds, van der Waals forces between electrically insulating surfaces, e.g. oxide or nitride layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/82—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected by forming build-up interconnects at chip-level, e.g. for high density interconnects [HDI]
- H01L2224/821—Forming a build-up interconnect
- H01L2224/82101—Forming a build-up interconnect by additive methods, e.g. direct writing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/832—Applying energy for connecting
- H01L2224/83201—Compression bonding
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/838—Bonding techniques
- H01L2224/8385—Bonding techniques using a polymer adhesive, e.g. an adhesive based on silicone, epoxy, polyimide, polyester
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/838—Bonding techniques
- H01L2224/8389—Bonding techniques using an inorganic non metallic glass type adhesive, e.g. solder glass
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/91—Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L2224/80 - H01L2224/90
- H01L2224/92—Specific sequence of method steps
- H01L2224/921—Connecting a surface with connectors of different types
- H01L2224/9212—Sequential connecting processes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/93—Batch processes
- H01L2224/94—Batch processes at wafer-level, i.e. with connecting carried out on a wafer comprising a plurality of undiced individual devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2225/00—Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
- H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
- H01L2225/06524—Electrical connections formed on device or on substrate, e.g. a deposited or grown layer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2225/00—Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
- H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
- H01L2225/06527—Special adaptation of electrical connections, e.g. rewiring, engineering changes, pressure contacts, layout
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Abstract
本発明は、ウェハレベルパッケージング方法およびパッケージング構造を提供し、前記ウェハレベルパッケージング方法は、その中に複数の第1チップが形成されている第1ウェハを提供するステップにおいて、第1チップの表面に第1電極が設けられ、第1ウェハの表面に第1電極から露出した第1誘電体層が設けられている、ステップと、その表面に第2電極が設けられ、その上に第2電極から露出した第2誘電体層が形成されている複数の第2チップを提供するステップと、第2チップを第1ウェハに接合させ、かつ、第2チップを第1チップの位置に対応させ、第1電極と第2電極との間にキャビティを形成するように、第2誘電体層と第1誘電体層を対向配置させるステップと、第1電極と第2電極とを電気的に接続させるチップ相互接続構造を、キャビティ内に形成するステップと、第2チップを覆うパッケージング層を形成するステップと、を含む。本発明は、パッケージングプロセスを単純化した。【選択図】図8
Description
本発明は、半導体技術分野に関し、特にウェハレベルパッケージング方法およびパッケージング構造に関する。
超大規模集積回路の開発動向に伴い、集積回路の特徴サイズは、縮小し続けており、それに応じて集積回路のパッケージング技術に対する人々の要求が高まっている。従来のパッケージング技術は、ボールグリッドアレイ(Ball Grid Array,BGA)、チップスケールパッケージ(Chip Scale Package,CSP)、ウェハレベルパッケージ(Wafer Level Package,WLP)、3次元パッケージング(3D)、システムインパッケージ(System in Package,SiP)などを含む。
現在、集積回路パッケージングのより低いコスト、高い信頼性、高速化および高密度化という目標を達成するために、先進的なパッケージング方法では、主にウェハレベルパッケージシステムインパッケージ(Wafer Level Package System in Package,WLPSiP)が使用されている。従来のシステムパッケージングと比較して、ウェハレベルパッケージシステムインパッケージは、ウェハ上でパッケージング集積プロセスを完了することであり、これには、パッケージング構造の面積を大幅に削減し、製造コストを削減し、電気的性能を最適化し、バッチ製造するという利点があり、これにより、ワークロードと機器の要件を大幅に削減することができる。
ウェハレベルパッケージシステムインパッケージには、主に物理的接続と電気的接続という2つの重要なプロセスが含まれている。例えば、ボンディングプロセスを使用して、集積されるチップとウェハとの間の物理的接続を実現し、電気めっき技術によって、半導体デバイス間の電気的接続を実現し、シリコン貫通電極(Through−Silicon Via,TSV)を介して、チップと外部回路の電気的接続を実現する。
ただし、現在のウェハレベルパッケージシステムインパッケージ方法は、さらに簡素化される必要がある。
本発明によって解決される問題は、パッケージプロセスを単純化するために、ウェハレベルパッケージング方法およびパッケージング構造を提供することである。
本発明によれば、複数の第1チップが形成されている第1ウェハを提供するステップであって、前記第1チップの表面に第1電極が設けられ、前記第1ウェハの表面に前記第1電極を露出した第1誘電体層が設けられているステップと、その表面に第2電極が設けられ、前記第2電極を露出した第2誘電体層が形成されている複数の第2チップを提供するステップと、前記第2チップを前記第1ウェハに接合させ、かつ、前記第2チップを前記第1チップの位置に対応させ、前記第1電極と前記第2電極との間にキャビティを形成するように、前記第2誘電体層と前記第1誘電体層を対向配置させるステップと、前記第1電極と前記第2電極とを電気的に接続させるチップ相互接続構造を、前記キャビティ内に形成するステップと、前記第2チップを覆うパッケージング層を形成するステップと、を含むウェハレベルパッケージング方法が提供される。
任意的には、
前記第2チップは、前記第2電極を有する表面が正面であり、正面と背向する表面が背面であり、前記第2チップを前記第1ウェハに接合する前に、複数の前記第2チップの背面を第2ウェハに仮接合し、前記第2チップを覆う前記パッケージング層を形成する前に、前記第2ウェハを剥離する。
前記第2チップは、前記第2電極を有する表面が正面であり、正面と背向する表面が背面であり、前記第2チップを前記第1ウェハに接合する前に、複数の前記第2チップの背面を第2ウェハに仮接合し、前記第2チップを覆う前記パッケージング層を形成する前に、前記第2ウェハを剥離する。
任意的には、複数の前記第2チップは、接着層または静電接合によって、前記第2ウェハに仮接合される。
任意的には、前記第1電極と前記第2電極とを電気的に接続させる前記チップ相互接続構造を、前記キャビティ内に形成するステップの前に、前記第2ウェハを剥離する。
任意的には、前記チップ相互接続構造を形成してから前記パッケージング層を形成する前に、前記第2ウェハを剥離する。
任意的には、溶融接合、接着接合またはガラス誘電体接合によって、前記第2チップを前記第1ウェハに接合する。
任意的には、前記第1誘電体層と前記第2誘電体層の材料は、両方とも酸化ケイ素である。
任意的には、前記第2チップを覆う前記パッケージング層を形成するステップは、射出成形プロセスによって、前記パッケージング層を形成するステップを含む。
任意的には、前記第1誘電体層と背向する前記第1ウェハの表面が背面であり、前記パッケージング層を形成した後に、前記第1ウェハの背面を薄化処理させ、前記スルーホール相互接続構造を、薄化処理された前記第1ウェハ内に形成する。
任意的には、前記第1電極は、前記第1チップの端部に設けられ、前記第2電極は、前記第2チップの端部に設けられ、前記第2誘電体層と前記第1誘電体層を対向配置させるとき、前記第2チップと前記第1チップが対向配置され、前記第1電極、前記第1誘電体層、前記第2誘電体層および前記第2チップによりキャビティが囲まれ、かつ、前記第2電極と前記第1誘電体層の間位置する前記キャビティには、開口が形成される。
任意的には、電気めっきプロセスによって、前記チップ相互接続構造を形成する。
任意的には、前記電気めっきプロセスは、無電解めっきである。
任意的には、前記チップ相互接続構造の材料は、銅、ニッケル、亜鉛、スズ、銀、金、タングステンおよびマグネシウムの一つまたは複数を含む。
それに応じて、本発明によれば、複数の第1チップが形成されている第1ウェハであって、前記第1チップの表面に第1電極が設けられ、前記第1ウェハの表面に前記第1電極を露出した第1誘電体層が設けられる第1ウェハと、前記第1ウェハに接合され、かつ、前記複数の第1チップの位置に対応した複数の第2チップであって、前記第1ウェハに対向する前記第2チップの表面に、前記第1電極に対向配置される第2電極が設けられ、前記第1ウェハに対向する前記第2チップの表面上に、前記第2電極を露出した第2誘電体層がさらに形成されている複数の第2チップと、前記第1電極と前記第2電極との間に形成されるチップ相互接続構造と、前記第2チップを覆うパッケージング層と、を含むウェハレベルパッケージング構造をさらに提供する。
任意的には、前記第2チップは、溶融接合、接着接合またはガラス誘電体で、前記第1ウェハに接合されている。
任意的には、前記第1誘電体層および前記第2誘電体層の材料は、両方とも酸化ケイ素である。
任意的には、前記パッケージング層は、射出成形層である。
任意的には、前記チップ相互接続構造は、電気めっきチップ相互接続構造である。
任意的には、前記チップ相互接続構造の材料は、銅、ニッケル、亜鉛、スズ、銀、金、タングステンおよびマグネシウムの一つまたは複数を含む。
任意的には、前記第1ウェハの厚さは、5μm〜10μmである。
従来の技術と比較して、本発明の技術案は、以下の利点を有する。
本発明のウェハレベルパッケージング方法において、前記第2チップを前記第1ウェハに接合するとき、前記第2チップを前記第1チップの位置に対応させ、第1電極と第2電極との間にキャビティを形成させ、第1電極と第2電極とを電気的に接続可能なチップ相互接続構造を、キャビティ内に形成させ、前記チップ相互接続構造により、第2チップと第1チップの電気的接続を実現し、本発明は、第2チップと個別に電気的に接続される接続構造を別個に形成する必要がなく、パッケージング方法を単純化した。
本発明のウェハレベルパッケージング構造において、第1ウェハ内に複数の第1チップが形成され、前記第1チップの表面に第1電極が設けられ、前記パッケージング構造は、前記第1ウェハに接合され、かつ、第1チップに対向配置される第2チップをさらに含み、前記第2チップの表面に第2電極が設けられ、前記第2電極が前記第1電極に対向配置され、かつ、前記第2電極と前記第1電極との間に、第1チップと第2チップとの電気的接続を実現するためのチップ相互接続構造が形成され、本発明は、第2チップと個別に電気的に接続される接続構造を別個に形成する必要がなく、パッケージング構造を単純化した。
本発明のウェハレベルパッケージング方法において、前記第2チップを前記第1ウェハに接合するとき、前記第2チップを前記第1チップの位置に対応させ、第1電極と第2電極との間にキャビティを形成させ、第1電極と第2電極とを電気的に接続可能なチップ相互接続構造を、キャビティ内に形成させ、前記チップ相互接続構造により、第2チップと第1チップの電気的接続を実現し、本発明は、第2チップと個別に電気的に接続される接続構造を別個に形成する必要がなく、パッケージング方法を単純化した。
本発明のウェハレベルパッケージング構造において、第1ウェハ内に複数の第1チップが形成され、前記第1チップの表面に第1電極が設けられ、前記パッケージング構造は、前記第1ウェハに接合され、かつ、第1チップに対向配置される第2チップをさらに含み、前記第2チップの表面に第2電極が設けられ、前記第2電極が前記第1電極に対向配置され、かつ、前記第2電極と前記第1電極との間に、第1チップと第2チップとの電気的接続を実現するためのチップ相互接続構造が形成され、本発明は、第2チップと個別に電気的に接続される接続構造を別個に形成する必要がなく、パッケージング構造を単純化した。
従来の技術におけるパッケージング構造のプロセスは比較的複雑であることが背景技術から知ることができ、その理由が以下のように分析される。従来の技術では、集積されるベアチップをウェハに接合した後、ベアチップに電気的に接続される第1接続構造、ウェハ内のチップに電気的に接続される第2接続構造、および第1接続構造と第2接続構造に電気的に接続される相互接続構造を形成する必要があり、プロセスが比較的複雑である。
また、ベアチップをウェハに接合する前に、射出成形プロセスを用いて前記ベアチップを固定する射出成形層を形成し、ベアチップをウェハに接合した後に、前記射出成形層を除去または部分的に除去し、このステップが比較的に複雑である。
前記技術的問題を解決するために、本発明は、その中に複数の第1チップが形成されている第1ウェハを提供するステップにおいて、前記第1チップの表面に第1電極が設けられ、前記第1ウェハの表面に前記第1電極から露出した第1誘電体層が設けられている、ステップと、その表面に第2電極が設けられ、その上に前記第2電極から露出した第2誘電体層が形成されている複数の第2チップを提供するステップと、前記第2チップを前記第1ウェハに接合させ、かつ、前記第2チップを前記第1チップの位置に対応させ、前記第1電極と前記第2電極との間にキャビティを形成するように、前記第2誘電体層と前記第1誘電体層を対向配置させるステップと、前記第1電極と前記第2電極とを電気的に接続させるチップ相互接続構造を、前記キャビティ内に形成するステップと、前記第2チップを覆うパッケージング層を形成するステップと、を含むウェハレベルパッケージング方法を提供する。
本発明では、前記第2チップを前記第1ウェハに接合するとき、前記第2チップを前記第1チップの位置に対応させ、第1電極と第2電極との間にキャビティを形成させ、第1電極と第2電極とを電気的に接続可能なチップ相互接続構造を、キャビティ内に形成させ、前記チップ相互接続構造により、第2チップと第1チップの電気的接続を実現し、本発明は、第2チップと個別に電気的に接続される接続構造を形成する必要がなく、電気的接続を実現可能であり、パッケージング方法を単純化した。
本発明の上記の目的、特徴および利点をより明らかでかつ理解しやすくにするために、本発明の具体的な実施例を、添付の図面を参照して以下に詳細に説明する。
図1〜図8は、本発明のウェハレベルパッケージング方法の一実施例における各ステップに対応する概略構造図である。本実施例のウェハレベルパッケージング方法は、
図1に示すように、第1ウェハ300を提供するステップを含み、前記第1ウェハ300内に複数の第1チップ400が形成され、前記第1チップ400の表面に第1電極410が設けられ、前記第1ウェハ300の表面に前記第1電極410から露出した第1誘電体層420が形成されている。
図1に示すように、第1ウェハ300を提供するステップを含み、前記第1ウェハ300内に複数の第1チップ400が形成され、前記第1チップ400の表面に第1電極410が設けられ、前記第1ウェハ300の表面に前記第1電極410から露出した第1誘電体層420が形成されている。
前記第1ウェハ300は、デバイスを完了するために作製したパッケージングすべきウェハであり、本実施例では、前記第1ウェハ300は、デバイスウェハ(CMOS Wafer)である。本実施例では、前記第1ウェハ300の半導体基板はシリコン基板である。他の実施例では、前記半導体基板の材料はまた、ゲルマニウム、シリコンゲルマニウム、炭化ケイ素、ガリウムヒ素またはインジウムガリウムオキシドなどの他の材料であってもよく、前記半導体基板はまた、絶縁体上のシリコン基板または絶縁体上のゲルマニウム基板などの他のタイプの基板であってもよい。前記半導体基板の材料は、プロセス要件に適した材料、または集積が容易な材料であってもよい。実際のプロセス要件によれば、前記第1ウェハ300の厚さは、10マイクロメートル〜100マイクロメートルである。
前記第1ウェハ300内に形成された複数の第1チップ400は、同じタイプまたは異なるタイプのチップであってもよい。なお、前記第1ウェハ300は、集積回路製造技術で製造することができ、例えば、N型金属酸化物半導体(N−Metal−Oxide−Semiconductor,NMOS)デバイスおよびP型金属酸化物半導体(P−Metal−Oxide−Semiconductor,PMOS)デバイスなどのデバイスを、堆積、エッチングなどのプロセスを通じて第1半導体基板上に形成し、誘電体層、金属相互接続構造、および前記金属相互接続構造に電気的に接続されるパッドなどの構造を、前記デバイスに形成し、それにより、少なくとも1つの第1チップ400を、前記第1ウェハ300に集積させる。
前記第1チップ400の表面に設けられる第1電極410は、前記第1チップ400と他の半導体デバイスとの電気的接続を実現するために用いられる。具体的には、前記第1電極410は、リードパッド(Pad)であってもよい。
前記第1誘電体層420は、後続の接合ステップでキャビティを形成するための空間を提供するために、特定の厚さを有し、また、前記第1誘電体層420は、絶縁特性を有し、チップ相互接続構造をキャビティ内に形成した後、チップ相互接続構造を他のコンポーネントから絶縁するためにも用いられる。
本実施例では、第1誘電体層420はまた、前記第1ウェハ300と集積されるチップとの間の物理的接続を実現するための接合層として用いられる。
具体的には、本実施例では、前記第1誘電体層420は、後続の溶融接合(Fusion Bonding)プロセスのための接合層として機能する第1酸化物層であり、後続のステップでは、前記接合層の接触面に共有接合を形成することにより接合を実現し、これは、接合強度を向上させることに役立つ。
本実施例では、前記第1酸化物層の材料は酸化ケイ素である。酸化ケイ素材料は、プロセス適合性が比較的に高く、かつ酸化ケイ素が一般的に使用される低コストの材料であるため、酸化ケイ素材料を選択して、プロセス難度の低減とプロセスコストの削減に有益であり、形成されたパッケージング構造の特性への影響を減らすことに利く。
他の実施例では、前記第1酸化物層は、酸化ハフニウム、酸化アルミニウム、または酸化ランタンなどの酸化物材料であってもよい。
図2に示すように、複数の第2チップ200を提供し、前記第2チップ200の表面に第2電極210が設けられ、前記第2チップ200に前記第2電極210から露出した第2誘電体層250が形成されている。
前記第2チップ200は、ウェハレベルパッケージシステム内の集積されるチップとして用いられ、本実施例におけるウェハレベルパッケージシステムインパッケージ方法は、異種集積を実施するために用いられる。同様に、前記複数の第2チップ200は、シリコンウェハで作られたチップであってもよく、他の材料で形成されたチップであってもよい。
前記複数の第2チップ200の機能は異なる。前記第2チップ200は、集積回路製造技術で作製され、メモリチップ、通信チップ、プロセッサ、またはロジックチップであってもよい。前記第2チップ200は、通常、半導体基板上に形成されたNMOSデバイスまたはPMOSデバイスを含む。
前記第2チップ200の表面に設けられる第2電極210はリードパッド(Pad)であり、前記第2チップ200と他の半導体デバイスとの電気的接続を実現するために用いられる。具体的には、前記第2電極210は、リードパッド(Pad)であってもよい。
前記第2誘電体層250は、後続の接合ステップでキャビティを形成するための空間を提供するために、特定の厚さを有し、また、前記第2誘電体層2500は、絶縁特性を有し、チップ相互接続構造をキャビティ内に形成した後、チップ相互接続構造を他のコンポーネントから絶縁するためにも用いられる。
本実施例では、前記第2誘電体層250は、また、集積されるウェハとの間の物理的接続を実現するための接合層としても用いられる。
具体的には、本実施例では、前記第2誘電体層250は、後続の溶融接合(Fusion Bonding)プロセスのための接合層として機能する第2酸化物層であり、後続のステップでは、前記接合層の接触面に共有接合を形成することにより接合を実現し、これは、接合強度を向上させることに役立つ。
本実施例では、前記第2酸化物層の材料は酸化ケイ素である。酸化ケイ素材料は、より高いプロセス適合性を有し、かつ酸化ケイ素が一般的に使用される低コストの材料であるため、酸化ケイ素材料を選択して、プロセスの難度の低減とプロセスコストの削減に有益であり、形成されたパッケージング構造の特性への影響を減らすことに利く。
他の実施例では、前記第2酸化物層はまた、酸化ハフニウム、酸化アルミニウムまたは酸化ランタンなどの酸化物材料であってもよい。
第2電極210を備えた前記第2チップ200の表面は正面201であり、正面201の反対側の表面は背面202である。なお、本実施例では、複数の第2チップ200を提供するステップは、前記複数の第2チップ200の背面202が一時接合された第2ウェハ100を提供するステップを含む。具体的には、前記複数の第2チップ200が前記第2ウェハ100上に形成され、前記第2ウェハ100は、前記複数の第2チップ200を仮固定するためのキャリアウェハとして機能する。前記第2ウェハ100は、第2チップ200と第1ウェハ300(図1に示すように)との接合プロセスでは、第2チップを支持して、接合の信頼性を向上させる。前記第2ウェハ100はまた、第2チップ200と第1ウェハ300(図1に示すように)が接合された後に、剥離されて、前記第2チップ200から分離することができる。
本実施例では、前記第2ウェハ100に接着層150が形成され、前記複数の第2チップ200は、前記接着層150を介して前記第2ウェハ100に一時接合されている。
具体的には、前記接着層150は、ダイアタッチフィルム(Die Attach Film,DAF)およびドライフィルム(Dry Film)の一方または両方である。ここで、ドライフィルムは、半導体チップのパッケージングやプリント回路基板の製造時に使用される粘性フォトレジストフィルムである。ドライフィルムは、無溶剤フォトレジストを、ポリエステルフィルムベースにコーティングして、それをポリエチレンフィルムで覆うことによって製造された。使用する場合は、ポリエチレンフィルムを取り除き、無溶剤フォトレジストを基板に押し付けて、露光および現像処理した後、前記ドライフィルム内にグラフィックを形成することができる。
他の実施例では、前記第2チップ200を、静電接合によって前記第2ウェハに仮接合することができる。静電接合技術は、任意の接着剤なしで接合を実現する方法である。接合プロセスでは、接合される第2チップと第2ウェハを、それぞれ異なる電極に接続させ、電圧の作用下で第2チップと第2ウェハの表面に電荷を形成し、かつ前記第2チップと第2ウェハの表面の電荷が異なるため、第2チップと第2ウェハの接合プロセス中に比較的大きな静電引力が発生し、両者の物理的な接続を実現する。
なお、本実施例では、前記第2ウェハ100は、第2チップ200に支持強度を提供するためのキャリアウェハとして使用される。他の実施例では、前記第2ウェハ100を配置しなくてもよい。
図3に示すように、前記第2チップ200を前記第1ウェハに接合させ、かつ、前記第2チップを前記第1チップの位置に対応させ、前記第1電極と前記第2電極との間にキャビティを形成するように、第2誘電体層250と第1誘電体層420を対向配置させる。
ここで、前記第2チップ200と前記第1チップ400の位置が互いに対応することは、前記第2チップ200と前記第1チップ400が接合されたときに互いに位置合わせられ、かつ前記第2チップにおける前記第2電極210と前記第1チップ400における第1電極410も対向配置され、かつ互いに位置合わせられていることを意味する。
第2誘電体層250と第1誘電体層420は両方とも、特定の厚さを有するので、前記第2誘電体層250と前記第1誘電体層420が互いに対向配置され、かつ互いに密着されている場合、2つの誘電体層の支持作用により、第1誘電体層420から露出された前記第1電極410と前記第2誘電体層250から露出された第2電極210との間にキャビティ220が形成される。前記キャビティ220には、導電性材料が充填されて、前記第1電極410と前記第2電極210とを電気的に接続するチップ相互接続構造を形成する。
なお、本実施例では、前記第1電極410は、前記第1チップ400の端部に設けられ、前記第2電極210は、前記第2チップ200の端部に設けられ、前記第2誘電体層250と前記第1誘電体層420とを対向配置させるとき、前記第2チップと前記第1チップとを対向配置させ、前記第1電極410、第1誘電体層420、第2誘電体層250および第2チップ200によりキャビティを囲んでなり、また、前記第2誘電体層250が、第2電極210の位置で第1誘電体層420と接触しないので、前記キャビティは、第2電極210と第1誘電体層420との間に開口部を形成する。
本実施例では、前記第2チップ200の背面202(図2に示すように)を第2ウェハ100に一時接合させ、前記第2誘電体層250と前記第1誘電体層420とを対向配置させ、前記第2チップ200を前記第1ウェハ300に接合するステップは、第2ウェハ100における第2チップ200の正面201(図2に示すように)を第1ウェハ300に接合するように、前記第2ウェハ100と前記第1ウェハ300とを対向配置させるステップを含む。このようにして、第2チップ200を第1ウェハ300に接合するプロセスでは、前記第2ウェハ100は、第2チップ200により大きな支持強度を提供し、それにより、第1チップ400と前記第2ウェハとの間の接合信頼性を向上させることができる。
本実施例では、前記第2誘電体層250は第1酸化物層で、前記第1誘電体層420は第2酸化物層であり、前記第2チップ200と前記第1ウェハ300とが第1酸化物層および第2酸化物層の溶融接合プロセスによって接合されている。具体的には、前記第1酸化物層および第2酸化物層の材料は酸化ケイ素である。前記第2チップ200と前記第1ウェハ300は、酸化ケイ素−酸化ケイ素の溶融接合方法によって物理的な接続を実現する。
溶融接合は、主に界面の化学力を利用して接合を完了するプロセスであり、前記溶融接合プロセスでは、前記第1酸化物層と第2酸化物層の表面活性が増加し、前記第1酸化物層と第2酸化物層の接触面間に共有接合を形成して共有接合によって接合を実現し、前記第1酸化物層と第2酸化物層との間により高い接合強度を持っているため、ウェハレベルパッケージシステムインパッケージのパッケージング歩留まりを向上させる。
なお、他の実施例では、前記第2チップ200と前記第1ウェハ300はまた、接着接合またはガラス誘電体接合などの他の方法で接合されてもよい。
具体的には、接着接合の接合温度は低く、CMOSと互換性があり、異種集積プロセスでウェハ接着接合を行う。具体的な接着接合プロセスは、チップと前記ウェハの接合面上に、通常ポリマーである接着剤を形成するステップと、ポリマーをソフトベーキングまたは予備硬化することによって、前記接着剤を非重合、または部分的に重合した状態にするステップと、チップとウェハをキャビティ内に対向配置し、真空引いて、チップをウェハの接合面と接触させ、次に、圧力を加えて、接合される表面をしっかりと接合させるステップを含む。
ガラス誘電体接合とは、ガラスはんだをウェハに印刷して閉ループを形成し、次にこのカバーをリフローオーブンに入れて予備焼結することを指す。チップを前記閉ループに配置するように、予備焼結されたウェハとチップを位置合わせて配置し、次に、ボンディング装置に入れて焼結させ、密封されたキャビティを形成する。ガラス誘電体接合のプロセスが簡単で、接合強度が高く、密封効果が高く、特に大量生産に適している。
図4に示すように、キャビティ220を形成した後、前記第2ウェハ100を剥離させ(図3に示すように)、前記第2ウェハ100を前記第2チップ200から分離する。
本実施例では、前記第2ウェハ100は、接着層150(図3に示すように)を介して、前記第2チップ200と密着し、それに応じて、剥離プロセス中に、化学的または機械的剥離によって前記第2ウェハ100を前記第2チップ200から分離させる。
他の実施例では、前記第2ウェハ100を、他の方法で前記第2チップ200から分離することができる。
図5に示すように、前記第1電極410と前記第2の電極210とを電気的に接続するチップ相互接続構造310を、前記キャビティ220(図4に示すように)内に形成する。
前記チップ相互接続構造310は、前記キャビティ220(図4に示すように)に充填され、前記第1電極410と前記第2電極210の両方とも接触し、したがって、第1電極410と前記第2電極210の電気的接続を実現し、それにより、第1チップ400と第2チップ200との間の電気的接続を実現する。
チップ相互接続構造310を、電気めっきプロセスによって形成することができる。電気めっき法によって形成されたチップ相互接続構造310は、キャビティ220(図4に示すように)内で良好な充填効果を達成することができ、それにより、第1電極410と第2電極210との間の電気的接続の信頼性を向上させる。
本実施例では、前記電気めっきプロセスは無電解めっきである。具体的には、接合された第2チップ200および前記第1ウェハ300を、金属イオンを含む溶液(例えば、無電解銀めっき、ニッケルめっき、銅めっきなどの溶液)に入れ、酸化還元反応の原理に従って、強い還元剤を使用して、前記金属イオンを金属に還元し、第1電極410または第2電極210の表面に堆積して、金属めっき層を形成する。一定の反応時間の後、金属めっき層は、キャビティ220(図4に示すように)をいっぱいまで充填し、チップ相互接続構造310を形成する。前記チップ相互接続構造310は、前記第1電極410および前記第2電極210の両方と接触しており、それにより、第2チップ200と前記第1ウェハ300との間の電気的接続を実現する。
前記チップ相互接続構造310の材料は、銅、ニッケル、亜鉛、スズ、銀、金、タングステンおよびマグネシウムの1種または複数種を含む。
具体的には、前記チップ相互接続構造310は、溶接接続ブロックであってもよい。
図6に示すように、前記第2チップ200を覆うパッケージング層500を形成する。
本実施例では、前記パッケージング層500は、前記第2チップ200を覆い、つまり、前記パッケージング層500は、前記第2チップ200間のギャップを埋め、かつ第1ウェハ300の表面の第1誘電体層420を覆い、これは、第1誘電体層と接触して、空気と湿気をよりよく隔離するように密封を達成し、それによってパッケージング効果を向上させた。
具体的には、前記パッケージング層500を、射出成形プロセスによって形成することができる。射出成形プロセスの充填性能がより良く、射出成形剤を、複数の第2チップ200の間によりよく充填することができ、したがって、第2チップ200は、良好なパッケージ効果を有する。
他の実施例では、他のプロセスを使用して、前記パッケージング層を形成することもできる。
図7および図8に示すように、前記第1チップ400に電気的に接続されるスルーホール相互接続構造301を、前記第1ウェハ300内に形成する。
具体的には、図7に示すように、前記第1誘電体層420の反対側の前記第1ウェハ300の表面が背面311であり、前記パッケージング方法は、前記第2チップ200を覆うパッケージング層を形成した後、前記第1ウェハ300の背面311をを介して、前記第1ウェハ300を薄化処理させるステップをさらに含む。
前記第1ウェハ300の厚さを薄くするために、前記第1ウェハ300の背面311を薄化処理し、それによって前記第1ウェハ300の熱放散効果を改善し、また、前記第1ウェハ300の厚さを薄くすることは、スルーホール相互接続構造を形成する難度を低減し、パッケージングした後のパッケージング構造の全体的な厚さを低減することに利き、それによって前記パッケージング構造の性能を向上させることができる。
本実施例では、前記薄化処理で使用されるプロセスは、背面研削プロセス、化学機械研磨(Chemical Mechanical Polishing,CMP)プロセス、およびウェットエッチングプロセスのうちの1種または複数種であってもよい。
前記薄化処理の停止位置を効果的に制御するために、前記第1ウェハ300の製造プロセスでは、通常、前記停止位置を制限するためのディープトレンチアイソレーション構造を、前記第1ウェハ300の半導体基板内に形成し、前記薄化処理プロセスを、前記ディープトレンチアイソレーション構造の底部で停止させる。
別の実施例では、前記第1ウェハの製造プロセスにおいて、中性ドーピングイオン(例えば、酸素イオンおよび窒素イオンの1つまたは2つ)を使用して、前記第1ウェハ300の半導体基板内に停止領域を形成し、前記薄化処理を前記停止領域の底部で停止させる。
他の実施例では、前記第1ウェハの半導体基板が絶縁体上のシリコン基板または絶縁体上のゲルマニウム基板である場合、前記半導体基板の底部基板層も薄化処理することができ、これは前記絶縁体層の底部でよりよく停止することができる。
なお、前記薄化処理プロセスの後、前記第1ウェハ300の厚さは、小さすぎても厚すぎてもいけない。前記第1ウェハ300の厚さが薄すぎる場合、前記第1ウェハ300の機械的特性はそれに応じて劣り、前記第1ウェハ300内に形成されるデバイスなどの構造に悪影響を及ぼしやすく、前記第1ウェハ300の厚さが大きすぎるため、前記パッケージ構造の性能を向上させることに役立たない。このため、本実施例では、薄化処理した後の前記第1ウェハ300の厚さは、5μmから10μmである。
前記薄化処理の後、前記第1チップ400に電気的に接続されるスルーホール相互接続構造301を、前記第1ウェハ300内に形成する。前記スルーホール相互接続構造310を介して、第1チップ400と他の回路との間の電気的接続を実現する。前記第1チップ400と前記第2チップ200は、チップ相互接続構造310をを介して電気的に接続されているので、前記第2チップ200は、前記チップ相互接続構造310、第1チップ400内に形成された相互接続構造およびスルーホール相互接続構造301を介して、他の回路に電気的に接続される。
なお、第1電極410を備えた前記第1チップ400の表面が正面であり、前記正面の反対側の表面が背面である。本実施例の前記スルーホール相互接続構造310は、前記背面と接触して、スルーホール相互接続構造310と前記第1チップ400との電気的接続を実現する。
本実施例では、前記スルーホール相互接続構造301を、シリコン貫通電極技術によって、前記第1ウェハ300のシリコン基板に形成させる。他の実施例では、前記スルーホール相互接続構造を、他のプロセスによって形成することもできる。
本実施例では、前記スルーホール相互接続構造301の材料は銅である。他の実施例では、前記スルーホール相互接続構造301の材料はまた、アルミニウム、タングステンおよびチタンなどの導電性材料であってもよい。
なお、上記パッケージング方法の実施例では、前記第1電極と第2電極とを電気的に接続させるチップ相互接続構造を、前記キャビティ内に形成するステップの前に、前記第2ウェハを剥離する。他の実施例では、前記第1電極と第2電極とを電気的に接続させるチップ相互接続構造を、前記キャビティ内に形成した後、前記第2チップを覆うパッケージング層を形成するステップの前に、前記第2ウェハを剥離することができる。
本発明は、ウェハレベルパッケージング構造をさらに提供する。図8に示すように、本発明のパッケージング構造の一実施例の概略構造図を示す。
前記パッケージング構造は、その中に複数の第1チップ400が形成された第1ウェハ300において、前記第1チップ400の表面に第1電極410が設けられ、前記第1ウェハ300の表面に前記第1電極410から露出した第1誘電体層420が形成されている、第1ウェハ300と、前記第1ウェハ300に接合され、かつ前記複数の第1チップ400の位置に対応した複数の第2チップ200において、第1ウェハ300に面する前記第2チップ200の表面に第2電極210が設けられ、第1ウェハ300に面する前記第2チップ200の表面に前記第2電極210から露出した第2誘電体層250がさらに形成され、前記第2電極210と前記第1電極410が対向配置される、複数の第2チップ200と、第1電極410と第2電極210との間に設けられるチップ相互接続構造310と、前記第2チップ200を覆うパッケージング層500と、前記第1ウェハ300内に設けられ、かつ前記第1チップ400に電気的に接続されるスルーホール相互接続構造301と、を含む。
本実施例のパッケージング構造において、第1ウェハ300内に複数の第1チップ400が形成され、前記第1チップ400の表面に第1電極410が設けられ、前記パッケージング構造は、前記第1ウェハ300に接合され、かつ、第1チップ400に対向する第2チップ200をさらに含み、前記第2チップ200の表面に第2電極210が設けられ、前記第2電極210が前記第1電極410と対向配置され、前記第2電極210と前記第1電極410との間に、第1チップ400と第2チップ200との間の電気的接続を実現するためのチップ相互接続構造310が形成され、前記第1チップ200がスルーホール相互接続構造301を介して外部回路との電気的接続を実現し、前記第2チップ200は、前記チップ相互接続構造310、第1チップ400内部の相互接続構造および前記スルーホール相互接続構造301を介して、外部回路との電気的接続を実現し、つまり、第2チップ200に電気的に接続された接続構造を個別に形成する必要がなく、パッケージング構造を単純化した。
前記第1ウェハ300は、デバイスを製造するために作製されたパッケージングすべきウェハであり、本実施例では、前記第1ウェハ300はデバイスウェハ(CMOS Wafer)である。本実施例では、前記第1ウェハ300の半導体基板はシリコン基板である。他の実施例では、前記半導体基板の材料は、ゲルマニウム、シリコンゲルマニウム、炭化ケイ素、ガリウムヒ素またはインジウムガリウム化物などの他の材料であってもよい。前記半導体基板はまた、絶縁体上のシリコン基板または絶縁体上のゲルマニウムライニングであってもよい。パッケージング構造において、前記第1ウェハ300は、薄化処理した後のウェハであり、前記第1ウェハ300の厚さは、5μmから10μmである。
前記第1ウェハ300内に形成された複数の第1チップ400は、同じタイプまたは異なるタイプのチップであってもよい。
なお、前記第1ウェハ300は、集積回路製造技術で作製することができ、例えば、N型金属酸化物半導体(N−Metal−Oxide−Semiconductor,NMOS)デバイスおよびP型金属酸化物半導体(P−Metal−Oxide−Semiconductor,PMOS)デバイスなどのデバイスを、堆積、エッチングなどのプロセスを通じて第1半導体基板上に形成し、誘電体層、金属相互接続構造、および前記金属相互接続構造に電気的に接続されるパッドなどの構造を、前記デバイスに形成し、それにより、少なくとも1つの第1チップ400を、前記第1ウェハ300に集積させる。
前記第1チップ400の表面に設けられる第1電極410は、第1チップ400と他の半導体デバイスとの電気的接続を実現するために用いられる。具体的には、前記第1電極410は、リードパッド(Pad)であってもよい。
前記第1誘電体層420は、チップ相互接続構造310を他の部材から絶縁するために使用される。本実施例では、前記第1誘電体層420はまた、前記第1ウェハ300と集積されるチップとの間の物理的接続を実現するための接合層として使用される。
前記第2チップ200は、ウェハレベルパッケージシステムインパッケージの集積されるチップとして使用され、本実施例のパッケージング構造は、異種集積されたものであり、それに応じて、前記複数の第2チップ200は、シリコンウェハで作られたチップであってもよく、他の材料で形成されたチップであってもよい。
前記第2チップ200は複数あり、前記複数の第2チップ200の機能は異なる。前記第2チップ200は、集積回路製造技術で作製され、メモリチップ、通信チップ、プロセッサ、またはロジックチップであってもよい。前記第2チップ200は、通常、半導体基板上に形成されたNMOSデバイスまたはPMOSデバイスなどのデバイスを含む。
前記第2チップ200の表面に設けられる第2電極210は、第2チップ200の電気的接続を実現するためのリードパッド(Pad)である。
前記第2誘電体層250は、チップ相互接続構造310を他の部材から絶縁するために用いられる。本実施例では、前記第2誘電体層250はまた、集積されるチップとの間の物理的接続を実現するための接合層として用いられる。
具体的には、本実施例では、前記第2誘電体層250は第2酸化物層である。前記第2チップ200は、前記第1酸化物層および前記第2酸化物層を介して前記第1ウェハ300に溶融接合されている。溶融接合とは、主に界面の化学力を利用して接合を完了するプロセスであり、前記溶融接合プロセスでは、前記第1酸化物層と第2酸化物層の表面活性が増加し、前記第1酸化物層と第2酸化物層表面のダングリングボンドを増加し、前記第1酸化物層と第2酸化物層の接触面との間に共有接合を形成して共有接合によって接合を実現し、前記第1酸化物層と第2酸化物層との間により高い接合強度を持っているため、本実施例のパッケージング構造の信頼性を向上させた。
他の実施例では、第2チップはまた、前記第1ウェハに接着接合またはガラス誘電体接合されてもよい。
具体的には、接着接合の接合温度は低く、CMOSと互換性があり、異種集積プロセスでウェハ接着接合を行う。具体的な接着接合プロセスは、チップと前記ウェハの接合面上に、通常ポリマーである接着剤を形成するステップと、ポリマーをソフトベーキングまたは予備硬化することによって、前記接着剤を非重合、または部分的に重合した状態にするステップと、チップとウェハをキャビティ内に対向配置し、真空引いて、チップをウェハの接合面と接触させるステップと、圧力を加えて、接合される表面をしっかりと接合させるステップを、含む。
ガラス誘電体接合とは、ガラスはんだをウェハに印刷して閉ループを形成し、次にこのカバーをリフローオーブンに入れて予備焼結することを指す。チップを前記閉ループに配置するように、予備焼結されたウェハとチップを位置合わせて配置し、次に、ボンディング装置に入れて焼結し、密封されたキャビティを形成する。ガラス誘電体接合のプロセスが簡単で、接合強度が高く、密封効果が高く、特に大量生産に適している。
本実施例では、前記第1誘電体層420および前記第2誘電体層250の材料は、酸化ケイ素である。酸化ケイ素材料は、プロセス適合性が比較的に高く、かつ酸化ケイ素が一般的に使用される低コストの材料であるため、酸化ケイ素材料を選択して、プロセスの難度の低減とプロセスコストの削減に有益であり、形成されたパッケージング構造の特性への影響を減らすことに利く。
前記チップ相互接続構造310は、電気めっきチップ相互接続構造である。つまり、前記チップ相互接続構造310は、電気めっき法によって形成され、電気めっき法によって形成されたチップ相互接続構造310は、第1電極410と第2電極210との間に、良好な充填効果を達成することができ、それにより、第1電極410と第2電極210との間の電気的接続の信頼性を向上させる。
具体的には、前記チップ相互接続構造310の材料は、銅、ニッケル、亜鉛、スズ、銀、金、タングステンおよびマグネシウムの1種または複数種を含む。
前記第2チップ200を覆う前記パッケージング層500は、前記第2チップ200間のギャップを埋め、かつ第1ウェハ300の表面の第1誘電体層420を覆い、これは、第1誘電体層と接触して、空気と湿気をよりよく隔離するように密封を達成し、それによってパッケージング効果を向上させた。
前記第1ウェハ300内に設けられ、前記第1チップ400に電気的に接続されるスルーホール相互接続構造301である。前記スルーホール相互接続構造310を介して、第1チップ400と他の回路との間の電気的接続を実現する。前記第1チップ400と前記第2チップ200は、チップ相互接続構造310を介して電気的に接続されているので、前記第2チップ200は、前記チップ相互接続構造310、第1チップ400内に形成された相互接続構造およびスルーホール相互接続構造301を介して、他の回路に電気的に接続される。
第1電極410を備えた前記第1チップ400の表面が正面であり、前記正面の反対側の表面が背面である。本実施例の前記スルーホール相互接続構造310は、前記背面と接触して、スルーホール相互接続構造310と前記第1チップ400との電気的接続を実現する。本実施例では、前記第1ウェハ300はシリコン基板であり、前記スルーホール相互接続構造は、シリコン貫通電極の相互接続構造である。
本実施例では、前記スルーホール相互接続構造301の材料は銅である。他の実施例では、前記スルーホール相互接続構造301の材料はまた、アルミニウム、タングステンおよびチタンなどの導電性材料であってもよい。
本発明は上記のように開示されているが、本発明はこれに限定されない。当業者は、本発明の精神および範囲から逸脱せずに、様々な変更および修正を行うことができる。したがって、本発明の保護範囲は、特許請求の範囲によって定義される範囲に従うべきである。
Claims (20)
- 複数の第1チップが形成されている第1ウェハを提供するステップであって、前記第1チップの表面に第1電極が設けられ、前記第1ウェハの表面に前記第1電極を露出した第1誘電体層が設けられているステップと、
その表面に第2電極が設けられ、前記第2電極を露出した第2誘電体層が形成されている複数の第2チップを提供するステップと、
前記第2チップを前記第1ウェハに接合させ、かつ、前記第2チップを前記第1チップの位置に対応させ、前記第1電極と前記第2電極との間にキャビティを形成するように、前記第2誘電体層と前記第1誘電体層を対向配置させるステップと、
前記第1電極と前記第2電極とを電気的に接続させるチップ相互接続構造を、前記キャビティ内に形成するステップと、
前記第2チップを覆うパッケージング層を形成するステップと、を含む
ことを特徴とするウェハレベルパッケージング方法。 - 前記第2チップは、前記第2電極を有する表面が正面であり、正面と背向する表面が背面であり、
前記第2チップを前記第1ウェハに接合する前に、複数の前記第2チップの背面を第2ウェハに仮接合し、
前記第2チップを覆う前記パッケージング層を形成する前に、前記第2ウェハを剥離する
ことを特徴とする請求項1に記載のパッケージング方法。 - 複数の前記第2チップは、接着層または静電接合によって、前記第2ウェハに仮接合される
ことを特徴とする請求項2に記載のパッケージング方法。 - 前記第1電極と前記第2電極とを電気的に接続させる前記チップ相互接続構造を前記キャビティ内に形成する前に、前記第2ウェハを剥離する
ことを特徴とする請求項2に記載のパッケージング方法。 - 前記チップ相互接続構造を形成してから前記パッケージング層を形成する前に、前記第2ウェハを剥離する
ことを特徴とする請求項2に記載のパッケージング方法。 - 溶融接合、接着接合またはガラス誘電体接合によって、前記第2チップを前記第1ウェハに接合する
ことを特徴とする請求項1に記載のパッケージング方法。 - 前記第1誘電体層と前記第2誘電体層の材料は、両方とも酸化ケイ素である
ことを特徴とする請求項1または6に記載のパッケージング方法。 - 前記第2チップを覆う前記パッケージング層を形成するステップは、射出成形プロセスによって、前記パッケージング層を形成するステップを含む
ことを特徴とする請求項1に記載のパッケージング方法。 - 前記第1誘電体層と背向する前記第1ウェハの表面が背面であり、
前記パッケージング層を形成した後に、前記第1ウェハの背面を薄化処理させ、
スルーホール相互接続構造を、薄化処理された前記第1ウェハ内に形成する
ことを特徴とする請求項1に記載のパッケージング方法。 - 前記第1電極は、前記第1チップの端部に設けられ、
前記第2電極は、前記第2チップの端部に設けられ、
前記第2誘電体層と前記第1誘電体層を対向配置させるとき、前記第2チップと前記第1チップが対向配置され、前記第1電極、前記第1誘電体層、前記第2誘電体層および前記第2チップによりキャビティが囲まれ、
かつ、前記第2電極と前記第1誘電体層の間位置する前記キャビティには、開口が形成される
ことを特徴とする請求項1に記載のパッケージング方法。 - 電気めっきプロセスによって、前記チップ相互接続構造を形成する
ことを特徴とする請求項1に記載のパッケージング方法。 - 前記電気めっきプロセスは、無電解めっきである
ことを特徴とする請求項11に記載のパッケージング方法。 - 前記チップ相互接続構造の材料は、銅、ニッケル、亜鉛、スズ、銀、金、タングステンおよびマグネシウムの一つまたは複数を含む
ことを特徴とする請求項1に記載のパッケージング方法。 - 複数の第1チップが形成されている第1ウェハであって、前記第1チップの表面に第1電極が設けられ、前記第1ウェハの表面に前記第1電極を露出した第1誘電体層が設けられる第1ウェハと、
前記第1ウェハに接合され、かつ、前記複数の第1チップの位置に対応した複数の第2チップであって、前記第1ウェハに対向する前記第2チップの表面に、前記第1電極に対向配置される第2電極が設けられ、前記第1ウェハに対向する前記第2チップの表面上に、前記第2電極を露出した第2誘電体層がさらに形成されている複数の第2チップと、
前記第1電極と前記第2電極との間に形成されるチップ相互接続構造と、
前記第2チップを覆うパッケージング層と、を含む
ことを特徴とするウェハレベルパッケージング構造。 - 前記第2チップは、溶融接合、接着接合またはガラス誘電体で、前記第1ウェハに接合されている
ことを特徴とする請求項14に記載のパッケージング構造。 - 前記第1誘電体層および前記第2誘電体層の材料は、両方とも酸化ケイ素である
ことを特徴とする請求項14または15に記載のパッケージング構造。 - 前記パッケージング層は、射出成形層である
ことを特徴とする請求項14に記載のパッケージング構造。 - 前記チップ相互接続構造は、電気めっきチップ相互接続構造である
ことを特徴とする請求項14に記載のパッケージング構造。 - 前記チップ相互接続構造の材料は、銅、ニッケル、亜鉛、スズ、銀、金、タングステンおよびマグネシウムの一つまたは複数を含む
ことを特徴とする請求項14に記載のパッケージング構造。 - 前記第1ウェハの厚さは、5μm〜10μmである
ことを特徴とする請求項14に記載のパッケージング構造。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201811027608.8A CN110875203B (zh) | 2018-09-04 | 2018-09-04 | 晶圆级封装方法以及封装结构 |
CN201811027608.8 | 2018-09-04 | ||
PCT/CN2018/113106 WO2020047974A1 (zh) | 2018-09-04 | 2018-10-31 | 晶圆级封装方法以及封装结构 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021536131A true JP2021536131A (ja) | 2021-12-23 |
Family
ID=69640431
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021511671A Pending JP2021536131A (ja) | 2018-09-04 | 2018-10-31 | ウェハレベルパッケージング方法およびパッケージング構造 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10804177B2 (ja) |
JP (1) | JP2021536131A (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113937017A (zh) * | 2020-07-14 | 2022-01-14 | 中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司 | 晶圆级封装方法 |
KR20230012365A (ko) | 2021-07-15 | 2023-01-26 | 삼성전자주식회사 | 반도체 패키지 및 그 제조 방법 |
CN113691233A (zh) * | 2021-08-27 | 2021-11-23 | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 | 一种高可靠性晶圆级封装的声表滤波器结构及其制备方法 |
CN114883440A (zh) * | 2022-05-19 | 2022-08-09 | 史先德 | 一种适用于深海高压强环境下的感光芯片封装结构 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20150311188A1 (en) * | 2014-04-24 | 2015-10-29 | Shanghai Lexvu Opto Microelectronics Technology Co., Ltd. | Methods of Fabrication and Testing of Three-Dimensional Stacked Integrated Circuit System-In-Package |
JP2015233049A (ja) * | 2014-06-09 | 2015-12-24 | 株式会社ディスコ | 積層デバイスの製造方法 |
JP2016171212A (ja) * | 2015-03-12 | 2016-09-23 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5988485A (en) | 1998-03-17 | 1999-11-23 | Advanced Micro Devices, Inc. | Flux cleaning for flip chip technology using environmentally friendly solvents |
US6926190B2 (en) | 2002-03-25 | 2005-08-09 | Micron Technology, Inc. | Integrated circuit assemblies and assembly methods |
DE10303588B3 (de) | 2003-01-29 | 2004-08-26 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zur vertikalen Montage von Halbleiterbauelementen |
US6962835B2 (en) * | 2003-02-07 | 2005-11-08 | Ziptronix, Inc. | Method for room temperature metal direct bonding |
-
2018
- 2018-10-31 JP JP2021511671A patent/JP2021536131A/ja active Pending
- 2018-12-21 US US16/230,224 patent/US10804177B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20150311188A1 (en) * | 2014-04-24 | 2015-10-29 | Shanghai Lexvu Opto Microelectronics Technology Co., Ltd. | Methods of Fabrication and Testing of Three-Dimensional Stacked Integrated Circuit System-In-Package |
JP2015233049A (ja) * | 2014-06-09 | 2015-12-24 | 株式会社ディスコ | 積層デバイスの製造方法 |
JP2016171212A (ja) * | 2015-03-12 | 2016-09-23 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10804177B2 (en) | 2020-10-13 |
US20200075443A1 (en) | 2020-03-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN110875203B (zh) | 晶圆级封装方法以及封装结构 | |
CN110875202B (zh) | 晶圆级封装方法以及封装结构 | |
US10256177B2 (en) | Integrated interposer solutions for 2D and 3D IC packaging | |
TWI667714B (zh) | 用於具有晶粒對中介層晶圓第一接合的半導體裝置封裝的方法和系統 | |
JP2021536131A (ja) | ウェハレベルパッケージング方法およびパッケージング構造 | |
US20220112077A1 (en) | Mems encapsulation structure and manufacturing method thereof | |
CN110875198A (zh) | 晶圆级封装方法及封装结构 | |
CN110364443A (zh) | 半导体器件和制造方法 | |
JP2021535613A (ja) | ウェハレベルパッケージ方法及びパッケージ構造 | |
US10978421B2 (en) | Wafer-level packaging method and package structure | |
US20210327866A1 (en) | Integrated circuit package and method | |
WO2020134589A1 (zh) | Mems封装结构及其制作方法 | |
WO2022161464A1 (zh) | 晶圆级系统封装方法及晶圆级系统封装结构 | |
CN114823357A (zh) | 晶圆级封装方法以及封装结构 | |
CN110875204B (zh) | 晶圆级封装方法以及封装结构 | |
US11667518B2 (en) | MEMS packaging structure and manufacturing method therefor | |
CN110875201B (zh) | 晶圆级封装方法以及封装结构 | |
US10756051B2 (en) | Wafer-level system packaging method and package structure | |
CN113539853B (zh) | 一种晶圆级封装方法及其封装结构 | |
CN110875200B (zh) | 晶圆级封装方法及封装结构 | |
CN114823392A (zh) | 一种晶圆级系统封装结构及其封装方法 | |
CN114823388A (zh) | 一种晶圆级系统封装方法 | |
CN113937018A (zh) | 晶圆级封装方法以及封装结构 | |
WO2022012476A1 (zh) | Mems器件晶圆级封装方法及封装结构 | |
CN114823380A (zh) | 一种晶圆级封装方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210301 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220418 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220426 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20221115 |