JP2019173152A5 - - Google Patents

Description

本発明の第５の観点によれば、コイルに流れる交流の周波数を制御することにより加熱制御を行うことが可能となる。これにより、るつぼの加熱温度の精密制御及び急速制御といった非線形制御を行うことが可能となる。

Claims (5)

1. 有機材料を基板に製膜する蒸着装置であって、
   少なくとも一部が導体で構成されている前記有機材料を収納する容器と、
   前記容器を収容する真空チャンバーと、
   前記真空チャンバーに隣接するスペースと、
   前記容器の周囲に配置されているコイルと、
   前記スペースに収納されて前記コイルに接続しているインバータと、
   前記スペースの外に設置されて前記インバータにケーブルで接続している直流電源と、
   前記インバータが出力する交流の周波数を制御する周波数制御部とをさらに備える、蒸着装置。
2. 前記コイルと前記インバータとの間の距離が、前記インバータと前記直流電源との間の距離よりも短い、請求項１記載の蒸着装置。
3. 前記周波数制御部は、小型発振器素子であり、前記コイルと前記小型発振器素子との間の距離が、前記小型発振器素子と前記直流電源との間の距離よりも短い、請求項１又は２記載の蒸着装置。
4. 前記小型発振器素子は、ＤＤＳである、請求項３記載の蒸着装置。
5. 有機材料を基板に製膜する蒸着装置を用いた有機電子デバイスの生産方法であって、
   前記蒸着装置は、
   少なくとも一部が導体で構成されている前記有機材料を収納する容器と、
   前記容器を収容する真空チャンバーと、
   前記真空チャンバーに隣接するスペースと、
   前記容器の周囲に配置されているコイルと、
   前記スペースに収納されて前記コイルに接続しているインバータと、
   前記スペースの外に設置されて前記インバータにケーブルで接続している直流電源と、
   前記インバータが出力する交流の周波数を制御する周波数制御部とを備え、
   前記インバータが、前記直流電源からの直流を交流に変換する変換ステップと、
   前記周波数制御部が、前記交流の周波数を制御する周波数制御ステップと、
   前記コイルに前記交流が流れることで前記容器が加熱される加熱ステップとを含む、有機電子デバイスの生産方法。