JP2003338446A - 半導体露光装置及び露光装置管理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 メンテナンススケジュールが決定した後で
も、スケジュールの移動を可能にすることにより、露光
装置の定期的なメンテナンススケジュールの作成をより
柔軟に行える露光装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 メンテナンスメニュー作成時に、メンテ
ナンス実施予定にある許容値を設定する手段と、設定さ
れたメンテナンス許容値を記憶する手段と、メンテナン
ススケジュールを設定する手段と、メンテナンススケジ
ュールを表示する手段と、さらにメンテナンススケジュ
ール決定後でも、メンテナンス予定日とメンテナンス許
容値を用いて、スケジュールを再計算する手段を有し、
メンテナンス予定日を移動できることを特徴とする半導
体露光装置を提供する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体素子や液晶素
子等のデバイスを製造するための半導体露光装置及びそ
の管理システムに関し、特に、定期的に実施する装置メ
ンテナンスのスケジューリング作成機能を備えるものに
適用して好適なものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造（露光）工程に用いる縮小投
影型露光装置は、高精度で動作することが要求されてお
り、その性能を維持させる為、定期的に装置のメンテナ
ンスを実施している。メンテナンス実施方法の１つとし
て、特開平１０−４０４７号で開示されているように、
装置自身の持つ計測機能（メンテナンスコマンド）を用
い、それらを任意に単一または複数組み合わせる事によ
り、メンテナンスメニューを作成し、実行間隔毎に、Da
ily、Weekly、Monthlyなどのようにまとめられ、メンテ
ナンスメニューを装置で設定したメンテナンススケジュ
ールに合わせて、実行することでメンテナンスを実施し
ている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、露光装
置の運用面を考えると、生産性を上げるべく、ロット処
理が優先的に実行され、生産の合間に何とかメンテナン
スを行っているのが実情である。また、メンテナンスの
予定を組んでいても、メンテナンスを実施しようとした
時には、急ぎのロット処理などの割り込みが発生してし
まってメンテナンスが大幅に遅れ、最悪、実施できない
場合もある。

【０００４】本発明は前述の問題点にかんがみてなされ
たもので、露光装置で設定したメンテナンススケジュー
ルに従って、メンテナンスメニューを実行する際に、割
り込みのロット処理などを考慮し、メンテナンススケジ
ュールにある許容値を設定可能とし、その許容値範囲内
ならば、メンテナンススケジュールの決定後でも、メン
テナンス実施目時を移動させることを可能にし、さらに
移動した以降のメンテナンススケジュールも手動あるい
は自動で反映が可能となり、柔軟にメンテナンススケジ
ュールを作成することができる露光装置を提供すること
を目的としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】そこで、本発明の半導体
露光装置は、メンテナンス実施日時に、ある許容値を設
定する設定手段と、前記設定手段で設定された前記許容
値を記憶する記憶手段と、メンテナンススケジュールを
設定（新規作成または編集）するスケジュール設定手段
と、前記スケジュール設定手段で設定したスケジュール
を表示する表示手段と、メンテナンス実施日と許容値か
ら、新しいスケジュール実施候補日を計算する計算手段
とを具備することを特徴とする。

【０００６】以上のことから、割り込みのロット処理が
発生した場合にも、メンテナンス実施時期を移動するこ
とが可能となる。また、移動後のメンテナンススケジュ
ールも再設定が自動、手動で設定が可能となり、より柔
吹に装置メンテナンスのスケジュール作成を行うことが
できるようになる。

【０００７】

【作用】本発明は上記技術手段を有するので、半導体露
光装置において、設定されたスケジュールにしたがっ
て、メンテナンスを実施する場合に、割り込みのロット
処理等で、メンテナンス実施日時にメンテナンスを行え
ない場合でも、許容値範囲内でメンテナンススケジュー
ルを移動することができ、移動後のメンテナンススケジ
ュールも自動、手動で設定することが可能となり、より
柔軟な装置メンテナンスのスケジュール作成を行うこと
ができる。

【０００８】

【発明の実施の形態】次に、添付図面を参照しながら本
発明の半導体露光装置及び露光装置管理システムの実施
形態について説明する。

【０００９】（第１の実施形態）図１は本発明の第１の
実施形態に係る半導体露光装置の外観を示す斜視図であ
る。図１に示すように、この半導体露光装置は、装置本
体の環境温度制御を行う温調チャンバ１０１、その内部
に配置され、装置本体の制御を行うＣＰＵを有するＥＷ
Ｓ本体１０６、ならびに、装置における所定の情報を表
示するＥＷＳ用ディスプレイ装置１０２、装置本体にお
いて撮像手段を介して得られる画像情報を表示するモニ
タＴＶ１０５、装置に対し所定の入力を行うための操作
パネル１０３、ＥＷＳ用キーボード１０４等を含むコン
ソール部を備えている。図中、１０７はＯＮ−ＯＦＦス
イッチ、１０８は非常停止スイッチ、１０９は各種スイ
ッチ、マウス等、１１０はＬＡＮ通信ケーブル、１１１
はコンソール機能からの発熱の排気ダクト、そして１１
２はチャンバの排気装置である。半導体露光装置本体は
チャンバ１０１の内部に設置される。

【００１０】ＥＷＳ用ディスプレイ１０２は、ＥＬ、プ
ラズマ、液晶等の薄型フラットタイプのものであり、チ
ャンバ１０１前面に納められ、ＬＡＮケーブル１１０に
よりＥＷＳ本体１０６と接続される。操作パネル１０
３、キーボード１０４、モニタＴＶ１０５等もチャンバ
１０１前面に設置し、チャンパ１０１前面から従来と同
様のコンソール操作が行えるようにしてある。

【００１１】図２は、図１に示した半導体露光装置の内
部構造を示す図である。図２においては、半導体露光装
置としてのステッパが示されている。図中、２０２はレ
チクル、２０３はウエハであり、光源装置２０４から出
た光束が照明光学系２０５を通ってレチクル２０２を照
明するとき、投影レンズ２０６によりレチクル２０２上
のパターンをウエハ２０３上の感光層に転写することが
できる。

【００１２】レチクル２０２は、レチクル２０２を保
持、移動するためのレチクルステージ２０７により支持
されている。ウエハ２０３は、ウエハチャック２９１に
より真空吸着された状態で露光される。ウエハチャック
２９１は、ウエハステージ２０９により各軸方向に移動
可能である。レチクル２０２の上側には、レチクル２０
２の位置ずれ量を検出するためのレチクル光学系２８１
が配置される。ウエハステージ２０９の上方に、投影レ
ンズ２０６に隣接してオフアクシス顕微鏡２８２が配置
されている。オフアクシス顕微鏡２８２は内部の基準マ
ークとウエハ２０３上のアライメントマークとの相対位
置検出を行うのが主たる役割である。また、これらステ
ッパ本体に隣接して周辺装置であるレチクルライブラリ
２２０やウエハキャリアエレベータ２３０が配置され、
必要なレチクル２０２やウエハ２０３は、レチクル搬送
装置２２１およびウエハ搬送装置２３１によってステッ
パ本体に搬送される。

【００１３】チャンバ１０１は、主に空気の温度調節を
行う空調機室２１０および微小異物をろかし清浄空気の
均一な流れを形成するフィルターボックス２１３、また
装置環境を外部と遮断するブース２１４で権成されてい
る。チャンバ１０１内では、空調機室２１０内にある冷
却器２１５および再熱ヒーター２１６により温度調節さ
れた空気が、送風機２１７によりエアフィルタｇを介し
てブース２１４内に供給される。このブース２１４に供
給された空気は、リターンロｒａより再度空調機室２１
０に取り込まれチャンバ１０１内を循環する。通常、こ
のチャンバ１０１は厳密には完全な循環系ではなく、ブ
ース２１４内を常時陽圧に保つため循環空気量の約１割
のブース２１４外の空気を空調機室２１０に設けられた
外気導入口ｏａより送風機２１７を介して導入してい
る。このようにしてチャンパ１０１は本装置の置かれる
環境温度を一定に保ち、かつ空気を洗浄に保つことを可
能としている。

【００１４】また、光源装置２０４には超高圧水銀灯の
冷却やレーザ異常時の有毒ガス発生に備えて吸気口ｓａ
と排気口ｅａが設けられ、ブース２１４内の空気の一部
が光源装置２０４を経由し、空調機室２１０に備えられ
た専用の排気ファンを介して工場設備に強制排気されて
いる。また、空気中の化学物質を除去するための化学吸
着フィルタｃｆを、空調機室２１０の外気導入口ｏａお
よびリターンロｒａにそれぞれ接続して備えている。

【００１５】図３は、図１に示した半導体露光装置の電
気回路構成を示すフロック図である。図３において、３
２１は装置全体の制御を司る、ＥＷＳ本体１０６に内蔵
された本体ＣＰＵであり、マイクロコンピュータまたは
ミニコンピュータ等の中央演算装置からなる。３２２は
ウエハステージ駆動装置、３２３は前記オフアクシス顕
微鏡２８２等のアライメント検出系、３２４はレチクル
ステージ駆動装置、３２５は前記光源装置２０４等の照
明系、３２６はシャッタ駆動装置、３２７はフォーカス
検出系、３２８はＺ原動装置であり、これらは、本体Ｃ
ＰＵ３２１により制御されている。３２９は前記レチク
ル搬送装置２２１、ウエハ搬送装置２３１等の搬送系で
ある。３３０は前記ディスプレイ１０２、キーボード１
０４等を有するコンソールユニットであり、本体ＣＰＵ
３２１にこの露光装置の動作に関する各種のコマンドや
パラメータを与えるためのものである。すなわち、オペ
レータとの間で情報の授受を行うためのものである。３
３１は、例えばハードディスクであり、内部にデータベ
ースが構築されており、各種パラメータおよびその管理
データ、ならびにオペレータのグループ等が記録されて
いる。

【００１６】図４は、図１のディスプレイ１０２の表示
画面に表示されるメンテナンスメニューを編集するメン
テナンスメニュー編集画面であり、装置自身の持つ各種
計測コマンドをマクロとして扱い、メンテナンスメニュ
ーを新規作成または編集するウィンドウである。

【００１７】図５は、図１に示した半導体露光装置にお
いて、メンテナンススケジュールの条件を入力する画面
で、図４のメンテナンスメニュー編集画面のMAKE SCHED
ULEボタン（４１２）を押すことにより、ポップアップ
にて表示される。

【００１８】次に、図４と図５を用いて、メンテナンス
メニューの作成方法およびメンテナンススケジュール作
成の操作手順を説明する。

【００１９】（１） メニューのモード（４０１）、番
号（４０２）を設定する。メニューのモードには、実行
間隔毎に、Daily、Weekly、Monthlyの３つのモードが存
在し、その中からモードを選択する。番号は、各モード
毎にｌ〜１０の１０個のメニューが登録可能となってお
り、編集する番号を選択する。

【００２０】（２） メンテナンスメニューに対するコ
メントをつける必要があれば、コメント（４０３）を入
力する。

【００２１】（３） コマンドリスト（４０５）から装
置の持つ計測コマンドを選択し、INSERTボタン（４０
８）でマクロリスト（４０４）にコマンドを挿入した
り、APPENDボタン（４０９）でコマンドを追加したり、
DELETEボタン（４１０）でマクロリストからコマンドを
削除する。このようにマクロリストにコマンドを並べる
ことにより、メンテナンスメニューを作成する。作成が
終了したら、SAVEボタン（４１１）を押し、メンテナン
スメニューを保存する。

【００２２】（４） メンテナンスメニュー作成が終わ
ったら、メンテナンススケジュールを作成する為に、MA
KE SCHEDULEボタン（４１２）を押し、メンテナンスス
ケジュール作成画面（図５）をポップアップさせる。

【００２３】（５） 図５で表示されているメンテナン
スメニュー（５０１）は表示専用であり、（１）〜
（３）までで作成されたメンテナンスメニューで、この
例では、モードは”Daily”で、メニュー番号が”
１”、コメントに”Maintenance Menu １”と記述され
ていることを表している。このメニューに関して、各種
スケジュール条件を入力し、メンテナンススケジュール
を作成する。

【００２４】（６） 第１のスケジュール条件として、
メンテナンス開始日（５０２）を入力する。

【００２５】（７） 第２のスケジュール条件として、
メンテナンス実行間隔（５０３）を入力する。

【００２６】（８） 第３のスケジュール条件として、
メンテナンス許容値（５０４）を入力する。ただし、メ
ンテナンススケジュールを作成しても、メンテナンス実
施日当日のロット処理の仕掛かかり具合や割り込みのロ
ット処理が発生した場合には、メンテナンスが実施でき
るとは限らない。メンテナンスが実施できない場合に
は、メンテナンス実施時期を移動させる必要がある。メ
ンテナンス許容値とは、その移動可能な許容範囲を示す
数値である。

【００２７】（９） （６）〜（８）のスケジュール条
件を設定し、OKボタン（５１１）を押すことで、スケジ
ュールの作成を開始する。作成したスケジュールは、図
４のDISPLAY SCHEDULEボタン（４１３）を押すごとで、
ポップアップにより表示される。図６は、図５のスケジ
ュール条件で作成されたスケジュールの一例である。こ
の例では、メンテナンス予定は１週間単位の帳票形式で
表示され、予定日には”○”が記述される。図６からメ
ニューのDaily １とWeekly １についてスケジュールが
作成されており、図５の条件より、Daily １は開始日が
３／２９で、実行間隔は２日、Weekly １は開始日が３
／３０で、実行間隔は６日（不図示）と設定されてい
る。また、図６において、Prevボタン（６２１）を押す
と、先週の実績が表示され、Nextボタン（６２２）を押
すと、次週の予定を表示する。このメンテナンススケジ
ュール画面を終了させるには、QUITボタン（６２３）を
押す。

【００２８】次に、割り込みのロット処理などで、メン
テナンススケジュールを移動させる手順を、図７〜図９
を使って説明する。

【００２９】図７において、仮に現在の日付を４／１と
した場合、すでにメンテナンスが終了しているDaily １
の３／２９とWeekly １の３／３０の箇所には、メンテ
ナンスが終了したことを表す”●”が記述される。こ
の”●”をクリックすると、メンテナンス結果が表示さ
れる（不図示）。この例では、メンテナンスの実施済み
／未実施を表す記号として、”○”や”●”を使用して
いるが、これらはコンフィグレーションファイルで設定
可能である。

【００３０】４／１に割り込みでロット処理が入ること
になり、Daily １のメンテナンスメニューを実行できな
くなったと判断した時に、４／１のDaily １を移動させ
る場合は、”Ｏ”をクリックするとプルダウンメニュー
で”移動”が表示され、”移動”を選択すると、メンテ
ナンス許容値を考慮し、移動可能な日付のみを選択可能
とし、選択可能な日付（この例では４／２）を選択する
と、メンテナンス予定を意味する”Ｏ”が４／１から４
／２に移動できる。図８は、Daily １のメンテナンスを
４／２に移動した後のメンテナンススケジュールを示し
ている。

【００３１】図９のフローチャートは、上述のメンテナ
ンス予定日の移動処理を実行する図３のコンソールユニ
ット３３０内のコンソールＣＰＵ３３１の制御手順の一
例を示す。以下、制御手順の流れを説明する。

【００３２】ステップＳ１０１では、コンソールＣＰＵ
３３１は、移動対象のメンテナンス予定日を取得する。

【００３３】続いて、ステップＳ１０２では、移動対象
のメンテナンス許容値を取得する。

【００３４】続いて、ステップＳ１０３では、ステップ
Ｓ１０１で取得したメンテナンス予定日とステップＳ１
０２で取得したメンテナンス許容値とを用いて、移動後
のメンテナンス候補日を計算する。

【００３５】続いて、ステップＳ１０４では、ステップ
Ｓ１０３の結果から、移動可能な範囲内だけを選択でき
るように、それ以外の箇所をインセンシティブに般定す
る。

【００３６】続いて、ステップＳ１０５では、オペレー
ション待ちである。

【００３７】続いて、ステップＳ１０６では、ユーザに
より選択された移動後のメンテナンス予定日の日付と移
動前のメンテナンス予定日の差分日付を取得し、記憶す
る。

【００３８】続いて、ステップＳ１０７では、ステップ
Ｓ１０６で取得した日付を新しいメンテナンス予定日と
して、メンテナンススケジュール情報を更新する。Dail
y １を４／１から４／２へ移動した後、図１０のダイヤ
ログが表示され、それ以降のスケジュールヘも移動差分
を反映するかどうかが選択できる。ここで、Yesボタン
（７０１）を押すと、それ以降のスケジュールを自動更
新処理する。また、Noボタン（７０２）を押すと、それ
以降のスケジュールには反映されず、この部分だけを移
動することになる。

【００３９】図１２は、図１０でYesボタンを押した際
に、それ以降のメンテナンス予定日の自動更新処理を実
行する場合の制御手順の一例を示す。

【００４０】スナッブＳ２０１では、メンテナンス設定
範囲（例えば、３ヶ月）内のメンテナンス予定日をすべ
て取得する。このメンテナンス設定範囲は、デフォルト
値が３ヶ月になっており、コンフィグレーションファイ
ルにより、変更可能である。

【００４１】続いて、ステップＳ２０２では、取得した
メンテナンス予定日をメモリに展開する。

【００４２】続いて、ステップＳ２０３では、記憶して
いる移動した際の差分日付を読み込む。

【００４３】続いて、ステップＳ２０４では、現在のメ
ンテナンス予定日と差分日付から移動後のメンテナンス
予定日を計算する。

【００４４】続いて、ステップＳ２０５では、計算した
移動後のメンテナンス予定日でスケジュール情報を更新
する。

【００４５】以上により、一旦メンテナンススケジュー
ルを移動した後のメンテナンス予定日を自動的に更新す
ることが可能である。もちろん、図９と同様の処理で、
以降のスケジュールを手動でも移動可能である。

【００４６】（第２の実施形態）第１の実施形態では露
光装置単独の場合を説明したが、本実施形態は、図１３
のように、ネットワーク（ＬＡＮ）上に、管理コンピュ
ータおよび複数の露光装置が接続された露光装置管理シ
ステムに関するものであり、管理コンピュータ、露光装
置それぞれに通信プログラムを投入することで、管理コ
ンピュータ側でのメンテナンススケジュールの表示、作
成、変更が可能となり、ネットワーク対応も可能であ
る。

【００４７】図１３において、管理コンピュータ（８０
０）は、各装置のメンテナンススケジュール情報（８０
１）と通信プログラム（８０２）を備え、ネットワーク
で接続された複数台の露光装置のメンテナンススケジュ
ールを表示、作成、変更が可能である。管理コンピュー
タ側で各装置のメンテナンススケジュールを作成、変更
した場合には、通信プログラム（８０２）により、ＬＡ
Ｎ（８１０）を介して、各露光装置に送信される。例え
ば、露光装置側では、通信プログラム（８０２）で管理
コンピュータ（８００）からのスケジュールの作成、変
更を受信し、自身の持つスケジュール情報（８０３）を
更新する。その後、メンテナンススケジュールに従っ
て、メンテナンスエンジン（８０４）により、メンテナ
ンスメニューを起動し、メンテナンスを実施する。

【００４８】また、露光装置側でも同様に、メンテナン
ススケジュールの表示、作成、変更が可能で、装置側で
スケジュールを作成、変更した場合も、通信プログラム
（８０２）から、ＬＡＮ（８１０）を介して、管理コン
ピュータ（８００）に送信され、管理コンピュータ（８
００）の通信プログラム（８０２）が受信し、各装置の
メンテナンス情報（８０１）を更新する。

【００４９】本実施形態では、メンテナンススケジュー
ルの作成、変更通知に関して説明したが、メンテナンス
の結果を装置側から、管理コンピュータ（８００）へ送
信することも可能である。

【００５０】以上のことから、管理コンピュータおよび
各装置のどちらでもメンテナンススケジュールの表示、
作成、変更が可能となり、管理コンピュータおよび各装
置がそれぞれ作成通知、変更通知を出すことで、リアル
タイムにメンテナンス情報は更新され、メンテナンス情
報（スケジュールやメンテナンスの実行結果など）を管
理コンピュータ側で一括に管理することも可能である。

【００５１】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、半導体
露光装置において、設定されたスケジュールにしたがっ
て、メンテナンスを実施する場合に、割り込みのロット
処理等で、メンテナンス実施日時にメンテナンスが実施
できない場合でも、設定した許容値の範囲内で、メンテ
ナンススケジュールを移動することができ、移動した日
付以降の後のメンテナンススケジュールも自動、手動で
設定することが可能となり、より柔軟な装置メンテナン
スのスケジュール作成を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態を示し、半導体露光装
置の概略を示す斜視図である。

【図２】図１に示した半導体露光装置の内部構造を示す
図である。

【図３】図１に示した半導体露光装置の電気回路構成を
示すブロック図である。

【図４】図１に示した半導体露光装置において、メンテ
ナンスメニューの作成、編集を行うメンテナンスメニュ
ー編集画面の平面図である。

【図５】図４のメンテナンスメニュー編集画面からポッ
プアップにより表示されるメンテナンススケジュール作
成画面の平面図である。

【図６】図４のメンテナンスメニュー編集画面からポッ
プアップにより表示されるメンテナンススケジュール作
成画面の平面図である。

【図７】メンテナンススケジュールを移動する際のメン
テナンススケジュール画面の平面図である。

【図８】メンテナンススケジュールを移動後のメンテナ
ンススケジュール画面の平面図である。

【図９】メンテナンス予定日を移動する際の移動処理の
手順を示すフローチャートである。

【図１０】移動した日付以降のメンテナンススケジュー
ルへも反映するかどうかを確認するダイヤログの平面図
である。

【図１１】移動した日付以降のメンテナンススケジュー
ルへも反映した場合のメンテナンススケジュール画面の
平面図である。

【図１２】移動した日付以降のメンテナンススケジュー
ルを自動で更新するメンテナンス予定日自動更新処理の
手順を示すフローチャートである。

【図１３】本発明の第２の実施形態を示し、メンテナン
ス管理コンピュータと複数の半導体露光装置とをネット
ワークを介して接続させた露光装置管理システムの模式
図である。

【符号の説明】

１０１ 半導体露光装置本体を内蔵する温調チャンバ １０２ ＥＷＳ用ディスプレイ装置（ディスプレイ） １０３ 操作パネル １０４ ＥＷＳ用キーボード １０５ モニタＴＶ １０６ ＥＷＳ本体 １０７ ＯＮ−ＯＦＦスイッチ １０８ 非常停止スイッチ １０９ 各種スイッチ、マウス等 ２０２ レチクル ２０３ ウエハ ２０４ 光源装置 ２０５ 照明光学系 ２０６ 投影レンズ ２０７ レチクルステージ ２１３ フィルターボックス ３２１ ＣＰＵ本体 ３３０ コンソールユニット ３３１ コンソールＣＰＵ ３３２ 外部メモリ ４０１ メンテナンスメニューのモード ４０２ メンテナンスメニュー番号 ４０３ メンテナンスメニューのコメント ４０４ マクロリスト ４０５ マクロリストスクロールバー ４０６ コマンドリスト ４０７ コマンドリストスクロールバー ４０８ INSERTボタン ４０９ APPENDボタン ４１０ DELETEボタン ４１１ SAVEボタン ４１２ MAKE SCHEDULEボタン ５０１ 対象メンテナンスメニュー表示 ５０２ メンテナンス開始日入力部 ５０３ メンテナンス実行間隔入力部 ５０４ メンテナンス許容値入力部 ５１１ OKボタン ５１２ QUITボタン ６１１ メンテナンススケジュール表 ６２１ Prevボタン ６２２ Nextボタン ６２３ QUITボタン ７０１ Yesボタン ７０２ Noボタン ８００ 管理コンピュータ ８０１ 各装置のメンテナンススケジュール情報 ８０２ 通信プログラム ８０３ メンテナンススケジュール情報 ８０４ メンテナンスエンジン ８１０ ネットワーク（ＬＡＮ）

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 装置自身の持つ計測機能を単数または複
   数を組み合わせてメンテナンスメニューを作成し、前記
   メンテナンスメニューを起動することで、メンテナンス
   を実施する半導体露光装置において、 前記メンテナンスメニューの作成時に、メンテナンス実
   施予定にある許容値を設定する手段と、前記設定された
   メンテナンス許容値を記憶する手段と、メンテナンスス
   ケジュールを設定する手段と、前記メンテナンススケジ
   ュールを表示する手段と、さらに一度、前記メンテナン
   ススケジュールが決められた後でも、スケジュール通り
   にメンテナンスが実施できない場合に、メンテナンス予
   定日と前記メンテナンス許容値とを用いて、前記メンテ
   ナンススケジュールを再計算する計算手段とを有し、前
   記メンテナンス予定日を移動できることを特徴とする半
   導体露光装置。
2. 【請求項２】 前記メンテナンス予定日を移動した日付
   以降の前記メンテナンススケジュールに関して、自動ま
   たは手動で移動差分を反映できることを特徴とする請求
   項１に記載の半導体露光装置。
3. 【請求項３】 前記メンテナンススケジュールを表示す
   る手段において、前記メンテナンススケジュールを１週
   間単位の帳票形式で表示できることを特徴とする請求項
   １に記載の半導体露光装置。
4. 【請求項４】 通信ネットワークを介して管理コンピュ
   ータと複数の前記請求項１〜３のいずれか１項に記載の
   半導体露光装置とを接続した露光装置管理システムであ
   って、 前記管理コンピュータと前記半導体露光装置とを相互に
   通信する手段を有し、前記管理コンピュータ側で、メン
   テナンス情報を一元管理できることを特徴とする露光装
   置管理システム。