JP2019173154A5 - - Google Patents
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
Description
本発明の第５の観点によれば、コイルに流れる交流の周波数を制御することにより加熱制御を行うことが可能となる。これにより、るつぼの加熱温度の精密制御及び急速制御といった非線形制御を行うことが可能となる。
Claims (4)
- 有機材料を基板に製膜する蒸着装置であって、
少なくとも一部が導体で構成されている前記有機材料を収納する容器と、
前記容器を収容する真空チャンバーと、
前記真空チャンバーに隣接するスペースと、
前記容器の周囲に配置されているコイルと、
前記スペースに収納されて前記コイルに接続しているパワー半導体と、
前記スペースの外に設置されて前記パワー半導体にケーブルで接続している直流電源と、
前記コイルと直列に接続されたコンデンサとを備え、
前記パワー半導体は、直流を交流に変換するインバータ部の一部を構成するトランジスタとして機能するものであり、
前記コンデンサは、メタライズドフィルムコンデンサ又は大容量パワーフィルムコンデンサである、蒸着装置。 - 前記コイルと直列に接続されたコンデンサを複数備え、
複数の前記コンデンサは、
容量が固定されており、
互いに並列に配列されている、請求項１記載の蒸着装置。 - 前記パワー半導体を複数備え、
複数の前記パワー半導体は、並列に接続されている、請求項１又は２記載の蒸着装置。 - 前記コイルと前記パワー半導体との間の距離が、前記パワー半導体と前記直流電源との間の距離よりも短い、請求項１から３のいずれかに記載の蒸着装置。
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