JP2020009901A - 実装装置及び実装方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】フィーダから供給された部品上の吸着位置をノズルで精度良く吸着すること。【解決手段】複数のフィーダ(15)から供給された部品(50)をノズル(24)で吸着して基板に実装する実装装置であって、複数のフィーダが横並びに設置可能なフィーダバンク(16)と、複数のフィーダに付された基準マーク(M)を検出する検出部(41)と、複数の基準マークの検出位置からフィーダの傾きを算出する算出部(42)と、複数の基準マークに対する部品の吸着位置(P1)のオフセットを取得する取得部(43)と、フィーダの傾き分だけ回転するようにオフセットを補正する補正部(44)とを備える構成にした。【選択図】図3

Description

本開示は、実装装置及び実装方法に関する。
一般に実装装置には複数のフィーダが横並びに設置されたフィーダバンクが設けられ、フィーダバンクの各フィーダによって実装ヘッドに対して順番に部品が供給されている。この種の実装装置として、フィーダ上の基準マークから部品の吸着位置までのオフセットに基づいて、ノズルでフィーダから部品をピックアップするものが知られている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1に記載の実装装置では、フィーダの基準マークを撮像部で撮像し、基準マークの検出位置からオフセット分だけノズルを移動させて部品の吸着位置を吸着している。
特開2016−111152号公報
ところで、実装装置に対してフィーダバンクが傾いた状態で取り付けられる場合がある。また、フィーダバンクに対してフィーダが精度よく位置決めされているとは限らない。このため、実装装置の実装動作の基準となる装置座標系で、フィーダの基準マークから吸着位置までのオフセットを使用すると、部品の吸着位置に対してノズルが位置ズレする場合があった。
本開示はかかる点に鑑みてなされたものであり、フィーダから供給された部品の吸着位置をノズルで精度良く吸着するという効果を奏しうる実装装置及び実装方法を提供することを目的の1つとする。
本開示の一態様の実装装置は、複数のフィーダから供給された部品をノズルで吸着して基板に実装する実装装置であって、前記複数のフィーダが横並びに設置可能なフィーダバンクと、前記複数のフィーダに付された基準マークを検出する検出部と、前記複数の基準マークの検出位置から前記フィーダの傾きを算出する算出部と、前記複数の基準マークに対する部品の吸着位置のオフセットを取得する取得部と、前記フィーダの傾き分だけ回転するようにオフセットを補正する補正部とを備えたことを特徴とする。
本開示の一態様の実装方法は、フィーダバンクに横並びに設置された複数のフィーダから供給された部品をノズルで吸着して基板に実装する実装方法であって、前記複数のフィーダに付された基準マークを検出するステップと、前記複数の基準マークの検出位置から前記フィーダの傾きを算出するステップと、前記複数の基準マークに対する部品の吸着位置のオフセットを取得するステップと、前記フィーダの傾き分だけ回転するようにオフセットを補正するステップとを有することを特徴とする。
本開示によれば、フィーダバンクに横並びに設置された複数のフィーダに基準マークが付されているため、複数の基準マークの並び方向からフィーダの傾きが算出されて基準マークに対する部品の吸着位置のオフセットが補正される。実装装置に対するフィーダバンクの取り付け誤差、フィーダバンクに対するフィーダの取り付け誤差によってフィーダが傾いた場合でも、部品の吸着位置に精度良くノズルを位置付けることができる。
本実施の形態の実装装置全体を示す模式図である。 フィーダバンクの傾きによる位置ズレの説明図である。 本実施の形態の実装装置のブロック図である。 本実施の形態の補正処理の一例を示す図である。 本実施の形態のティーチング作業の一例を示す図である。
以下、添付図面を参照して、本実施の形態の実装装置について説明する。図1は、本実施の形態の実装装置の模式図である。図2は、フィーダバンクの傾きによる位置ズレの説明図である。なお、本実施の形態の実装装置は一例に過ぎず、適宜変更が可能である。
図1に示すように、実装装置1は、フィーダ15によって供給された部品50(図2参照)を、実装ヘッド23によって基板Wの所定位置に実装するように構成されている。実装装置1の基台10の略中央には、X軸方向に基板Wを搬送する基板搬送部19が配設されている。基板搬送部19は、X軸方向の一端側から部品実装前の基板Wを実装ヘッド23の下方に搬入して位置決めし、部品実装後の基板WをX軸方向の他端側から装置外に搬出している。また、基板搬送部19を挟んだ両側には、複数のフィーダ15がX軸方向に横並びに設置されたフィーダバンク16が交換台車によって分離可能に連結されている。
フィーダ15にはテープリールが着脱自在に装着され、テープリールには多数の部品50をパッケージングしたキャリアテープが巻回されている。各フィーダ15は、装置内のスプロケットホイールの回転によって、実装ヘッド23にピックアップされる供給位置に向けて順番に部品50を送り出している。実装ヘッド23の供給位置では、キャリアテープから表面のカバーテープが剥離され、キャリアテープのポケット内の部品50が外部に露出される。なお、本実施の形態では、フィーダ15としてテープフィーダを例示したが、他のフィーダを備えていてもよい。
基台10上には、実装ヘッド23をX軸方向及びY軸方向に水平移動させる移動機構20が設けられている。移動機構20は、Y軸方向に延びる一対のY軸駆動部21と、X軸方向に延びるX軸駆動部22とを有している。一対のY軸駆動部21は基台10の四隅に立設した支持部(不図示)に支持されており、X軸駆動部22は一対のY軸駆動部21にY軸方向に移動可能に設置されている。X軸駆動部22上には実装ヘッド23がX軸方向に移動可能に設置されている。X軸駆動部22とY軸駆動部21とによって実装ヘッド23が水平移動されて、フィーダ15からピックアップした部品50が基板Wの所望の位置に実装される。
実装ヘッド23は、ノズル24を備えた複数(本実施の形態では3つ)のヘッド部25を有している。ヘッド部25は、Z軸モータ(不図示)によってノズル24をZ軸方向に上下動すると共に、θモータ(不図示)によってノズル24をZ軸回りに回転する。各ノズル24は吸引源(不図示)に接続されており、吸引源からの吸引力によって部品を吸着保持する。なお、実装ヘッド23は、ノズル24を一列に並べた直列式の実装ヘッドに限定されず、フィーダ15から供給された部品50を基板Wに実装可能な構成であればよく、例えば、ノズルを周方向に並べたロータリー式の実装ヘッドで構成されていてもよい。
実装ヘッド23には、基板Wや部品50からの高さを検出する高さセンサ26や、ノズル24で保持した部品50を認識する部品認識部(不図示)が設けられている。高さセンサ26は、検査光の反射によって基板Wや部品50の高さを検出し、検出結果に基づいてノズル24の上下方向の移動量を制御している。部品認識部は、水平方向に対向した発光部と受光部で、発光部からの光が部品で遮光された遮光状態から部品形状や吸着ミスを認識している。なお、部品認識部では、発光部から受光部に向かってLED光が発光されてもよいし、発光部から受光部に向かってレーザー光が発光されてもよい。
また、実装ヘッド23には、基板W上のマークを真上から撮像するマーク撮像部27と、ノズル24による部品50の搭載動作を撮像する部品撮像部28とが設けられている。マーク撮像部27は基板W上のマークを真上から撮像しており、マークの上面画像によって基板Wに座標系が設定されると共に基板Wの位置や反り等が認識される。部品撮像部28は、フィーダ15に対する部品50の吸着前後を撮像する他、基板Wに対する部品50の搭載前後を撮像している。これら部品画像によってノズル24による部品50の吸着有無が検査されると共に、基板Wにおける部品50の搭載有無が検査される。
実装装置1の基台10上には、ノズル24に吸着された部品50を真下から撮像する下面撮像部31が設けられている。下面撮像部31は、実装ヘッド23による搬送中の部品50を撮像して、撮像画像に応じて部品50の傾きや高さ等を認識している。また、実装装置1の基台10上には、各種部品に応じて複数種類のノズル24が用意された自動交換機(ATC:Automatic Tool Changer)32が設けられている。実装ヘッド23が自動交換機32まで移動することで、実装ヘッド23が装着中のノズル24を取り外して新たなノズル24に着け替えることが可能になっている。
また、実装装置1には、装置各部を統括制御する制御装置35が設けられている。制御装置35は、各種処理を実行するプロセッサやメモリ等によって構成されている。メモリは、用途に応じてROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)等の一つ又は複数の記憶媒体で構成されている。メモリには、実装装置1全体の制御プログラムの他、実装装置1に後述する補正処理を実行させるプログラム等が記憶されている。制御装置35によって実装ヘッド23が駆動されて、基板Wに対する部品50の実装動作が制御される。
ところで、図2Aに示すように、フィーダ15から供給された部品50をノズル24で吸着する際には、フィーダ15に付された基準マークMを基準にして部品50の吸着位置P1にノズル24が位置付けられる。この場合、各フィーダ15には基準マークMから部品50の吸着位置P1までのオフセット(X、Y)が設定されている。そして、マーク撮像部27(図1参照)によって基準マークMが撮像によって検出され、基準マークMの検出位置からオフセット(X、Y)分だけノズル24が移動されることで、ノズル24によって部品50の吸着位置P1が吸着される。
しかしながら、図2Bに示すように、フィーダ15が実装装置1に対して精度良く取り付けられるとは限らない。実装装置1にフィーダバンク16(図1参照)が傾いて取り付けられると、実装装置1の実装動作の基準となる装置座標系のXY軸に対して、フィーダバンク16に設置されたフィーダ15のXY軸が平行にならない。特に、近年では部品50の小型化が進み、吸着位置P1に対するノズル24の位置決めにフィーダバンク16の設置誤差以上の高い精度が求められている。このため、実装装置1の実装動作を基準にした装置座標系を用いると、ノズル24によって部品50の吸着位置P1に精度良く吸着することができない。
また、図2Cに示すように、実装ヘッド23(図1参照)では高さセンサ26で高さ出しを実施してから、基準高さに基づいてノズル24で部品50の上面が吸着される。基準高さの測定位置P2は、部品50によって様々だが、例えば、部品50の上面、部品50の近傍、基準マークMに設定されている。基準高さの測定位置P2についても、フィーダバンク16が傾いて取り付けられると、高さセンサ26によって測定位置P2で精度良く測定することができない。また、実装装置1に対するフィーダバンク16の取り付け誤差だけではなく、フィーダバンク16に対するフィーダ15の取り付け誤差によっても同様な問題が生じる。
さらに、各フィーダ15にオフセット(X、Y)を記憶させるためには、事前に部品50の吸着位置P1や基準高さの測定位置P2のティーチング作業が必要になる。ティーチング作業では、ティーチング用の実装装置や、設計上の寸法通りに加工された高精度な治具フィーダを用意しなければならない。ティーチングに適した環境を用意して、各フィーダ15にオフセットを設定したとしても、上記したように装置座標系のXY軸に対してフィーダ15のXY軸が傾いている場合には、部品50の吸着位置P1や基準高さの測定位置P2にズレが生じてしまう。
そこで、本実施の形態では、フィーダバンク16に複数のフィーダ15が横並びで設置されていることに着目し、各フィーダ15の基準マークMの並び方向からフィーダバンク16の傾き、すなわちフィーダ15の傾きを算出している。フィーダ15の傾きに応じて部品50の吸着位置P1のオフセット及び基準高さの測定位置P2のオフセットを補正して、ノズル24を吸着位置P1に位置付ける他、高さセンサ26を基準高さの測定位置P2に位置付けている。また、オフセットのティーチング作業の際に、ティーチング用の実装装置や治具フィーダを用意する必要がない。
以下、図3を参照して、実装装置の制御構成について説明する。図3は、本実施の形態の実装装置のブロック図である。なお、図3のブロック図には、実装装置が簡略化して記載されているが、実装装置が通常備える構成については備えているものとする。
図3に示すように、実装装置1(図1参照)の制御装置35にはマーク撮像部27が接続されており、マーク撮像部27でフィーダ15の基準マークMが撮像され、基準マークMを基準にして部品50の吸着動作や基準高さの測定動作を実施している。基準マークMから吸着位置P1のオフセット分だけノズル24が水平方向で移動されて吸着位置P1に位置付けられ、基準マークMから測定位置P2のオフセット分だけ高さセンサ26が水平後方に移動されて測定位置P2に位置付けられる。高さセンサ26で測定した基準高さに基づいてノズル24の高さが調整され、部品50の吸着位置P1にノズル24が位置付けられて、フィーダ15から供給された部品50がノズル24で吸着される。
制御装置35には、複数のフィーダ15に付された基準マークMを検出する検出部41と、複数の基準マークMの検出位置からフィーダ15の傾きを算出する算出部42とが設けられている。マーク撮像部27で撮像された各フィーダ15の基準マークMの撮像画像が検出部41に入力され、検出部41によって撮像画像に対して画像処理が施されてフィーダ15毎に基準マークMの重心が検出される。算出部42によって複数の基準マークMの検出位置から最小二乗法等の線形近似によって近似直線L(図4B参照)が算出され、装置座標系のX軸と近似直線Lの成す角度からフィーダ15(フィーダバンク16)の傾きが算出される。
また、制御装置35には、複数の基準マークMからのオフセットを取得する取得部43と、フィーダ15の傾き分だけ回転するようにオフセットを補正する補正部44とが設けられている。フィーダバンク16にフィーダ15がセットされると、取得部43によってフィーダ15の記憶部45から基準マークMに対する部品50の吸着位置P1のオフセット及び基準高さの測定位置P2のオフセットが取得される。補正部44によってフィーダ15の傾き分だけ装置座標系が回転されてフィーダ座標系とされ、このフィーダ座標系を基準にすることでオフセットが補正される。
このように、吸着位置P1及び測定位置P2のオフセットがフィーダ15の傾きによって補正されることで、フィーダ15の傾きに関わらずに、ノズル24を吸着位置P1、高さセンサ26を測定位置P2に精度良く位置付けることができる。また、フィーダ15の傾きが補正されているため、ティーチング用の実装装置や治具フィーダを用意することなく、吸着位置P1及び測定位置P2のオフセットをティーチングすることができる。ティーチングによってフィーダ15の記憶部45に書き込むことで、フィーダ15が付け替えられた場合でも、フィーダ15の記憶部45に記憶されたオフセットを引き継ぐことが可能になっている。
図4及び図5を参照して、補正処理及びティーチング作業について説明する。図4は、本実施の形態の補正処理の一例を示す図である。図5は、本実施の形態のティーチング作業の一例を示す図である。なお、図4及び図5では、説明の便宜上、図3の符号を適宜使用しながら説明する。
図4Aに示すように、フィーダ15の記憶部45には、事前に基準マークMの検出位置を基準にした部品50の吸着位置P1及び基準高さの測定位置P2のオフセット(X、Y)、(X、Y)が記憶されている。基準マークMは、フィーダ15の表面にマーク撮像部27によって撮像可能な状態で付されている。実装装置1(図1参照)のフィーダバンク16にフィーダ15を取り付けることで、取得部43によって記憶部45から基準マークMに対する吸着位置P1のオフセット(X、Y)及び測定位置P2のオフセット(X、Y)がそれぞれ読み出される。
図4Bに示すように、フィーダ15が傾いている場合には、フィーダ15の基準マークMに対する吸着位置P1及び測定位置P2のオフセットも傾けられる。実装装置1の装置座標系は傾いていないため、二点鎖線の状態からフィーダ15が傾いた分だけ吸着位置P1及び測定位置P2が基準マークMを中心にして回転方向に位置ズレしている。この場合、マーク撮像部27によって複数のフィーダ15の基準マークMが撮像されて、検出部41によって基準マークMの撮像画像から複数の基準マークMの重心位置(X、Y)、(X、Y)、(X、Y)…が検出される。
算出部42によって基準マークMの検出位置(X、Y)、(X、Y)、(X、Y)…が線形近似されて近似直線Lが算出される。この近似直線Lと装置座標系のX軸の成す角度からフィーダ15の傾きθが求められる。フィーダ15同士が離れていれば2つの基準マークMの検出位置を通る直線によってフィーダ15の傾きを求めることができるが、通常は部品50の取り出し効率等の理由によってフィーダ15同士が隣接して設置されている。このため、線形近似を用いることでフィーダ15同士が隣接していても、フィーダ15の傾きを精度良く算出することが可能になっている。
図4Cに示すように、補正部44によって装置座標系がフィーダ15の傾きθ分だけ回転されて、基準マークMの検出位置を原点としたフィーダ座標系が設定される。フィーダ座標系上で検出位置からオフセット(X、Y)だけ離して吸着位置P1が設定され、検出位置からオフセット(X、Y)だけ離して測定位置P2が設定される。このように、フィーダ15の傾きθ分だけ回転するように、吸着位置P1のオフセット(X、Y)及び測定位置P2のオフセット(X、Y)が補正される。そして、ノズル24が吸着位置P1に精度良く位置づけられ、高さセンサ26が測定位置P2に精度良く位置付けられる。
図5に示すように、フィーダ15の傾きに応じてフィーダ座標系が設定されているため、ティーチング用の実装装置や治具フィーダを用いることなくティーチング作業を実施することができる。この場合、マーク撮像部27がフィーダ15の基準マークMを撮像し、検出部41による基準マークMの検出位置から部品50の吸着位置P1までのオフセット(X、Y)がティーチングされてフィーダ15の記憶部45に記憶される。同様にして、検出部41による基準マークMの検出位置から基準高さの測定位置P2までのオフセット(X、Y)がティーチングされてフィーダ15の記憶部45に記憶される。
以上のように、本実施の形態の実装装置1では、フィーダバンク16に横並びに設置された複数のフィーダ15に基準マークMが付されているため、複数の基準マークMの並び方向からフィーダ15の傾きが算出されて基準マークMに対する吸着位置P1及び測定位置P2のオフセットが補正される。実装装置1に対するフィーダバンク16の取り付け誤差、フィーダバンク16に対するフィーダ15の取り付け誤差によってフィーダ15が傾いた場合でも、吸着位置P1にノズル24を位置付けると共に測定位置P2に高さセンサ26を位置付けることができる。
なお、本実施の形態において、部品の吸着位置と基準高さの測定位置が異なる構成につて説明したが、吸着位置と測定位置が一致していてもよい。例えば、部品上面の同じ位置に吸着位置及び測定位置が設定されていてもよい。
また、本実施の形態において、部品の吸着位置及び基準高さの測定位置のオフセットを補正する構成について説明したが、少なくとも吸着位置のオフセットを補正する構成であればよい。
また、本実施の形態において、マーク撮像部によってフィーダの基準マークを認識する構成にしたが、基準マークを認識可能な構成であれば特に限定されない。また、基準マークは、フィーダの表面に印刷されてもよいし、フィーダの表面に貼着されたシールでもよい。また、基準マークはフィーダの表面の孔や窪みでもよい。
また、本実施の形態において、複数の基準マークの検出位置から最小二乗法等の線形近似によってフィーダの傾きを算出する構成にしたが、線形近似を用いずに複数の基準マークの検出位置の最も離間した2点を結ぶことでフィーダの傾きを算出してもよい。
また、本実施の形態において、基準マークの検出位置を中心としてフィーダの傾き分だけ装置座標系を回転させてフィーダ座標系とし、フィーダ座標系を基準に吸着位置や測定位置のオフセットを設定することでオフセットを補正する構成にしたが、この構成に限定されない。基準マークの検出位置を中心として吸着位置や測定位置の座標を回転させることでオフセットを補正してもよい。
また、本実施の形態において、フィーダバンクに複数のフィーダが隣接して設置される構成にしたが、複数のフィーダが離間して設置されていてもよい。
また、本実施の形態において、吸着位置及び測定位置のオフセットがフィーダの記憶部に記憶される構成にしたが、吸着位置及び測定位置のオフセットが実装装置の記憶部に記憶されてもよい。
また、本実施の形態のプログラムは記憶媒体に記憶されてもよい。記憶媒体は、特に限定されないが、光ディスク、光磁気ディスク、フラッシュメモリ等の非一過性の記憶媒体であってもよい。
また、本実施の形態及び変形例を説明したが、他の実施の形態として、上記実施の形態及び変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。
また、本開示の技術は上記の実施の形態及び変形例に限定されるものではなく、技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施態様をカバーしている。
下記に、上記の実施の形態における特徴点を整理する。
上記実施の形態に記載の実装装置は、複数のフィーダから供給された部品をノズルで吸着して基板に実装する実装装置であって、複数のフィーダが横並びに設置可能なフィーダバンクと、複数のフィーダに付された基準マークを検出する検出部と、複数の基準マークの検出位置からフィーダの傾きを算出する算出部と、複数の基準マークに対する部品の吸着位置のオフセットを取得する取得部と、フィーダの傾き分だけ回転するようにオフセットを補正する補正部とを備えたことを特徴とする。
上記実施の形態に記載の実装方法は、フィーダバンクに横並びに設置された複数のフィーダから供給された部品をノズルで吸着して基板に実装する実装方法であって、複数のフィーダに付された基準マークを検出するステップと、複数の基準マークの検出位置からフィーダの傾きを算出するステップと、複数の基準マークに対する部品の吸着位置のオフセットを取得するステップと、フィーダの傾き分だけ回転するようにオフセットを補正するステップとを有することを特徴とする。
これらの構成によれば、フィーダバンクに横並びに設置された複数のフィーダに基準マークが付されているため、複数の基準マークの並び方向からフィーダの傾きが算出されて基準マークに対する部品の吸着位置のオフセットが補正される。実装装置に対するフィーダバンクの取り付け誤差、フィーダバンクに対するフィーダの取り付け誤差によってフィーダが傾いた場合でも、部品の吸着位置に精度良くノズルを位置付けることができる。
上記実施の形態に記載の実装装置において、高さセンサで測定した基準高さに基づいてノズルで部品を吸着しており、取得部が、基準マークに対する基準高さの測定位置のオフセットを取得し、補正部が、吸着位置のオフセット及び測定位置のオフセットを補正する。この構成によれば、実装装置に対するフィーダバンクの取り付け誤差、フィーダバンクに対するフィーダの取り付け誤差によってフィーダが傾いた場合でも、基準高さの測定位置に精度良く高さセンサを位置付けることができる。
上記実施の形態に記載の実装装置において、算出部が複数の基準マークの検出位置から線形近似によってフィーダの傾きを算出する。この構成によれば、複数の検出位置の近似直線からフィーダの傾きを容易に算出することができる。
上記実施の形態に記載の実装装置において、複数のフィーダが隣接してフィーダバンクに設置される。この構成によれば、複数のフィーダが隣接して設置されることで、複数のフィーダからの部品をまとめて取り出して生産効率が向上される。また、フィーダバンクに複数のフィーダが隣接して設置されていても、線形近似によってフィーダの傾きを精度良く算出することができる。
上記実施の形態に記載の実装装置において、補正部がフィーダの傾きだけ装置座標系を回転させてフィーダ座標系とし、当該フィーダ座標系によってオフセットを補正する。この構成によれば、フィーダ座標系を用いることで容易にオフセットを補正することができる。
上記実施の形態に記載の実装装置において、複数のフィーダにはオフセットを記憶した記憶部が設けられており、記憶部がティーチングによって基準マークに対する吸着位置のオフセットを記憶する。この構成によれば、フィーダバンクでフィーダが付け替えられた場合でも、フィーダの記憶部に記憶されたオフセットを引き継ぐことができる。また、オフセットのティーチング時に寸法精度が高い治具フィーダを用意する必要がない。
1 :実装装置
15:フィーダ
16:フィーダバンク
24:ノズル
26:高さセンサ
27:マーク撮像部
41:検出部
42:算出部
43:取得部
44:補正部
45:記憶部
50:部品
L :近似直線
M :基準マーク
P1:吸着位置
P2:測定位置
W :基板
θ :フィーダの傾き

Claims (7)

  1. 複数のフィーダから供給された部品をノズルで吸着して基板に実装する実装装置であって、
    前記複数のフィーダが横並びに設置可能なフィーダバンクと、
    前記複数のフィーダに付された基準マークを検出する検出部と、
    前記複数の基準マークの検出位置から前記フィーダの傾きを算出する算出部と、
    前記複数の基準マークに対する部品の吸着位置のオフセットを取得する取得部と、
    前記フィーダの傾き分だけ回転するようにオフセットを補正する補正部とを備えたことを特徴とする実装装置。
  2. 高さセンサで測定した基準高さに基づいて前記ノズルで部品を吸着しており、
    前記取得部が、前記基準マークに対する基準高さの測定位置のオフセットを取得し、
    前記補正部が、前記吸着位置のオフセット及び前記測定位置のオフセットを補正することを特徴とする請求項1に記載の実装装置。
  3. 前記算出部が前記複数の基準マークの検出位置から線形近似によって前記フィーダの傾きを算出することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の実装装置。
  4. 前記複数のフィーダが隣接して前記フィーダバンクに設置されることを特徴とする請求項3に記載の実装装置。
  5. 前記補正部が前記フィーダの傾きだけ装置座標系を回転させてフィーダ座標系とし、当該フィーダ座標系によってオフセットを補正することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の実装装置。
  6. 前記複数のフィーダにはオフセットを記憶した記憶部が設けられており、前記記憶部がティーチングによって前記基準マークに対する前記吸着位置のオフセットを記憶することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の実装装置。
  7. フィーダバンクに横並びに設置された複数のフィーダから供給された部品をノズルで吸着して基板に実装する実装方法であって、
    前記複数のフィーダに付された基準マークを検出するステップと、
    前記複数の基準マークの検出位置から前記フィーダの傾きを算出するステップと、
    前記複数の基準マークに対する部品の吸着位置のオフセットを取得するステップと、
    前記フィーダの傾き分だけ回転するようにオフセットを補正するステップとを有することを特徴とする実装方法。
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