JP6674306B2 - 照明装置、光学装置、インプリント装置、投影装置、及び物品の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一側面としてのインプリント装置1の構成を示す概略図である。インプリント装置1は、半導体デバイスなどのデバイスの製造に使用されるリソグラフィ装置であって、基板上の未硬化のインプリント材をモールド(型)で成型し、インプリント材のパターンを基板上に形成する。本実施形態では、インプリント材の硬化法として、光(例えば、紫外線)を照射してインプリント材を硬化させる光硬化法を採用する。
図14は、本発明の一側面としてのプロジェクタ装置(投影装置)200の構成を示す概略図である。プロジェクタ装置200は、光源201と、カラーホイール202と、MLA203と、シリンドリカルレンズ204と、反射板205と、デジタル・ミラー・デバイス206と、投影レンズ(投影部)207とを有する。
物品としてのデバイス(半導体デバイス、磁気記憶媒体、液晶表示素子等)の製造方法について説明する。かかる製造方法は、インプリント装置1を用いてパターンを基板(ウエハ、ガラスプレート、フィルム状基板等)に形成する工程を含む。かかる製造方法は、パターンを形成された基板を加工する工程を更に含む。当該加工ステップは、当該パターンの残膜を除去するステップを含みうる。また、当該パターンをマスクとして基板をエッチングするステップなどの周知の他のステップを含みうる。本実施形態における物品の製造方法は、従来に比べて、物品の性能、品質、生産性及び生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (12)
- 斜入射照明を行う照明装置であって、
それぞれが点光源を生成する複数の光学要素が配列されてなる第1光学素子と、
前記第1光学素子からの光が入射し、1つの方向のパワーと、前記1つの方向に直交する方向のパワーとが異なり、照明領域を成形する第2光学素子と、
を有し、
前記斜入射照明による前記照明領域の歪みの補償を行うように、前記第1光学素子及び前記第2光学素子のそれぞれは、その光軸まわりの回転角を有し、
前記第1光学素子の前記回転角と前記第2光学素子の前記回転角とが異なっていることを特徴とする照明装置。 - 前記補償により前記照明領域の形状を矩形とすることを特徴とする請求項1に記載の照明装置。
- 前記第1光学素子の前記回転角と前記第2光学素子の前記回転角とが等しい場合より、前記照明領域の形状が矩形に近いことを特徴とする請求項1に記載の照明装置。
- 前記矩形の一辺に対して45度の方位を有し、かつ被照明面の法線に対して24度の仰角を有する光軸を有することを特徴とする請求項2に記載の照明装置。
- 被照明面は、前記第1光学素子の射出面に対するフーリエ変換面になっていることを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載の照明装置。
- 前記第1光学素子は、前記回転角として2.8度を有し、
前記第2光学素子は、前記回転角として77.2度を有することを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の照明装置。 - 前記第1光学素子は、マイクロレンズアレイを含むことを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の照明装置。
- 前記第2光学素子は、シリンドリカルレンズ、アナモルフィックレンズ及びトーリックレンズのうち少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載の照明装置。
- それぞれが駆動軸を含む複数のミラーが配列されてなり、前記複数のミラーの配列方向と前記駆動軸の方向とが異なっているミラーアレイと、
前記ミラーアレイを照明する請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載の照明装置と、
を含むことを特徴とする光学装置。 - 基板上のインプリント材を成型してパターンを形成するインプリント装置であって、
前記基板を照明することによって前記基板を加熱して変形させる加熱部を有し、
前記加熱部は、請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載の照明装置又は請求項9に記載の光学装置を含み、前記照明装置又は前記光学装置を介して前記基板を照明することにより前記基板を加熱することを特徴とするインプリント装置。 - 投影装置であって、
画像を投影する投影部を有し、
前記投影部は、請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載の照明装置又は請求項9に記載の光学装置を含み、前記照明装置又は前記光学装置を介して前記画像を投影することを特徴とする投影装置。 - 請求項10に記載のインプリント装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
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