JP2020123737A - 半導体構造上にエピタキシャルスムージング加工を実行するためのシステムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (38)
- ハンドルウエハと、シリコン層と、前記ハンドルウエハと前記シリコン層との間の誘電体層と、を含み、前記シリコン層が構造の外面を形成する劈開面を有する、シリコン・オン・インシュレータ構造を加工する方法であって、
前記シリコン・オン・インシュレータ構造の前記シリコン層についての所望の除去マッププロファイルを決定するステップと、
前記所望の除去マッププロファイルに基づいてエピタキシャルスムージング加工の中で使用するための加工パラメータセットを決定するステップと、
決定された加工パラメータセットを使用して前記劈開面上にエピタキシャルスムージング加工を実行することによって、前記除去マッププロファイルに従って前記シリコン層から材料を選択的に除去するステップと、を含む方法。 - 前記シリコン層は、初期厚さプロファイルを有し、
所望の除去マッププロファイルを決定するステップは、前記シリコン層の前記初期厚さプロファイルを補完する除去マッププロファイルを決定するステップを含む請求項1に記載の方法。 - 前記エピタキシャルスムージング加工は、前記劈開面をガスエッチャントに接触させるステップを含む請求項1に記載の方法。
- 前記決定された加工パラメータセットは、ガスエッチャント流量を含み、
前記シリコン層から材料を選択的に除去するステップは、前記決定された加工パラメータセットに従って前記ガスエッチャントの流量を制御するステップを含む請求項3に記載の方法。 - 前記決定された加工パラメータセットは、水素ガス流量を含み、
前記シリコン層から材料を選択的に除去するステップは、前記決定された加工パラメータセットに従って水素ガスの流量を制御するステップを含む請求項4に記載の方法。 - 前記ガスエッチャントは、塩化水素である請求項3に記載の方法。
- 前記エピタキシャルスムージング加工は、ウエハ加工装置内の回転可能なサセプタ上に前記シリコン・オン・インシュレータ構造を配置するステップを含み、
前記決定された加工パラメータセットは、サセプタの回転速度を含み、
前記シリコン層から材料を選択的に除去するステップは、前記決定された加工パラメータセットに従って前記サセプタの回転速度を制御するステップを含む請求項1に記載の方法。 - 前記決定された加工パラメータセットは、前記サセプタの回転軸に対する前記シリコン・オン・インシュレータ構造の位置を含み、
前記回転可能なサセプタ上に前記シリコン・オン・インシュレータ構造を配置するステップは、前記位置に前記シリコン・オン・インシュレータ構造を配置するステップを含む請求項7に記載の方法。 - 前記エピタキシャルスムージング加工は、複数のガス噴射流路を形成するガスマニホールドを含むウエハ加工装置内に前記シリコン・オン・インシュレータ構造を配置するステップを含み、
前記シリコン層から材料を選択的に除去するステップは、前記決定された加工パラメータセットに従って前記ガス噴射流路のそれぞれを通る相対的なガス流量を制御するステップを含む請求項1に記載の方法。 - 加工パラメータセットを決定するステップは、前記所望の除去マッププロファイルに基づいて、それぞれの所定の加工パラメータセットが所定の除去マッププロファイルに関連付けられた複数の所定の加工パラメータセットから、加工パラメータセットを選択するステップを含む請求項1に記載の方法。
- 前記シリコン・オン・インシュレータ構造の実際の除去マッププロファイルと、前記エピタキシャルスムージング加工中に使用される選択された加工パラメータセットに関連付けられた所定の除去マッププロファイルと、を比較して、前記実際の除去マッププロファイルと前記所定の除去マッププロファイルとの間の差を決定するステップと、
前記実際の除去マッププロファイルと前記所定の除去マッププロファイルとの間の差が閾値限界を超えた場合、前記エピタキシャルスムージング加工中に使用される前記選択された加工パラメータセットに関連付けられた前記所定の除去マッププロファイルを更新するステップと、を更に含む請求項10に記載の方法。 - 加工パラメータセットを決定するステップは、
前記エピタキシャルスムージング加工の第1部分についての第1加工パラメータセットを決定するステップと、
前記エピタキシャルスムージング加工の第2部分についての第2加工パラメータセットを決定するステップと、を含む請求項1に記載の方法。 - 前記シリコン層から材料を選択的に除去するステップは、前記エピタキシャルスムージング加工の前記第1部分についての前記第1加工パラメータセットと、前記エピタキシャルスムージング加工の第2部分についての第2加工パラメータセットと、を使用して、前記劈開面上に前記エピタキシャルスムージング加工を実行するステップを含む請求項13に記載の方法。
- ハンドルウエハと、シリコン層と、前記ハンドルウエハと前記シリコン層との間の誘電体層と、を含み、前記シリコン層が構造の外面を形成する劈開面を有する、シリコン・オン・インシュレータ構造を加工するシステムであって、
前記シリコン層の厚さプロファイルを測定するように構成されたウエハ測定装置と、
ウエハ加工装置と、
厚さ測定装置に通信可能に接続された演算装置であって、
前記シリコン層の前記厚さプロファイルに基づいて、前記シリコン・オン・インシュレータ構造の前記シリコン層についての所望の除去マッププロファイルを決定し、
前記所望の除去マッププロファイルに基づいて、エピタキシャルスムージング加工の中で使用するための加工パラメータセットを決定する、
ように構成された演算装置と、を含み、
前記ウエハ加工装置は、決定された加工パラメータセットを使用して前記劈開面上にエピタキシャルスムージング加工を実行することによって、前記除去マッププロファイルに従って前記シリコン層から材料を選択的に除去するように構成されているシステム。 - 前記ウエハ加工装置は、ガスエッチャント源に流体連通して接続されたガス噴射口を含み、前記SOIウエハの前記劈開面を前記ガスエッチャントに接触させることによって前記エピタキシャルスムージング加工を実行するように構成されている請求項14に記載のシステム。
- 前記ガスエッチャントは、塩化水素である請求項15に記載のシステム。
- 前記決定された加工パラメータセットは、ガスエッチャント流量を含み、
前記ウエハ加工装置は、前記決定された加工パラメータセットに従って前記ガスエッチャントの流量を制御して、前記シリコン層から材料を選択的に除去するように構成されている請求項15に記載のシステム。 - 前記決定された加工パラメータセットは、水素ガス流量を含み、
前記ウエハ加工装置は、水素ガス源に流体的に接続され、前記決定された加工パラメータセットに従って前記水素ガスの流量を制御して、前記シリコン層から材料を選択的に除去するように構成されている請求項17に記載のシステム。 - 前記ウエハ加工装置は、回転可能なサセプタを含み、
前記決定された加工パラメータセットは、サセプタの回転速度を含み、
前記ウエハ加工装置は、前記決定された加工パラメータセットに従って前記サセプタの回転速度を制御するように構成されている請求項14に記載のシステム。 - 前記ウエハ加工装置は、複数のガス噴射流路を形成するガスマニホールドを含み、前記決定された加工パラメータセットに従って前記ガス噴射流路のそれぞれを通る相対的なガス流量を制御するように構成されている請求項14に記載のシステム。
- 前記演算装置に通信可能に接続された除去マッププロファイルライブラリを更に含むシステムであって、
前記除去マッププロファイルライブラリは、複数の所定の除去マッププロファイルと、複数の所定の加工パラメータセットと、を含み、
それぞれの所定の除去マッププロファイルは、前記所定の加工パラメータセットの1つに関連付けられている請求項14に記載のシステム。 - 前記演算装置は、前記所望の除去マッププロファイルに基づいて、前記複数の所定の加工パラメータセットから加工パラメータセットを選択するように構成されている請求項21に記載のシステム。
- 前記演算装置は、
前記シリコン・オン・インシュレータ構造の実際の除去マッププロファイルと、前記エピタキシャルスムージング加工中に使用される選択された加工パラメータセットに関連付けられた所定の除去マッププロファイルと、を比較して、前記実際の除去マッププロファイルと前記所定の除去マッププロファイルとの間の差を決定し、
前記実際の除去マッププロファイルと前記所定の除去マッププロファイルとの間の差が閾値限界を超えた場合、更新イベントを開始する、
ように構成されている請求項22に記載のシステム。 - 前記演算装置は、前記実際の除去マッププロファイルと前記所定の除去マッププロファイルとの間の前記差が前記閾値限界を超えたことを示す通知を出力することによって、更新イベントを開始するように構成されている請求項23に記載のシステム。
- 前記演算装置は、前記除去マッププロファイルライブラリの中に前記実際の除去マッププロファイルを記憶することによって、前記除去マッププロファイルライブラリを更新し、前記実際の除去マッププロファイルが選択された加工パラメータセットに関連付けられるように構成されている請求項23に記載のシステム。
- 前記演算装置は、
前記エピタキシャルスムージング加工の第1部分の間に使用するために、複数の所定の加工パラメータセットから第1加工パラメータセットを選択し、
前記エピタキシャルスムージング加工の第2部分の間に使用するために、複数の所定の加工パラメータセットから第2加工パラメータセットを選択する、
ように構成されている請求項21に記載のシステム。 - 前記ウエハ加工装置は、前記シリコン層から材料を選択的に除去するステップは、前記エピタキシャルスムージング加工の前記第1部分についての前記第1加工パラメータセットと、前記エピタキシャルスムージング加工の第2部分についての第2加工パラメータセットと、を使用して、前記劈開面上に前記エピタキシャルスムージング加工を実行するように構成されている請求項26に記載のシステム。
- 外面を形成する半導体デバイス層を含む半導体構造を加工する方法であって、
前記半導体構造の前記デバイス層についての所望の除去マッププロファイルを決定するステップと、
前記所望の除去マッププロファイルに基づいてエピタキシャルスムージング加工の中で使用するための加工パラメータセットを決定するステップと、
決定された加工パラメータセットを使用して前記外面上にエピタキシャルスムージング加工を実行することによって、前記除去マッププロファイルに従って前記デバイス層から材料を選択的に除去するステップと、を含む方法。 - 前記デバイス層は、初期厚さプロファイルを有し、
所望の除去マッププロファイルを決定するステップは、前記デバイス層の前記初期厚さプロファイルを補完する除去マッププロファイルを決定するステップを含む請求項28に記載の方法。 - 前記エピタキシャルスムージング加工は、前記デバイス層の前記外面をガスエッチャントに接触させることを含む請求項28に記載の方法。
- 前記決定された加工パラメータセットは、ガスエッチャント流量を含み、
前記デバイス層から材料を選択的に除去するステップは、前記決定された加工パラメータセットに従って前記ガスエッチャントの流量を制御するステップを含む請求項30に記載の方法。 - 前記エピタキシャルスムージング加工は、ウエハ加工装置内の回転可能なサセプタ上に前記半導体構造を配置するステップを含み、
前記決定された加工パラメータセットは、サセプタの回転速度を含み、
前記デバイス層から材料を選択的に除去するステップは、前記決定された加工パラメータセットに従って前記サセプタの回転速度を制御するステップを含む請求項28に記載の方法。 - 前記決定された加工パラメータセットは、前記サセプタの回転軸に対する前記半導体構造の位置を含み、
前記回転可能なサセプタ上に前記半導体構造を配置するステップは、前記位置に前記半導体構造を配置するステップを含む請求項32に記載の方法。 - 前記エピタキシャルスムージング加工は、複数のガス噴射流路を形成するガスマニホールドを含むウエハ加工装置内に前記半導体構造を配置するステップを含み、
前記デバイス層から材料を選択的に除去するステップは、前記決定された加工パラメータセットに従って前記ガス噴射流路のそれぞれを通る相対的なガス流量を制御するステップを含む請求項28に記載の方法。 - 加工パラメータセットを決定するステップは、前記所望の除去マッププロファイルに基づいて、それぞれの所定の加工パラメータセットが所定の除去マッププロファイルに関連付けられた複数の所定の加工パラメータセットから、加工パラメータセットを選択するステップを含む請求項28に記載の方法。
- 前記半導体構造の実際の除去マッププロファイルと、前記エピタキシャルスムージング加工中に使用される選択された加工パラメータセットに関連付けられた所定の除去マッププロファイルと、を比較して、前記実際の除去マッププロファイルと前記所定の除去マッププロファイルとの間の差を決定するステップと、
前記実際の除去マッププロファイルと前記所定の除去マッププロファイルとの間の差が閾値限界を超えた場合、前記エピタキシャルスムージング加工中に使用される前記選択された加工パラメータセットに関連付けられた前記所定の除去マッププロファイルを更新するステップと、を更に含む請求項35に記載の方法。 - 加工パラメータセットを決定するステップは、
前記エピタキシャルスムージング加工の第1部分についての第1加工パラメータセットを決定するステップと、
前記エピタキシャルスムージング加工の第2部分についての第2加工パラメータセットを決定するステップと、を含む請求項28に記載の方法。 - 前記デバイス層から材料を選択的に除去するステップは、前記エピタキシャルスムージング加工の前記第1部分についての前記第1加工パラメータセットと、前記エピタキシャルスムージング加工の第2部分についての第2加工パラメータセットと、を使用して、前記外面上に前記エピタキシャルスムージング加工を実行するステップを含む請求項37に記載の方法。
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US11053591B2 (en) | 2018-08-06 | 2021-07-06 | Asm Ip Holding B.V. | Multi-port gas injection system and reactor system including same |
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US11024523B2 (en) | 2018-09-11 | 2021-06-01 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
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KR20200051105A (ko) | 2018-11-02 | 2020-05-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
US11572620B2 (en) | 2018-11-06 | 2023-02-07 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selectively depositing an amorphous silicon film on a substrate |
US11031242B2 (en) * | 2018-11-07 | 2021-06-08 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a boron doped silicon germanium film |
US10847366B2 (en) | 2018-11-16 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a transition metal chalcogenide film on a substrate by a cyclical deposition process |
JP7004221B2 (ja) * | 2018-11-16 | 2022-01-21 | 信越半導体株式会社 | シリコンウェーハのエッチング方法、エッチング装置及び不純物分析方法 |
US10818758B2 (en) | 2018-11-16 | 2020-10-27 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a metal silicate film on a substrate in a reaction chamber and related semiconductor device structures |
US11217444B2 (en) | 2018-11-30 | 2022-01-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming an ultraviolet radiation responsive metal oxide-containing film |
KR102636428B1 (ko) | 2018-12-04 | 2024-02-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치를 세정하는 방법 |
US11158513B2 (en) | 2018-12-13 | 2021-10-26 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a rhenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures |
TW202037745A (zh) | 2018-12-14 | 2020-10-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成裝置結構之方法、其所形成之結構及施行其之系統 |
TWI819180B (zh) | 2019-01-17 | 2023-10-21 | 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 | 藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法 |
KR20200091543A (ko) | 2019-01-22 | 2020-07-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
CN111524788B (zh) | 2019-02-01 | 2023-11-24 | Asm Ip私人控股有限公司 | 氧化硅的拓扑选择性膜形成的方法 |
KR20200102357A (ko) | 2019-02-20 | 2020-08-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 3-d nand 응용의 플러그 충진체 증착용 장치 및 방법 |
KR102638425B1 (ko) | 2019-02-20 | 2024-02-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 표면 내에 형성된 오목부를 충진하기 위한 방법 및 장치 |
KR102626263B1 (ko) | 2019-02-20 | 2024-01-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 처리 단계를 포함하는 주기적 증착 방법 및 이를 위한 장치 |
JP2020136677A (ja) | 2019-02-20 | 2020-08-31 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 基材表面内に形成された凹部を充填するための周期的堆積方法および装置 |
JP2020133004A (ja) | 2019-02-22 | 2020-08-31 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 基材を処理するための基材処理装置および方法 |
KR20200108242A (ko) | 2019-03-08 | 2020-09-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체 |
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US11742198B2 (en) | 2019-03-08 | 2023-08-29 | Asm Ip Holding B.V. | Structure including SiOCN layer and method of forming same |
JP2020167398A (ja) | 2019-03-28 | 2020-10-08 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | ドアオープナーおよびドアオープナーが提供される基材処理装置 |
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USD975665S1 (en) | 2019-05-17 | 2023-01-17 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
USD947913S1 (en) | 2019-05-17 | 2022-04-05 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
USD935572S1 (en) | 2019-05-24 | 2021-11-09 | Asm Ip Holding B.V. | Gas channel plate |
USD922229S1 (en) | 2019-06-05 | 2021-06-15 | Asm Ip Holding B.V. | Device for controlling a temperature of a gas supply unit |
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USD944946S1 (en) | 2019-06-14 | 2022-03-01 | Asm Ip Holding B.V. | Shower plate |
USD931978S1 (en) | 2019-06-27 | 2021-09-28 | Asm Ip Holding B.V. | Showerhead vacuum transport |
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CN112216646A (zh) | 2019-07-10 | 2021-01-12 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板支撑组件及包括其的基板处理装置 |
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US11643724B2 (en) | 2019-07-18 | 2023-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming structures using a neutral beam |
CN112242296A (zh) | 2019-07-19 | 2021-01-19 | Asm Ip私人控股有限公司 | 形成拓扑受控的无定形碳聚合物膜的方法 |
CN112309843A (zh) | 2019-07-29 | 2021-02-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 实现高掺杂剂掺入的选择性沉积方法 |
CN112309900A (zh) | 2019-07-30 | 2021-02-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
CN112309899A (zh) | 2019-07-30 | 2021-02-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
US11227782B2 (en) | 2019-07-31 | 2022-01-18 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
US11587815B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
US11587814B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
CN112323048B (zh) | 2019-08-05 | 2024-02-09 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于化学源容器的液位传感器 |
USD965524S1 (en) | 2019-08-19 | 2022-10-04 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor support |
USD965044S1 (en) | 2019-08-19 | 2022-09-27 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
JP2021031769A (ja) | 2019-08-21 | 2021-03-01 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | 成膜原料混合ガス生成装置及び成膜装置 |
USD949319S1 (en) | 2019-08-22 | 2022-04-19 | Asm Ip Holding B.V. | Exhaust duct |
USD979506S1 (en) | 2019-08-22 | 2023-02-28 | Asm Ip Holding B.V. | Insulator |
KR20210024423A (ko) | 2019-08-22 | 2021-03-05 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 홀을 구비한 구조체를 형성하기 위한 방법 |
USD930782S1 (en) | 2019-08-22 | 2021-09-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distributor |
USD940837S1 (en) | 2019-08-22 | 2022-01-11 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode |
US11286558B2 (en) | 2019-08-23 | 2022-03-29 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a molybdenum nitride film on a surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures including a molybdenum nitride film |
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KR20210029663A (ko) | 2019-09-05 | 2021-03-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11562901B2 (en) | 2019-09-25 | 2023-01-24 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing method |
CN112593212B (zh) | 2019-10-02 | 2023-12-22 | Asm Ip私人控股有限公司 | 通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法 |
TW202129060A (zh) | 2019-10-08 | 2021-08-01 | 荷蘭商Asm Ip控股公司 | 基板處理裝置、及基板處理方法 |
KR20210043460A (ko) | 2019-10-10 | 2021-04-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 포토레지스트 하부층을 형성하기 위한 방법 및 이를 포함한 구조체 |
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US11637014B2 (en) | 2019-10-17 | 2023-04-25 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selective deposition of doped semiconductor material |
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US11646205B2 (en) | 2019-10-29 | 2023-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of selectively forming n-type doped material on a surface, systems for selectively forming n-type doped material, and structures formed using same |
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US11501968B2 (en) | 2019-11-15 | 2022-11-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method for providing a semiconductor device with silicon filled gaps |
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US11885013B2 (en) | 2019-12-17 | 2024-01-30 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming vanadium nitride layer and structure including the vanadium nitride layer |
US11527403B2 (en) | 2019-12-19 | 2022-12-13 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for filling a gap feature on a substrate surface and related semiconductor structures |
JP2021109175A (ja) | 2020-01-06 | 2021-08-02 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | ガス供給アセンブリ、その構成要素、およびこれを含む反応器システム |
US11255562B2 (en) | 2020-01-06 | 2022-02-22 | Lennox Industries Inc. | HVAC control during demand response event |
US11993847B2 (en) | 2020-01-08 | 2024-05-28 | Asm Ip Holding B.V. | Injector |
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TW202130846A (zh) | 2020-02-03 | 2021-08-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成包括釩或銦層的結構之方法 |
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US11776846B2 (en) | 2020-02-07 | 2023-10-03 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing gap filling fluids and related systems and devices |
TW202146715A (zh) | 2020-02-17 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於生長磷摻雜矽層之方法及其系統 |
TW202203344A (zh) | 2020-02-28 | 2022-01-16 | 荷蘭商Asm Ip控股公司 | 專用於零件清潔的系統 |
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US11876356B2 (en) | 2020-03-11 | 2024-01-16 | Asm Ip Holding B.V. | Lockout tagout assembly and system and method of using same |
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TW202146689A (zh) | 2020-04-03 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip控股公司 | 阻障層形成方法及半導體裝置的製造方法 |
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US11821078B2 (en) | 2020-04-15 | 2023-11-21 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming precoat film and method for forming silicon-containing film |
US11996289B2 (en) | 2020-04-16 | 2024-05-28 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of forming structures including silicon germanium and silicon layers, devices formed using the methods, and systems for performing the methods |
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TW202201602A (zh) | 2020-05-29 | 2022-01-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基板處理方法 |
TW202218133A (zh) | 2020-06-24 | 2022-05-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成含矽層之方法 |
TW202217953A (zh) | 2020-06-30 | 2022-05-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基板處理方法 |
KR20220010438A (ko) | 2020-07-17 | 2022-01-25 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 포토리소그래피에 사용하기 위한 구조체 및 방법 |
TW202204662A (zh) | 2020-07-20 | 2022-02-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於沉積鉬層之方法及系統 |
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USD990534S1 (en) | 2020-09-11 | 2023-06-27 | Asm Ip Holding B.V. | Weighted lift pin |
USD1012873S1 (en) | 2020-09-24 | 2024-01-30 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode for semiconductor processing apparatus |
TW202229613A (zh) | 2020-10-14 | 2022-08-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 於階梯式結構上沉積材料的方法 |
KR20220053482A (ko) | 2020-10-22 | 2022-04-29 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 바나듐 금속을 증착하는 방법, 구조체, 소자 및 증착 어셈블리 |
TW202223136A (zh) | 2020-10-28 | 2022-06-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於在基板上形成層之方法、及半導體處理系統 |
TW202235675A (zh) | 2020-11-30 | 2022-09-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 注入器、及基板處理設備 |
US11946137B2 (en) | 2020-12-16 | 2024-04-02 | Asm Ip Holding B.V. | Runout and wobble measurement fixtures |
TW202231903A (zh) | 2020-12-22 | 2022-08-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 過渡金屬沉積方法、過渡金屬層、用於沉積過渡金屬於基板上的沉積總成 |
USD980814S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distributor for substrate processing apparatus |
USD980813S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas flow control plate for substrate processing apparatus |
USD981973S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-28 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor wall for substrate processing apparatus |
USD1023959S1 (en) | 2021-05-11 | 2024-04-23 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode for substrate processing apparatus |
USD990441S1 (en) | 2021-09-07 | 2023-06-27 | Asm Ip Holding B.V. | Gas flow control plate |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001168046A (ja) * | 1999-09-17 | 2001-06-22 | Applied Materials Inc | シリコン膜表面仕上のための装置及び方法 |
JP2004031715A (ja) * | 2002-06-27 | 2004-01-29 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | Soiウエーハの製造方法及びsoiウエーハ |
US20040060899A1 (en) * | 2002-10-01 | 2004-04-01 | Applied Materials, Inc. | Apparatuses and methods for treating a silicon film |
JP2012510180A (ja) * | 2008-11-26 | 2012-04-26 | エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド | シリコン−オン−インシュレータ構造体を処理する方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5254830A (en) * | 1991-05-07 | 1993-10-19 | Hughes Aircraft Company | System for removing material from semiconductor wafers using a contained plasma |
US5291415A (en) * | 1991-12-13 | 1994-03-01 | Hughes Aircraft Company | Method to determine tool paths for thinning and correcting errors in thickness profiles of films |
EP0547677A3 (en) * | 1991-12-17 | 1996-10-16 | Philips Nv | Use of vapor-phase etching in fabrication of semiconductor-on-insulator structure |
US5621652A (en) * | 1995-03-21 | 1997-04-15 | Vlsi Technology, Inc. | System and method for verifying process models in integrated circuit process simulators |
US6301009B1 (en) * | 1997-12-01 | 2001-10-09 | Zygo Corporation | In-situ metrology system and method |
JP2000036488A (ja) * | 1998-07-21 | 2000-02-02 | Speedfam-Ipec Co Ltd | ウエハ平坦化方法及びそのシステム |
US6537606B2 (en) * | 2000-07-10 | 2003-03-25 | Epion Corporation | System and method for improving thin films by gas cluster ion beam processing |
US6540591B1 (en) * | 2001-04-18 | 2003-04-01 | Alexander J. Pasadyn | Method and apparatus for post-polish thickness and uniformity control |
JP2008098528A (ja) * | 2006-10-13 | 2008-04-24 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP5415676B2 (ja) * | 2007-05-30 | 2014-02-12 | 信越化学工業株式会社 | Soiウェーハの製造方法 |
JP5466410B2 (ja) * | 2008-02-14 | 2014-04-09 | 信越化学工業株式会社 | Soi基板の表面処理方法 |
US9018024B2 (en) * | 2009-10-22 | 2015-04-28 | International Business Machines Corporation | Creating extremely thin semiconductor-on-insulator (ETSOI) having substantially uniform thickness |
US8080464B2 (en) * | 2009-12-29 | 2011-12-20 | MEMC Electronics Materials, Inc, | Methods for processing silicon on insulator wafers |
JP5514162B2 (ja) * | 2011-07-22 | 2014-06-04 | 東京エレクトロン株式会社 | アモルファスシリコン膜の成膜方法および成膜装置 |
FR2987935B1 (fr) * | 2012-03-12 | 2016-07-22 | Soitec Silicon On Insulator | Procede d'amincissement de la couche active de silicium d'un substrat du type "silicium sur isolant" (soi). |
JP6692357B2 (ja) * | 2014-12-19 | 2020-05-13 | グローバルウェーハズ カンパニー リミテッドGlobalWafers Co.,Ltd. | 半導体構造上にエピタキシャルスムージング加工を実行するためのシステムおよび方法 |
-
2015
- 2015-12-18 JP JP2017532623A patent/JP6692357B2/ja active Active
- 2015-12-18 US US15/537,734 patent/US10332781B2/en active Active
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-
2019
- 2019-05-29 US US16/425,340 patent/US10832938B2/en active Active
-
2020
- 2020-04-14 JP JP2020072339A patent/JP6977100B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001168046A (ja) * | 1999-09-17 | 2001-06-22 | Applied Materials Inc | シリコン膜表面仕上のための装置及び方法 |
JP2004031715A (ja) * | 2002-06-27 | 2004-01-29 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | Soiウエーハの製造方法及びsoiウエーハ |
US20040060899A1 (en) * | 2002-10-01 | 2004-04-01 | Applied Materials, Inc. | Apparatuses and methods for treating a silicon film |
JP2012510180A (ja) * | 2008-11-26 | 2012-04-26 | エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド | シリコン−オン−インシュレータ構造体を処理する方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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