JP2021068788A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230148602A (ko) * 2022-04-18 2023-10-25 에스케이하이닉스 주식회사 이미지 센싱 장치
US20240274636A1 (en) * 2023-02-15 2024-08-15 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Pixel sensor arrays and methods of formation

Family Cites Families (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009238985A (ja) * 2008-03-27 2009-10-15 Kyushu Institute Of Technology 半導体撮像素子およびその製造方法
JP2012084816A (ja) 2010-10-14 2012-04-26 Fujifilm Corp 裏面照射型撮像素子及び撮像装置
JP2012156310A (ja) 2011-01-26 2012-08-16 Sony Corp 固体撮像素子、固体撮像素子の製造方法、および電子機器
JP6299058B2 (ja) 2011-03-02 2018-03-28 ソニー株式会社 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法及び電子機器
JP2013098446A (ja) 2011-11-04 2013-05-20 Sony Corp 固体撮像素子、固体撮像素子の製造方法、及び、電子機器
JP5967944B2 (ja) * 2012-01-18 2016-08-10 キヤノン株式会社 固体撮像装置およびカメラ
JP2013157422A (ja) 2012-01-30 2013-08-15 Sony Corp 固体撮像素子、固体撮像素子の製造方法、および電子機器
JP2014096490A (ja) * 2012-11-09 2014-05-22 Sony Corp 撮像素子、製造方法
JP6231741B2 (ja) * 2012-12-10 2017-11-15 キヤノン株式会社 固体撮像装置およびその製造方法
JP6127869B2 (ja) 2013-09-25 2017-05-17 ソニー株式会社 固体撮像素子及びその駆動方法、並びに電子機器
JP6305028B2 (ja) 2013-11-22 2018-04-04 キヤノン株式会社 光電変換装置の製造方法および光電変換装置
JP6215246B2 (ja) 2014-05-16 2017-10-18 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 固体撮像素子および固体撮像素子の製造方法、並びに電子機器
JP6173259B2 (ja) 2014-06-02 2017-08-02 キヤノン株式会社 光電変換装置および撮像システム
JP2016096254A (ja) 2014-11-14 2016-05-26 キヤノン株式会社 固体撮像装置
JP2015146465A (ja) * 2015-04-30 2015-08-13 キヤノン株式会社 光電変換装置
JP6764234B2 (ja) * 2015-06-03 2020-09-30 キヤノン株式会社 固体撮像装置及びカメラ
KR102437162B1 (ko) * 2015-10-12 2022-08-29 삼성전자주식회사 이미지 센서
JP2017108062A (ja) 2015-12-11 2017-06-15 ソニー株式会社 固体撮像素子、撮像装置、および、固体撮像素子の製造方法
TWI785618B (zh) * 2016-01-27 2022-12-01 日商新力股份有限公司 固體攝像元件及電子機器
JP2017168566A (ja) 2016-03-15 2017-09-21 ソニー株式会社 固体撮像素子、および電子機器
EP3447801A4 (en) 2016-04-22 2020-03-25 Sony Corporation SOLID IMAGING ELEMENT, CONTROL METHOD AND ELECTRONIC DEVICE
KR102552758B1 (ko) 2016-04-25 2023-07-07 소니그룹주식회사 고체 촬상 소자 및 그 제조 방법 및 전자 기기
JP6808348B2 (ja) 2016-04-28 2021-01-06 キヤノン株式会社 光電変換装置およびカメラ
JP6738200B2 (ja) 2016-05-26 2020-08-12 キヤノン株式会社 撮像装置
JP7058479B2 (ja) * 2016-10-18 2022-04-22 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 光検出器
JP6808481B2 (ja) 2016-12-27 2021-01-06 キヤノン株式会社 半導体装置、システム、および、半導体装置の製造方法
JP7316764B2 (ja) * 2017-05-29 2023-07-28 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 固体撮像装置、及び電子機器
JP2018206837A (ja) 2017-05-31 2018-12-27 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法、並びに電子機器
KR102421726B1 (ko) 2017-09-25 2022-07-15 삼성전자주식회사 이미지 센서
KR102507474B1 (ko) 2018-01-09 2023-03-10 삼성전자주식회사 이미지 센서
JP7250427B2 (ja) 2018-02-09 2023-04-03 キヤノン株式会社 光電変換装置、撮像システム、および移動体
JP2019145544A (ja) 2018-02-16 2019-08-29 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 撮像素子
JP2019165136A (ja) 2018-03-20 2019-09-26 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 固体撮像装置およびその製造方法、並びに電子機器
JP6900969B2 (ja) 2018-03-28 2021-07-14 ソニーグループ株式会社 固体撮像装置
US11121160B2 (en) 2018-10-17 2021-09-14 Canon Kabushiki Kaisha Photoelectric conversion apparatus and equipment comprising a light shielding part in a light receiving region and a light shielding film in a light shielded region
JP7366531B2 (ja) 2018-10-29 2023-10-23 キヤノン株式会社 光電変換装置および機器
JP2020113573A (ja) 2019-01-08 2020-07-27 キヤノン株式会社 光電変換装置
JP6744943B2 (ja) 2019-03-29 2020-08-19 キヤノン株式会社 固体撮像装置およびカメラ

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