JP2019208009A - 基板処理システム、基板処理システムの制御方法、プログラム、および、物品製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本実施形態における基板処理システムの構成を示すブロック図である。半導体製造ライン1は、それぞれが基板を処理する複数の基板処理装置10(半導体製造装置)と、複数の基板処理装置10の動作を制御するホストコンピュータ11(ホスト制御装置)とを含みうる。複数の基板処理装置10の各々は、例えば、リソグラフィ装置(露光装置、インプリント装置、荷電粒子線描画装置等)、成膜装置(CVD装置等)、加工装置(レーザー加工装置等)、検査装置(オーバーレイ検査装置等)のいずれかでありうる。また、複数の基板処理装置には、リソグラフィ処理の前処理として基板にレジスト材(密着材)の塗布処理を行うとともに、リソグラフィ処理の後処理として現像処理を行う塗布現像装置(コーター/ディベロッパー)も含まれうる。なお、露光装置は、基板の上に供給されたフォトレジストを原版(マスク)を介して露光することによって該フォトレジストに原版のパターンに対応する潜像を形成する。インプリント装置は、基板の上に供給されたインプリント材に型(原版)を接触させた状態でインプリント材を硬化させることによって基板の上にパターンを形成する。荷電粒子線描画装置は、基板の上に供給されたフォトレジストに荷電粒子線によってパターンを描画することによって該フォトレジストに潜像を形成する。
図5は、第2実施形態における基板処理システムの構成を示すブロック図である。図1と同じ構成ブロックには同じ参照符号を付し、それらの説明は省略する。管理装置12からホストコンピュータ11へのデータの伝送は、図1では基板処理装置10を介して行われていたが、図5では、管理装置12とホストコンピュータ11とを直接接続する通信路51を介して行われる。本実施形態では、管理装置12は、保全処理を実行するための情報を、通信路51を介してホストコンピュータ11へ通知する。
上述の第1実施形態、第2実施形態では、保全処理を実行するのはホストコンピュータ11であったが、第3実施形態では、保全処理を実行するのは、ホストコンピュータ11ではなく管理装置12であるものとする。本実施形態における基板処理システムの構成は、第2実施形態に係る図5と同様とする。したがって、本実施形態では、ホストコンピュータ11は、保全処理の依頼を、通信路51を介して管理装置12に送信する。管理装置12は、ホストコンピュータ11から保全処理の依頼を受信すると、依頼に含まれる対象の基板処理装置あるいは、関連する他の基板処理装置に対して保全処理を実行する。
第4実施形態では、管理装置12ではなくホストコンピュータ11が保全処理の要否および保全処理の方法を判定する。基板処理システムの構成が第1実施形態に係る図1の構成である場合、管理装置12は、複数の基板処理装置10のそれぞれから収集された動作情報を解析して、どの基板処理装置で異常またはその予兆が発生しているかを検知する検知部として機能する。そして、管理装置12は、検知結果および動作情報を、異常またはその予兆の発生が検知された基板処理装置10に通知する。複数の基板処理装置10のそれぞれは、検知結果および動作情報を受信した場合に、その検知結果および動作情報をホストコンピュータ11へ送信する送信部を有する。検知結果および動作情報を受信した基板処理装置10は、送信部により、その検知結果及び動作情報をホストコンピュータ11へ送信(転送)する。
また、基板処理システムの構成が、第2実施形態に係る図5の構成である場合、管理装置12は、基板処理装置10を介さずに、検知結果及び動作情報をホストコンピュータ11へ通知する。
ホストコンピュータ11は、受信した検知結果及び動作情報に基づいて、保全処理の要否および保全処理の方法を判定する。
本発明の実施形態における物品製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品製造方法は、上記の基板処理システムを用いて基板に原版のパターンを形成する形成工程と、該形成工程でパターンが形成された基板を加工する加工工程とを含みうる。更に、かかる物品製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含みうる。本実施形態の物品製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
本発明は、上述の実施形態の1以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける1つ以上のプロセッサがプログラムを読み出し実行する処理でも実現可能である。また、1以上の機能を実現する回路(例えば、ASIC)によっても実現可能である。
発明は上記実施形態に制限されるものではなく、発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、発明の範囲を公にするために請求項を添付する。
Claims (23)
- 基板を処理する複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置の動作を制御するホスト制御装置と、前記複数の基板処理装置のそれぞれの保守を管理する管理装置とを含む基板処理システムであって、
前記管理装置は、
前記複数の基板処理装置のそれぞれから収集された動作情報に基づいて、保全処理が必要な基板処理装置を判定する判定部と、
前記判定部により前記保全処理が必要と判定された基板処理装置に判定結果を通知する通知部と、を有し、
前記複数の基板処理装置のそれぞれは、前記判定結果を受信した場合、前記保全処理を実行するための情報を前記ホスト制御装置に送信する送信部を有し、
前記ホスト制御装置は、
前記複数の基板処理装置のそれぞれの稼働状況を監視し、前記保全処理を実行するための情報を送信した基板処理装置の稼働状況に基づいて、該基板処理装置に対する前記保全処理の実施のタイミングを制御する制御部を有する
ことを特徴とする基板処理システム。 - 前記保全処理は、装置キャリブレーションの実行、装置リセット、処理シーケンスの変更、装置パラメータの変更、のうちの少なくともいずれかを含むことを特徴とする請求項1に記載の基板処理システム。
- 前記複数の基板処理装置は、基板を露光する露光装置を含み、
前記判定部は、前記動作情報として前記露光装置から取得した前記露光装置における光学系の光学特性の計測の結果に基づいて、前記光学系の補正量を算出し、該補正量が所定の閾値より大きくなった場合に、前記露光装置に対して前記保全処理が必要と判定する
ことを特徴とする請求項2に記載の基板処理システム。 - 前記保全処理は、前記装置パラメータの変更として、前記光学系のオープンループ制御に使用する係数を更新することを含むことを特徴とする請求項3に記載の基板処理システム。
- 前記保全処理は、前記補正量が前記閾値より大きくない場合と比べて、前記光学特性の計測の頻度を高めることを含むことを特徴とする請求項3に記載の基板処理システム。
- 前記送信部は、前記保全処理が必要と判定された前記基板処理装置の稼働状況に応じて、前記保全処理を実行するための情報の前記ホスト制御装置への送信を中止することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の基板処理システム。
- 前記送信部は、前記保全処理が必要と判定された前記基板処理装置において前記保全処理が実行されている状況である場合に、前記保全処理を実行するための情報の前記ホスト制御装置への送信を中止することを特徴とする請求項6に記載の基板処理システム。
- 前記複数の基板処理装置のそれぞれは、前記判定結果を受信した場合、前記判定結果に含まれる情報を前記ホスト制御装置で識別可能な情報に変換し、変換後の前記判定結果を、前記保全処理を実行するための情報に含めて前記送信部により前記ホスト制御装置に送信することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の基板処理システム。
- 前記判定結果に含まれる情報は、前記複数の基板処理装置の装置パラメータの識別子を含むことを特徴とする請求項8に記載の基板処理システム。
- 前記複数の基板処理装置のそれぞれは、前記判定結果を受信した場合、前記判定結果に含まれるデータを演算により変換し、変換後の前記判定結果を、前記保全処理を実行するための情報に含めて前記送信部により前記ホスト制御装置に送信することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の基板処理システム。
- 前記演算は、前記データの単位を前記ホスト制御装置で使用される単位に変換するための演算を含むことを特徴とする請求項10に記載の基板処理システム。
- 前記複数の基板処理装置のそれぞれは、前記判定結果を受信した場合、前記判定結果および当該基板処理装置の装置状態の情報を、前記保全処理を実行するための情報に含めて前記送信部により前記ホスト制御装置に送信することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の基板処理システム。
- 基板を処理する複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置の動作を制御するホスト制御装置と、前記複数の基板処理装置のそれぞれの保守を管理する管理装置とを含む基板処理システムであって、
前記管理装置は、
前記複数の基板処理装置のそれぞれから収集された動作情報に基づいて、保全処理が必要な基板処理装置を判定する判定部と、
前記判定部により前記保全処理が必要と判定された基板処理装置に対して前記保全処理を実行するための情報を、前記ホスト制御装置に通知する通知部と、を有し、
前記ホスト制御装置は、
前記複数の基板処理装置のそれぞれの稼働状況を監視し、前記判定部により前記保全処理が必要と判定された基板処理装置の稼働状況に基づいて、該基板処理装置に対する前記保全処理の実施のタイミングを制御する制御部を有する
ことを特徴とする基板処理システム。 - 基板を処理する複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置の動作を制御するホスト制御装置と、前記複数の基板処理装置のそれぞれに対して保全処理を行う管理装置とを含む基板処理システムであって、
前記管理装置は、
前記複数の基板処理装置のそれぞれから収集された動作情報に基づいて、保全処理が必要な基板処理装置を判定する判定部と、
前記判定部により前記保全処理が必要と判定された基板処理装置に対して前記保全処理を実行するための情報を、前記ホスト制御装置に通知する通知部と、を有し、
前記ホスト制御装置は、
前記複数の基板処理装置のそれぞれの稼働状況を監視し、前記判定部により前記保全処理が必要と判定された基板処理装置の稼働状況に基づいて、該基板処理装置に対する前記保全処理の実施のタイミングを制御する制御部と、
前記制御されたタイミングで、前記保全処理の依頼を前記管理装置に送信する送信部と、を有する
ことを特徴とする基板処理システム。 - 基板を処理する複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置の動作を制御するホスト制御装置と、前記複数の基板処理装置のそれぞれの保守を管理する管理装置とを含む基板処理システムであって、
前記管理装置は、
前記複数の基板処理装置のそれぞれから収集された動作情報に基づいて、異常またはその予兆が発生している基板処理装置を検知する検知部と、
前記検知部により異常またはその予兆の発生が検知された基板処理装置に検知結果および前記動作情報を通知する通知部と、を有し、
前記複数の基板処理装置のそれぞれは、前記検知結果および前記動作情報を受信した場合に、前記検知結果および前記動作情報を前記ホスト制御装置に送信する送信部を有し、
前記ホスト制御装置は、
前記検知結果および前記動作情報を送信した基板処理装置である第1基板処理装置に対する保全処理の要否を、前記検知結果および前記動作情報に基づいて判定する判定部と、
前記複数の基板処理装置のそれぞれの稼働状況を監視し、前記判定部により前記第1基板処理装置に対する前記保全処理が必要と判定された場合、前記第1基板処理装置の稼働状況に基づいて前記保全処理の実施のタイミングを制御する制御部と、を有する
ことを特徴とする基板処理システム。 - 基板を処理する複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置の動作を制御するホスト制御装置と、前記複数の基板処理装置のそれぞれの保守を管理する管理装置とを含む基板処理システムであって、
前記管理装置は、
前記複数の基板処理装置のそれぞれから収集された動作情報に基づいて、異常またはその予兆が発生している基板処理装置を検知する検知部と、
前記基板処理装置を介さずに、前記ホスト制御装置に検知結果および前記動作情報を通知する通知部と、を有し、
前記ホスト制御装置は、
前記検知結果から前記検知部により異常またはその予兆が検知された基板処理装置である第1基板処理装置を特定し、該第1基板処理装置に対する保全処理の要否を、前記検知結果および前記動作情報に基づいて判定する判定部と、
前記複数の基板処理装置のそれぞれの稼働状況を監視し、前記判定部により前記第1基板処理装置に対する前記保全処理が必要と判定された場合、前記第1基板処理装置の稼働状況に基づいて前記保全処理の実施のタイミングを制御する制御部と、を有する
ことを特徴とする基板処理システム。 - 基板を処理する複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置の動作を制御するホスト制御装置と、前記複数の基板処理装置のそれぞれの保守を管理する管理装置とを含む基板処理システムの制御方法であって、
前記管理装置が、前記複数の基板処理装置のそれぞれから収集された動作情報に基づいて、保全処理が必要な基板処理装置を判定する判定工程と、
前記管理装置が、前記判定工程で前記保全処理が必要と判定された基板処理装置に判定結果を通知する通知工程と、
前記複数の基板処理装置のそれぞれが、前記判定結果を受信した場合、前記保全処理を実行するための情報を前記ホスト制御装置に送信する送信工程と、
前記ホスト制御装置が、前記複数の基板処理装置のそれぞれの稼働状況を監視し、前記保全処理を実行するための情報を送信した基板処理装置の稼働状況に基づいて、該基板処理装置に対する前記保全処理の実施のタイミングを制御する制御工程と、
を有することを特徴とする基板処理システムの制御方法。 - 基板を処理する複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置の動作を制御するホスト制御装置と、前記複数の基板処理装置のそれぞれの保守を管理する管理装置とを含む基板処理システムの制御方法であって、
前記管理装置が、前記複数の基板処理装置のそれぞれから収集された動作情報に基づいて、保全処理が必要な基板処理装置を判定する判定工程と、
前記管理装置が、前記判定工程で前記保全処理が必要と判定された基板処理装置に対して前記保全処理を実行するための情報を、前記ホスト制御装置に通知する通知工程と、
前記ホスト制御装置が、前記複数の基板処理装置のそれぞれの稼働状況を監視し、前記判定工程で前記保全処理が必要と判定された基板処理装置の稼働状況に基づいて、該基板処理装置に対する前記保全処理の実施のタイミングを制御する制御工程と、
を有することを特徴とする基板処理システムの制御方法。 - 基板を処理する複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置の動作を制御するホスト制御装置と、前記複数の基板処理装置のそれぞれに対して保全処理を行う管理装置とを含む基板処理システムの制御方法であって、
前記管理装置が、前記複数の基板処理装置のそれぞれから収集された動作情報に基づいて、前記保全処理が必要な基板処理装置を判定する判定工程と、
前記管理装置が、前記判定工程で前記保全処理が必要と判定された基板処理装置に対して前記保全処理を実行するための情報を、前記ホスト制御装置に通知する通知工程と、
前記ホスト制御装置が、前記複数の基板処理装置のそれぞれの稼働状況を監視し、前記判定工程で前記保全処理が必要と判定された基板処理装置の稼働状況に基づいて、該基板処理装置に対する前記保全処理の実施のタイミングを制御する制御工程と、
前記ホスト制御装置が、前記制御されたタイミングで、前記保全処理の依頼を前記管理装置に送信する送信工程と、
を有することを特徴とする基板処理システムの制御方法。 - 基板を処理する複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置の動作を制御するホスト制御装置と、前記複数の基板処理装置のそれぞれの保守を管理する管理装置とを含む基板処理システムの制御方法であって、
前記管理装置が、前記複数の基板処理装置のそれぞれから収集された動作情報に基づいて、異常またはその予兆が発生している基板処理装置を検知する検知工程と、
前記管理装置が、前記検知工程で異常またはその予兆の発生が検知された基板処理装置に検知結果および前記動作情報を通知する通知工程と、
前記検知結果および前記動作情報を受信した基板処理装置が、前記検知結果および前記動作情報を前記ホスト制御装置に送信する送信工程と、
前記ホスト制御装置が、前記検知結果および前記動作情報を送信した基板処理装置である第1基板処理装置に対する保全処理の要否を、前記検知結果および前記動作情報に基づいて判定する判定工程と、
前記ホスト制御装置が、前記複数の基板処理装置のそれぞれの稼働状況を監視し、前記判定工程で前記第1基板処理装置に対する前記保全処理が必要と判定された場合、前記第1基板処理装置の稼働状況に基づいて前記保全処理の実施のタイミングを制御する制御工程と、
を有することを特徴とする基板処理システムの制御方法。 - 基板を処理する複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置の動作を制御するホスト制御装置と、前記複数の基板処理装置のそれぞれの保守を管理する管理装置とを含む基板処理システムの制御方法であって、
前記管理装置が、前記複数の基板処理装置のそれぞれから収集された動作情報に基づいて、異常またはその予兆が発生している基板処理装置を検知する検知工程と、
前記管理装置が、前記基板処理装置を介さずに、前記ホスト制御装置に検知結果及び前記動作情報を通知する通知工程と、
前記ホスト制御装置が、前記検知結果から前記検知工程で異常またはその予兆が検知された基板処理装置である第1基板処理装置を特定し、該第1基板処理装置に対する保全処理の要否を、前記検知結果および前記動作情報に基づいて判定する判定工程と、
前記ホスト制御装置が、前記複数の基板処理装置のそれぞれの稼働状況を監視し、前記判定工程で前記第1基板処理装置に対する前記保全処理が必要と判定された場合、前記第1基板処理装置の稼働状況に基づいて前記保全処理の実施のタイミングを制御する制御工程と、
を有することを特徴とする基板処理システムの制御方法。 - 請求項17乃至21のいずれか1項に記載の基板処理システムの制御方法の各工程をコンピュータに実行させるためのプログラム。
- 請求項1乃至16のいずれか1項に記載の基板処理システムを用いて基板の上にパターンを形成する形成工程と、
前記形成工程で前記パターンが形成された前記基板を加工する加工工程と、を有し、
前記加工工程により加工された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品製造方法。
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