TWI706503B - 基板處理裝置、對位裝置及對位方法 - Google Patents

基板處理裝置、對位裝置及對位方法 Download PDF

Info

Publication number
TWI706503B
TWI706503B TW108129960A TW108129960A TWI706503B TW I706503 B TWI706503 B TW I706503B TW 108129960 A TW108129960 A TW 108129960A TW 108129960 A TW108129960 A TW 108129960A TW I706503 B TWI706503 B TW I706503B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
light
unit
receiving
substrate
positional relationship
Prior art date
Application number
TW108129960A
Other languages
English (en)
Other versions
TW202015166A (zh
Inventor
桒原丈二
Original Assignee
日商斯庫林集團股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日商斯庫林集團股份有限公司 filed Critical 日商斯庫林集團股份有限公司
Publication of TW202015166A publication Critical patent/TW202015166A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI706503B publication Critical patent/TWI706503B/zh

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

本發明係於手部設置光學感測器，且於固定構件設置光纖。於光學感測器之第1光出射部及第1受光部設置第1及第2光控制部，於光纖之第2受光部及第2光出射部設置第3及第4光控制部。第1光控制部使自第1光出射部出射之光朝手部之前方及下方行進。第3光控制部將朝固定構件之後方及下方行進之光導向第2受光部。第4光控制部使自第2光出射部出射之光朝固定構件之前方及上方行進。第2光控制部將朝手部之後方及手部之上方行進之光導向第1受光部。

Description

基板處理裝置、對位裝置及對位方法
本發明係關於一種對基板進行處理之基板處理裝置、對固定構件進行可動構件之對位之對位裝置及對位方法。
為了對半導體基板、液晶顯示裝置用基板、電漿顯示器用基板、光碟用基板、磁碟用基板、磁光碟用基板、光罩用基板等各種基板進行各種處理，而使用基板處理裝置。
此種基板處理裝置中，一般於複數個處理單元中對一片基板連續進行處理。因此，於基板處理裝置中設置有於複數個處理單元間搬送基板的基板搬送裝置。為了正確地向特定處理單元內搬送及搬入基板，而預先進行基板搬送裝置之示教。
於專利文獻1中，記述包含複數個處理腔室之處理系統，且記述有用以校正機器人(基板搬送裝置)之末端執行器(基板保持部)之位置的視覺系統。於視覺系統中，藉由機器人之末端執行器(基板保持部)搬送包含相機、電源、發送機及配置板之相機總成。基於藉由相機總成之相機取得之圖像，校正機器人之末端執行器之位置。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特表2006-522476號公報
[發明所欲解決之問題]
上述之相機總成係以在由末端執行器保持相機總成之狀態下末端執行器不會變形之方式，輕量且精巧地製作。因此，相機總成價格較高。
本發明之目的在於提供一種能夠以簡單之構成且較低之成本將可動構件相對於固定構件對位之基板處理裝置、對位裝置及對位方法。 [解決問題之技術手段]
(1)本發明之一態樣之基板處理裝置係對基板進行處理者，且具備：固定部分；可動部分，其可對固定部分相對地移動；光學感測器，其設置於固定部分及可動部分中之一者之部分，且具有第1光出射部與第1受光部；導光構件，其設置於固定部分及可動部分中之另一者之部分，且具有與第1光出射部對應之第2受光部、及與第1受光部對應之第2光出射部；第1出射光控制部，其使自第1光出射部出射之光沿對於一者之部分預先設定之第1方向及第2方向行進；第2受光光控制部，其將沿對於另一者之部分相關且預先設定之第3方向及第4方向行進之光導向第2受光部；第2出射光控制部，其使自第2光出射部出射之光沿對於另一者之部分預先設定之第5方向及第6方向行進；及第1受光光控制部，其將沿對於一者之部分預先設定之第7方向及第8方向行進之光導向第1受光部；且以於可動部分相對於固定部分處於預先設定之第1位置關係時及第2位置關係時，由第2受光部接收自第1光出射部出射之光，且由第1受光部接收自第2光出射部出射之光之方式，配置第1光出射部、第1受光部、第2光出射部及第2受光部；於第1位置關係中，第1及第3方向一致且第5及第7方向一致；於第2位置關係中，第2及第4方向一致且第6及第8方向一致。
於該基板處理裝置中，當可動部分相對於固定部分處於預先設定之第1位置關係時，自第1光出射部出射且於第1方向行進之光被導向第2受光部。被導向第2受光部之光藉由導光構件導向第2光出射部。自第2光出射部出射且於第5方向行進之光被導向第1受光部，且由第1受光部接收。藉此，可基於光學感測器之輸出信號而判定可動部分相對於固定部分是否處於預先設定之第1位置關係。因此，於與第1方向正交之方向上，可將可動構件相對於固定構件正確地對位。
又，當可動部分相對於固定部分處於預先設定之第2位置關係時，自第1光出射部出射且於第2方向行進之光被導向第2受光部。被導向第2受光部之光藉由導光構件導向第2光出射部。自第2光出射部出射且於第6方向行進之光被導向第1受光部，且由第1受光部接收。藉此，可基於光學感測器之輸出信號而判定可動部分相對於固定部分是否處於預先設定之第2位置關係。因此，於與第2方向正交之方向上，可將可動構件相對於固定構件正確地對位。
又，根據上述構成，因光學感測器與導光構件電性獨立，故不需要固定部分與可動部分間之配線。因此，用以檢測可動部分相對於固定部分之位置的構成不會複雜化。又，可以低成本檢測可動部分相對於固定部分之位置。
該等結果為，能夠以簡單之構成且低成本將可動部分相對於固定構件對位。
(2)亦可為基板處理裝置進而具備支持基板之基板支持部，固定部分包含與基板支持部具有特定位置關係之固定構件，可動部分包含將基板保持並搬送至基板支持部的搬送保持部。
藉由此種構成，於將基板由搬送保持部搬送至基板支持部之情形時，能夠以簡單之構成且低成本將搬送保持部相對於固定構件對位。於該情形時，因固定構件相對於基板支持部具有特定位置關係，故能夠以簡單之構成且低成本將搬送保持部相對於基板支持部對位。
(3)亦可為基板處理裝置進而具備對基板進行處理之處理單元，基板支持部包含將基板保持並旋轉之旋轉保持部，固定構件相對於旋轉保持部具有特定位置關係。
於該情形時，能夠以簡單之構成且低成本將搬送保持部相對於處理單元中之旋轉保持部對位。
(4)亦可為基板處理裝置進而具備支持基板之複數個基板支持部，固定部分包含與複數個基板支持部具有特定位置關係之複數個固定構件，可動部分包含將基板保持並搬送至複數個基板支持部的搬送保持部，光學感測器設置於搬送保持部，導光構件設置於複數個固定構件之各者。
該情形時，導光構件較光學感測器更低價。上述構成中，將光學感測器設置於搬送保持部，且將導光構件設置於複數個固定構件各者，因而即使固定構件之個數較多，亦抑制成本之增加。
(5)基板處理裝置亦可進而具備：判定部，其基於光學感測器之輸出信號，判定可動部分相對於固定部分處於預先設定之第1位置關係抑或第2位置關係。
該情形時，可基於判定部之判定結果，將可動構件相對於固定構件對位。
(6)亦可為基板處理裝置進而具備：驅動部，其可使可動部分對固定部分相對而移動；對位控制部，其於對位動作時，以使可動部分在包含固定部分之特定區域內移動之方式控制驅動部；取得部，其於對位動作時，取得可動部分之位置作為當前位置資訊；產生部，其於對位動作時，基於藉由取得部取得之當前位置資訊及判定部之判定結果，產生表示可動部分相對於固定部分具有預先設定之位置關係之位置的資訊作為目標位置資訊；及移動控制部，其於基板處理動作時，以基於藉由產生部產生之目標位置資訊使可動部分移動之方式控制驅動部。
於該情形時，藉由對位動作產生目標位置資訊，於基板處理動作時基於目標位置資訊而控制可動部分相對於固定部分之移動。藉此，於基板處理動作時，可簡單地進行可動部分相對於固定部分之對位。
(7)亦可為基板處理裝置可設定為基板處理模式及示教模式，對位動作於示教模式時進行，基板處理動作於基板處理模式時進行。
於該情形時，能夠以簡單之構成且低成本進行可動構件相對於固定構件之示教。
(8)依據本發明之其他態樣之對位裝置具備：固定部分；可動部分，其可對固定部分相對地移動；光學感測器，其設置於固定部分及可動部分中之一者之部分，且具有第1光出射部與第1受光部；導光構件，其設置於固定部分及可動部分中之另一者之部分，且具有與第1光出射部對應之第2受光部、及與第1受光部對應之第2光出射部；第1出射光控制部，其使自第1光出射部出射之光沿對於一者之部分預先設定之第1方向及第2方向行進；第2受光光控制部，其將沿對於另一者之部分預先設定之第3方向及第4方向行進入射之光導向第2受光部；第2出射光控制部，其使自第2光出射部出射之光沿對於另一者之部分預先設定之第5方向及第6方向行進；第1受光光控制部，其將沿對於一者之部分預先設定之第7方向及第8方向行進之光導向第1受光部；及判定部，其基於光學感測器之輸出信號，判定可動部分相對於固定部分處於預先設定之第1及第2位置關係中之任一者之關係；且以於可動部分相對於固定部分處於預先設定之第1位置關係時及第2位置關係時，由第2受光部接收自第1光出射部出射之光，且由第1受光部接收自第2光出射部出射之光之方式，配置第1光出射部、第1受光部、第2光出射部及第2受光部；於第1位置關係中，第1及第3方向一致且第5及第7方向一致；於第2位置關係中，第2及第4方向一致且第6及第8方向一致。
於該對位裝置中，於可動部分相對於固定部分處於預先設定之第1位置關係時，自第1光出射部出射且於第1方向行進之光被導向第2受光部。被導向第2受光部之光藉由導光構件導向第2光出射部。自第2光出射部出射且於第5方向之光行進被導向第1受光部，且由第1受光部接收。藉此，可基於光學感測器之輸出信號而判定可動部分相對於固定部分是否處於預先設定之第1位置關係。因此，於與第1方向正交之方向上，可將可動構件相對於固定構件正確地對位。
又，於可動部分相對於固定部分處於預先設定之第2位置關係時，自第1光出射部出射且於第2方向行進之光被導向第2受光部。被導向第2受光部之光藉由導光構件導向第2光出射部。自第2光出射部出射且於第6方向行進之光被導向第1受光部，且由第1受光部接收。藉此，可基於光學感測器之輸出信號而判定可動部分相對於固定部分是否處於預先設定之第2位置關係。因此，於與第2方向正交之方向上，可將可動構件相對於固定構件正確地對位。
又，根據上述構成，因光學感測器與導光構件電性獨立，故不需要固定部分與可動部分間之配線。因此，用以檢測可動部分相對於固定部分之位置的構成不會複雜化。又，能夠以低成本檢測可動部分相對於固定部分之位置。
該等結果為，能夠以簡單之構成且低成本將可動部分相對於固定構件對位。
(9)依據本發明之進而其他態樣之對位方法係可動部分相對於固定部分之對位方法，且具備如下步驟：於第1動作時，使設置有具有第1光出射部及第1受光部之光學感測器的固定部分及可動部分中之一者之部分、與設置有具有第2受光部及第2光出射部之導光構件之固定部分及可動部分中之另一者之部分相對地移動；於第1動作時，使自光學感測器之第1光出射部出射之光藉由第1出射光控制部沿對於一者之部分預先設定之第1及第2方向中之第1方向行進，且將沿對於另一者之部分預先設定之第3及第4方向中之第3方向行進之光藉由第2受光光控制部導向第2受光部，使藉由第2受光部接收且自第2光出射部出射之光藉由第2出射光控制部沿對於另一者之部分預先設定之第5及第6方向中之第5方向行進，且將沿對於一者之部分預先設定之第7及第8方向中之第7方向行進之光藉由第1受光光控制部導向第1受光部，且藉由第1受光部接收；於第1動作時，基於光學感測器之輸出信號，判定可動部分相對於固定部分是否具有預先設定之第1位置關係；於第2動作時，使一者之部分與另一者之部分相對地移動；於第2動作時，使自光學感測器之第1光出射部出射之光藉由第1出射光控制部於第2方向行進，將於第4方向行進之光藉由第2受光光控制部導向第2受光部，使藉由第2受光部接收且自第2光出射部出射之光藉由第2出射光控制部沿第6方向行進，將於第8方向行進之光藉由第1受光光控制部導向第1受光部，且藉由第1受光部接收；及於第2動作時，基於光學感測器之輸出信號，判定可動部分相對於固定部分是否具有預先設定之第2位置關係。
於該對位方法中，於第1動作時，於可動部分相對於固定部分處於預先設定之第1位置關係時，自第1光出射部出射且於第1方向行進之光被導向第2受光部。被導向第2受光部之光藉由導光構件導向第2光出射部。自第2光出射部出射且於第5方向行進之光被導向第1受光部，且由第1受光部接收。藉此，基於光學感測器之輸出信號而判定可動部分相對於固定部分是否處於預先設定之第1位置關係。因此，於與第1方向正交之方向上，可將可動構件相對於固定構件正確地對位。
又，於第2動作時，可動部分相對於固定部分處於預先設定之第2位置關係時，自第1光出射部出射且於第2方向行進之光被導向第2受光部。被導向第2受光部之光藉由導光構件導向第2光出射部。自第2光出射部出射且於第6方向行進之光被導向第1受光部，且由第1受光部接收。藉此，基於光學感測器之輸出信號而判定可動部分相對於固定部分是否處於預先設定之第2位置關係。因此，於與第2方向正交之方向上，可將可動構件相對於固定構件正確地對位。
又，用於上述對位方法之光學感測器與導光構件電性獨立。因此，固定部分與可動部分之間不需要配線。因此，用以檢測可動部分相對於固定部分之位置的構成不會複雜化。又，能夠以低成本檢測可動部分相對於固定部分之位置。
該等結果為，能夠以簡單之構成且低成本將可動部分相對於固定構件對位。 [發明之效果]
根據本發明，能夠以簡單之構成且低成本將可動部分相對於固定構件對位。
以下使用圖式，對本發明之一實施形態之基板處理裝置、對位裝置及對位方法進行說明。於以下之說明中，基板意指半導體基板、液晶顯示裝置或有機EL(Electro Luminescence：電致發光)顯示裝置等FPD(Flat Panel Display：平面顯示器)用基板、光碟用基板、磁碟用基板、磁光碟用基板、光罩用基板、陶瓷基板或太陽電池用基板等。
[1]基板處理裝置之基本構成 本實施形態之基板處理裝置具備對基板進行處理之處理單元、及搬送基板之基板搬送裝置。處理單元包含支持基板之基板支持部，基板搬送裝置將基板保持並搬送至處理單元之基板支持部。
於本實施形態中，基板支持部為例如吸附保持基板之背面(下表面)之旋轉夾盤、保持基板W之外周端部之旋轉夾盤、分別支持基板W之背面之複數個部分之複數個支持銷、或載置基板W之板。
圖1係顯示本發明之一實施形態之基板處理裝置之構成之一部分之圖。於圖1中，作為本實施形態之基板處理裝置100之構成之一部分，顯示基板搬送裝置WT之構成、與處理單元PU之構成之一部分。
如圖1所示，基板搬送裝置WT包含保持基板W之手部H1、光學感測器20、控制部51、驅動部52、位置檢測部53及2個光控制部ma1、ma2。
手部H1具有保持部ha及臂部hb。保持部ha具有大致圓弧形狀，臂部hb具有於一方向延伸之長方形狀。保持部ha設置於臂部hb之一端。於保持部ha之內周部，以朝向保持部ha之內側之方式形成有複數個(本例中為3個)突起部。藉由基板搬送裝置WT搬送基板W時，於形成於保持部ha之複數個突起部上，載置基板W。於以下說明中，將於臂部hb之長邊方向延伸之中心軸，定義為手部H1之中心軸ax1。又，將通過中心軸ax1自臂部hb朝向保持部ha之方向，稱為手部H1之前方，且將其相反方向稱為保持部ha之後方。
驅動部52由複數個馬達構成，且藉由控制部51之控制使手部H1於上下方向(本例中為鉛直方向)及水平方向移動，且繞上下方向之軸旋轉(迴轉)。位置檢測部53由與驅動部52之複數個馬達對應之複數個編碼器而構成，基於驅動部52之動作將表示手部H1之當前位置及手部H1之朝向(旋轉角度)之信號輸出至控制部51。藉此，控制部51可取得基板處理裝置100中之手部H1之位置作為當前位置資訊。又，控制部51可取得基板處理裝置100中之手部H1之朝向作為當前姿勢資訊。
光學感測器20為例如光電感測器，包含第1光出射部21、第1受光部22、感測器本體部23及2條光纖28、29。光學感測器20安裝於手部H1之下表面。以自感測器本體部23延伸之方式設置有2條光纖28、29。第1光出射部21由一者之光纖28之一端面(光出射面)構成，第1受光部22由另一者之光纖29之一端面(光入射面)構成。感測器本體部23包含光源、受光元件及控制電路。光源為例如LED(發光二極體)，將光供給至第1光出射部21。另，亦可使用雷射二極體或其他發光元件作為光源。受光元件產生與第1受光部22之受光量相應之受光信號。控制電路控制光源，且向控制部51輸出由受光元件產生之受光信號。
光控制部ma1以連接於第1光出射部21之狀態安裝於手部H1，光控制部ma2以連接於第1受光部22之狀態安裝於手部H1。有關光控制部ma1、ma2之功能於後述。
處理單元PU具備保持基板W並使其旋轉之旋轉夾盤1。旋轉夾盤1藉由旋轉驅動部2繞延伸於上下方向之旋轉軸1C可旋轉地受支持。於處理單元PU，設置有以與旋轉夾盤1具有一定之位置關係之方式固定之固定構件4。於固定構件4設置有光纖30。
光纖30具有第2受光部31及第2光出射部32。第2受光部31由光纖30之一端面(光入射面)構成，第2光出射部32由光纖30之另一端面(光出射面)構成。
第2受光部31對應於光學感測器20之第1光出射部21，第2光出射部32對應於光學感測器20之第1受光部22。第1光出射部21與第1受光部22之間之距離等於第2受光部31與第2光出射部32之間之距離。
於固定構件4安裝有分別對應於上述光控制部ma1、ma2之光控制部mb1、mb2。光控制部mb1及光控制部mb2分別連接於第2受光部31及第2光出射部32。有關光控制部mb1、mb2之功能於後述。
[2]光控制部ma1、ma2、mb1、mb2之功能 以下說明中，將通過固定構件4之上端部之中心4C且與旋轉軸1C正交之軸定義為處理單元PU之中心軸ax2。又，將通過中心軸ax2且自旋轉夾盤1朝向固定構件4之方向稱為處理單元PU之前方，將其相反方向稱為處理單元PU之後方。
圖2係用以說明圖1之複數個光控制部ma1、ma2、mb1、mb2各者之功能之立體圖。於圖2中，以虛線顯示圖1之手部H1之一部分，且以虛線顯示圖1之固定構件4之一部分。而於圖2中，以實線顯示設置於手部H1及固定構件4之構成。
光控制部ma1如圖2中較粗之一點鏈線之箭頭a01所示，使自第1光出射部21出射之光朝手部H1之前方沿中心軸ax1平行地行進。又，光控制部ma1如圖2中較粗之兩點鏈線之箭頭a02所示，使自第1光出射部21出射之光朝手部H1之下方沿與中心軸ax1垂直之方向行進。於本實施形態中，自光控制部ma1朝向手部H1之前方之箭頭a01之方向相當於第1方向，自光控制部ma1朝向手部H1之下方之箭頭a02之方向相當於第2方向。
光控制部mb1如圖2中較粗之一點鏈線之箭頭a03所示，將朝向固定構件4之後方且沿中心軸ax2平行地行進之光導向第2受光部31。又，光控制部mb1如圖2中較粗之兩點鏈線之箭頭a04所示，將朝向固定構件4之下方行進之光導向第2受光部31。本實施形態中，朝向固定構件4之後方之箭頭a03之方向相當於第3方向，朝向固定構件4之下方之箭頭a04之方向相當於第4方向。
光控制部mb2如圖2中較粗之一點鏈線之箭頭a05所示，使自第2光出射部32出射之光朝固定構件4之前方沿中心軸ax2平行地行進。又，光控制部mb2如圖2中較粗之兩點鏈線之箭頭a06所示，使自第2光出射部32出射之光朝固定構件4之上方沿與中心軸ax2垂直之方向行進。本實施形態中，自光控制部mb2朝向固定構件4之前方之箭頭a05之方向相當於第5方向，自光控制部mb2朝向固定構件4之上方之箭頭a06之方向相當於第6方向。
光控制部ma2如圖2中較粗之一點鏈線之箭頭a07所示，將朝向手部H1之後方沿中心軸ax1平行地行進之光導向第1受光部22。又，光控制部ma2如圖2中較粗之兩點鏈線之箭頭a08所示，將朝向手部H1之上方行進之光導向第1受光部22。本實施形態中，朝向手部H1之後方之箭頭a07之方向相當於第7方向，朝向手部H1之上方之箭頭a08之方向相當於第8方向。
使用光學構件作為光控制部ma1、ma2、mb1、mb2。光學構件可為例如光束分光器，亦可為具有狹縫等開口部之鏡。使用鏡作為光學構件之情形，該鏡較佳具有使入射光之大約一半通過之開口部。
於上述構成中，設想中心軸ax1、ax2彼此平行、光控制部ma1、ma2、mb1、mb2位於同一水平面上、光控制部ma1、mb1對向且光控制部ma2、mb2對向之情形。該情形時，圖2之箭頭a01及箭頭a03所示之方向一致，且圖2之箭頭a05及箭頭a07所示之方向一致。藉此，自光控制部ma1朝手部H1之前方行進之光通過光控制部mb1、光纖30及光控制部mb2而入射至光控制部ma2。將此時之手部H1與固定構件4之位置關係稱為第1位置關係。
又，於上述構成中，設想中心軸ax1、ax2彼此平行、光控制部ma1、ma2、mb1、mb2位於同一鉛直面上、光控制部ma1、mb1對向且光控制部ma2、mb2對向之情形。該情形時，圖2之箭頭a02及箭頭a04所示之方向一致，且圖2之箭頭a06及箭頭a08所示之方向一致。藉此，自光控制部ma1朝手部H1之下方行進之光通過光控制部mb1、光纖30及光控制部mb2而入射至光控制部ma2。將此時之手部H1與固定構件4之位置關係稱為第2位置關係。
於以下說明中，將由手部H1保持之基板W之中心應位於之手部H1上之位置稱為基準位置r1(圖1)。當對處理單元PU之旋轉夾盤1進行基板W交接時，必須在使手部H1正對著處理單元PU之狀態下，使手部H1相對於旋轉夾盤1進退，且使手部H1之基準位置r1與圖1之旋轉夾盤1之旋轉軸1C一致。
因此，本實施形態中，以在手部H1正對著處理單元PU之狀態下滿足第1位置關係之方式，於手部H1設置光控制部ma1、ma2，且於處理單元PU設置光控制部mb1、mb2。另，手部H1正對著處理單元PU意指自上方觀察對向配置之手部H1及處理單元PU之情形，手部H1之中心軸ax1與處理單元PU之中心軸ax2一致。
再者，本實施形態中，以在手部H1之基準位置r1與旋轉夾盤1之旋轉軸1C一致之狀態下滿足第2位置關係之方式，於手部H1設置光控制部ma1、ma2，且於處理單元PU設置光控制部mb1、mb2。
[3]手部H1之對位之具體例 圖3、圖4及圖5係用以說明手部H1相對於圖1之旋轉夾盤1而對位之具體例之圖。若要使手部H1之基準位置r1相對於圖1之旋轉夾盤1之旋轉軸1C一致，首先作為第1動作，使手部H1移動至大致正對著處理單元PU之位置。在該狀態下，進而作為第1動作，自感測器本體部23之光源向第1光出射部21供給光，並使手部H1沿上下方向及水平方向移動且繞上下方向之軸旋轉(迴轉)。於該情形時，如圖3所示，手部H1正對著處理單元PU且滿足第1位置關係，藉此自光學感測器20輸出之受光信號之位準成為最高。因此，取得自光學感測器20輸出之受光信號之位準為最高時之手部H1之當前位置資訊作為正對位置資訊，且取得手部H1之當前姿勢資訊作為目標姿勢資訊。
設置於固定構件4之光控制部mb1、mb2與旋轉夾盤1之間之上下方向之距離(以下稱為鉛直偏移距離)為已知。因此，若滿足第1位置關係，則作為第2動作，如圖4空白箭頭所示，基於取得之正對位置資訊與鉛直偏移距離使手部H1沿上下方向移動(於本例中為上升)鉛直偏移距離量。
設置於固定構件4之光控制部mb1、mb2與旋轉夾盤1之間之水平方向之距離(以下稱為水平偏移距離)與上述鉛直偏移距離同樣為已知。因此，於手部H1移動鉛直偏移距離量後，如圖5空白箭頭所示，基於水平偏移距離使手部H1朝該手部H1之前方移動(前進)。該情形時，因手部H1正對於處理單元PU之旋轉夾盤1(基板支持部)，故手部H1之基準位置r1(圖1)以高精度靠近旋轉夾盤1之旋轉軸1C(圖1)。
由該狀態，進而將光自感測器本體部23之光源供給至第1光出射部21，並使手部H1沿水平方向移動且繞上下方向之軸旋轉(迴轉)。其後，手部H1之基準位置r1與旋轉夾盤1之旋轉軸1C一致，滿足第2位置關係，藉此自光學感測器20輸出之受光信號之位準成為最高。因此，取得自光學感測器20輸出之受光信號之位準為最高時之手部H1之當前位置資訊作為目標位置資訊，且取得手部H1之當前姿勢資訊作為目標姿勢資訊。
藉此，可基於取得之目標位置資訊及目標姿勢資訊，以手部H1之基準位置r1與圖1之旋轉夾盤1之旋轉軸1C一致之方式，使手部H1與旋轉夾盤1對位。
[4]搬送模式及示教模式 本實施形態之基板處理裝置100構成為可設定成基板處理模式及示教模式。於基板處理模式中，圖1之基板搬送裝置WT藉由手部H1接收並搬送位於例如一處理單元之基板支持部之基板W，且載置於另一處理單元之基板支持部。又，各處理單元對基板支持部所支持之基板W進行特定處理。
將手部H1用以接收位於特定基板支持部之基板W之設計上之接收位置、及手部H1用以將基板W載置於特定基板支持部之設計上之載置位置，作為初始之目標位置資訊而預先記憶於圖1之控制部51。再者，將手部H1接收位於特定基板支持部之基板W時之設計上之手部H1之朝向、及手部H1用以將基板W載置於特定基板支持部之設計上之手部H1之朝向，作為初始之目標姿勢資訊而預先記憶於圖1之控制部51。
實際之接收位置、實際之載置位置及實際之手部H1之朝向會因基板處理裝置100中之處理單元之組裝誤差及基板搬送裝置WT之零件之磨耗等影響，而有偏離設計上之接收位置、設計上之載置位置及設計上之手部H1之朝向之情形。
因此，於示教模式中，處理單元之基板支持部與手部H1以具有適於交接基板W之預先設定之位置關係之方式、且以手部H1朝向適於交接基板W之方向之方式進行上述對位。
該情形時，控制部51可產生基板支持部與手部H1具有預先設定之位置關係時之手部H1之實際位置作為目標位置資訊。又，控制部51可產生基板支持部與手部H1具有預先設定之位置關係時之手部H1之實際朝向作為目標姿勢資訊。
本實施形態中，於示教模式中，產生手部H1所保持之基板W之中心與旋轉夾盤1之旋轉軸1C一致時之手部H1之位置，作為目標位置資訊。又，產生手部H1正對著處理單元之基板支持部時之手部H1之朝向，作為目標姿勢資訊。
將初始之目標位置資訊及目標姿勢資訊更新為所產生之目標位置資訊及目標姿勢資訊。於基板處理模式中，基於更新之目標位置資訊及目標姿勢資訊而搬送基板W。藉此，防止基板W之搬送不良及處理不良。
[5]控制部51之功能性構成 以下說明中，將手部H1相對於特定基板支持部之接收位置及載置位置通稱為適宜交接位置。圖6係顯示圖1之控制部51之功能性構成之方塊圖。控制部51包含動作模式設定部511、當前位置取得部512、對位控制部513、受光量取得部514、位置關係判定部515、目標位置產生部516、移動控制部517、位置姿勢資訊記憶部518、位置姿勢資訊更新部519、當前姿勢取得部520及目標姿勢產生部521。
控制部51由CPU(Central Processing Unit：中央運算處理裝置)、RAM(Random Access Memory：隨機存取記憶體)及ROM(Read Only Memory：唯讀記憶體)構成。CPU藉由執行記憶於ROM或其他記憶媒體之電腦程式，而實現控制部51之各構成要件之功能。另，控制部51之一部分或全部之構成要件亦可藉由電子電路等硬體而實現。
動作模式設定部511基於例如使用者對未圖示之操作部之操作而將基板處理裝置100設定為基板處理模式或示教模式。位置姿勢資訊記憶部518記憶基板搬送裝置WT對於進行基板W交接之複數個基板支持部各者之設計上之交接位置，作為初始之目標位置資訊。又，位置姿勢資訊記憶部518記憶對於複數個基板支持部各者之交接基板W時之設計上之手部H1之朝向，作為初始之目標姿勢資訊。再者，位置姿勢資訊記憶部518記憶對於複數個基板支持部各者預先設定之設計上之手部H1之正對位置。
對位控制部513於示教模式中，於用以使手部H1正對著一基板支持部之第1動作時，基於位置姿勢資訊記憶部518所記憶之資訊，使手部H1移動至對於該一基板支持部之正對位置。又，對位控制部513使手部H1在包含正對位置之特定區域內移動，且使手部H1之朝向變更。
又，對位控制部513於示教模式中，當用以將手部H1相對於一基板支持部最終進行對位之第2動作時，首先使手部H1於上下方向移動至該一基板支持部之高度。又，對位控制部513使手部H1朝向該一基板支持部前進。
受光量取得部514於示教模式中，以特定取樣週期取得自光學感測器20輸出之受光信號之位準。
位置關係判定部515於示教模式中之第1動作時，判定是否已進行預先設定之手部H1之移動及手部H1之朝向之變更。再者，位置關係判定部515於示教模式中之第1動作時，判定由受光量取得部514取得之受光信號之最大位準。
又，位置關係判定部515於示教模式中之第2動作時，判定是否已進行預先設定之手部H1之移動及手部H1之朝向之變更。再者，位置關係判定部515於示教模式中之第2動作時，判定由受光量取得部514取得之受光信號之最大位準。
當前位置取得部512於示教模式中之第1及第2動作時，基於圖1之位置檢測部53之輸出信號取得當前位置資訊。當前姿勢取得部520於示教模式中之第1及第2動作時，基於圖1之位置檢測部53之輸出信號取得當前姿勢資訊。
目標姿勢產生部521於示教模式中之第1動作時，產生與由位置關係判定部515判定之受光信號之最大位準對應之當前姿勢資訊，作為目標姿勢資訊。
又，目標姿勢產生部521於示教模式中之第2動作時，產生與由位置關係判定部515判定之受光信號之最大位準對應之當前姿勢資訊，作為目標姿勢資訊。
目標位置產生部516於示教模式中之第1動作時，產生與由位置關係判定部515判定之受光信號之最大位準對應之當前位置資訊，作為正對位置資訊。
又，目標位置產生部516於示教模式中之第2動作時，產生與由位置關係判定部515判定之受光信號之最大位準對應之當前位置資訊，作為目標位置資訊。
位置姿勢資訊更新部519於示教模式之第1動作時及第2動作時，分別根據由目標姿勢產生部521產生之目標姿勢資訊，更新記憶於位置姿勢資訊記憶部518之初始之目標姿勢資訊。
又，位置姿勢資訊更新部519於示教模式之第1動作時，分別根據由目標位置產生部516產生之正對位置資訊，更新記憶於位置姿勢資訊記憶部518之初始之正對位置資訊。
再者，位置姿勢資訊更新部519於示教模式之第2動作時，根據由目標位置產生部516產生之目標位置資訊，更新記憶於位置姿勢資訊記憶部518之初始之目標位置資訊。
移動控制部517於基板處理模式中，基於位置姿勢資訊記憶部518所記憶之目標位置資訊而控制圖1之驅動部52。藉此，於已在示教模式中進行對位之基板支持部與手部H1之間，以高精度進行基板W之交接。
[6]示教模式中之基板處理裝置100之動作 圖7及圖8係顯示示教模式中之基板處理裝置100之動作之流程圖。此處說明對於一基板支持部之手部H1之示教。於初始狀態下，基板處理裝置100設定為示教模式。又，於圖6之位置姿勢資訊記憶部518，預先記憶有對於一基板支持部之初始之目標位置資訊及初始之目標姿勢資訊。再者，於圖6之位置姿勢資訊記憶部518，預先記憶有對於一基板支持部之初始之正對位置資訊。
首先，對位控制部513基於位置姿勢資訊記憶部518所記憶之正對位置資訊，使手部H1向與一基板支持部對應之正對位置移動(步驟S11)。
接著，對位控制部513使手部H1在包含正對位置之特定區域內移動，且使手部H1之朝向變更(步驟S12)。又，受光量取得部514以特定取樣週期取得自光學感測器20輸出之受光信號之位準(步驟S13)。再者，當前位置取得部512及當前姿勢取得部520基於圖1之位置檢測部53之輸出信號而分別取得當前位置資訊及當前姿勢資訊(步驟S14)。
其次，位置關係判定部515判定是否已進行預先設定之手部H1之移動及手部H1之朝向之變更(步驟S15)。於未進行預先設定之手部H1之移動及手部H1之朝向之變更之情形，位置關係判定部515返回步驟S12之處理。
若於步驟S15中預先設定之手部H1之移動及手部H1之朝向之變更已結束，則位置關係判定部515判定由受光量取得部514取得之受光信號之最大位準(步驟S16)。
接著，目標姿勢產生部521產生與由位置關係判定部515判定之受光信號之最大位準對應之當前姿勢資訊，作為目標姿勢資訊。又，此時目標位置產生部516產生與由位置關係判定部515判定之受光信號之最大位準對應之當前位置資訊，作為正對位置資訊(步驟S17)。
其次，位置姿勢資訊更新部519根據由目標姿勢產生部521產生之目標姿勢資訊而更新記憶於位置姿勢資訊記憶部518之初始之目標姿勢資訊，且根據由目標位置產生部516產生之正對位置資訊而更新記憶於位置姿勢資訊記憶部518之初始之正對位置資訊(步驟S18)。
其次，對位控制部513基於步驟S17產生之正對位置資訊與上述鉛直偏移距離，使手部H1移動至一基板支持部中之基板W之載置位置之高度(步驟S19)。其後，對位控制部513基於上述水平偏移距離，使手部H1朝該一基板支持部移動，且使手部H1之朝向變更(步驟S20)。
接著，受光量取得部514以特定取樣週期取得自光學感測器20輸出之受光信號之位準(步驟S21)。再者，當前位置取得部512及當前姿勢取得部520基於圖1之位置檢測部53之輸出信號分別取得當前位置資訊及當前姿勢資訊(步驟S22)。
其次，位置關係判定部515判定是否已進行預先設定之手部H1之移動及手部H1之朝向之變更(步驟S23)。如未進行預先設定之手部H1之移動及手部H1之朝向之變更，則位置關係判定部515返回步驟S20之處理。
若於步驟S23中預先設定之手部H1之移動及手部H1之朝向之變更已結束，則位置關係判定部515判定由受光量取得部514取得之受光信號之最大位準(步驟S24)。
接著，目標姿勢產生部521產生與由位置關係判定部515判定之受光信號之最大位準對應之當前姿勢資訊，作為目標姿勢資訊。又，此時目標位置產生部516產生與由位置關係判定部515判定之受光信號之最大位準對應之當前位置資訊，作為目標位置資訊(步驟S25)。最後，位置姿勢資訊更新部519根據由目標姿勢產生部521產生之目標姿勢資訊而更新記憶於目標姿勢資訊產生部521之目標姿勢資訊，且根據由目標位置產生部516產生之目標位置資訊而更新記憶於位置姿勢資訊記憶部518之初始之目標位置資訊(步驟S26)。
關於上述一連串處理，與步驟S11～步驟S18之處理對應之基板處理裝置100之動作，對應於示教中之第1動作。又，與步驟S19～步驟S26之處理對應之基板處理裝置100之動作，對應於示教中之第2動作。
[7]基板處理裝置100之整體構成 圖9係顯示具備圖1之基板搬送裝置WT及處理單元PU之基板處理裝置100之整體構成之模式性方塊圖。如圖9所示，基板處理裝置100與曝光裝置500相鄰設置，且具備控制裝置210、圖1之基板搬送裝置WT、熱處理部230、塗佈處理部240及顯影處理部250。
控制裝置210包含例如CPU及記憶體、或微電腦，控制基板搬送裝置WT、熱處理部230、塗佈處理部240及顯影處理部250之動作。又，控制裝置210將用以使圖1之基板搬送裝置WT之手部H1與特定之處理單元之基板支持部對位的指令賦予控制部51。
基板搬送裝置WT於基板處理模式中，將基板W於熱處理部230、塗佈處理部240、顯影處理部250及曝光裝置500之間搬送。
塗佈處理部240及顯影處理部250各自包含複數個處理單元PU。於設置於塗佈處理部240之處理單元PU中，除圖1之構成外，並設置對藉由旋轉夾盤1而旋轉之基板W供給用以形成抗蝕膜處理液的處理液噴嘴5。藉此，於未處理之基板W形成抗蝕膜。對形成有抗蝕膜之基板W，於曝光裝置500中進行曝光處理。
於設置於顯影處理部250之處理單元PU中，設置對藉由旋轉夾盤1而旋轉之基板W供給顯影液的顯影液噴嘴6。藉此，將由曝光裝置500予以曝光處理後之基板W顯影。
熱處理部230包含對基板W進行加熱或冷卻處理之複數個處理單元TU。於處理單元TU中，設置溫度調整板7作為基板支持部。溫度調整板7為加熱板或冷卻板。於熱處理部230中，於塗佈處理部240之塗佈處理、顯影處理部250之顯影處理、及曝光裝置500之曝光處理之前後，進行基板W之熱處理。
此處，如圖9所示，於設置於塗佈處理部240及顯影處理部250之複數個處理單元PU中，與圖1之例同樣地，於與旋轉夾盤1具有特定位置關係之固定構件4安裝有光纖30及圖1之光控制部mb1、mb2。又，於設置於熱處理部230之複數個處理單元TU中，於與溫度調整板7具有特定位置關係之固定構件4安裝有光纖30及圖1之光控制部mb1、mb2。
藉此，於基板處理裝置100之示教模式時，可將基板搬送裝置WT之手部H1(圖1)與複數個處理單元PU之旋轉夾盤1及複數個處理單元TU之溫度調整板7正確地對位。
根據上述構成，因光纖30比光學感測器20便宜，故於應將手部H1對位之基板支持部之個數較多之情形，亦可抑制對位所需之成本增加。
於上述基板處理裝置100中，亦可於塗佈處理部240設置於基板W形成反射防止膜之處理單元PU。此時，熱處理部230亦可設置用以進行提高基板W與反射防止膜之密接性的密接強化處理之處理單元TU。又，亦可於塗佈處理部240設置形成用以保護形成於基板W上之抗蝕膜的抗蝕罩膜之處理單元PU。
[8]效果 (a)於上述基板處理裝置100中，於手部H1相對於固定構件4處於預先設定之第1位置關係時，自設置於手部H1之光控制部ma1出射且朝手部H1前方行進之光通過設置於固定構件4之光控制部mb1而被導向第2受光部31。被導向第2受光部31之光藉由光纖30被導向第2光出射部32。自第2光出射部32出射且朝固定構件4之前方行進之光通過光控制部ma2被導向第1受光部22，且由第1受光部22接收。藉此，可基於光學感測器20之輸出信號判定手部H1相對於固定構件4是否處於預先設定之第1位置關係。因此，於與手部H1之中心軸ax1正交之方向(鉛直面內)上，可將手部H1相對於固定構件4正確地對位。
又，於手部H1相對於固定構件4處於預先設定之第2位置關係時，自設置於手部H1之光控制部ma1出射且朝手部H1下方行進之光通過光控制部mb2而被導向第2受光部31。被導向第2受光部31之光藉由光纖30被導向第2光出射部32。自第2光出射部32出射且朝固定構件4之上方行進之光通過光控制部ma2而被導向第1受光部22，且由第1受光部22接收。藉此，可基於光學感測器20之輸出信號，判定手部H1相對於固定構件4是否處於預先設定之第2位置關係。因此，於與手部H1之上下方向正交之方向(水平面內)上，可將手部H1相對於固定構件4正確地對位。
又，根據上述構成，因光學感測器20與光纖30電性獨立，故不需要固定構件4與手部H1間之配線。因此，用以檢測手部H1相對於固定構件4之位置的構成不會複雜化。又，可以低成本檢測手部H1相對於固定構件4之位置。
該等結果，可以簡單之構成且低成本將手部H1相對於固定構件4對位。
(b)又，於上述基板處理裝置100中，以示教模式進行使用光學感測器20及光纖30之手部H1之對位。該情形時，針對作為對象之基板支持部產生目標位置資訊，基於產生之目標位置資訊而更新記憶於位置姿勢資訊記憶部518之初始之目標位置資訊。於基板處理模式中，基於以示教模式更新之目標位置資訊控制手部H1之移動。藉此，於基板處理模式中，可簡單地進行手部H1相對於基板支持部之對位。
[9]其他實施形態 (a)於上述實施形態中，手部H1相對於固定構件4處於第2位置關係時設置於手部H1之光控制部ma1、ma2位於設置於固定構件4之光控制部mb1、mb2之上方，但本發明不限定於此。例如，固定構件4位於較旋轉夾盤1等基板支持部更上方之情形時，光控制部ma1、ma2與光控制部mb1、mb2之上下方向之位置關係亦可設定為與上述之例相反。
(b)於上述實施形態中，光控制部ma1由光束分光器或鏡構成，且將自第1光出射部21出射之光以於兩個方向行進之方式加以分割，但本發明不限定於此。光控制部ma1亦可構成為藉由驅動例如光學構件，使自第1光出射部21出射之光選擇性地於2個方向中之一者行進。
對於光控制部mb2，亦可構成為藉由驅動例如光學構件，使自第2光出射部32出射之光選擇性地於2個方向中之一者行進。
(c)光學感測器20及光纖30中之一者亦可設置於特定之處理單元PU中，測定由旋轉夾盤1保持之基板W上之膜之厚度的膜厚測定器、用以去除形成於基板W之周緣部之周向之一部分區域之抗蝕膜的去除噴嘴、或用以將形成於基板W之周緣部之周向之一部分區域之抗蝕膜曝光之周緣部曝光裝置之光出射部。該情形時，藉由將光學感測器20及光纖30中之另一者設置於該處理單元PU內之固定構件4，可進行膜厚測定器、去除噴嘴、或光出射部相對於旋轉夾盤1之對位。
(d)於上述實施形態中，使用光纖30作為用以於手部H1之對位時使自光學感測器20之第1光出射部21出射之光向第1受光部22出射的構成，但本發明不限定於此，亦可取代光纖30，使用反射構件、稜鏡等光學構件，又或可使用光纖以外之其他導光體。
(e)於上述實施形態之基板處理裝置100中，於將基板W搬送至處理單元PU、TU之手部H1設置光學感測器20，且於與處理單元PU、TU內之基板支持部具有特定位置關係之固定構件4或旋轉驅動部2設置光纖30，但亦可於手部H1設置光纖30，於固定構件4或旋轉驅動部2設置光學感測器20。
[10]技術方案之各構成要件與實施形態各構成要件之對應 以下，對技術方案之各構成要素與實施形態之各要素之對應之例進行說明，但本發明不限定於下述之例。
上述實施形態中，基板處理裝置100為基板處理裝置之例，固定構件4為固定部分及固定構件之例。手部H1為可動部分之例，第1光出射部21為第1光出射部之例，第1受光部22為第1受光部之例，光學感測器20為光學感測器之例，第2受光部31為第2受光部之例，第2光出射部32為第2光出射部之例，光纖30為導光構件之例。
又，光控制部ma1為第1出射光控制部之例，光控制部mb1為第2受光光控制部之例，光控制部mb2為第2出射光控制部之例，光控制部ma2為第1受光光控制部之例，旋轉夾盤1及溫度調整板7為基板支持部之例，固定構件4及旋轉驅動部2為固定部分及固定構件之例，手部H1為搬送保持部之例，處理單元PU為處理單元之例，旋轉夾盤1為旋轉保持部之例。
又，位置關係判定部515為判定部之例，驅動部52為驅動部之例，對位控制部513為對位控制部之例，當前位置取得部512為取得部之例，目標位置產生部516為產生部之例，移動控制部517為移動控制部之例，包含具有位置關係判定部515、光纖30、光學感測器20、手部H1、固定構件4、光控制部ma1、ma2、mb1、mb2之構成的構成為對位裝置之例。
作為技術方案之各構成要件，亦可使用具有技術方案所記載之構成或功能之其他各種要件。
1:旋轉夾盤 1C:旋轉軸 2:旋轉驅動部 4:固定構件 4C:中心 5:處理液噴嘴 6:顯影液噴嘴 7:溫度調整板 20:光學感測器 21:第1光出射部 22:第1受光部 23:感測器本體部 28:光纖 29:光纖 30:光纖 31:第2受光部 32:第2出射部 51:控制部 52:驅動部 53:位置檢測部 100:基板處理裝置 210:控制裝置 230:熱處理部 240:凸部處理部 250:顯影處理部 500:曝光裝置 511:動作模式設定部 512:當前位置取得部 513:對位控制部 514:受光量取得部 515:位置關係判定部 516:目標位置產生部 517:移動控制部 518:位置姿勢資訊記憶部 519:位置姿勢資訊更新部 520:當前姿勢取得部 521:目標姿勢產生部 a01:箭頭 a02:箭頭 a03:箭頭 a04:箭頭 a05:箭頭 a06:箭頭 a07:箭頭 a08:箭頭 ax1:中心軸 ax2:中心軸 H1:保持件 ha:保持部 hb:臂部 ma1、ma2:光控制部 mb1、mb2:光控制部 PU:處理單元 r1:基準位置 S11～S26:步驟 TU:處理單元 W:基板 WT:基板搬送裝置
圖1係顯示本發明之一實施形態之基板處理裝置之構成之一部分之圖。 圖2係用以說明圖1之複數個光控制部各者之功能之立體圖。 圖3係用以說明手部相對於圖1之旋轉夾盤對位之具體例之圖。 圖4係用以說明手部相對於圖1之旋轉夾盤對位之具體例之圖。 圖5係用以說明手部相對於圖1之旋轉夾盤對位之具體例之圖。 圖6係顯示圖1之控制部之功能性構成之方塊圖。 圖7係顯示示教模式下之基板處理裝置之動作之流程圖。 圖8係顯示示教模式下之基板處理裝置之動作之流程圖。 圖9係顯示具備圖1之基板搬送裝置及處理單元之基板處理裝置之整體構成之模式性方塊圖。
1:旋轉夾盤
1C:旋轉軸
2:旋轉驅動部
4:固定構件
4C:中心
20:光學感測器
21:第1光出射部
22:第1受光部
23:感測器本體部
28:光纖
29:光纖
30:光纖
31:第2受光部
32:第2出射部
51:控制部
52:驅動部
53:位置檢測部
100:基板處理裝置
ax1:中心軸
ax2:中心軸
H1:保持件
ha:保持部
hb:臂部
ma1、ma2:光控制部
mb1、mb2:光控制部
PU:處理單元
r1:基準位置
W:基板
WT:基板搬送裝置

Claims (9)

  1. 一種基板處理裝置，其係對基板進行處理者，且包含： 固定部分； 可動部分，其可對上述固定部分相對地移動； 光學感測器，其設置於上述固定部分及上述可動部分中之一者之部分，且包含第1光出射部與第1受光部； 導光構件，其設置於上述固定部分及可動部分中之另一者之部分，且包含與上述第1光出射部對應之第2受光部、及與上述第1受光部對應之第2光出射部； 第1出射光控制部，其使自上述第1光出射部出射之光，向就上述一者之部分預先設定之第1方向及第2方向行進； 第2受光光控制部，其將向就上述另一者之部分預先設定之第3方向及第4方向行進之光，導向上述第2受光部； 第2出射光控制部，其使自上述第2光出射部出射之光，向就上述另一者之部分預先設定之第5方向及第6方向行進；及 第1受光光控制部，其將向就上述一者之部分預先設定之第7方向及第8方向行進之光，導向上述第1受光部；且 以於上述可動部分相對於上述固定部分處於預先設定之第1位置關係時及第2位置關係時，由上述第2受光部接收自上述第1光出射部出射之光，且由上述第1受光部接收自上述第2光出射部出射之光之方式，配置上述第1光出射部、上述第1受光部、上述第2光出射部及上述第2受光部； 於上述第1位置關係中，上述第1及第3方向一致且上述第5及第7方向一致； 於上述第2位置關係中，上述第2及第4方向一致且上述第6及第8方向一致。
  2. 如請求項1之基板處理裝置，其進而包含：基板支持部，其支持基板；且 上述固定部分包含與上述基板支持部具有特定位置關係之固定構件； 上述可動部分包含將上述基板保持並搬送至上述基板支持部之搬送保持部。
  3. 如請求項2之基板處理裝置，其進而包含對基板進行處理之處理單元；且 上述基板支持部包含將基板保持並旋轉之旋轉保持部； 上述固定構件相對於上述旋轉保持部具有特定之位置關係。
  4. 如請求項1之基板處理裝置，其進而包含支持基板之複數個基板支持部；且 上述固定部分包含與上述複數個基板支持部具有特定位置關係之複數個固定構件； 上述可動部分包含將上述基板保持並搬送至上述複數個基板支持部的搬送保持部； 上述光學感測器係設置於上述搬送保持部； 上述導光構件係設置於上述複數個固定構件各者。
  5. 如請求項1至4中任一項之基板處理裝置，其進而包含：判定部，其基於上述光學感測器之輸出信號，判定上述可動部分相對於上述固定部分是否處於上述預先設定之第1位置關係、及是否處於第2位置關係。
  6. 如請求項5之基板處理裝置，其進而包含： 驅動部，其可使上述可動部分對上述固定部分相對地移動； 對位控制部，其於對位動作時，以使上述可動部分在包含上述固定部分之特定區域內移動之方式，控制上述驅動部； 取得部，其於對位動作時，取得表示上述可動部分之位置的資訊，作為當前位置資訊； 產生部，其於對位動作時，基於藉由上述取得部取得之上述當前位置資訊及上述判定部之判定結果，產生上述可動部分相對於上述固定部分具有預先設定之位置關係的位置，作為目標位置資訊；及 移動控制部，其於基板處理動作時，以基於藉由上述產生部產生之目標位置資訊使上述可動部分移動之方式，控制上述驅動部。
  7. 如請求項6之基板處理裝置，其中上述基板處理裝置可設定為基板處理模式及示教模式； 上述對位動作於上述示教模式時進行，上述基板處理動作於上述基板處理模式時進行。
  8. 一種對位裝置，其包含： 固定部分； 可動部分，其可對上述固定部分相對地移動； 光學感測器，其設置於上述固定部分及可動部分中之一者之部分，且包含第1光出射部與第1受光部； 導光構件，其設置於上述固定部分及可動部分中之另一者之部分，且包含與上述第1光出射部對應之第2受光部、及與上述第1受光部對應之第2光出射部； 第1出射光控制部，其使自上述第1光出射部出射之光，向就上述一者之部分預先設定之第1方向及第2方向行進； 第2受光光控制部，其將向就上述另一者之部分預先設定之第3方向及第4方向行進入射之光，導向上述第2受光部； 第2出射光控制部，其使自上述第2光出射部出射之光，向就上述另一者之部分預先設定之第5方向及第6方向行進； 第1受光光控制部，其將向就上述一者之部分預先設定之第7方向及第8方向行進之光，導向上述第1受光部；及 判定部，其基於上述光學感測器之輸出信號，判定上述可動部分相對於上述固定部分處於預先設定之第1及第2位置關係中之任一者之關係；且 以於上述可動部分相對於上述固定部分處於上述預先設定之第1位置關係時及第2位置關係時，由上述第2受光部接收自上述第1光出射部出射之光，且由上述第1受光部接收自上述第2光出射部出射之光之方式，配置上述第1光出射部、上述第1受光部、上述第2光出射部及上述第2受光部； 於上述第1位置關係中，上述第1及第3方向一致且上述第5及第7方向一致； 於上述第2位置關係中，上述第2及第4方向一致且上述第6及第8方向一致。
  9. 一種對位方法，其係可動部分相對於固定部分之對位方法，且包含如下步驟： 於第1動作時，使設置有包含第1光出射部及第1受光部之光學感測器的上述固定部分及上述可動部分中之一者之部分、與設置有包含第2受光部及第2光出射部之導光構件之上述固定部分及上述可動部分中之另一者之部分相對地移動； 於上述第1動作時，使自上述光學感測器之上述第1光出射部出射之光，藉由第1出射光控制部向就上述一者之部分預先設定之第1及第2方向中之第1方向行進，將向就上述另一者之部分預先設定之第3及第4方向中之第3方向行進之光，藉由第2受光光控制部導向上述第2受光部，使藉由上述第2受光部接收且自上述第2光出射部出射之光，藉由第2出射光控制部向就上述另一者之部分預先設定之第5及第6方向中之第5方向行進，將向就上述一者之部分預先設定之第7及第8方向中之第7方向行進之光，藉由第1受光光控制部導向上述第1受光部，且藉由上述第1受光部接收； 於上述第1動作時，基於上述光學感測器之輸出信號，判定上述可動部分相對於上述固定部分是否具有預先設定之第1位置關係； 於第2動作時，使上述一者之部分與上述另一者之部分相對地移動； 於上述第2動作時，使自上述光學感測器之上述第1光出射部出射之光，藉由第1出射光控制部於上述第2方向行進，將於上述第4方向行進之光，藉由第2受光光控制部導向上述第2受光部，使藉由上述第2受光部接收且自上述第2光出射部出射之光，藉由第2出射光控制部向上述第6方向行進，將向上述第8方向行進之光，藉由第1受光光控制部導向上述第1受光部，且藉由上述第1受光部接收；及 於上述第2動作時，基於上述光學感測器之輸出信號，判定上述可動部分相對於上述固定部分是否具有預先設定之第2位置關係。
TW108129960A 2018-09-21 2019-08-22 基板處理裝置、對位裝置及對位方法 TWI706503B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018-178029 2018-09-21
JP2018178029A JP7108509B2 (ja) 2018-09-21 2018-09-21 基板処理装置、位置合わせ装置および位置合わせ方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW202015166A TW202015166A (zh) 2020-04-16
TWI706503B true TWI706503B (zh) 2020-10-01

Family

ID=69886830

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW108129960A TWI706503B (zh) 2018-09-21 2019-08-22 基板處理裝置、對位裝置及對位方法

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP7108509B2 (zh)
TW (1) TWI706503B (zh)
WO (1) WO2020059230A1 (zh)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050201424A1 (en) * 2004-03-15 2005-09-15 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Method and system for acquiring delivery position data of carrying apparatus
KR20090045504A (ko) * 2007-11-02 2009-05-08 세메스 주식회사 웨이퍼 이송 로봇을 구비하는 반도체 제조 설비 및 그의자동 티칭 방법

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2898587B2 (ja) * 1995-10-05 1999-06-02 国際電気株式会社 半導体製造装置の移載機のティーチング方法
JP4277100B2 (ja) * 2002-11-14 2009-06-10 東京エレクトロン株式会社 搬送機構の基準位置補正装置及び基準位置補正方法
JP7021877B2 (ja) * 2017-08-08 2022-02-17 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置、位置合わせ装置および位置合わせ方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050201424A1 (en) * 2004-03-15 2005-09-15 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Method and system for acquiring delivery position data of carrying apparatus
KR20090045504A (ko) * 2007-11-02 2009-05-08 세메스 주식회사 웨이퍼 이송 로봇을 구비하는 반도체 제조 설비 및 그의자동 티칭 방법

Also Published As

Publication number Publication date
WO2020059230A1 (ja) 2020-03-26
JP2020053431A (ja) 2020-04-02
TW202015166A (zh) 2020-04-16
JP7108509B2 (ja) 2022-07-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9539607B2 (en) Substrate processing apparatus and substrate processing method
US8688261B2 (en) Transport apparatus, position teaching method, and sensor jig
KR102134961B1 (ko) 기판 처리 장치, 위치 맞춤 장치, 기판 처리 방법 및 위치 맞춤 방법
JP3757430B2 (ja) 基板の位置決め装置及び露光装置
JP2018121007A (ja) 基板搬送装置、検出位置較正方法および基板処理装置
WO2016042685A1 (ja) 基板処理装置および基板処理方法
KR101057765B1 (ko) 노광 장치, 노광 방법 및 표시용 패널 기판의 제조 방법
KR20150125593A (ko) 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
TWI488012B (zh) 繪圖裝置及其焦點調整方法
US7596425B2 (en) Substrate detecting apparatus and method, substrate transporting apparatus and method, and substrate processing apparatus and method
CN108227398B (zh) 光处理装置和基板处理装置
KR100865720B1 (ko) 기판 처리 장치 및 방법
JP2019033170A5 (zh)
TWI706503B (zh) 基板處理裝置、對位裝置及對位方法
US20140168624A1 (en) Exposure apparatus, method of controlling the same, and alignment method for exposure
JP3938247B2 (ja) 基板処理装置
JP2005331542A (ja) 露光装置、露光方法、及び基板製造方法
JPH0774084A (ja) 基板処理装置
JP2014071315A (ja) アライメントマーク検出装置、プロキシミティ露光装置、及び基板のアライメント方法
JP2012114219A (ja) 位置合わせ方法及び位置合わせ装置、それを用いた露光装置及びデバイスの製造方法
JP3315584B2 (ja) 露光装置
JP2013205678A (ja) プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板位置決め方法、及び表示用パネル基板の製造方法
JP5236362B2 (ja) プロキシミティ露光装置及びプロキシミティ露光装置の基板搬送方法
JPS63158404A (ja) 転写装置の位置合わせ装置
JPH09293673A (ja) 露光装置および方法