JP2015115526A - チャックテーブルの成形方法 - Google Patents

Abstract

【課題】保持面と異なる形状の板状ワークを容易に吸引保持可能なチャックテーブルを成形すること。
【解決手段】保持面（１２）が円板状の多孔質部材（１１）によって形成されるチャックテーブル（１）の成形方法であって、板状ワーク（Ｗ２）の形状に合わせて保持面にマスク部材（５）を載置することにより保持面上にマスク領域及び非マスク領域を形成するマスク工程と、非マスク領域に樹脂（６）を供給する樹脂供給工程と、非マスク領域に供給された樹脂を保持面から多孔質部材の内部に吸引する吸引工程と、多孔質部材の内部で樹脂を硬化する硬化工程と、保持面のマスク領域からマスク部材を剥離する剥離工程と、を備える構成とした。
【選択図】図８

Description

本発明は、板状ワークを吸引保持するチャックテーブルの成形方法に関し、特に、小径の板状ワークを吸引保持するチャックテーブルの成形方法に関する。

従来、研削装置においては、円形状の板状ワークをチャックテーブルに搬入し、板状ワークを吸引保持したチャックテーブルと研削ホイールとを相対回転させることによって板状ワークを研削している。このような研削装置において、チャックテーブルの保持面は、板状ワークの形状に合わせて円形状を有している。保持面上に板状ワークが載置されると、保持面は板状ワークによって全面が覆われる。このため、吸引時は吸引漏れを起こすことなく板状ワークが保持面全体に吸引保持される（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１３−６６９５８号公報

特許文献１に記載のチャックテーブルにおいて、保持面と異なる形状の板状ワーク、例えば、矩形状の板状ワークや保持面より小径の円板状の板状ワークを保持することも考えられる。この場合、板状ワークが載置されない保持面上の露出領域をシートで覆うことにより、吸引漏れを起こすことなく板状ワークの吸引保持が可能になっている。

しかしながら、保持面上の露出領域をシートで覆う場合、板状ワークの吸引保持が解除されると共にシートの吸引保持も解除され、シートは保持面から離反される。このため、板状ワークを吸引保持する度に保持面の露出領域をシートで覆う作業が必要となる。そこで、板状ワークの吸引保持の度にシートを覆う作業を省くため、シートの代わりに粘着層を有するテープを露出領域に貼着することも考えられる。しかしながら、この場合、板状ワークを吸引した後に粘着層の一部が保持面に残り、保持面の平坦度に影響を与えてしまう可能性がある。この結果、板状ワークの適切な吸引保持ができなくなることがある。このように、チャックテーブルの保持面と異なる形状の板状ワークを吸引する場合、保持面上の露出領域をシート等で覆うことは煩わしいという問題がある。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、チャックテーブルの保持面と異なる形状の板状ワークを容易に吸引することができるチャックテーブルの成形方法を提供することを目的とする。

本発明のチャックテーブルの成形方法は、板状ワークを吸引保持する保持面を有する円板状の多孔質部材と、多孔質部材を囲繞し保持面を吸引源に連通する連通孔を備える枠体とから少なくとも構成されるチャックテーブルの、保持面に保持面より小さい面積の板状ワークを吸引保持させるため保持面を板状ワークの面積に適した面積だけ吸引可能にするチャックテーブルの成形方法であって、保持面で保持する板状ワークの面積に適した面積で保持面をマスクするマスク工程と、マスク工程でマスクされた保持面に樹脂を供給する樹脂供給工程と、樹脂供給工程で供給された樹脂を保持面で吸引する吸引工程と、吸引工程で保持面より多孔質部材の内部に吸引され侵入した樹脂を硬化させる硬化工程と、硬化工程の後、保持面をマスクしたマスク部材を保持面から剥離させる剥離工程と、によって構成されることを特徴とする。

この構成によれば、マスクされた部分には多孔質部材の内部に樹脂が充填されず、マスクされなかった部分には多孔質部材の内部に樹脂が充填される。この結果、チャックテーブルの保持面には、板状ワークの面積に適した面積だけ吸引可能な吸引領域と、板状ワークが吸引されない非吸引領域とが形成される。このように、板状ワークの形状に合わせて吸引領域を形成することができるため、保持面と異なる形状の板状ワークを吸引保持する際に、吸引漏れを起こすことなく容易に板状ワークを保持面上に吸引保持することができる。よって、吸引漏れを防止するために保持面の露出領域をシート等で覆う必要がない。

また、本発明の上記チャックテーブルの成形方法は、硬化工程で保持面から突出して硬化した樹脂を除去する除去工程を含むことを特徴とする。

また、本発明の上記チャックテーブルの成形方法において、樹脂は、熱硬化性であって、硬化工程では、チャックテーブルを加温して多孔質部材の内部に吸引された樹脂を硬化させることを特徴とする。

また、本発明の上記チャックテーブルの成形方法において、樹脂は、熱可塑性であって、吸引工程では、チャックテーブルを加温して樹脂を吸引させ、硬化工程では、チャックテーブルを冷却して多孔質部材の内部に吸引された樹脂を硬化させることを特徴とする。

また、本発明の上記チャックテーブルの成形方法において、樹脂は、紫外線硬化性であって、硬化工程では、保持面より紫外線を照射して多孔質部材の内部に吸引された樹脂を硬化させることを特徴とする。

本発明によれば、板状ワークの形状に合わせて保持面をマスクした状態で多孔質部材内部に樹脂を充填することにより、保持面と異なる形状の板状ワークを容易に吸引可能なチャックテーブルを成形することができる。

通常のチャックテーブルの模式図及び斜視図である。 本実施の形態に係るマスク工程の一例を示す図である。 本実施の形態に係る樹脂供給工程の一例を示す図である。 本実施の形態に係る吸引工程の一例を示す図である。 本実施の形態に係る硬化工程の一例を示す図である。 本実施の形態に係る剥離工程の一例を示す図である。 本実施の形態に係る除去工程の一例を示す図である。 本実施の形態に係るチャックテーブルで板状ワークを吸引保持動作を説明するための模式図である。 第１の変形例に係るチャックテーブルの成形方法を示す図である。 第２の変形例に係るチャックテーブルの成形方法を示す図である。

以下、添付図面を参照して、本実施の形態に係るチャックテーブルの成形方法について説明する。以下の説明においては、研削装置に使用されるチャックテーブルの成形方法について説明するが、この構成に限定されない。本実施の形態に係るチャックテーブルは、保持面と異なる形状の板状ワークを保持するものであれば、どのような加工装置に適用されてもよく、例えば、切削装置にも適用可能である。

先ず、図１を参照して、通常のチャックテーブルの保持面に板状ワークを載置する場合について説明する。図１は、通常のチャックテーブルの模式図及び斜視図である。図１Ａは、保持面と略同形状の板状ワークが保持面に載置された状態を示し、図１Ｂは、保持面と異なる形状の板状ワークが保持面に載置される場合について示している。また、図１Ｃは、保持面の露出領域をシートで覆う場合の一例を示している。

図１Ａに示すように、研削装置の加工対象となる板状ワークＷ１は、略円板状の半導体ウエーハであり、表面に格子状に配列された分割予定ライン（不図示）によって複数の領域に区画されている。板状ワークＷ１は、半導体ウエーハだけでなく、セラミック、ガラス、サファイア系の光デバイスウエーハでもよい。

チャックテーブル１は、円板状の多孔質部材１１をベース部材１４に装着して構成されている。ベース部材１４には多孔質部材１１を囲繞する枠体１３が設けられており、枠体１３によって多孔質部材１１の外形に相補形状の円形凹部１５が形成されている。多孔質部材１１は、例えば、ポーラスセラミック材により形成され、多孔質部材１１の表面は、板状ワークＷ１を吸引保持する保持面１２になっている。ベース部材１４の中心には吸引源１７に連なる管路と円形凹部１５とを連通する連通孔１６が形成されている。多孔質部材１１の保持面１２は、この連通孔１６を通じて吸引源１７に接続される。

一般に、加工対象となる板状ワークＷ１は、保持面１２と略同形状の円板状に形成されている。このため、板状ワークＷ１が載置されると保持面１２は板状ワークＷ１によって全面が覆われた状態となり、吸引源１７に吸引されることによって板状ワークＷ１が保持面１２に吸引保持される（図１Ａ参照）。しかしながら、加工対象となる板状ワークが保持面１２とは異なる形状、例えば、矩形状の板状ワークＷ２や、保持面１２より小径の板状ワークＷ３によって構成されることも考えられる（図１Ｂ参照）。このような板状ワークＷ２、Ｗ３が保持面１２に載置されると、保持面１２上には板状ワークＷ２、Ｗ３が載置されない露出領域が形成される。露出領域が形成された状態で板状ワークＷ２、Ｗ３が吸引されると吸引漏れ（吸引不良）が生じて吸引力が低下されるため、板状ワークＷ２、Ｗ３を適切に保持することができないおそれがある。そこで、図１Ｃに示すように保持面１２の露出領域をシート４で覆うことが考えられる。

図１Ｃに示す状態では、保持面１２と形状が異なる板状ワークＷ２が保持面１２に載置され、板状ワークＷ２が載置されない露出領域には、露出領域を覆うようにシート４が設けられている。シート４は、保持面１２と略同径の円形状に形成されており、板状ワークＷ２の外径形状に合わせて一部がくりぬかれている。この場合、露出領域がシート４によって覆われているため、保持面１２が吸引されても吸引漏れを起こすことなく板状ワークＷ２を吸引保持することができる。しかしながら、露出領域をシート４で覆う場合、板状ワークＷ２の吸引保持が解除されると同時にシート４の吸引保持も解除されてしまう。このため、板状ワークＷ２の吸引保持の度にシート４をセッティングする必要がある。

本実施の形態においては、図１に示す通常のチャックテーブル１に対して、保持面１２に板状ワークＷ２を載置する際に露出領域となりうる箇所に樹脂を塗布し、多孔質部材１１の内部に樹脂を充填させ硬化させている。このため、多孔質部材１１の内部に存在する無数の空孔が樹脂によって埋められ、露出領域が密閉される。この結果、板状ワークＷ２を吸引する際の吸引漏れを防止することができる。よって、保持面１２の露出領域をシート４で覆うことなく板状ワークＷ２を吸引保持することができる。

本実施の形態に係るチャックテーブル１は、マスク工程、樹脂供給工程、吸引工程、硬化工程、剥離工程及び除去工程が実施されることで成形される。マスク工程では、保持面１２で保持する板状ワークＷ２の面積に適した面積で保持面１２がマスクされる（図２参照）。樹脂供給手段では、マスク工程でマスクされた保持面１２に樹脂が供給（塗布）される（図３参照）。吸引工程では、樹脂供給工程で供給された樹脂が保持面１２で吸引される（図４参照）。硬化工程では、吸引工程で保持面１２より多孔質部材１１の内部に吸引され侵入した樹脂が硬化される（図５参照）。剥離工程では、硬化工程の後、保持面１２をマスクしたマスク部材５が保持面１２から剥離される（図６参照）。除去工程では、硬化工程で保持面１２から突出して硬化した樹脂が除去される（図７参照）。

次に図２から図７を参照して、本実施の形態に係るチャックテーブルの成形方法について説明する。図２はマスク工程、図３は樹脂供給工程、図４は吸引工程、図５は硬化工程、図６は剥離工程、図７は除去工程のそれぞれ一例を示す図である。本実施の形態では、チャックテーブルの吸引保持対象は、保持面より小さい面積の板状ワークとし、保持面で２つの板状ワークを吸引保持する例について説明する。なお、板状ワークの数は２つに限定されず、保持面上に載置することができれば、１つでも３つ以上でもよい。

図２に示すように、先ず、マスク工程が実施される。マスク工程では、チャックテーブル１の保持面１２上に、保持面１２の一部を覆うようにシート状のマスク部材５が載置される。これにより、保持面１２には、マスク部材５に覆われた領域（以下、マスク領域とする）と、マスク部材５に覆われない領域（以下、非マスク領域とする）とが形成される。マスク部材５は、板状ワークＷ２、Ｗ３（図１Ｂ参照）と略同形状で板状ワークＷ２、Ｗ３の面積に適した面積を有しており、例えばテープで形成される。ここで、板状ワークＷ２、Ｗ３の面積に適した面積とは、板状ワークＷ２、Ｗ３と必ずしも同じ面積とは限らず、板状ワークＷ２、Ｗ３を吸引保持可能な程度の面積を表し、面積の大きさは多少の誤差を含むものとする。この場合、板状ワークＷ２、Ｗ３が保持面１２上に載置された際に、後述する吸引領域１８（図８参照）に隙間が生じて多少の吸引漏れがあってもよい。

図３に示すように、マスク工程の後には、樹脂供給工程が実施される。樹脂供給工程では、マスク部材５が載置された保持面１２上に液状の樹脂６が塗布される。チャックテーブル１の上方には、樹脂供給手段２が設けられている。樹脂供給手段２はノズル２１を備えており、ノズル２１は樹脂供給源（不図示）に接続されている。また、ノズル２１は、例えば、ボールネジ式のアクチュエータで構成される移動手段２２によって、保持面１２の上方の所定位置に移動可能となっている。

先ず、移動手段２２によってノズル２１が非マスク領域の上方に位置付けられる。そして、液状の樹脂６が樹脂供給源からノズル２１内の流路を通ってノズル２１の先端から保持面１２に向かって滴下される。樹脂６は、例えば、熱硬化性樹脂で構成される。樹脂６は、多孔質部材１１内の保持面１２側に留まる程度の粘度を有していればよく、例えば、コロイド状の樹脂、ゲル状の樹脂でもよい。

樹脂６を滴下しながらノズル２１を移動させ、保持面１２の非マスク領域全面に樹脂６が行き渡るように樹脂６の供給量が調整される。樹脂６が供給された結果、図３に示す状態では、樹脂６がマスク部材５の表面からわずかに突出した状態となっている。なお、樹脂６は非マスク領域だけでなく、保持面１２全体、すなわち、マスク部材５の表面にも供給されてよい。本実施の形態においては、非マスク領域にのみ樹脂６が塗布されるため、樹脂６の供給量に無駄がない。

図４に示すように、樹脂供給工程の後には、吸引工程が実施される。吸引工程では、保持面１２に載置されたマスク部材５が吸引源１７によって吸引され、マスク部材５は保持面１２に密着した状態となる。同時に、保持面１２の非マスク領域に塗布された樹脂６も吸引源１７によって吸引される。樹脂６の一部は、吸引源１７によって吸引されることにより、非マスク領域から多孔質部材１１の内部に侵入する。このとき、樹脂６が多孔質部材１１の内部に侵入する深さは、吸引源１７の吸引時間や吸引力等によって調整される。この結果、非マスク領域には、樹脂６の一部がマスク部材５の表面よりも低い位置で残り、非マスク領域が樹脂６によって覆われた状態となる。

図５に示すように、吸引工程の後には、硬化工程が実施される。硬化工程では、吸引工程によって多孔質部材１１の内部に侵入した樹脂６に熱が加えられることにより、樹脂６が硬化される。これによって、保持面１２の非マスク領域のみが樹脂６によって密閉された状態となる。樹脂６を加熱する場合には、チャックテーブル１を温めて樹脂を加熱してもよいし、保持面１２の上方にヒーター（不図示）を設けて樹脂６を加熱してもよい。

図６に示すように、硬化工程の後には、剥離工程が実施される。剥離工程では、マスク領域に貼着されたマスク部材５が剥離される。これにより、マスク領域が露出され、板状ワークの面積に適した面積だけ吸引可能な吸引領域１８が形成される（図８参照）。また、マスク部材５が剥離されることにより、マスク部材５の表面に付着した樹脂６も除去することができる。図６に示す状態では、上記したように、非マスク領域に樹脂６の一部がマスク部材５の表面よりも低い位置で残っている。このため、マスク部材５が粘着層を有するテープで構成される場合に、マスク部材５のエッジ部分を起点にマスク部材５が剥離し易くなっている。また、剥離工程では、保持面１２のマスク領域からエアーを吹き上げることにより、マスク部材５を剥離させてもよい。なお、エアーを吹き上げる場合には、吸引源１７とは別のエアー供給源と保持面１２とがチャックテーブル１の連通孔１６を通じて接続される構成にしてもよい。

図７に示すように、剥離工程の後には、除去工程が実施される。除去工程では、保持面１２の非マスク領域に残った樹脂６が除去される。保持面１２の非マスク領域には、硬化工程によって硬化された樹脂６の一部が保持面１２からはみ出た状態で残っている。チャックテーブル１の上方には、樹脂除去手段３が設けられている。樹脂除去手段３は、保持面１２上に残った樹脂６を削り取って除去するスクレーパ３１を備えている。スクレーパ３１は、例えば、ボールネジ式のアクチュエータで構成される移動手段３２によって、保持面１２の上方を移動可能となっている。

除去工程では、移動手段３２によってスクレーパ３１が保持面１２の一端側に位置付けられる。そして、スクレーパ３１の先端が保持面１２の高さに位置調整された後、移動手段３２によって保持面１２の一端側から他端側に向かってスクレーパ３１が移動されることにより、保持面１２上の樹脂６が削り取られる。

以上の工程を経て、チャックテーブル１の保持面１２には、板状ワークＷ２の面積に適した面積を吸引可能な吸引領域１８と、板状ワークＷ２が吸引されない非吸引領域１９とが形成される（図８Ａ参照）。以上のように、板状ワークＷ２の形状に合わせてマスク部材５を形成することにより、板状ワークＷ２の形状に合わせた吸引領域１８を形成することができる。この結果、保持面１２とは形状が異なる板状ワークＷ２を吸引可能なチャックテーブル１を成形することができる。

次に、図８を参照して、上記工程を経て成形されたチャックテーブルに板状ワークを吸引保持させる動作について説明する。図８は、本実施の形態に係るチャックテーブルで板状ワークを吸引保持動作を説明するための模式図である。図８Ａは、上記工程を経て成形されたチャックテーブルの模式図を示し、図８Ｂは、チャックテーブル上に板状ワークが吸引保持された図を示している。

図８Ａに示すように、チャックテーブル１の保持面１２には、板状ワークＷ２の面積に適した面積だけ吸引可能な吸引領域１８と、板状ワークＷ２が吸引されない非吸引領域１９とが形成されている。非吸引領域１９では多孔質部材１１内の保持面１２側に樹脂６が充填されているのに対し、吸引領域１８では多孔質部材１１が露出されている。このように、非吸引領域１９のみが樹脂６で密閉されているため、吸引領域１８でのみ吸引が可能となっている。

このようなチャックテーブル１に板状ワークＷ２が載置される場合、図８Ｂに示すように、板状ワークＷ２は、吸引領域１８を覆うように位置合わせされる。吸引領域１８は板状ワークＷ２の形状に合わせて形成されているため、板状ワークＷ２が載置されると吸引領域１８は板状ワークＷ２によって覆われ、吸引領域１８に隙間が生じることがない。よって、吸引時の吸引漏れによる吸引力の低下を起こすことなく、板状ワークＷ２を吸引保持することができる。このように、板状ワークＷ２が載置されない露出領域にのみ樹脂６が充填され、非吸引領域１９が形成されることにより、吸引漏れを防ぐためにシート等の別部材で露出領域を覆うことなく、板状ワークＷ２を吸引保持することができる。よって、保持面１２と異なる形状の板状ワークＷ２を吸引保持する際の煩わしい作業が不要となる。

以上のように、本実施の形態に係るチャックテーブル１の成形方法によれば、マスク領域では多孔質部材１１の内部に樹脂が充填されず、非マスク領域では多孔質部材１１の内部に樹脂６が充填される。この結果、チャックテーブル１の保持面１２には、板状ワークＷ２の面積に適した面積だけ吸引可能な吸引領域１８と、板状ワークＷ２が吸引されない非吸引領域１９とが形成される。このように、板状ワークＷ２の形状に合わせて吸引領域１８を形成することができるため、保持面１２と異なる形状の板状ワークＷ２を吸引保持する際に、吸引漏れを起こすことなく容易に板状ワークＷ２を保持面１２上に吸引保持することができる。よって、吸引漏れを防止するために保持面１２の露出領域（非吸引領域１９）をシート等で覆う必要がない。

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。

例えば、上記した実施の形態においては、マスク部材５がテープで形成される構成としたが、この構成に限定されない。マスク部材５は、テープに限定されず、板状ワークＷ２の面積に適した面積で保持面１２をマスクするものであればどのように構成されてもよい。また、テープは粘着層を有していてもよい。この場合、テープの粘着力は、後段の剥離工程においてテープを剥がす際にテープの粘着層の一部が保持面１２に残らない程度の粘着力であることが好ましい。

また、上記した実施の形態において、マスク部材５は、板状ワークＷ２より小さい厚み寸法で形成されることが好ましい。この場合、後段の樹脂供給工程で保持面１２の非マスク領域に樹脂６をマスク部材５の表面から突出する高さまで塗布した場合に、樹脂６の供給量を抑えることができる。

また、上記した実施の形態において、樹脂６が非マスク領域に供給されることにより、樹脂６がマスク部材５の表面から突出する構成としたが、この構成に限定されない。樹脂６が多孔質部材１１の内部に侵入して非吸引領域１９を形成することができれば、特に樹脂６の供給量は制限されない。

また、上記した実施の形態においては、樹脂供給工程の後に吸引工程が実施される構成としたがこの構成に限定されない。樹脂供給工程で保持面１２の非マスク領域に樹脂６が十分に供給され、多孔質部材１１内の保持面１２側に樹脂６が侵入していれば、吸引工程は実施されなくてもよい。

また、上記した実施の形態において、樹脂除去手段３のスクレーパ３１によって保持面１２から突出した樹脂６を削り取る構成としたがこの構成に限定されない。保持面１２から突出した樹脂６を研削装置によって削り取ってもよい。

また、上記した実施の形態において、各工程は手動で行われてもよいし、自動で行われてもよい。

また、上記した実施の形態においては、熱硬化性の樹脂６を用いる構成としたが、この構成に限定されない。図９に示すように、樹脂６は熱可塑性を有してもよい。図９は、第１の変形例に係るチャックテーブルの成形方法を示す図である。図９に示す例では、保持面１２の非マスク領域の上方に位置付けられたノズル２１が、ヒーター（不図示）によって温められた状態となっている。樹脂６は、ヒーターで温められて液状になってノズル２１から保持面１２の非マスク領域に滴下される。このようにして、樹脂供給工程が実施される。また、後段の硬化工程では、常温で樹脂６を自然硬化させてもよく、チャックテーブル１等を強制冷却することで樹脂６を硬化させてもよい。

また、上記した実施の形態においては、吸引工程の際に保持面１２の吸引時間を制御することによって多孔質部材１１に対する樹脂６の侵入深さを制御する構成としたが、この構成に限定されない。例えば、図９で示したように、熱可塑性の樹脂６を温めて軟化させた状態で非マスク領域に塗布し、多孔質部材１１の内部に侵入させる。そして、チャックテーブル１の連通孔１６から保持面１２に向かってエアーを吹き上げ、多孔質部材１１の内部に侵入した樹脂６を押し出すことによって、多孔質部材１１に対する樹脂６の侵入深さを調整してもよい。樹脂６を温める方法としては、ノズルを加熱するだけでなく、チャックテーブル１を加熱する、又は、加温されたエアーを連通孔１６から保持面１２に向かって吹き上げてもよい。

また、図１０に示すように、樹脂６は紫外線硬化性を有してもよい。図１０は、第２の変形例に係るチャックテーブルの成形方法を示す図である。図１０に示す例では、樹脂供給工程によって紫外線硬化性の樹脂６が非マスク領域に塗布された後、吸引工程を経て多孔質部材１１の内部に樹脂６が侵入された状態となっている。保持面１２の上方には、保持面１２に向かって紫外線を照射するＵＶランプ７が設けられている。第２の変形例に係る硬化工程では、ＵＶランプ７から保持面１２に向かって紫外線が照射されることにより、樹脂６が紫外線を吸収して硬化される。

このように、第１、第２の変形例においても、保持面１２の非マスク領域に樹脂６を充填させ、非吸引領域１９を形成させることができる。

以上説明したように、本発明は、保持面と異なる形状の板状ワークを吸引可能なチャックテーブルを成形することができるという効果を有し、特に、保持面と異なる形状の板状ワークを容易に吸引保持可能なチャックテーブルの成形方法に有用である。

Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３ 板状ワーク
１ チャックテーブル
１１ 多孔質部材
１２ 保持面
１３ 枠体
１４ ベース部材
１５ 円形凹部
１６ 連通孔
１７ 吸引源
１８ 吸引領域
１９ 非吸引領域
２ 樹脂供給手段
２１ ノズル
２２ 移動手段
３ 樹脂除去手段
３１ スクレーパ
３２ 移動手段
４ シート
５ マスク部材
６ 樹脂
７ ＵＶランプ

Claims (5)

1. 板状ワークを吸引保持する保持面を有する円板状の多孔質部材と、該多孔質部材を囲繞し該保持面を吸引源に連通する連通孔を備える枠体とから少なくとも構成されるチャックテーブルの、該保持面に該保持面より小さい面積の板状ワークを吸引保持させるため該保持面を該板状ワークの面積に適した面積だけ吸引可能にするチャックテーブルの成形方法であって、
   該保持面で保持する該板状ワークの面積に適した面積で該保持面をマスクするマスク工程と、
   該マスク工程でマスクされた該保持面に樹脂を供給する樹脂供給工程と、
   該樹脂供給工程で供給された該樹脂を該保持面で吸引する吸引工程と、
   該吸引工程で該保持面より該多孔質部材の内部に吸引され侵入した該樹脂を硬化させる硬化工程と、
   該硬化工程の後、該保持面をマスクしたマスク部材を該保持面から剥離させる剥離工程と、によるチャックテーブルの成形方法。
2. 該硬化工程で該保持面から突出して硬化した樹脂を除去する除去工程を含む、請求項１記載のチャックテーブルの成形方法。
3. 該樹脂は、熱硬化性であって、
   該硬化工程では、該チャックテーブルを加温して該多孔質部材の内部に吸引された該樹脂を硬化させる請求項１または２記載のチャックテーブルの成形方法。
4. 該樹脂は、熱可塑性であって、
   該吸引工程では、該チャックテーブルを加温して該樹脂を吸引させ、
   該硬化工程では、該チャックテーブルを冷却して該多孔質部材の内部に吸引された該樹脂を硬化させる請求項１または２記載のチャックテーブルの成形方法。
5. 該樹脂は、紫外線硬化性であって、
   該硬化工程では、該保持面より紫外線を照射して該多孔質部材の内部に吸引された該樹脂を硬化させる請求項１または２記載のチャックテーブルの成形方法。

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