JP2021001732A - センサー用パッケージ基板及びこれを備えるセンサーモジュール、並びに、センサー用パッケージ基板の製造方法 - Google Patents
センサー用パッケージ基板及びこれを備えるセンサーモジュール、並びに、センサー用パッケージ基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021001732A JP2021001732A JP2019113959A JP2019113959A JP2021001732A JP 2021001732 A JP2021001732 A JP 2021001732A JP 2019113959 A JP2019113959 A JP 2019113959A JP 2019113959 A JP2019113959 A JP 2019113959A JP 2021001732 A JP2021001732 A JP 2021001732A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- package substrate
- hole
- holes
- sensor chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B7/00—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
- B81B7/0032—Packages or encapsulation
- B81B7/0061—Packages or encapsulation suitable for fluid transfer from the MEMS out of the package or vice versa, e.g. transfer of liquid, gas, sound
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00015—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
- B81C1/00261—Processes for packaging MEMS devices
- B81C1/00309—Processes for packaging MEMS devices suitable for fluid transfer from the MEMS out of the package or vice versa, e.g. transfer of liquid, gas, sound
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D11/00—Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
- G01D11/24—Housings ; Casings for instruments
- G01D11/245—Housings for sensors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H3/00—Measuring characteristics of vibrations by using a detector in a fluid
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/12—Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/02—Sensors
- B81B2201/0257—Microphones or microspeakers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/02—Sensors
- B81B2201/0264—Pressure sensors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/02—Sensors
- B81B2201/0278—Temperature sensors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2207/00—Microstructural systems or auxiliary parts thereof
- B81B2207/01—Microstructural systems or auxiliary parts thereof comprising a micromechanical device connected to control or processing electronics, i.e. Smart-MEMS
- B81B2207/012—Microstructural systems or auxiliary parts thereof comprising a micromechanical device connected to control or processing electronics, i.e. Smart-MEMS the micromechanical device and the control or processing electronics being separate parts in the same package
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C2203/00—Forming microstructural systems
- B81C2203/01—Packaging MEMS
- B81C2203/0109—Bonding an individual cap on the substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R1/00—Details of transducers, loudspeakers or microphones
- H04R1/02—Casings; Cabinets ; Supports therefor; Mountings therein
- H04R1/04—Structural association of microphone with electric circuitry therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R1/00—Details of transducers, loudspeakers or microphones
- H04R1/06—Arranging circuit leads; Relieving strain on circuit leads
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R19/00—Electrostatic transducers
- H04R19/005—Electrostatic transducers using semiconductor materials
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R19/00—Electrostatic transducers
- H04R19/04—Microphones
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R2201/00—Details of transducers, loudspeakers or microphones covered by H04R1/00 but not provided for in any of its subgroups
- H04R2201/003—Mems transducers or their use
Abstract
Description
φ11>φ12>φ10
である。そして、貫通孔V1は、深さ位置D1から一方及び他方の表面101,102に近づくにつれて内径が拡大するテーパー形状を有している。
φ22>φ21>φ20
である。そして、貫通孔V2は、深さ位置D2から一方及び他方の表面101,102に近づくにつれて内径が拡大するテーパー形状を有している。
φ11>φ21、且つ、φ22>φ12
である。また、
φ11=φ22、且つ、φ12=φ21
であっても構わない。
D1>D2
である。これにより、貫通孔V1,V2がテーパー形状を有しているにもかかわらず、貫通孔V1と貫通孔V2の間に位置するセンサー用パッケージ基板100の肉厚(x方向における幅)の厚み方向(z方向)に対する変化が小さくなる。
ある。
100A,100B センサーモジュール
101 一方の表面
102 他方の表面
111〜114 絶縁層
121,122 ソルダーレジスト
130 外部端子
131〜134 配線パターン
131a〜134a 金属膜
141〜144 スルーホール導体
150 コントローラチップ
151 主面
160,170 センサーチップ
161 検出部
171,172 ドライフィルム
181,182 ボンディングワイヤ
183 ダイアタッチフィルム
190 キャップ
191 空間
200 マザーボード
A,B センサーチップ搭載領域
A11,A12,A21,A22 開口部
C 保護膜
D1,D2 深さ位置
L1〜L4 配線層
V1〜V3 貫通孔
Claims (13)
- センサーチップを搭載するためのセンサーチップ搭載領域と、平面視で前記センサーチップ搭載領域と重なる位置に設けられ、一方の表面から他方の表面に亘って貫通する複数の貫通孔を有するセンサー用パッケージ基板であって、
前記複数の貫通孔は、第1及び第2の貫通孔を含み、
前記第1の貫通孔は、第1の深さ位置において最も内径が小さく、
前記第2の貫通孔は、第2の深さ位置において最も内径が小さく、
前記第1の深さ位置と前記第2の深さ位置が互いに異なることを特徴とするセンサー用パッケージ基板。 - 前記第1の貫通孔は、前記第1の深さ位置から前記一方及び他方の表面に近づくにつれて内径が拡大する形状を有し、
前記第2の貫通孔は、前記第2の深さ位置から前記一方及び他方の表面に近づくにつれて内径が拡大する形状を有することを特徴とする請求項1に記載のセンサー用パッケージ基板。 - 前記一方の表面における前記第1及び第2の貫通孔の径が互いに異なることを特徴とする請求項1又は2に記載のセンサー用パッケージ基板。
- 前記複数の貫通孔の内壁が保護膜で覆われていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のセンサー用パッケージ基板。
- 前記保護膜が絶縁材料からなることを特徴とする請求項4に記載のセンサー用パッケージ基板。
- 前記保護膜が金属材料からなることを特徴とする請求項4に記載のセンサー用パッケージ基板。
- 請求項1乃至6のいずれか一項に記載のセンサー用パッケージ基板と、前記センサーチップ搭載領域に搭載されたセンサーチップとを備えることを特徴とするセンサーモジュール。
- 前記センサーチップは、空気の振動、圧力、温度又は組成を検出するセンサーであることを特徴とする請求項7に記載のセンサーモジュール。
- センサーチップを搭載するためのセンサーチップ搭載領域を有する基板を用意し、平面視で前記センサーチップ搭載領域と重なる位置に開口部を有するメタルマスクを形成する工程と、
前記メタルマスクを介してレーザー加工、ブラスト加工またはその両方を行うことにより、前記基板の一方の表面から他方の表面に亘って貫通する第1及び第2の貫通孔を前記メタルマスクの開口部と重なる位置に形成する工程と、を備え、
前記第1の貫通孔に対応する前記メタルマスク開口部の径は、前記第2の貫通孔に対応する前記メタルマスク開口部の径と異なることを特徴とするセンサー用パッケージ基板の製造方法。 - センサーチップを搭載するためのセンサーチップ搭載領域を有する基板を用意し、平面視で前記センサーチップ搭載領域と重なる位置にレーザービームを照射することによって、前記基板の一方の表面から他方の表面に亘って貫通する複数の貫通孔を形成する工程を備え、
前記複数の貫通孔は、第1及び第2の貫通孔を含み、
前記第1の貫通孔を形成する際における前記レーザービームの強度は、前記第2の貫通孔を形成する際における前記レーザービームの強度と異なることを特徴とするセンサー用パッケージ基板の製造方法。 - 前記複数の貫通孔の内壁を保護膜で覆う工程をさらに備えることを特徴とする請求項9又は10に記載のセンサー用パッケージ基板の製造方法。
- 前記保護膜で覆う工程は、CVD法によって絶縁材料を成膜することにより行うことを特徴とする請求項11に記載のセンサー用パッケージ基板の製造方法。
- 前記保護膜で覆う工程は、メッキ法によって金属材料を成膜することにより行うことを特徴とする請求項11に記載のセンサー用パッケージ基板の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019113959A JP7207192B2 (ja) | 2019-06-19 | 2019-06-19 | センサー用パッケージ基板及びこれを備えるセンサーモジュール、並びに、センサー用パッケージ基板の製造方法 |
PCT/JP2020/022240 WO2020255745A1 (ja) | 2019-06-19 | 2020-06-05 | センサー用パッケージ基板及びこれを備えるセンサーモジュール、並びに、センサー用パッケージ基板の製造方法 |
US17/620,485 US20220267142A1 (en) | 2019-06-19 | 2020-06-05 | Sensor package substrate, sensor module having the same, and sensor package substrate manufacturing method |
TW109120124A TWI732597B (zh) | 2019-06-19 | 2020-06-16 | 感測器用封裝基板及具備其之感測器模組暨感測器用封裝基板之製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019113959A JP7207192B2 (ja) | 2019-06-19 | 2019-06-19 | センサー用パッケージ基板及びこれを備えるセンサーモジュール、並びに、センサー用パッケージ基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021001732A true JP2021001732A (ja) | 2021-01-07 |
JP7207192B2 JP7207192B2 (ja) | 2023-01-18 |
Family
ID=73994850
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019113959A Active JP7207192B2 (ja) | 2019-06-19 | 2019-06-19 | センサー用パッケージ基板及びこれを備えるセンサーモジュール、並びに、センサー用パッケージ基板の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220267142A1 (ja) |
JP (1) | JP7207192B2 (ja) |
TW (1) | TWI732597B (ja) |
WO (1) | WO2020255745A1 (ja) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004265949A (ja) * | 2003-02-24 | 2004-09-24 | Hamamatsu Photonics Kk | 半導体装置、及びそれを用いた放射線検出器 |
JP2008282902A (ja) * | 2007-05-09 | 2008-11-20 | Hakodate Electronics Co Ltd | 配線基板及びその製造方法 |
JP2009186378A (ja) * | 2008-02-07 | 2009-08-20 | Dainippon Printing Co Ltd | 支持基板及びそれを用いた静電容量型力学量検出センサ |
US9212054B1 (en) * | 2014-10-15 | 2015-12-15 | DunAn Sensing, LLC | Pressure sensors and methods of making the same |
JP2016034030A (ja) * | 2015-09-29 | 2016-03-10 | 大日本印刷株式会社 | 貫通電極基板および貫通電極基板の製造方法 |
JP2016208007A (ja) * | 2015-04-23 | 2016-12-08 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | プリント回路基板、半導体パッケージ及びその製造方法 |
JP2017146101A (ja) * | 2016-02-15 | 2017-08-24 | セイコーエプソン株式会社 | 防水部材、防水部材の製造方法、圧力センサーおよび電子モジュール |
JP2018159595A (ja) * | 2017-03-22 | 2018-10-11 | アズビル株式会社 | 差圧センサチップ、差圧発信器、および差圧センサチップの製造方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3951091B2 (ja) * | 2000-08-04 | 2007-08-01 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP4138529B2 (ja) * | 2003-02-24 | 2008-08-27 | 浜松ホトニクス株式会社 | 半導体装置、及びそれを用いた放射線検出器 |
JP5021216B2 (ja) * | 2006-02-22 | 2012-09-05 | イビデン株式会社 | プリント配線板およびその製造方法 |
US9049808B2 (en) * | 2010-08-21 | 2015-06-02 | Ibiden Co., Ltd. | Printed wiring board and a method of manufacturing a printed wiring board |
JP2013197245A (ja) * | 2012-03-19 | 2013-09-30 | Ibiden Co Ltd | プリント配線板 |
JP6208411B2 (ja) * | 2012-06-15 | 2017-10-04 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板及びその製造方法 |
TWI575672B (zh) * | 2014-08-11 | 2017-03-21 | 精材科技股份有限公司 | 晶片封裝體及其製造方法 |
JP6819268B2 (ja) * | 2016-12-15 | 2021-01-27 | 凸版印刷株式会社 | 配線基板、多層配線基板、及び配線基板の製造方法 |
US10163660B2 (en) * | 2017-05-08 | 2018-12-25 | Tt Electronics Plc | Sensor device with media channel between substrates |
-
2019
- 2019-06-19 JP JP2019113959A patent/JP7207192B2/ja active Active
-
2020
- 2020-06-05 US US17/620,485 patent/US20220267142A1/en active Pending
- 2020-06-05 WO PCT/JP2020/022240 patent/WO2020255745A1/ja active Application Filing
- 2020-06-16 TW TW109120124A patent/TWI732597B/zh active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004265949A (ja) * | 2003-02-24 | 2004-09-24 | Hamamatsu Photonics Kk | 半導体装置、及びそれを用いた放射線検出器 |
JP2008282902A (ja) * | 2007-05-09 | 2008-11-20 | Hakodate Electronics Co Ltd | 配線基板及びその製造方法 |
JP2009186378A (ja) * | 2008-02-07 | 2009-08-20 | Dainippon Printing Co Ltd | 支持基板及びそれを用いた静電容量型力学量検出センサ |
US9212054B1 (en) * | 2014-10-15 | 2015-12-15 | DunAn Sensing, LLC | Pressure sensors and methods of making the same |
JP2016208007A (ja) * | 2015-04-23 | 2016-12-08 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | プリント回路基板、半導体パッケージ及びその製造方法 |
JP2016034030A (ja) * | 2015-09-29 | 2016-03-10 | 大日本印刷株式会社 | 貫通電極基板および貫通電極基板の製造方法 |
JP2017146101A (ja) * | 2016-02-15 | 2017-08-24 | セイコーエプソン株式会社 | 防水部材、防水部材の製造方法、圧力センサーおよび電子モジュール |
JP2018159595A (ja) * | 2017-03-22 | 2018-10-11 | アズビル株式会社 | 差圧センサチップ、差圧発信器、および差圧センサチップの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI732597B (zh) | 2021-07-01 |
US20220267142A1 (en) | 2022-08-25 |
WO2020255745A1 (ja) | 2020-12-24 |
JP7207192B2 (ja) | 2023-01-18 |
TW202105667A (zh) | 2021-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11053118B2 (en) | Sensor package substrate and sensor module having the same | |
US20220406670A1 (en) | Sensor package substrate, sensor module including the same, and electronic component embedded substrate | |
CN112786561B (zh) | 部件承载件及其制造方法 | |
US11012790B2 (en) | Flipchip package | |
JP2009272512A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2010147955A (ja) | 空洞部を有する回路基板およびその製造方法 | |
WO2020255745A1 (ja) | センサー用パッケージ基板及びこれを備えるセンサーモジュール、並びに、センサー用パッケージ基板の製造方法 | |
JP6269626B2 (ja) | 半導体装置、電子部品内蔵基板、及びこれらの製造方法 | |
US11445617B2 (en) | Package structure and manufacturing method thereof | |
JP2021002539A (ja) | 電子部品内蔵基板及びその製造方法 | |
WO2021039888A1 (ja) | センサー用パッケージ基板及びこれを備えるセンサーモジュール、並びに、センサー用パッケージ基板の製造方法 | |
JP2013074151A (ja) | 電子部品素子搭載用基板及びその製造方法 | |
CN111385971B (zh) | 电路基板及其制造方法 | |
TWI741354B (zh) | 感測器用封裝基板及具備其之感測器模組暨內藏電子零件之基板 | |
JP2021086956A (ja) | 電子部品内蔵パッケージ基板及びこれを備えるセンサーモジュール、並びに、電子部品内蔵パッケージ基板の製造方法 | |
JP5903973B2 (ja) | 電子部品内蔵基板及びその製造方法 | |
JP2002033407A (ja) | 光半導体素子収納用パッケージ | |
Matsuura et al. | Evaluation of Residual Stress of Embedded Die Substrate with Hollow Structure for Heterogeneous Integration | |
CN112447653A (zh) | 传感器用封装基板及具备其的传感器模块以及电子部件内置基板 | |
TWI789781B (zh) | 具有腔部之電路基板及其製造方法 | |
JP2018164021A (ja) | キャビティ付き配線板 | |
WO2022091957A1 (ja) | 電子部品内蔵基板 | |
JP2008010208A (ja) | 多方向スイッチ | |
KR20150134699A (ko) | 회로기판의 제조방법 | |
KR20120048842A (ko) | 임베디드 패키지 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221025 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221118 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221206 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20221219 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7207192 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |