JP2019145620A - 平坦化装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (12)
- 型を用いて基板上の組成物を平坦化する平坦化装置であって、
複数の基板のそれぞれに対して、前記型の平面部を基板上の組成物に接触させて前記平面部を基板の表面形状に倣わせることで当該組成物を平坦化する平坦化処理を行う処理部と、
前記平坦化処理を予め決められた回数行うごとに、前記複数の基板のうちの処理対象の基板と前記平面部との相対的な位置関係を変更するように、前記型と前記処理対象の基板とを相対的に駆動する駆動部と、
を有することを特徴とする平坦化装置。 - 前記型を保持する型保持部と、
前記処理対象の基板を保持する基板保持部と、を更に有し、
前記駆動部は、前記平坦化処理を予め決められた回数行うごとに、前記型保持部及び前記基板保持部の一方を前記型保持部及び前記基板保持部の他方に対して水平方向に駆動することを特徴とする請求項1に記載の平坦化装置。 - 前記駆動部は、前記平坦化処理を予め決められた回数行うごとに、前記型保持部及び前記基板保持部の一方を前記型保持部及び前記基板保持部の他方に対して鉛直方向に平行な軸周りに回転駆動することを特徴とする請求項2に記載の平坦化装置。
- 前記型を保持する型保持部と、
前記処理対象の基板を保持する基板保持部と、を更に有し、
前記駆動部は、前記平坦化処理を予め決められた回数行うごとに、前記型保持部及び前記基板保持部の一方を前記型保持部及び前記基板保持部の他方に対して鉛直方向に平行な軸周りに回転駆動することを特徴とする請求項1に記載の平坦化装置。 - 前記型を保持する型保持部を更に有し、
前記駆動部は、前記型を保持して当該型を前記型保持部に渡す型搬送部を含み、前記平坦化処理を予め決められた回数行うごとに、前記型保持部に保持されている前記型を前記型搬送部に保持させ、前記型搬送部が前記型を前記型保持部に渡す際の前記型保持部に対する前記型の位置を変更することを特徴とする請求項1に記載の平坦化装置。 - 前記平面部に付着した前記組成物を除去するための前記型の洗浄を行う洗浄部を更に有することを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の平坦化装置。
- 前記処理部は、前記処理対象の基板の全面に対して前記平坦化処理を一括して行うことを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の平坦化装置。
- 前記複数の基板のそれぞれの表面に形成されている下地パターン及び前記複数の基板のそれぞれに供給される前記組成物の分布に基づいて、前記予め決められた回数を決定する決定部を更に有することを特徴とする請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載の平坦化装置。
- 前記予め決められた回数をユーザが入力するための入力部を更に有することを特徴とする請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載の平坦化装置。
- 型を用いて基板上の組成物を平坦化する平坦化装置であって、
複数の基板のそれぞれに対して、前記型の平面部を基板上の組成物に接触させて前記平面部を基板の表面形状に倣わせることで当該組成物を平坦化する平坦化処理を行う処理部と、
前記複数の基板のうちの処理対象の基板上の組成物と前記平面部とを接触させる相対的な位置関係を、前記処理対象の基板よりも前に平坦化処理された基板上の組成物と前記平面部とを接触させる相対的な位置関係とは異なるように、前記型と前記処理対象の基板とを相対的に駆動する駆動部と、
を有することを特徴とする平坦化装置。 - 前記複数の基板のそれぞれに対して前記組成物を供給すする供給部を更に有することを特徴とする請求項1乃至10のうちいずれか1項に記載の平坦化装置。
- 前記複数の基板は、同一のロットに含まれていることを特徴とする請求項1乃至11のうちいずれか1項に記載の平坦化装置。
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