JP2019033170A - 基板処理装置、位置合わせ装置および位置合わせ方法 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 255
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 205
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 80
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 27
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 12
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 abstract description 52
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 20
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 11
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 11
- 239000010408 film Substances 0.000 description 11
- 238000011161 development Methods 0.000 description 9
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 9
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000012636 effector Substances 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000013039 cover film Substances 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
- H01L21/681—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment using optical controlling means
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7003—Alignment type or strategy, e.g. leveling, global alignment
- G03F9/7042—Alignment for lithographic apparatus using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping or imprinting
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
- G03F7/70141—Illumination system adjustment, e.g. adjustments during exposure or alignment during assembly of illumination system
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
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- H—ELECTRICITY
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
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Abstract
Description
本実施の形態に係る基板処理装置は、基板に処理を行う処理ユニットと基板を搬送する基板搬送装置とを備える。処理ユニットは、基板を支持する基板支持部を含み、基板搬送装置は、基板を保持して処理ユニットの基板支持部に搬送する。
本実施の形態に係る基板処理装置100は、基板処理モードおよびティーチングモードに設定可能に構成される。基板処理モードにおいては、図1の基板搬送装置WTは、例えば一の処理ユニットの基板支持部にある基板WをハンドH1により受け取って搬送し、他の処理ユニットの基板支持部に載置する。また、各処理ユニットは、基板支持部に支持される基板Wに対して所定の処理を行う。
以下の説明では、所定の基板支持部に対するハンドH1の受け取り位置および載置位置を適宜受け渡し位置と総称する。図5は、図1の制御部51の機能的な構成を示すブロック図である。制御部51は、動作モード設定部511、現在位置取得部512、位置合わせ制御部513、受光量取得部514、位置関係判定部515、目標位置生成部516、移動制御部517、位置情報記憶部518および位置情報更新部519を含む。
図6は、ティーチングモードにおける基板処理装置100の動作を示すフローチャートである。ここでは、一の基板支持部に対するハンドH1のティーチングについて説明する。初期状態においては、基板処理装置100がティーチングモードに設定されているものとする。また、図5の位置情報記憶部518には、予め一の基板支持部に対する初期の目標位置情報が記憶されている。
図7は、図1の基板搬送装置WTおよび処理ユニットPUを備えた基板処理装置100の全体構成を示す模式的ブロック図である。図7に示すように、基板処理装置100は、露光装置500に隣接して設けられ、制御装置210、図1の基板搬送装置WT、熱処理部230、塗布処理部240および現像処理部250を備える。
(a)上記の基板処理装置100においては、処理ユニットPU,TUに基板Wを搬送するハンドH1に光学センサ20が設けられ、処理ユニットPU,TU内の基板支持部と一定の位置関係を有する固定部材4または回転駆動部2に光ファイバ30が設けられる。
(a)図7の塗布処理部240に設けられる処理ユニットPUは、以下の構成を有してもよい。図8は他の実施の形態に係る処理ユニットPUの一例を示す平面図である。図8に示すように、本例の処理ユニットPUは、固定部材4、複数のスピンチャック1、複数の処理液ノズル8および待機部80を備える。本実施の形態においては、2つのスピンチャック1が処理ユニットPUに設けられる。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
Claims (11)
- 基板に処理を行う基板処理装置であって、
固定部分と、
前記固定部分に対して相対的に移動可能な可動部分と、
前記固定部分および前記可動部分のうち一方に設けられ、第1の光出射部と第1の受光部とを有する光学センサと、
前記固定部分および可動部分のうち他方に設けられ、前記第1の光出射部に対応する第2の受光部と前記第1の受光部に対応する第2の光出射部とを有する導光部材とを備え、
前記可動部分が前記固定部分に対して予め定められた位置関係にあるときに、前記第1の光出射部から出射される光が前記第2の受光部により受光され、かつ前記第2の光出射部から出射される光が前記第1の受光部により受光されるように、前記第1の光出射部、前記第1の受光部、前記第2の光出射部および前記第2の受光部が配置される、基板処理装置。 - 基板を支持する基板支持部をさらに備え、
前記固定部分は、前記基板支持部と一定の位置関係を有する固定部材を含み、
前記可動部分は、前記基板を保持して前記基板支持部に搬送する搬送保持部を含む、請求項1記載の基板処理装置。 - 基板に処理を行う処理ユニットをさらに備え、
前記基板支持部は、基板を保持して回転する回転保持部を含み、
前記固定部材は、前記回転保持部に対して一定の位置関係を有する、請求項2記載の基板処理装置。 - 基板を支持する複数の基板支持部を備え、
前記固定部分は、前記複数の基板支持部と一定の位置関係を有する複数の固定部材を含み、
前記可動部分は、前記基板を保持して前記複数の基板支持部に搬送する搬送保持部を含み、
前記光学センサは前記搬送保持部に設けられ、
前記導光部材は前記複数の固定部材の各々に設けられる、請求項1記載の基板処理装置。 - 基板を保持して回転させる回転保持部をさらに備え、
前記固定部分は、前記回転保持部に対して一定の位置関係を有する固定部材を含み、
前記可動部分は、前記回転保持部により保持された基板に所定の処理を行う処理具を含む、請求項1記載の基板処理装置。 - 前記処理具は、前記回転保持部により保持された基板に流体を供給する流体ノズルである、請求項5記載の基板処理装置。
- 前記光学センサの出力信号に基づいて、前記可動部分が前記固定部分に対して前記予め定められた位置関係にあるか否かを判定する判定部をさらに備えた、請求項1〜6のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記可動部分を前記固定部分に対して相対的に移動させる駆動部と、
位置合わせ動作時に、前記固定部分を含む所定の領域内で前記可動部分を移動させるように前記駆動部を制御する位置合わせ制御部と、
位置合わせ動作時に、前記可動部分の位置を現在位置情報として取得する取得部と、
位置合わせ動作時に、前記取得部により取得された前記現在位置情報および前記判定部の判定結果に基づいて、前記可動部分が前記固定部分に対して前記予め定められた位置関係を有する位置を目標位置情報として生成する生成部と、
基板処理動作時に、前記生成部により生成された目標位置情報に基づいて前記可動部分を移動させるように前記駆動部を制御する移動制御部とをさらに備えた、請求項7記載の基板処理装置。 - 前記基板処理装置は、基板処理モードおよびティーチングモードに設定可能であり、
前記位置合わせ動作は、前記ティーチングモード時に行われ、前記基板処理動作は、前記基板処理モード時に行われる、請求項8記載の基板処理装置。 - 固定部分と、
前記固定部分に対して相対的に移動可能な可動部分と、
前記固定部分および可動部分のうち一方に設けられ、第1の光出射部と第1の受光部とを有する光学センサと、
前記固定部分および可動部分のうち他方に設けられ、前記第1の光出射部に対応する第2の受光部と前記第1の受光部に対応する第2の光出射部とを有する導光部材と、
前記光学センサの出力信号に基づいて、前記可動部分が前記固定部分に対して予め定められた位置関係にあるか否かを判定する判定部とを備え、
前記可動部分が前記固定部分に対して前記予め定められた位置関係にあるときに、前記第1の光出射部から出射される光が前記第2の受光部により受光され、かつ前記第2の光出射部から出射される光が前記第1の受光部により受光されるように、前記第1の光出射部、前記第1の受光部、前記第2の光出射部および前記第2の受光部が配置される、位置合わせ装置。 - 第1の光出射部および第1の受光部を有する光学センサが設けられた固定部分に対して、第2の受光部および第2の光出射部を有する導光部材が設けられた可動部材を相対的に移動させるステップと、
前記光学センサの前記第1の光出射部から光を出射し、前記導光部材の前記第2の受光部により受光されて前記第2の光出射部から出射された光を、前記光学センサの前記第1の受光部により受光するステップと、
前記光学センサの出力信号に基づいて、前記可動部分が前記固定部分に対して予め定められた位置関係を有するか否かを判定するステップとを含む、位置合わせ方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017153099A JP7021877B2 (ja) | 2017-08-08 | 2017-08-08 | 基板処理装置、位置合わせ装置および位置合わせ方法 |
TW107124622A TWI676231B (zh) | 2017-08-08 | 2018-07-17 | 基板處理裝置、對位裝置、基板處理方法及對位方法 |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017153099A JP7021877B2 (ja) | 2017-08-08 | 2017-08-08 | 基板処理装置、位置合わせ装置および位置合わせ方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019033170A true JP2019033170A (ja) | 2019-02-28 |
JP2019033170A5 JP2019033170A5 (ja) | 2020-03-26 |
JP7021877B2 JP7021877B2 (ja) | 2022-02-17 |
Family
ID=65274167
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017153099A Active JP7021877B2 (ja) | 2017-08-08 | 2017-08-08 | 基板処理装置、位置合わせ装置および位置合わせ方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10585362B2 (ja) |
JP (1) | JP7021877B2 (ja) |
KR (1) | KR102134961B1 (ja) |
CN (1) | CN109390266B (ja) |
TW (1) | TWI676231B (ja) |
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---|---|
JP7021877B2 (ja) | 2022-02-17 |
US10585362B2 (en) | 2020-03-10 |
CN109390266B (zh) | 2023-06-20 |
US20190049865A1 (en) | 2019-02-14 |
TW201921564A (zh) | 2019-06-01 |
KR102134961B1 (ko) | 2020-07-16 |
KR20190016435A (ko) | 2019-02-18 |
TWI676231B (zh) | 2019-11-01 |
CN109390266A (zh) | 2019-02-26 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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