JP2006278547A - 異常検知システム、異常検知方法、異常検知プログラム及び半導体装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 処理装置の異常の誤検知を回避でき、誤検知によるスループット低下を防止可能な異常検知システムを提供する。
【解決手段】 基本アルゴリズム及び基本アルゴリズムと異なる暫定アルゴリズムの少なくともいずれかを用いて処理装置の異常の有無を検知する検知手段１１と、処理装置の保守作業を実施した場合に暫定アルゴリズムを検知手段１１に使用させる暫定処理制御手段１２と、基本及び暫定アルゴリズムの使用を調整する調整条件に基づいて、基本アルゴリズムを検知手段１１に使用させる基本処理制御手段１３とを備える。
【選択図】 図１

Description

本発明は、処理装置の異常の有無を検知する異常検知システム、異常検知方法、異常検知プログラム及び半導体装置の製造方法に関する。

異常検知システムは、処理対象の品種、工程、処理チャンバ及び処理条件毎に設定された異常検知アルゴリズムを用いて、処理装置・プロセスの異常を自動的に検知する（例えば、特許文献１参照。）。異常検知アルゴリズムは、通常、処理装置の動作状態やプロセスの挙動を把握できる１又は複数のデータ項目をパラメータとした数式により表される。パラメータとしては、例えばチャンバ温度、圧力やガス流量が使用可能である。パラメータは、制御可能なパラメータである設定値と、制御不可能なパラメータである実測値に分類される。実測値は、更に、処理装置の保守作業前後で変動するものと変動しないものに分類される。保守作業前後で変動するパラメータは、一時的に大きく変動し、ある条件によって変動しなくなるものと、ランダムに変動し続けるものに更に分類される。

製造現場では処理装置を常に正常状態で使用するために定期的に保守作業が実施される。しかし、保守作業を実施してから一定期間に異常検知アルゴリズムを用いて処理装置の異常の有無を検知すると、異常検知アルゴリズムに含まれている特定のパラメータが一時的に大きく変動するために、実際には処理装置の異常は発生していなくとも異常を誤検知する場合がある。異常が誤検知された場合、その都度処理を中断して異常の原因を解析する作業が発生するため、スループットが低下する。
特開平３−４８７２８号公報

本発明の目的は、処理装置の異常の誤検知を回避でき、誤検知によるスループット低下を防止可能な異常検知システム、異常検知方法、異常検知プログラム及び半導体装置の製造方法を提供することである。

本発明の第１の特徴は、（イ）基本アルゴリズム及び基本アルゴリズムと異なる暫定アルゴリズムの少なくともいずれかを用いて処理装置の異常の有無を検知する検知手段と、（ロ）処理装置の保守作業を実施した場合に暫定アルゴリズムを検知手段に使用させる暫定処理制御手段と、（ハ）基本及び暫定アルゴリズムの使用を調整する調整条件に基づいて、基本アルゴリズムを検知手段に使用させる基本処理制御手段とを備える異常検知システムであることを要旨とする。

本発明の第２の特徴は、（イ）処理装置の保守作業を実施した場合に暫定アルゴリズムを検知手段に使用させ、処理装置の異常の有無を検知するステップと、（ロ）暫定アルゴリズム及び暫定アルゴリズムと異なる基本アルゴリズムの使用を調整する調整条件に基づいて基本アルゴリズムを検知手段に使用させ、処理装置の異常の有無を検知するステップとを含む異常検知方法であることを要旨とする。

本発明の第３の特徴は、（イ）処理装置の保守作業を実施した場合に、暫定アルゴリズム記憶部に格納された暫定アルゴリズムを暫定処理制御手段により検知手段に使用させ、処理装置の異常の有無を検知する命令と、（ロ）調整条件記憶部に格納された暫定アルゴリズム及び暫定アルゴリズムと異なる基本アルゴリズムの使用を調整する調整条件に基づいて、基本アルゴリズム記憶部に格納された基本アルゴリズムを基本処理制御手段により検知手段に使用させ、処理装置の異常の有無を検知する命令とをコンピュータに実行させる異常検知プログラムであることを要旨とする。

本発明の第４の特徴は、（イ）処理装置に搬入された被処理体に対して処理を行うステップと、（ロ）処理装置の保守作業を実施した場合に暫定アルゴリズムを検知手段に使用させ、処理装置の異常の有無を検知するステップと、（ハ）暫定アルゴリズム及び暫定アルゴリズムと異なる基本アルゴリズムの使用を調整する調整条件に基づいて基本アルゴリズムを検知手段に使用させ、処理装置の異常の有無を検知するステップと、（ニ）異常が検知された場合には、検知された異常内容に応じて処理装置の動作を制御するステップとを含む半導体装置の製造方法であることを要旨とする。

本発明によれば、処理装置の異常の誤検知を回避でき、誤検知によるスループット低下を防止可能な異常検知システム、異常検知方法、異常検知プログラム及び半導体装置の製造方法を提供することができる。

次に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。以下に示す実施の形態は、この発明の技術的思想を具体化するための処理装置や方法を例示するものであって、この発明の技術的思想は、構成部品の構造、配置等を下記のものに特定するものでない。この発明の技術的思想は、特許請求の範囲において、種々の変更を加えることができる。

本発明の実施の形態に係る異常検知システムは、図１に示すように、基本アルゴリズム及び基本アルゴリズムと異なる暫定アルゴリズムの少なくともいずれかを用いて処理装置の異常の有無を検知する検知手段１１と、処理装置の保守作業を実施した場合に暫定アルゴリズムを検知手段１１に使用させる暫定処理制御手段１２と、基本及び暫定アルゴリズムの使用を調整する調整条件に基づいて、基本アルゴリズムを検知手段１１に使用させる基本処理制御手段１３とを備える。検知手段１１、暫定処理制御手段１２及び基本処理制御手段１３は、異常検知分類（ＦＤＣ）サーバ１に含まれる。

本発明の実施の形態に係る異常検知システムは、図２に示すように、ＦＤＣサーバ１と、ＦＤＣサーバ１にバス７を介して接続された装置群制御サーバ２と、ＦＤＣサーバ１にバス８を介して接続された処理装置３と、ＦＤＣサーバ１及び装置群制御サーバ２にバス７を介して接続された装置管理サーバ４と、ＦＤＣサーバ１及び処理装置３にバス８を介して接続され装置管理サーバ４にも接続されたデータ収集アダプタ５と、ＦＤＣサーバ１、装置群制御サーバ２、装置管理サーバ４にバス７を介して接続された入出力装置６を備える。装置群制御サーバ２は、生産進捗管理システム（ＭＥＳ）の機能を持たせ、本社のビジネス系システムである企業資源計画（ＥＰＲ）パッケージと、製造現場の機械を動かす制御系のシステム群との間をつなぐ、工程管理のためのシステム群を構成することが可能である。このため、以後の説明では「装置群制御サーバ２」を「ＭＥＳサーバ２」と称することとする。

処理装置３としては、例えば半導体装置製造工程の場合について例示すれば、露光装置、化学気相成長（ＣＶＤ）装置、エッチング装置、化学的機械的研磨（ＣＭＰ）装置や洗浄装置等の種々の装置（半導体製造装置）が使用可能である。処理装置３は、ＭＥＳサーバ２から装置管理サーバ４を経由して受信するロット処理指示に基づいてロット処理を実施する。

処理装置３では、正常な状態で運用するために、定期的に保守作業が実施される。例えばＭＥＳサーバ２が入出力装置６に保守作業内容を送信し、作業者が入出力装置６に表示された保守作業を処理装置３に実施する。保守作業を実施する前後で、異常検知アルゴリズムが対象とする、処理装置３のプロセス状態に関連するパラメータのうち、一時的に挙動が変化するパラメータがある場合がある。

ＭＥＳサーバ２は、処理装置３で保守作業が実施された場合に入出力装置６から保守作業の実施報告を受信して、保守作業内容をＦＤＣサーバ１に直ちに通知する。保守作業内容は、例えば保守作業が実施された処理装置、チャンバ、及び保守作業項目を含む。更に、ＭＥＳサーバ２は、処理装置３でロット処理を行う場合には、ロット処理指示を処理装置３に送信するとともに、ロット処理指示内容をＦＤＣサーバ１へ送信する。

装置管理サーバ４は、接続される装置や装置間のデータのやりとりを管理するコンバータとして機能する。データ収集アダプタ５は、異常検知アルゴリズムが対象とする処理装置３の各パラメータの値を、例えば１秒毎等の必要なタイミング・周期で収集して、収集した各パラメータの値をＦＤＣサーバ１に送信する。データ収集の対象となるパラメータや、パラメータを収集するタイミング・周期は、データ収集アダプタ５に予め設定しておいて良い。又は、ロット処理開始前までに、ＭＥＳサーバ２や他のシステムから通信により設定される場合もある。

ＦＤＣサーバ１は、中央処理装置（ＣＰＵ）１０及びデータ記憶装置２０を備える。データ記憶装置２０は、基本アルゴリズム記憶部２１、暫定アルゴリズム記憶部２２、調整条件記憶部２３及び判断基準記憶部２４を備える。基本アルゴリズム記憶部２１に予め格納される基本アルゴリズム（異常検知アルゴリズム）は、処理装置、処理チャンバ，処理対象の品種、工程、及びレシピ毎に複数定義される。基本アルゴリズムは、例えばチャンバ温度、圧力及びガス流量等の、処理装置３の動作状態やプロセスの挙動を把握できる１又は複数のデータ項目をパラメータ、例えば３つのパラメータｐ１，ｐ２，ｐ３、とした以下の数式（１）により表される。

ｙ１＝ｆ（ｐ１，ｐ２，ｐ３）…（１）
図３は保守作業前後の基本アルゴリズムで利用するあるパラメータｐ１の挙動を示す。時間ｔ１において保守作業後、パラメータｐ１の値が一時的に大きく変動する。時間ｔ２において例えば保守作業直後からのウェハ処理枚数や経過時間等の条件に達し、パラメータｐ１の値の変動が無くなる。このような挙動をするパラメータｐ１を適用した基本アルゴリズムを使用すると、時間ｔ１〜ｔ２の保守作業後においては、実際には処理装置３・プロセスが正常であるにも関わらず異常が誤検知されて、誤報を発してしまう。

図１に示した暫定アルゴリズム記憶部２２に予め格納された暫定アルゴリズム（異常検知アルゴリズム）は、基本アルゴリズムと同様に、処理装置、処理チャンバ，処理対象の品種、工程、及びレシピ毎に複数定義される。暫定アルゴリズムは、対応する基本アルゴリズムが対象とするパラメータから、保守作業後に一時的に大きく変動するパラメータ、例えばｐ１を対象外とした以下の数式（２）により表される。

ｙ２＝ｆ（ｐ２，ｐ３）…（２）

調整条件記憶部２３に格納された調整条件には、図４に示すように、機種、装置、処理チャンバ、品種、工程、及びレシピに加えて、保守作業項目、暫定アルゴリズム名、及び切り替え条件１，２等が登録されている。切り替え条件１，２は機種、処理装置、処理対象の品種、処理装置で処理する工程、レシピ、及び保守作業項目毎に複数登録ができる。切り替え条件１，２の内容は、保守作業後からのウェハ処理枚数（ロット数）や保守作業後からの経過時間等の設定値のほか、対象外としたパラメータに対する基準値であってもよい。切り替え条件は一つの暫定アルゴリズムに対して１つのみ設定していても良い。図１に示した判断基準記憶部２４は、基本アルゴリズム又は暫定アルゴリズムの計算結果が正常か異常かを判断するための判断基準を格納する。

ＣＰＵ１０は、検知手段１１、暫定処理制御手段１２及び基本処理制御手段１３を備える。検知手段１１は、検知部１１１及び通知部１１２を備える。検知部１１１は、基本アルゴリズム、暫定アルゴリズム、又は基本アルゴリズムと暫定アルゴリズムの組み合わせを用いて、データ収集アダプタ５から送信される各パラメータの値に対して、単変量解析や多変量解析等の形式で解析を行い、解析結果を判断基準記憶部２４に格納された判断基準を参照して、処理装置３・プロセスの異常の有無を検知する。更に、検知部１１１は、異常の種類を分類する。通知部１１２は、検知部１１１により異常が検知された場合に異常内容をＭＥＳサーバ２や入出力装置６に通知する。異常内容には、検知に利用した基本アルゴリズム名及び暫定アルゴリズム名が含まれているので、どの基本アルゴリズム又は暫定アルゴリズムを用いた異常を検知したのかをＭＥＳサーバ２及び入出力装置６において認識できる。

暫定処理制御手段１２は、ＭＥＳサーバ２から通知された保守作業内容とロット処理指示内容、及び調整条件に基づいて、保守作業前に使用していた基本アルゴリズムから暫定アルゴリズムに切り替えて、暫定アルゴリズムを検知手段１１に使用させる。ここで、暫定処理制御手段１２は、保守作業前に使用していた複数の基本アルゴリズムのうち、一時的に変動するパラメータを含む基本アルゴリズムのみを、対応する暫定アルゴリズムにそれぞれ切り替えて検知手段１１に使用させる。暫定処理制御手段１２は、保守作業前に使用していた複数の基本アルゴリズムのうち、一時的に変動するパラメータを含まない基本アルゴリズムはそのまま検知手段１１に使用させる。

基本処理制御手段１３は、図４に示した調整条件に登録された切り替え条件に達したときに、暫定アルゴリズムからそれぞれ元の基本アルゴリズムに切り替えて検知手段１１に使用させる。複数の切り替え条件を設定している場合には、複数の切り替え条件が論理和（ＯＲ）であって一つ満たせば良いのか、複数の切り替え条件が論理積（ＡＮＤ）であって全て満たさなければならないのか予め設定されている。また、切り替え条件として対象外としたパラメータに対する基準値が設定されている場合には、パラメータの値をリアルタイムでモニタし、基準値に到達した時点で基本アルゴリズムを使用させることも可能である。

図２に示したＭＥＳサーバ２は、ＦＤＣサーバ１の通知部１１２から通知された異常内容に応じて、処理装置３や処理中のロットをどう扱うかを判断する。例えば、異常内容が修復不可能な種類であれば、ＭＥＳサーバ２は、ロット処理を一旦停止或いは強制終了する指示を処理装置３へ通知する。また、異常があっても処理に支障をきたさない程度であれば、ＭＥＳサーバ２は、処理装置３に処理継続の指示を出す。また、図示を省略した複数の処理装置があり、特定の処理装置３で異常が発生した場合には、ＭＥＳサーバ２は、異常が発生した処理装置に対するロット処理割付を禁止する指示等を処理装置又は他システムへ通知する。

また、ＣＰＵ１０には、図示を省略した記憶装置管理手段が備えられている。記憶装置及び記憶装置との入出力が必要な場合は、記憶装置管理手段を介して、必要なファイルの読み出し・書き込み処理がなされる。図２に示した入出力装置６としては、例えばキーボード、マウス、ＯＣＲ等の認識装置、イメージスキャナ等の図形入力装置、音声入力装置等の特殊入力装置等の入力装置が使用可能である。更に、液晶ディスプレイ、ＣＲＴディスプレイ等の表示装置や、インクジェットプリンタ、レーザプリンタ等の印刷装置等の出力装置を用いることができる。

主記憶装置には、ＲＯＭ及びＲＡＭが組み込まれている。ＲＯＭは、ＣＰＵ１０において実行されるプログラムを格納しているプログラム記憶装置等として機能する（プログラムの詳細は後述する。）。ＲＡＭは、ＣＰＵ１０におけるプログラム実行処理中に利用されるデータ等を一時的に格納したり、作業領域として利用される一時的なデータメモリ等として機能する。主記憶装置としては、例えば半導体メモリ、磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスクや磁気テープ等が採用可能である。また、入力装置、出力装置等をＣＰＵ１０につなぐ図示を省略した入出力制御装置（インターフェース）を備える。

次に、本発明の実施の形態に係る異常検知方法を、図５のフローチャートにしたがって説明する。

ステップＳ０において、図２に示したＭＥＳサーバ２は、保守作業実施指示を入出力装置６に送信する。保守作業実施指示は、例えば入出力装置６のモニタに表示される。ステップＳ１において、作業者が、入出力装置６を参照して、該当する処理装置３に対して保守作業を実施する。作業終了後、作業者が入出力装置６に保守作業が完了した旨を入力する。入出力装置６は、実施した保守作業内容をＭＥＳサーバ２に送信する。ＭＥＳサーバ２は、入出力装置６から受信した保守作業内容をＦＤＣサーバ１に送信する。

ステップＳ２において、ＭＥＳサーバ２は、装置管理サーバ４及びデータ収集アダプタ５を介してロット処理指示を処理装置３へ送信する。また、ＭＥＳサーバ２は、ロット処理指示内容をＦＤＣサーバ１に送信する。

ステップＳ３において、図１に示したＦＤＣサーバ１の検知部１１１は、保守作業内容が通知されるまでは、基本アルゴリズムを用いて処理装置３の異常を検知している。暫定処理制御手段１２は、ＭＥＳサーバ２から処理装置３で保守作業が実施されたことが通知されると、ＭＥＳサーバ２から通知された保守作業内容及びロット処理指示内容と、調整条件記憶部２３に格納された調整条件に基づいて、保守作業前に使用していた基本アルゴリズムから保守作業後に一時的に変動するパラメータｐ１を除外した暫定アルゴリズムを検索して切り替え、暫定アルゴリズムを検知手段１１に使用させる。

ステップＳ４において、処理装置３は、ＭＥＳサーバ２から装置管理サーバ４を経由して受信したロット処理指示に応じてロット処理を開始する。ステップＳ５において、データ収集アダプタ５は、処理装置３においてロット処理が実施されている間、処理装置３の各パラメータの値を、必要なタイミング・周期で収集し、ＦＤＣサーバ１へリアルタイムに送信する。検知部１１１は、データ収集アダプタ５から送信されるデータには暫定アルゴリズムを使用して、アルゴリズム計算結果と判断基準によって処理装置３の異常の有無を検知する。

ステップＳ５において異常を検知したとき、ステップＳ６において、通知部１１２は、異常検知に適用したアルゴリズム名を含む異常情報を、ＭＥＳサーバ２及び入出力装置６へ通知する。ＭＥＳサーバ２は、ＦＤＣサーバ１から通知された異常情報の内容に応じて処理装置３や処理中ロットの扱いを判断し、処理ロットの強制終了指示や処理装置３へのロット処理割付禁止指示等を処理装置３又は他システムへ通知する。一方、ステップＳ５において異常が検知されなければ、通知部１１２は異常情報を通知しない。

ステップＳ７において、基本処理制御手段１３は、調整条件に登録されている切り替え条件に従って、保守作業終了からの時間等の特定条件に達している場合には、ステップＳ８へ進み暫定アルゴリズムから基本アルゴリズムへ自動的に切り替える。ステップＳ９において、検知部１１１は、基本アルゴリズムを用いて処理装置３の異常の有無を検知する。

ステップＳ９において異常を検知したとき、ステップＳ１０において、通知部１１２は、異常検知に適用したアルゴリズム名を含む異常情報を、ＭＥＳサーバ２及び入出力装置６へ通知する。ＭＥＳサーバ２は、ＦＤＣサーバ１から通知された異常情報の内容に応じて処理装置３や処理中ロットの扱いを判断し、処理ロットの強制終了指示や処理装置３へのロット処理割付禁止指示等を処理装置３又は他システムへ通知する。一方、ステップＳ９において異常が検知されなければ、通知部１１２は異常情報を通知しない。

ステップＳ１１において、ロット処理が終了するまで、ステップＳ９の異常検知を継続する。ロット処理が終了すれば、異常検知処理を終了する。

本発明の実施の形態によれば、暫定アルゴリズムと基本アルゴリズムを自動で切り替えることができるため、異常検知の誤検知・誤報率を下げることができる。したがって、異常検知アルゴリズムの確認、設定変更等、技術者が行う作業時間を短縮することができる、スループット低下を防止できる。更に、異常検知アルゴリズムを細かい単位で且つ複数設定可能であるため、異常検知の誤報率を大幅に低下できる。更に、検知した異常内容によって処理装置３動作を自動で制御できるため、異常発生後の対処を早期に行うことができ、不良品発生を削減できる。

なお、図４に示した調整条件において、同一の保守作業項目毎に、互いに異なるパラメータを除外対象とする複数の暫定アルゴリズムを登録していても良い。この場合、複数の暫定アルゴリズムのうち任意の暫定アルゴリズムが適宜選択される。また、ステップＳ７の前にロット処理が終了したか判定しても良い。１ロット処理が終了するまでに、暫定アルゴリズムから基本アルゴリズムへの切り替え条件に達したい場合もあることは勿論である。

図５に示した一連の操作は、図５と等価なアルゴリズムのプログラム（異常検知プログラム）により、図１に示した異常検知システムを制御して実行出来る。異常検知プログラムは、コンピュータ読取り可能な記録媒体に保存し、この記録媒体を異常検知システムのプログラム記憶装置に読み込ませることにより、本発明の一連の操作を実行することができる。ここで、「コンピュータ読取り可能な記録媒体」とは、例えばコンピュータの外部メモリ装置、半導体メモリ、磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスク、磁気テープ等のプログラムを記録することができるような媒体等を意味する。具体的には、フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭ，ＭＯディスク、カセットテープ、オープンリールテープ等が「コンピュータ読取り可能な記録媒体」に含まれる。例えば、異常検知システムの本体は、フレキシブルディスク装置（フレキシブルディスクドライブ）および光ディスク装置（光ディスクドライブ）を内蔵若しくは外部接続するように構成できる。フレキシブルディスクドライブに対してはフレキシブルディスクを、また光ディスクドライブに対してはＣＤ−ＲＯＭをその挿入口から挿入し、所定の読み出し操作を行うことにより、これらの記録媒体に格納された異常検知プログラムをプログラム記憶装置にインストールすることができる。また、所定のドライブ装置を接続することにより、例えばゲームパック等に利用されているメモリ装置としてのＲＯＭや、磁気テープ装置としてのカセットテープを用いることもできる。さらに、インターネット等の情報処理ネットワークを介して、異常検知プログラムをプログラム記憶装置に格納することが可能である。

次に、本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を図６及び図７のフローチャートを参照しながら説明する。図６のステップＳ１００の設計工程、ステップＳ２００のマスク作製工程を経て、ステップＳ３００のチップ製造工程に進む。ステップＳ３０２のフロントエンド工程（基板工程）では、ステップＳ３１０の酸化工程、ステップＳ３１１のレジスト塗布工程、ステップＳ３１２のフォトリソグラフィ工程、ステップＳ３１３のイオン注入工程及びステップＳ３１４の熱処理工程等が繰り返して実施される。ステップＳ３１０〜Ｓ３１４の各工程では、酸化装置、レジスト塗布装置、露光装置、現像装置、イオン注入装置、熱処理装置等の処理装置に対して、図１に示した異常検知システムが図７に示す手順のように適用可能である。

図７のステップＳ１〜Ｓ６の手順は図５の手順と実質的に同様に行う。ステップＳ６における異常通知がなされると、ロット処理を一時中断して、ＭＥＳサーバ２或いは作業者等が、異常内容に応じてステップＳ６１〜６５の処理を行う。ステップＳ６１において、異常が修復不可能で処理装置のメンテナンスが必要と判断された場合、ステップＳ６２においてロット処理を強制終了した後、ステップＳ６３において処理装置のメンテナンスを行う。一方、ステップＳ６１において異常が修復可能でメンテナンスが不要と判断されると、ステップＳ６４に進む。ステップＳ６４においてチューニングが必要と判断された場合、ステップＳ６５に進み、処理装置のチューニングを行う。その後、中断していたロット処理を再開する。ステップＳ６４において、異常がチューニングを行わなくても支障をきたさない程度の場合には、ロット処理を再開する。ステップＳ６６において、暫定アルゴリズムから基本アルゴリズムへの切り替え条件に達する前にロットの処理が終了した場合、処理を終了する。一方、ロットの処理が途中であればステップＳ７の手順へ進む。

ステップＳ７〜Ｓ１１の手順は、図５のステップＳ７〜Ｓ１１と実質的に同様であるので、重複した説明を省略する。ステップＳ１０において異常通知がなされたときも、ＭＥＳサーバ２或いは作業者が異常内容を判断して、ステップＳ１０１〜Ｓ１０３，Ｓ６２，Ｓ６３の処理を行う。ステップＳ１０１〜Ｓ１０３の手順は、ステップＳ６１，Ｓ６４，Ｓ６５の手順と同様である。

図６のステップＳ３０２の一連の工程が終了すると、ステップＳ３０３へ進む。ステップＳ３０３のバックエンド工程（表面配線工程）では、ステップＳ３１５における化学気相成長（ＣＶＤ）工程、ステップＳ３１６におけるレジスト塗布工程、ステップＳ３１７におけるフォトリソグラフィ工程、ステップＳ３１８におけるエッチング工程、ステップＳ３１９における金属堆積工程等が繰り返し実施される。ステップＳ３１５〜Ｓ３１９の各工程でも、図７に示した手順が採用可能である。図６に示したステップＳ３０４の後工程（アセンブル）工程、ステップＳ４００の検査工程を経て、ステップＳ５００で半導体装置が出荷される。

本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法によれば、各工程で用いる処理装置に対して、暫定アルゴリズムと基本アルゴリズムを自動で切り替えることができるため、異常検知の誤検知・誤報率を下げることができる。したがって、異常検知アルゴリズムの確認、設定変更等、技術者が行う作業時間を短縮することができる、スループット低下を防止できる。したがって、半導体装置の歩留まりを向上することが可能となる。なお、上述した半導体装置の製造方法は、一例であり、この変形例を含めて、これ以外の種々の製造方法により、実現可能であることは勿論である。

上記のように、本発明は実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。例えば、図８に示すように、図１に示したデータ収集アダプタ５が省略されても良い。

また、上記実施の形態では、処理装置３として半導体製造装置を例示したが、本発明は、自動車の製造工程、化学薬品の製造工程、建築部材の製造工程で用いる処理装置３に対して適用できることは、上記説明から容易に理解できるであろう。このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。

本発明の実施の形態に係る異常検知サーバの一例を示すブロック図である。 本発明の実施の形態に係る異常検知システムの一例を示すブロック図である。 本発明の実施の形態に係る保守作業前後における処理装置に関するパラメータの挙動を示すグラフである。 本発明の実施の形態に係る調整条件の一例を示す表である。 本発明の実施の形態に係る異常検知方法の一例を示すフローチャートである。 本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法の一例を示すフローチャートである。 本発明の実施の形態に係る半導体装置の一例を示す他のフローチャートである。 本発明のその他の実施の形態に係る異常検知システムの一例を示すブロック図である。

符号の説明

１…異常検知分類（ＦＤＣ）サーバ
２…装置群制御システム（ＭＥＳ）サーバ
３…処理装置
４…装置管理サーバ
５…データ収集アダプタ
６…入出力装置
７，８…バス
１０…中央処理装置（ＣＰＵ）
１１…検知手段
１２…暫定処理制御手段
１３…基本処理制御手段
２０…データ記憶装置
２１…基本アルゴリズム記憶部
２２…暫定アルゴリズム記憶部
２３…調整条件記憶部
２４…判断基準記憶部
１１１…検知部
１１２…通知部

Claims (7)

1. 基本アルゴリズム及び前記基本アルゴリズムと異なる暫定アルゴリズムの少なくともいずれかを用いて処理装置の異常の有無を検知する検知手段と、
   前記処理装置の保守作業を実施した場合に前記暫定アルゴリズムを前記検知手段に使用させる暫定処理制御手段と、
   前記基本及び暫定アルゴリズムの使用を調整する調整条件に基づいて、前記基本アルゴリズムを前記検知手段に使用させる基本処理制御手段
   とを備えることを特徴とする異常検知システム。
2. 前記暫定アルゴリズムは、前記基本アルゴリズムが対象とする前記処理装置に関するパラメータのうち、前記保守作業により一時的に変動するパラメータを対象外とすることを特徴とする請求項１に記載の異常検知システム。
3. 前記基本及び暫定アルゴリズムのそれぞれは、検知対象となる前記処理装置、前記処理装置のチャンバ、前記処理装置の処理対象の品種、前記処理装置で処理する工程、前記処理装置の処理条件、及び前記処理装置の保守作業項目毎に複数定義されることを特徴とする請求項１又は２に記載の異常検知システム。
4. 前記検知手段により検知された異常内容に応じて前記処理装置の動作を制御する装置群制御サーバを更に備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の異常検知システム。
5. 処理装置の保守作業を実施した場合に暫定アルゴリズムを検知手段に使用させ、前記処理装置の異常の有無を検知するステップと、
   前記暫定アルゴリズム及び前記暫定アルゴリズムと異なる基本アルゴリズムの使用を調整する調整条件に基づいて前記基本アルゴリズムを前記検知手段に使用させ、前記処理装置の異常の有無を検知するステップ
   とを含むことを特徴とする異常検知方法。
6. 処理装置の保守作業を実施した場合に、暫定アルゴリズム記憶部に格納された暫定アルゴリズムを暫定処理制御手段により検知手段に使用させ、前記処理装置の異常の有無を検知する命令と、
   調整条件記憶部に格納された前記暫定アルゴリズム及び前記暫定アルゴリズムと異なる基本アルゴリズムの使用を調整する調整条件に基づいて、基本アルゴリズム記憶部に格納された前記基本アルゴリズムを基本処理制御手段により前記検知手段に使用させ、前記処理装置の異常の有無を検知する命令
   とをコンピュータに実行させることを特徴とする異常検知プログラム。
7. 処理装置に搬入された被処理体に対して処理を行うステップと、
   前記処理装置の保守作業を実施した場合に暫定アルゴリズムを検知手段に使用させ、前記処理装置の異常の有無を検知するステップと、
   前記暫定アルゴリズム及び前記暫定アルゴリズムと異なる基本アルゴリズムの使用を調整する調整条件に基づいて前記基本アルゴリズムを前記検知手段に使用させ、前記処理装置の異常の有無を検知するステップと、
   前記異常が検知された場合には、検知された異常内容に応じて前記処理装置の動作を制御するステップ
   とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。

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