JP2019173153A5 - - Google Patents

Description

本発明の第５の観点によれば、コイルに流れる交流の周波数を制御することにより加熱制御を行うことが可能となる。これにより、るつぼの加熱温度の精密制御及び急速制御といった非線形制御を行うことが可能となる。

Claims (5)

1. 有機材料を基板に製膜する蒸着装置であって、
   少なくとも一部が導体で構成されている前記有機材料を収納する容器と、
   前記容器を収容する真空チャンバーと、
   前記真空チャンバーに隣接するスペースと、
   前記容器の周囲に配置されているコイルと、
   前記スペースに収納されて前記コイルに接続しているインバータ部と、
   前記スペースの外に設置されて前記インバータ部にケーブルで接続している直流電源を備え、
   前記インバータ部は、
   前記コイルの一方の極のハイサイド側に第１トランジスタを有し、
   前記コイルの前記一方の極のローサイド側に第２トランジスタを有する、蒸着装置。
2. 前記インバータ部は、
   前記コイルの他方の極のハイサイド側に第３トランジスタと、
   前記コイルの前記他方の極のローサイド側に第４トランジスタとをさらに有する、請求項１記載の蒸着装置。
3. 前記第１トランジスタ、前記第２トランジスタ、前記第３トランジスタ及び前記第４トランジスタのうち少なくとも１つは、シリコンパワーMOSFET、IGBT、GaNパワーFET又はSiCパワーMOSFETである、請求項１又は２記載の蒸着装置。
4. 前記コイルと前記インバータ部との間の距離が、前記インバータ部と前記直流電源との間の距離よりも短い、請求項１から３のいずれかに記載の蒸着装置。
5. 有機材料を基板に製膜する蒸着装置を用いた有機電子デバイスの生産方法であって、
   前記蒸着装置は、
   少なくとも一部が導体で構成されている前記有機材料を収納する容器と、
   前記容器を収容する真空チャンバーと、
   前記真空チャンバーに隣接するスペースと、
   前記容器の周囲に配置されているコイルと、
   前記スペースに収納されて前記コイルに接続しているインバータ部と、
   前記スペースの外に設置されて前記インバータ部にケーブルで接続している直流電源を備え、
   前記インバータ部は、
   前記コイルの一方の極のハイサイド側に第１トランジスタを有し、
   前記コイルの前記一方の極のローサイド側に第２トランジスタを有するものであり、
   前記インバータ部が、前記直流電源からの直流を交流に変換する変換ステップと、
   前記コイルの前記一方の極から前記他方の極に電流が流れることで前記容器が加熱される第１加熱ステップと、
   前記コイルの前記他方の極から前記一方の極に電流が流れることで前記容器が加熱される第２加熱ステップとを含む、有機電子デバイスの生産方法。