JP2018199318A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018199318A5 JP2018199318A5 JP2017147581A JP2017147581A JP2018199318A5 JP 2018199318 A5 JP2018199318 A5 JP 2018199318A5 JP 2017147581 A JP2017147581 A JP 2017147581A JP 2017147581 A JP2017147581 A JP 2017147581A JP 2018199318 A5 JP2018199318 A5 JP 2018199318A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- surface side
- nozzle
- repellent layer
- nozzle plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 29
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims 20
- 239000005871 repellent Substances 0.000 claims 15
- 230000002940 repellent Effects 0.000 claims 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 9
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 claims 6
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims 4
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N Fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 3
- 239000002612 dispersion media Substances 0.000 claims 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims 2
- 230000001678 irradiating Effects 0.000 claims 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N oxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 claims 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims 1
Claims (20)
- 液体が噴射されるノズルが一の面側に開口されたノズルプレートを備えた液体噴射ヘッドであって、
前記ノズルプレートの前記一の面側には、架橋したフッ素樹脂を含む撥液層が形成されたことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記撥液層は、前記一の面側と架橋していることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記ノズルプレートの前記一の面側には、前記液体から保護する保護層が形成され、
前記保護層の前記一の面側に前記撥液層が積層されたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記保護層は、導電性を有することを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記ノズルの延在方向と交差する方向における第１位置と、前記交差する方向において前記第１位置よりも前記ノズルから遠い第２位置と、について、
前記第１位置における前記保護層は、前記第２位置における前記保護層よりも、前記延在方向に沿った前記一の面と反対の面側に設けられることを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記第１位置における前記撥液層は、前記第２位置における前記撥液層よりも、前記延在方向における厚さが厚いことを特徴とする請求項５に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記第１位置における前記撥液層の前記一の面側の表面と、前記第２位置における前記撥液層の前記一の面側の表面とは、前記延在方向において同じ位置に位置することを特徴とする請求項６に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記ノズルは、前記開口を含む第１の部分と、前記第１の部分と連通する第２の部分とを有し、
前記第１の部分における前記開口の径は、前記第２の部分の径より大きく、
前記撥液層は、前記第１の部分に形成されたことを特徴とする請求項１から請求項７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記第１の部分は、前記開口の縁の角を切り欠いた形状に形成されたことを特徴とする請求項８に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記第１の部分は、前記開口の縁の角を斜めに面取りした形状に形成されたことを特徴とする請求項８に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記第１の部分は、前記開口の縁の角を丸めた形状に形成されたことを特徴とする請求項８に記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項１から請求項１１の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
- 液体が噴射されるノズルが開口された一の面側に、架橋したフッ素樹脂を含む撥液層が形成されたノズルプレートの製造方法であって、
前記一の面側に架橋前の未架橋フッ素樹脂を含む未架橋フッ素樹脂含有層を積層する未架橋フッ素樹脂含有層積層工程と、
酸素濃度が所定値以下の低酸素雰囲気下において、前記未架橋フッ素樹脂含有層を加熱した状態で放射線を照射して、架橋前の前記未架橋フッ素樹脂を架橋させて前記撥液層を形成する架橋工程と、を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法。 - 前記ノズル内に形成された前記撥液層の少なくとも一部を除去する除去工程を含むことを特徴とする請求項１３に記載のノズルプレートの製造方法。
- 前記除去工程は、前記ノズルに対応する位置に貫通孔が形成されたマスクを前記一の面側から前記撥液層に重ね合わせた状態で前記一の面側からイオンビーム又は放射線を照射することにより、前記ノズル内に形成された前記撥液層の少なくとも一部を除去することを特徴とする請求項１４に記載のノズルプレートの製造方法。
- 前記除去工程は、前記一の面側とは反対側の面側からイオンビーム又は放射線を照射することにより、前記ノズル内に形成された前記撥液層の少なくとも一部を除去することを特徴とする請求項１４に記載のノズルプレートの製造方法。
- 前記架橋工程の後、前記撥液層の表面を研磨する研磨工程を含むことを特徴とする請求項１３から請求項１６の何れか一項に記載のノズルプレートの製造方法。
- 前記未架橋フッ素樹脂含有層積層工程は、前記未架橋フッ素樹脂の粒子と前記未架橋フッ素樹脂の粒子を分散させる分散媒とを含むディスパージョンを前記一の面側に塗布するディスパージョン塗布工程と、
前記一の面側に塗布された前記ディスパージョンから前記分散媒を蒸発させる乾燥工程と、を含むことを特徴とする請求項１３から請求項１７の何れか一項に記載のノズルプレートの製造方法。 - 前記未架橋フッ素樹脂含有層積層工程は、前記未架橋フッ素樹脂を含む樹脂シートを前記一の面に密着させるシート配置工程を含むことを特徴とする請求項１３から請求項１８の何れか一項に記載のノズルプレートの製造方法。
- 前記架橋工程において、前記ノズルから吸引しながら前記未架橋フッ素樹脂を架橋させることを特徴とする請求項１３から請求項１９の何れか一項に記載のノズルプレートの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810288553.XA CN108928118B (zh) | 2017-05-26 | 2018-04-03 | 喷嘴板、液体喷射头、液体喷射装置以及喷嘴板的制造方法 |
| US15/987,615 US10399340B2 (en) | 2017-05-26 | 2018-05-23 | Nozzle plate, liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, and method of manufacturing nozzle plate |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017104230 | 2017-05-26 | ||
| JP2017104230 | 2017-05-26 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2018199318A JP2018199318A (ja) | 2018-12-20 |
| JP2018199318A5 true JP2018199318A5 (ja) | 2020-08-27 |
| JP7003473B2 JP7003473B2 (ja) | 2022-01-20 |
Family
ID=64666861
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017147581A Active JP7003473B2 (ja) | 2017-05-26 | 2017-07-31 | ノズルプレート、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び、ノズルプレートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7003473B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7087521B2 (ja) * | 2018-03-22 | 2022-06-21 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
| KR102589497B1 (ko) * | 2019-07-30 | 2023-10-13 | 휴렛-팩커드 디벨롭먼트 컴퍼니, 엘.피. | 균일한 프린트 헤드면 코팅 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0752395A (ja) * | 1993-08-20 | 1995-02-28 | Seiko Epson Corp | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| JP2000006423A (ja) | 1998-06-19 | 2000-01-11 | Sony Corp | インクジェット記録用ヘッドの製造方法 |
| JP2001038915A (ja) | 1999-08-02 | 2001-02-13 | Seiko Epson Corp | ノズルプレートの製造方法 |
| JP2006175762A (ja) | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッドの製造方法 |
| JP2006263950A (ja) | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | インクジェット記録ヘッド及びそれを用いたインクジェット記録装置 |
| KR100687570B1 (ko) | 2005-07-19 | 2007-02-27 | 삼성전기주식회사 | 잉크젯 헤드용 노즐 및 그 제조방법 |
| KR20080004225A (ko) | 2006-07-05 | 2008-01-09 | 삼성전자주식회사 | 잉크젯 헤드의 노즐 플레이트 및 그 제조방법 |
| JP5471646B2 (ja) | 2010-03-15 | 2014-04-16 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド及び画像形成装置 |
| JP5708542B2 (ja) | 2012-03-28 | 2015-04-30 | コニカミノルタ株式会社 | ノズルプレートの製造方法 |
| JP2013233726A (ja) | 2012-05-09 | 2013-11-21 | Konica Minolta Inc | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
-
2017
- 2017-07-31 JP JP2017147581A patent/JP7003473B2/ja active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6705014B2 (ja) | サファイアを切断するための方法及び装置 | |
| KR20150099832A (ko) | 성막 마스크의 제조 방법 | |
| JP2018199318A5 (ja) | ||
| JP2014178502A5 (ja) | ||
| KR102345170B1 (ko) | 기판의 가공방법 | |
| JP6680878B2 (ja) | 回路形成方法 | |
| MX2020005591A (es) | Metodo para producir un panel recubierto, impreso. | |
| US20150239066A1 (en) | Substrate cutting apparatus and method of manufacturing display apparatus by using a substrate cutting apparatus | |
| JP2012166539A5 (ja) | ||
| US10414685B2 (en) | Substrate processing method | |
| WO2016189577A1 (ja) | 配線形成方法 | |
| JP2017186185A5 (ja) | ||
| JP2014236169A (ja) | 薄膜形成方法及び薄膜形成装置 | |
| JP6758109B2 (ja) | 接着方法、インク層形成体の製造方法及びインク層形成体 | |
| JP2015115526A (ja) | チャックテーブルの成形方法 | |
| US20170348534A1 (en) | Method to pattern <10 micrometer conducting and passivating features on 3d substrates for implantable devices | |
| US10093108B1 (en) | System and method for attenuating oxygen inhibition of ultraviolet ink curing on an image on a three-dimensional (3D) object during printing of the object | |
| TWI674200B (zh) | 指紋感測單元壓印系統及其方法 | |
| KR102656671B1 (ko) | 다층 회로 기판의 제조장치 및 다층 회로 기판의 제조방법 | |
| JP2019040957A (ja) | 基板処理装置および遮蔽板 | |
| TWI464795B (zh) | 局部表面處理的遮罩方法 | |
| JP2012091095A5 (ja) | ||
| WO2017017726A1 (ja) | ３次元造形物造形装置 | |
| JP2021015938A (ja) | 水溶性の樹脂シート及びウェーハの加工方法 | |
| JP2018160640A (ja) | 基板製造方法及び基板製造装置 |