JP2015115526A - チャックテーブルの成形方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】保持面(12)が円板状の多孔質部材(11)によって形成されるチャックテーブル(1)の成形方法であって、板状ワーク(W2)の形状に合わせて保持面にマスク部材(5)を載置することにより保持面上にマスク領域及び非マスク領域を形成するマスク工程と、非マスク領域に樹脂(6)を供給する樹脂供給工程と、非マスク領域に供給された樹脂を保持面から多孔質部材の内部に吸引する吸引工程と、多孔質部材の内部で樹脂を硬化する硬化工程と、保持面のマスク領域からマスク部材を剥離する剥離工程と、を備える構成とした。
【選択図】図8
Description
1 チャックテーブル
11 多孔質部材
12 保持面
13 枠体
14 ベース部材
15 円形凹部
16 連通孔
17 吸引源
18 吸引領域
19 非吸引領域
2 樹脂供給手段
21 ノズル
22 移動手段
3 樹脂除去手段
31 スクレーパ
32 移動手段
4 シート
5 マスク部材
6 樹脂
7 UVランプ
Claims (5)
- 板状ワークを吸引保持する保持面を有する円板状の多孔質部材と、該多孔質部材を囲繞し該保持面を吸引源に連通する連通孔を備える枠体とから少なくとも構成されるチャックテーブルの、該保持面に該保持面より小さい面積の板状ワークを吸引保持させるため該保持面を該板状ワークの面積に適した面積だけ吸引可能にするチャックテーブルの成形方法であって、
該保持面で保持する該板状ワークの面積に適した面積で該保持面をマスクするマスク工程と、
該マスク工程でマスクされた該保持面に樹脂を供給する樹脂供給工程と、
該樹脂供給工程で供給された該樹脂を該保持面で吸引する吸引工程と、
該吸引工程で該保持面より該多孔質部材の内部に吸引され侵入した該樹脂を硬化させる硬化工程と、
該硬化工程の後、該保持面をマスクしたマスク部材を該保持面から剥離させる剥離工程と、によるチャックテーブルの成形方法。 - 該硬化工程で該保持面から突出して硬化した樹脂を除去する除去工程を含む、請求項1記載のチャックテーブルの成形方法。
- 該樹脂は、熱硬化性であって、
該硬化工程では、該チャックテーブルを加温して該多孔質部材の内部に吸引された該樹脂を硬化させる請求項1または2記載のチャックテーブルの成形方法。 - 該樹脂は、熱可塑性であって、
該吸引工程では、該チャックテーブルを加温して該樹脂を吸引させ、
該硬化工程では、該チャックテーブルを冷却して該多孔質部材の内部に吸引された該樹脂を硬化させる請求項1または2記載のチャックテーブルの成形方法。 - 該樹脂は、紫外線硬化性であって、
該硬化工程では、該保持面より紫外線を照射して該多孔質部材の内部に吸引された該樹脂を硬化させる請求項1または2記載のチャックテーブルの成形方法。
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