JP2019016693A - 除去装置および除去方法 - Google Patents

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芳昭 杉下
Yoshiaki Sugishita
芳昭 杉下
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リンテック株式会社
Lintec Corp
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Abstract

【課題】ウエハの外縁部を除去しても、当該ウエハの方位が解らなくなることを防止することができる除去装置および除去方法を提供すること。【解決手段】一方の面と他方の面とを備え、当該他方の面に予め先行シートPSが貼付された半導体ウエハWFの外縁に沿って、当該半導体ウエハWFおよび先行シートPSに閉ループ状の切断線CUを形成することで、半導体ウエハWFにおける切断線CUの内側に必要部WFNを形成するとともに切断線CUの外側に不要部WFUを形成し、かつ、先行シートPSにおける切断線CUの内側に内側先行シートPSIを形成するとともに切断線CUの外側に外側先行シートPSOを形成する前処理手段20と、外側先行シートPSOが貼付された不要部WFNを除去する不要部除去手段40とを備え、前処理手段20は、必要部WFNおよび内側先行シートPSIの少なくとも一方の所定の位置に、他の装置が認識可能な印MKを形成可能に構成されている。【選択図】図1

Description

本発明は、除去装置および除去方法に関する。
従来、半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」ともいう)の外縁部を必要に応じて除去する装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開2010−10392号公報
しかしながら、特許文献1に記載されたような従来のシート剥離装置(除去装置)では、ウエハW(ウエハ)の外縁にVノッチ等の当該ウエハの方位を示す方位マーク(他の装置が認識可能な印)が形成されている場合、残存縁部W2(不要部)を除去する工程が実行された後は、ウエハ自身に方位を示すものがなくなるため、次の工程以後においてウエハの方位が解らなくなってしまうという不都合を生じる。
本発明の目的は、ウエハの外縁部を除去しても、当該ウエハの方位が解らなくなることを防止することができる除去装置および除去方法を提供することにある。
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
本発明によれば、必要部および内側先行シートの少なくとも一方の所定の位置に、他の装置が認識可能な印を形成するので、ウエハの外縁部を除去しても、当該ウエハの方位が解らなくなることを防止することができる。
また、貼付手段を備えれば、必要部とフレーム部材とを一体化することができ、以降の工程において必要部に接触することなく、フレーム部材および接着シートの少なくとも一方を介して、例えば、当該必要部を固定したり搬送したりするといった所定の扱いを行うことができる。
さらに、必要部に凸部を含めることなく切断線を形成する構成とすれば、凸部のない必要部を形成することができる。
また、方位マークのあった位置に対し、位置的に規則性を有する必要部および内側先行シートの少なくとも一方の所定の部位に印を付与する構成とすれば、他の装置は、その規則性に則って当該必要部を位置決めしたり、当該必要部に加工を施したりするといった所定の処理を行うことができる。
さらに、剥離手段を備えれば、必要部の他方の面に所定の処理を施す際、内側先行シートが邪魔になることを防止することができる。
なお、本発明における切断線とは、ウエハや先行シート等の被切断物を貫通する貫通孔が連続的に続くことで、繋がった部分が全くない状態の完全な切断線だけではなく、例えば、被切断物を貫通する貫通孔が断続的に続くことで、部分的に繋がった状態の擬似的な切断線、被切断物を貫通することのない有底孔が連続的または断続的に続く擬似的な切断線、被切断物にレーザ光、電磁波、熱等を照射したり、薬品、化学物質等を投与したりして、当該被切断物の特性、特質、性質、材質、組成、構成、寸法等を変更して脆弱化させた脆弱部が連続的または断続的に続く擬似的な切断線および、貫通孔と有底孔と脆弱部との少なくとも2つが規則的または不規則的に続く擬似的な切断線等をも含むものとする。なお、上記の擬似的な切断線は、振動、張力、光、熱等の外力を加えることで、完全な切断線とすることができる。
(A)は、本発明の実施形態に係る除去装置の側面図。(B)は、(A)の部分説明図。 (A)〜(E)は、図1の除去装置の動作説明図。 (A)〜(F)は、変形例の説明図。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
本発明の除去装置10は、一方の面と他方の面とを備え、当該他方の面に予め先行シートPSが貼付されたウエハWFの外縁に沿って、当該ウエハWFおよび先行シートPSに閉ループ状の切断線CUを形成することで、半導体ウエハWFにおける切断線CUの内側に必要部WFNを形成するとともに切断線CUの外側に不要部WFUを形成し、かつ、先行シートPSにおける切断線CUの内側に内側先行シートPSI(図2(A)参照)を形成するとともに切断線CUの外側に外側先行シートPSOを形成する前処理手段20と、ウエハWFの外縁に形成された方位を示す方位マークとしてのVノッチVNを検知可能なカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等の方位マーク検知手段30と、外側先行シートPSOが貼付された不要部WFUを除去する不要部除去手段40と、内側先行シートPSIが貼付された必要部WFNの近傍にフレーム部材としてのリングフレームRF(図2(C)参照)を配置するフレーム配置手段50と、必要部WFNおよびリングフレームRFに接着シートASを貼付し、当該接着シートASを介して内側先行シートPSIが貼付された必要部WFNおよびリングフレームRFを一体化することで中間製品WK2を形成する貼付手段60と、中間製品WK2を上下反転させる反転手段70と、内側先行シートPSIを必要部WFNから剥離する剥離手段80と、ウエハWFおよびリングフレームRFを支持する支持手段90とを備えている。
なお、本実施形態のウエハWFは、外縁に一方の面から起立した凸部WFCが形成され、先行シートPSを介して支持部材としての搬入用フレームRF1と一体化されて一体物WK1とされている。また、「一方の面」とは、ウエハWFの厚み方向で対をなす2つの面のうち、「上面」または「下面」のいずれか、あるいは「表面」または「裏面」のいずれかであり、「上面」または「表面」を「一方の面」とした場合は「下面」または「裏面」が「他方の面」となり、逆に、「下面」または「裏面」を「一方の面」とした場合は「上面」または「表面」が「他方の面」となる。
前処理手段20は、第1〜第6アーム21A〜21Fによって構成され、その作業範囲内において、作業部である第6アーム21Fで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット21と、第6アーム21Fに支持された駆動機器としてのチャックモータ22と、チャックモータ22のチャックアーム22Aが嵌り込んで固定されることで、第6アーム21Fに対して着脱可能なチャック孔23Aが形成されたカッター刃ブラケット23と、カッター刃ブラケット23に支持された前処理器具としてのカッター刃24とを備え、ウエハWFおよび先行シートPSをともに貫通する貫通孔TH(図2(A)参照)が連続的に続く切断線CU(完全な切断線)を形成するとともに、必要部WFNおよび内側先行シートPSIの少なくとも一方の所定の位置としての外縁に、他の装置が認識可能な印MKを形成可能に構成されている。
不要部除去手段40は、前処理手段20と共有する多関節ロボット21およびチャックモータ22と、チャックアーム22Aが嵌り込んで固定されることで、第6アーム21Fに対して着脱可能なチャック孔41Aが形成されたフレーム41と、フレーム41に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸引力が付与される吸着パッド42とを備えている。
フレーム配置手段50は、前処理手段20と共有する多関節ロボット21およびチャックモータ22と、チャックアーム22Aが嵌り込んで固定されることで、第6アーム21Fに対して着脱可能なチャック孔51Aが形成されたフレーム51と、フレーム51に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸引力が付与される吸着パッド52とを備えている。
貼付手段60は、帯状の剥離シートRLの一方の面に接着シートASが仮着された原反RSを支持する支持ローラ61と、原反RSを案内するガイドローラ62と、剥離シートRLから接着シートASを剥離する剥離手段としての剥離板63と、必要部WFNおよびリングフレームRFに接着シートASを押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ64と、駆動機器としての回動モータ65Aによって駆動する駆動ローラ65との間に剥離シートRLを挟み込むピンチローラ66と、図示しない駆動機器によって駆動し、剥離シートRLを回収する回収ローラ67とを備えている。
反転手段70は、駆動機器としてのリニアモータ71のスライダ71Aに支持された駆動機器としての回動モータ72と、その出力軸72A(図2(D)参照)に支持され、中間製品WK2を把持するチャックアーム73Aを有する駆動機器としてのチェックモータ73とを備えている。
剥離手段80は、帯状の剥離用接着シートASRを支持する支持ローラ81と、剥離用接着シートASRを案内するガイドローラ82と、駆動機器としての直動モータ83の出力軸83Aに回転可能に支持された剥離ローラ84と、駆動機器としての回動モータ85Aによって駆動する駆動ローラ85との間に剥離用接着シートASRを挟み込むピンチローラ86と、図示しない駆動機器によって駆動し、剥離用接着シートASRを回収する回収ローラ87とを備えている。
支持手段90は、駆動機器としてのリニアモータ91のスライダ91Aに支持され、上面が保持面92Aとして形成された外側テーブル92と、外側テーブル92に形成された凹部92B内に支持された駆動機器としての直動モータ93と、その出力軸93Aに支持され上面が保持面94Aとして形成された内側テーブル94と、保持面92A、94Aに吸着力を付与する減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段とを備えている。なお、外側テーブル92の後側縁部には、チャックアーム73Aが入り込む切欠部92C(図2(D)参照)が形成されており、内側テーブル94の保持面94Aには、カッター刃24の先端部が入り込む平面視閉ループ状の凹溝94B(図2(A)参照)が形成されている。
以上の除去装置10の動作を説明する。
先ず、各部材が図1中実線で示す初期位置で待機している除去装置10に対し、当該除去装置10の使用者(以下、単に「使用者」という)が原反RSおよび剥離用接着シートASRを同図のようにセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、貼付手段60が回動モータ65Aおよび図示しない駆動機器を駆動し、原反RSを繰り出し、接着シートASの繰出方向先端部が剥離板63で所定量剥離されると、回動モータ65Aおよび図示しない駆動機器の駆動を停止し、スタンバイ状態となる。
次いで、使用者または、駆動機器やコンベア等の図示しない搬送手段が図1(A)、(B)に示すように、先行シートPSを下側にして、一体物WK1を保持面92A、94A上に載置すると、支持手段90が図示しない減圧手段を駆動し、保持面92A、94Aでの一体物WK1の吸着保持を開始する。その後、前処理手段20が多関節ロボット21およびチャックモータ22を駆動し、チャックアーム22Aをチャック孔23A内に差し込み、当該チャックアーム22Aを相互に離間させてカッター刃24を保持する。次に、方位マーク検知手段30がカメラ等を駆動し、ウエハWFの外縁に形成されたVノッチVNの位置、形状、方位等を検知して記憶した後、前処理手段20が多関節ロボット21を駆動し、図2(A)に示すように、カッター刃24をウエハWFおよび先行シートPSの両方に貫通させ、その先端部を凹溝94B内に入り込ませて貫通孔THを形成する。次いで、前処理手段20が多関節ロボット21を駆動し、カッター刃24をウエハWFの外縁に沿って1周させることで、図1(B)に示すように、当該ウエハWFおよび先行シートPSIの両方に平面視閉ループ状の切断線CUを形成し、必要部WFN、不要部WFU、内側先行シートPSIおよび外側先行シートPSOを形成する。このとき、前処理手段20は、必要部WFNに凸部WFCを含めることなく切断線CUを形成するとともに、方位マーク検知手段30の検知結果を基に、VノッチVNのあった位置に対し、位置的に規則性を有する必要部WFNおよび内側先行シートPSIの所定の部位に印MKを形成する。
なお、本実施形態の場合、VノッチVNのあった位置に対し、位置的に規則性を有する必要部WFNおよび内側先行シートPSIの所定の部位とは、VノッチVNのあった位置に最も近い必要部WFNおよび内側先行シートPSIの外縁の位置とする。また、本実施形態では、前処理手段20は、方位マーク検知手段30の検知結果を基に、VノッチVNと同形状の印MKを必要部WFNおよび内側先行シートPSIの外縁の位置に形成するものとなっている。
そして、前処理手段20が多関節ロボット21およびチャックモータ22を駆動し、カッター刃24を初期位置に復帰させた後、チャックアーム22Aをチャック孔41A内に差し込み、上記と同様にして吸着パッド42を保持する。次いで、不要部除去手段40が多関節ロボット21および図示しない減圧手段を駆動し、図2(B)中二点鎖線で示すように、吸着パッド42で搬入用フレームRF1を吸着保持した後、支持手段90が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面92Aでの外側先行シートPSOの吸着保持を解除する。その後、不要部除去手段40が多関節ロボット21を駆動し、図2(B)中実線で示すように、吸着パッド42を上昇させ、外側先行シートPSOを介して搬入用フレームRF1と一体化されている不要部WFUを図示しない所定の回収部に搬送し、図示しない減圧手段の駆動を停止してそれを切り離す。
次に、不要部除去手段40が多関節ロボット21およびチャックモータ22を駆動し、吸着パッド42を初期位置に復帰させた後、チャックアーム22Aをチャック孔51A内に差し込み、上記と同様にして吸着パッド52を保持する。そして、フレーム配置手段50が多関節ロボット21および図示しない減圧手段を駆動し、図示しない所定のストック位置にストックされたリングフレームRFを吸着パッド52で吸着保持し、図2(C)に示すように、リングフレームRFの開口部内に必要部WFNが配置されるように当該リングフレームRFを保持面92A上に載置する。次いで、支持手段90が図示しない減圧手段を駆動し、保持面92AでのリングフレームRFの吸着保持を開始するとともに、フレーム配置手段50が図示しない減圧手段の駆動を停止した後、多関節ロボット21およびチャックモータ22を駆動し、吸着パッド52および第1〜第6アーム21A〜21Fを初期位置に復帰させる。
その後、支持手段90が直動モータ93を駆動し、図2(C)に示すように、必要部WFNの上面がリングフレームRFの上面と同一平面内に位置する高さまで内側テーブル94を上昇させた後、リニアモータ91を駆動し、スライダ91Aを左方へ移動させる。次に、リングフレームRFが貼付手段60に対する所定の位置に到達すると、貼付手段60が回動モータ65Aおよび図示しない駆動機器を駆動し、スライダ91Aの移動速度に合わせて原反RSを繰り出す。これにより、接着シートASが剥離シートRLから剥離され、当該剥離シートRLから剥離された接着シートASは、図1(A)中二点鎖線で示すように、押圧ローラ64によってリングフレームRFの上面および必要部WFNの上面に押圧されて貼付され、内側先行シートPSIが貼付された必要部WFNとリングフレームRFとが接着シートASを介して一体化され、中間製品WK2が形成される。そして、次の接着シートASの繰出方向先端部が剥離板63で所定量剥離されると、貼付手段60が回動モータ65Aおよび図示しない駆動機器の駆動を停止し、再びスタンバイ状態となる。
次いで、スライダ91Aの左方への移動により、チャックアーム73Aの前方に切欠部92Cが到達すると、支持手段90がリニアモータ91の駆動を停止する。その後、反転手段70がチェックモータ73を駆動し、図2(D)中二点鎖線で示すように、チャックアーム73Aで中間製品WK2を保持した後、支持手段90が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面92A、94Aでの当該中間製品WK2の吸着保持を解除する。次に、反転手段70がリニアモータ71および回動モータ72を駆動し、図2(D)中二点鎖線で示すように、チャックアーム73Aで保持した中間製品WK2を所定高さにまで持ち上げた後、当該中間製品WK2を上下反転させる。そして、支持手段90が直動モータ93を駆動し、内側テーブル94を初期位置に復帰させた後、反転手段70がリニアモータ71およびチェックモータ73を駆動し、接着シートASを下側にして中間製品WK2を保持面92A、94A上に載置し、チャックアーム73Aを初期位置に復帰させる。
次いで、支持手段90が図示しない減圧手段を駆動し、保持面92A、94Aでの中間製品WK2の吸着保持を開始した後、リニアモータ91を駆動し、スライダ91Aを左方へ移動させる。その後、図1(A)中二点鎖線で示すように、中間製品WK2における内側先行シートPSIの左端部が剥離ローラ84の最下端部直下に到達すると、支持手段90がリニアモータ91の駆動を停止した後、剥離手段80が直動モータ83を駆動し、剥離ローラ84を下降させて剥離用接着シートASRを内側先行シートPSIの左端部に貼付する。次に、支持手段90および剥離手段80がリニアモータ91および回動モータ85A、図示しない駆動機器を駆動し、図2(E)に示すように、スライダ91Aを左方へ移動させる移動速度に合わせて剥離用接着シートASRを回収ローラ87で巻き取る。これにより、内側先行シートPSIが必要部WFNから剥離され、当該内側先行シートPSIが必要部WFNから完全に剥離されると、必要部WFNとリングフレームRFとが接着シートASを介して一体化された完成製品WK3が形成される。そして、剥離手段80が直動モータ83を駆動し、剥離ローラ84を初期位置に復帰させた後、回動モータ85Aおよび図示しない駆動機器の駆動を停止する。次いで、完成製品WK3が剥離手段80の左方所定位置に到達すると、支持手段90がリニアモータ91および図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面92A、94Aでの完成製品WK3の吸着保持を解除して、使用者または図示しない搬送手段が当該完成製品WK3を次工程に搬送した後、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
なお、次工程以降では、必要部WFNの外縁に形成された印MKの位置を他の装置が認識することで、当該必要部WFNの所定の位置に所定の処理を施すことができる。
以上のような除去装置10によれば、必要部WFNおよび内側先行シートPSIの所定の位置に他の装置が認識可能な印MKを形成するので、ウエハWFの外縁部を除去しても、当該ウエハWFの方位が解らなくなることを防止することができる。
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、不要部除去手段は、外側先行シートが貼付された不要部を除去可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(その他の手段および工程も同じ)。
前処理手段20は、切断線CUとして上述した種々の擬似的な切断線を形成してもよいし、前処理器具としてカッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等を採用してもよいし、前処理器具を停止または移動させつつ先行シートPSが貼付されたウエハWFを移動させて当該ウエハWFおよび先行シートPSに切断線CUを形成してもよいし、平面視円形以外の例えば楕円形や多角形等の切断線CUを形成してもよい。
前処理手段20は、VノッチVNのあった位置に対し、位置的に規則性を有する必要部WFNおよび内側先行シートPSIの少なくとも一方の所定の部位として、例えば、図3(A)に示すように、VノッチVNのあった位置に最も遠い必要部WFNおよび内側先行シートPSIの少なくとも一方の外縁の位置に印MKを形成してもよいし、図3(B)に示すように、VノッチVNのあった位置からウエハWFの中心WCに向かうVノッチ直線VLと必要部WFNの外縁との交点CPを起点とし、当該Vノッチ直線VLに対して例えば30°や45°といった所定角度傾いた位置の必要部WFNおよび内側先行シートPSIの少なくとも一方の外縁の位置に印MKを形成してもよい。
前処理手段20は、図3(C)に示すように、必要部WFNおよび内側先行シートPSIの少なくとも一方の外縁の位置ではなく、必要部WFNおよび内側先行シートPSIの少なくとも一方の面内に印MKを形成してもよいし、図3(D)に示すように、必要部WFNおよび内側先行シートPSIの少なくとも一方に印MKを複数形成してもよいし、図3(E)に示すように、相互に異なる形状の複数の印MKを形成してもよいし、図3(F)に示すように、オリエンテーションフラット形状の印MKを形成してもよいし、図3各図に示すように、印MKの形状として、例えば、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形等の印MKを形成してもよいし、図3(E)に示すように、オリエンテーションフラットOFが形成されているウエハWFに対し、必要部WFNおよび内側先行シートPSIの少なくとも一方の外縁にVノッチ形状の印MKを形成してもよいし、図3(F)に示すように、VノッチVNが形成されているウエハWFに対し、必要部WFNおよび内側先行シートPSIの少なくとも一方の外縁にオリエンテーションフラット形状の印MKを形成してもよいし、方位マーク検知手段30の検知結果を基にせずに、印MKを形成してもよいし、必要部WFNに凸部WFCが含まれるように切断線CUを形成してもよい。
前処理手段20は、必要部WFNのみに印MKを形成してもよいし、内側先行シートPSIのみに印MKを形成してもよい。このように必要部WFNのみに印MKを形成する場合、例えば、図1(A)中実線で示すように、支持手段90で一体物WK1を支持した状態で、前処理手段20が必要部WFNの外縁のみに印MKが形成されるように、ウエハWFのみに切断線CUを形成する。次いで、反転手段70または反転手段70と同等のもので当該一体物WK1を上下反転させた後、内側先行シートPSIに印MKが形成されないように、前処理手段20がウエハWFに形成した切断CU線に沿って先行シートPSのみに切断線CUを形成すればよい。また、内側先行シートPSIのみに印MKを形成する場合、例えば、図1(A)中実線で示すように、支持手段90で一体物WK1を支持した状態で、前処理手段20が必要部WFNの外縁に印MKが形成されないように、ウエハWFのみに切断線CUを形成する。次いで、反転手段70または反転手段70と同等のもので当該一体物WK1を上下反転させた後、内側先行シートPSIのみに印MKが形成されるように、前処理手段20がウエハWFに形成した切断線CUに沿って先行シートPSのみに切断線CUを形成すればよい。なお、内側先行シートPSIに印MKを形成する場合、剥離手段80はなくてもよい。
方位マーク検知手段30は、方位マークの有無、方位マークの位置および方位マークの形状のうち少なくとも1つを検知可能なものでもよい。
不要部除去手段40は、外側先行シートPSO、不要部WFUおよび搬入用フレームRF1の少なくとも1つを保持する構成としてもよいし、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で外側先行シートPSO、不要部WFUおよび搬入用フレームRF1の少なくとも1つを保持する構成でもよいし、外側先行シートPSO、不要部WFUおよび搬入用フレームRF1を分離することなく、それらを同じ位置に搬送する構成でもよいし、それらの内の少なくとも1つ分離して別々の位置に搬送する構成でもよいし、それらを回収する回収部は、当該除去装置10の内部でもよいし、当該除去装置10の外部でもよい。
フレーム配置手段50は、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等でリングフレームRFを保持する構成でもよいし、環状の部材、環状でない部材、例えば、円形状、楕円形状、三角形状や四角形状等の多角形状の部材、その他の形状の部材からなるフレーム部材を必要部WFNの近傍に載置する構成でもよい。
貼付手段60は、剥離シートRLに仮着された帯状の接着シート基材に複数の閉ループ状の切込が形成されることで、その内側が接着シートASとして形成された原反RSを繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートRLに仮着された原反RSが採用された場合、前処理器具と同等の切断手段により、接着シート基材に所定形状の切断線を形成してその内側を接着シートASとしてもよいし、接着シートASを剥離シートRLから剥離する際、原反RSに所定の張力が付与されるように回動モータ65Aのトルク制御を行ってもよいし、支持ローラ61やガイドローラ62等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反RSや剥離シートRLを支持したり案内したりしてもよいし、駆動ローラ65とピンチローラ66とで剥離シートRLを挟み込むことなく原反RSに繰出力を付与する構成でもよいし、原反RSを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートRLを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、必要部WFNおよびリングフレームRFを移動させずにまたは移動させつつ、自身(貼付手段60)を移動させて必要部WFNおよびリングフレームRFに接着シートASを貼付する構成としてもよい。
押圧手段は、押圧ローラ64を必要部WFNおよびリングフレームRFに離間接近させる押圧手段接離手段としての駆動機器を設け、必要部WFNやリングフレームRFにストレスがかかったり損傷したりすることを防止することとしてもよく、このような押圧手段接離手段としては、駆動機器以外に手動で押圧ローラ64を移動させるものでもよい。
反転手段70は、吸引力、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で中間製品WK2を保持する構成でもよいし、中間製品WK2におけるリングフレームRF、接着シートAS、内側先行シートPSIおよび必要部WFNのうち少なくとも1つを保持する構成としてもよいし、中間製品WK2を上昇させることなく、外側テーブル92や内側テーブル94を移動させておいて当該中間製品WK2を上下反転させてもよいし、支持手段90に支持されている構成としてもよいし、剥離手段80が支持手段90に支持された中間製品WK2の下方から内側先行シートPSIを剥離できる構成であればなくてもよい。
剥離手段80は、剥離ローラ84が昇降しない構成としてもよいし、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で内側先行シートPSIを保持して剥離する構成でもよいし、支持手段90に支持されている構成としてもよいし、枚葉の剥離用接着シートASRを内側先行シートPSIに貼付し、当該枚葉の剥離用接着シートASRに張力を付与して必要部WFNから内側先行シートPSIを剥離する構成としてもよいし、必要部WFNを移動させずにまたは移動させつつ、自身(剥離手段80)を移動させて必要部WFNから内側先行シートPSIを剥離する構成としてもよい。
支持手段90は、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で一体物WK1や中間製品WK2や完成製品WK3を保持する構成でもよいし、内側テーブル94が昇降せずに、外側テーブル92が昇降して必要部WFNの上面がリングフレームRFの上面と同一平面内に位置するように構成してもよいし、内側テーブル94と外側テーブル92との両方が昇降しない構成でもよいし、内側テーブル94と外側テーブル92とに分かれていなくてもよい。
除去装置10は、前処理手段20、不要部除去手段40およびフレーム配置手段50において、多関節ロボット21とチャックモータ22とを共有の駆動機器として構成したが、それら全ての手段が別々の駆動機器で駆動する構成としてもよいし、それら手段のうち少なくとも2つにおいて共有の駆動機器で駆動する構成としてもよいし、不要部WFUおよびリングフレームRFを保持できれば、不要部除去手段40およびフレーム配置手段50を共通のもので構成してもよいし、天地反転して配置したり横向きに配置したりして切断線CUを形成したり、不要部WFUを除去したり、接着シートASを貼付したりしてもよいし、先行シートPSが所定のエネルギーによって、その接着力が低下するものの場合、必要部WFNから内側先行シートPSIを剥離する前に、所定のエネルギーを付与可能なエネルギー付与手段で先行シートPSの接着力を低下させてもよい。なお、このようなエネルギー付与手段は、あらゆる波長の電磁波(例えば紫外線、X線、赤外線等)、加熱または冷却された気体や液体等の流体等をエネルギーとして先行シートPSに付与するものでもよく、先行シートPSの構成に応じて当該先行シートPSの接着力を低下できるエネルギーを付与可能なものであれば何でもよい。
除去装置10は、方位マーク検知手段30、フレーム配置手段50、貼付手段60、反転手段70、剥離手段80および支持手段90のうち少なくとも1つが備わっていなくてもよい。
ウエハWFは、支持部材と一体化されていなくてもよいし、閉ループ状の凸部が形成されていてもよいし、断続的な凸部が形成されていてもよいし、凸部が形成されていなくてもよい。
支持部材は、環状の部材でもよいし、環状でない部材でもよいし、例えば、円形状、楕円形状、三角形や四角形等の多角形状の部材でもよいし、その他の形状の部材でもよいし、あってもよいし、なくてもよい。
ウエハWFに予め形成されている方位マークは、オリエンテーションフラットOFや印刷、塗装、ラベル、罫書、刻印等でもよい。
前処理手段20が、必要部WFNおよび内側先行シートPSIの両方に印MKを形成した場合や、必要部WFNのみに印MKを形成した場合、他の装置は、必要部WFNに形成された印MKを認識して必要部WFNを搬送したり、必要部WFNや内側先行シートPSIに所定の処理を施したりすることができる。
前処理手段20が、必要部WFNおよび内側先行シートPSIの両方に印MKを形成した場合や、内側先行シートPSIのみに印MKを形成した場合、他の装置は、内側先行シートPSIに形成された印MKを認識して必要部WFNを搬送したり、必要部WFNや内側先行シートPSIに所定の処理を施したりすることができる。
前処理手段20が、必要部WFNおよび内側先行シートPSIの両方に印MKを形成した場合、他の装置は、必要部WFNおよび内側先行シートPSIに形成された印MKのうち、少なくとも一方を認識して必要部WFNを搬送したり、必要部WFNや内側先行シートPSIに所定の処理を施したりすることができる。
本願でいう他の装置とは、例えは、ウエハWFの搬送するものや、ウエハWFを研削したり切断したりするものや、ウエハWFに被膜や接着シート等を積層するもの等、当該ウエハWFを取り扱うものであれば何でもよい。
本発明における接着シートAS、先行シートPS、剥離用接着シートASRおよびウエハWFの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートAS、先行シートPS、剥離用接着シートASRおよびウエハWFは、例えば、円形状、楕円形状、三角形状や四角形状等の多角形状、その他の形状であってもよいし、接着シートAS、先行シートPSおよび剥離用接着シートASRは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性のものが採用された場合は、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段で加熱して接着すればよい。また、接着シートAS、先行シートPSおよび剥離用接着シートASRは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、そのような両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってもよい。また、ウエハWFとしては、例えば、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、半導体チップであってもよい。なお、接着シートASおよび先行シートPSは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよい。
10…除去装置
20…前処理手段
30…方位マーク検知手段
40…不要部除去手段
50…フレーム配置手段
60…貼付手段
80…剥離手段
AS…接着シート
CU…切断線
MK…印
PS…先行シート
PSI…内側先行シート
PSO…外側先行シート
RF…リングフレーム(フレーム部材)
VN…Vノッチ(方位マーク)
WF…半導体ウエハ
WFC…凸部
WFN…必要部
WFU…不要部

Claims (6)

  1. 一方の面と他方の面とを備え、当該他方の面に予め先行シートが貼付された半導体ウエハの外縁に沿って、当該半導体ウエハおよび前記先行シートに閉ループ状の切断線を形成することで、前記半導体ウエハにおける前記切断線の内側に必要部を形成するとともに前記切断線の外側に不要部を形成し、かつ、前記先行シートにおける前記切断線の内側に内側先行シートを形成するとともに前記切断線の外側に外側先行シートを形成する前処理手段と、
    前記外側先行シートが貼付された前記不要部を除去する不要部除去手段とを備え、
    前記前処理手段は、前記必要部および前記内側先行シートの少なくとも一方の所定の位置に、他の装置が認識可能な印を形成可能に構成されていることを特徴とする除去装置。
  2. 前記内側先行シートが貼付された前記必要部の近傍にフレーム部材を配置するフレーム配置手段と、
    前記必要部および前記フレーム部材に接着シートを貼付し、当該接着シートを介して前記内側先行シートが貼付された前記必要部および前記フレーム部材を一体化する貼付手段とを備えていることを特徴とする請求項1に記載の除去装置。
  3. 前記半導体ウエハは、外縁に一方の面から起立した凸部が形成され、
    前記前処理手段は、前記必要部に前記凸部を含めることなく前記切断線を形成することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の除去装置。
  4. 前記半導体ウエハの外縁に形成された方位を示す方位マークを検知可能な方位マーク検知手段を備え、
    前記前処理手段は、前記方位マーク検知手段の検知結果を基に、前記方位マークのあった位置に対し、位置的に規則性を有する前記必要部および前記内側先行シートの少なくとも一方の所定の部位に前記印を形成することを特徴とする請求項1ないし請求項3の何れかに記載の除去装置。
  5. 前記内側先行シートを前記必要部から剥離する剥離手段を備えることを特徴とする請求項1ないし請求項4の何れかに記載の除去装置。
  6. 一方の面と他方の面とを備え、当該他方の面に予め先行シートが貼付された半導体ウエハの外縁に沿って、当該半導体ウエハおよび前記先行シートに閉ループ状の切断線を形成することで、前記半導体ウエハにおける前記切断線の内側に必要部を形成するとともに前記切断線の外側に不要部を形成し、かつ、前記先行シートにおける前記切断線の内側に内側先行シートを形成するとともに前記切断線の外側に外側先行シートを形成する前処理工程と、
    前記外側先行シートが貼付された前記不要部を除去する不要部除去工程とを備え、
    前記前処理工程において、前記必要部および前記内側先行シートの少なくとも一方の所定の位置に、他の装置が認識可能な印を形成することを特徴とする除去装置。
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