JP2013038365A - インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】このインプリント装置は、基板上の未硬化樹脂を型により成形して硬化させて、基板上に硬化した樹脂のパターンを形成する。ここで、このインプリント装置は、型の平面方向に力を加えて、型に形成されたパターン部の平面形状を変更する第1駆動機構と、型と未硬化樹脂との押し付け方向(Z軸方向)と、第1駆動機構による力の方向(例えばX軸方向)とに対して直交する軸(例えばY軸)を中心として、型を変形させる第2駆動機構33とを有する。
【選択図】図2
Description
まず、本発明の第1実施形態に係るインプリント装置について説明する。図1は、インプリント装置の構成を示す図である。本実施形態におけるインプリント装置は、物品としての半導体デバイスなどのデバイスの製造に使用され、被処理基板であるウエハ上(基板上)の未硬化樹脂をモールド(型)で成形し、ウエハ上に樹脂のパターンを形成する装置である。なお、ここでは光硬化法を採用したインプリント装置とする。また、以下の図においては、ウエハ上の樹脂に対して紫外線を照射する照明系の光軸に平行にZ軸を取り、Z軸に垂直な平面内に互いに直交するX軸およびY軸を取っている。インプリント装置1は、まず、光照射部2と、モールド保持機構3と、ウエハステージ4と、塗布部5と、制御部6とを備える。
次に、本発明の第2実施形態に係るインプリント装置について説明する。本実施形態に係るインプリント装置の特徴は、第1実施形態のモールドチャック15の構成を変更した点にある。図5は、本実施形態に係るモールドチャック40の構成を示す概略図である。特に、図5(a)は、紫外線8の照射側から見た平面図であり、図5(b)は、図5(a)に記載のB−B´に対応したB−B´断面図である。以下、第1実施形態に係るインプリント装置1と同一構成のものには同一の符号を付し、説明を省略する。このモールドチャック40は、それぞれ外周形状が矩形の平板部材であり、紫外線8の照射方向(Z軸方向)にて4つの接続部41を介して互いに重なるように配置される基部42と保持部43とを含む。基部42は、そのXY平面の中心部に開口領域44(モールドチャック15の開口領域17に相当)を有し、紫外線8の照射側の面が、モールド駆動機構16に接続される。保持部43は、モールド7を保持し、モールド7よりも大きな平面積を有する。また、保持部43は、基部42と同様に、そのXY平面の中心部に開口領域(不図示)を有し、ウエハ11に向かう側の面に、不図示であるが、前記開口領域の外周に位置するモールド7の外縁を引きつける吸着部を含む。接続部41は、例えば、基部42の保持部43に向かう面の四隅に配置され、ωx、ωy方向のそれぞれに可撓性を有する。特に、本実施形態の接続部41は、それぞれ、X軸方向に薄く、保持部43をωy方向に柔軟に支持する板ばね41aと、Y軸方向に薄く、保持部43をωx方向に柔軟に支持する板ばね41bとを有する。また、モールドチャック40は、基部42と保持部43との間に、4つのアクチュエータ45(45a〜45d)を含む。これらのアクチュエータ45は、図5(a)に示すように、開口領域44の周囲で、かつ、それぞれ2箇所の接続部41の間に配置される。また、アクチュエータ45は、図5(b)に示すY軸方向に設置されるアクチュエータ45aを例とすると、駆動方向(ストローク方向)がZ軸方向となる駆動部46と、可撓性部材47とを含む。駆動部46は、一端が基部42に固定され、他端が可撓性部材47を介して保持部43に固定されている。
物品としてのデバイス(半導体集積回路素子、液晶表示素子等)の製造方法は、上述したインプリント装置を用いて基板(ウエハ、ガラスプレート、フィルム状基板)にパターンを形成する工程を含む。さらに、該製造方法は、パターンを形成された基板をエッチングする工程を含み得る。なお、パターンドメディア(記録媒体)や光学素子などの他の物品を製造する場合には、該製造方法は、エッチングの代わりにパターンを形成された基板を加工する他の処理を含み得る。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
7 モールド
11 ウエハ
14 樹脂
18 倍率補正機構
33 アクチュエータ
Claims (11)
- 基板上の未硬化樹脂を型により成形して硬化させて、前記基板上に硬化した樹脂のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記型の平面方向に力を加えて、前記型に形成されたパターン部の平面形状を変更する第1駆動機構と、
前記型と前記未硬化樹脂との押し付け方向と、前記第1駆動機構による前記力の方向とに対して直交する軸を中心として、前記型を変形させる第2駆動機構と、
を有することを特徴とするインプリント装置。 - 前記型を前記押し付け方向に移動可能とする型駆動機構と、
前記型を引き付けて保持する保持部と、可撓性を有する接続部を介して前記保持部を支持し、前記型駆動機構に保持される基部とを含む型保持部と、を有し、
前記第2駆動機構は、前記保持部に対して力を加えて該保持部の形状を変形させることで、前記型を変形させることを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記第2駆動機構は、前記保持部の面上に、前記押し付け方向に直交する2つの方向にそれぞれ対応して複数設置され、
前記2つの方向で前記型の中心を通る軸を基準として対称となる形状に前記保持部を変形させるように前記力を加えることを特徴とする請求項2に記載のインプリント装置。 - 前記保持部は、前記基部に対して平面方向の内側に位置し、
前記第2駆動機構は、駆動方向の両端をそれぞれ前記保持部に固定する固定部材を介して設置され、
前記駆動方向は、前記押し付け方向に対して直交する方向であることを特徴とする請求項3に記載のインプリント装置。 - 前記保持部は、前記基部に対して前記押し付け方向の前記基板に向かう側に位置し、
前記第2駆動機構は、駆動方向の両端のうち、一端が前記基部に接続され、他端が前記保持部に接続され、
前記駆動方向は、前記押し付け方向に対して平行な方向であることを特徴とする請求項3に記載のインプリント装置。 - 前記接続部は、前記保持部が変形する方向に対して可撓性を有する板ばねであることを特徴とする請求項2に記載のインプリント装置。
- 前記保持部の変形量を計測する計測器と、
前記第2駆動機構の駆動量を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記変形量が、予め決定された前記保持部に対する曲げ量となるように前記駆動量を制御することを特徴とする請求項2ないし6のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記型に形成されたパターン部と、予め前記基板上に成形されているパターンとの相対位置に基づいて、前記曲げ量を決定することを特徴とする請求項7に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記第1駆動機構の駆動により生じる前記パターン部の変形形状に基づいて、前記曲げ量を決定することを特徴とする請求項7に記載のインプリント装置。
- 前記計測器は、前記保持部に生じた歪みを計測する歪みセンサ、または、前記保持部もしくは前記型の変位を計測する位置センサであることを特徴とする請求項7に記載のインプリント装置。
- 請求項1ないし10のいずれか1項に記載のインプリント装置を用いて基板上に樹脂のパターンを形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
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