JP2014178502A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. 透明基材の表面の光学有効領域にアルミナの水和物を主成分とする透明な微細凹凸膜を含む反射防止膜を備え、該光学有効領域と隣接する非有効領域の少なくとも該光学有効領域に隣接する境界部を含む領域に遮光膜を備えてなる光学部材の製造方法であって、
   前記遮光膜を形成すべき領域の一部にのみ前記遮光膜を形成する第１の遮光膜形成工程と、
   前記反射防止膜を形成すべき領域に、水熱処理されて微細凹凸膜となる被水熱処理層を最表層とする光学薄膜を成膜する工程と、
   前記遮光膜を形成すべき領域のうち、前記第１の遮光膜形成工程で前記遮光膜が形成されていない領域全体に前記遮光膜を形成する第２の遮光膜形成工程と、
   前記被水熱処理層を水熱処理することにより、前記反射防止膜を形成すべき領域に前記微細凹凸膜を形成する工程をこの順に行うことを特徴とする光学部材の製造方法。
2. 透明基材の表面の、光学有効領域にアルミナの水和物を主成分とする透明な微細凹凸膜を含む反射防止膜を備え、該光学有効領域と隣接する非有効領域の少なくも該光学有効領域に隣接する境界部を含む領域に遮光膜を備えてなる光学部材の製造方法であって、
   前記遮光膜を形成すべき領域の一部にのみ前記遮光膜を形成する第１の遮光膜形成工程と、
   前記反射防止膜を形成すべき領域に、水熱処理されて微細凹凸膜となる被水熱処理層を最表層とする光学薄膜を成膜する工程と、
   前記被水熱処理層を水熱処理することにより、前記反射防止膜を形成すべき領域に前記微細凹凸膜を形成する工程と、
   前記遮光膜を形成すべき領域のうち、前記第１の遮光膜形成工程で前記遮光膜が形成されていない領域全体に前記遮光膜を形成する第２の遮光膜形成工程をこの順に行うことを特徴とする光学部材の製造方法。
3. 前記第１の遮光膜形成工程において、前記非有効領域の前記境界部に前記遮光膜を形成することを特徴とする請求項１または２記載の光学部材の製造方法。
4. 前記透明基材が、前記非有効領域に凹凸形状部を有するものであり、
   前記第１の遮光膜形成工程において、前記凹凸形状部に前記遮光膜を形成することを特徴とする請求項１から３いずれか１項記載の光学部材の製造方法。
5. 前記光学薄膜を気相成膜により成膜することを特徴とする請求項１から４いずれか１項記載の光学部材の製造方法。
6. 前記反射防止膜が形成された光学有効領域が曲面であることを特徴とする請求項１から５いずれか１項記載の光学部材の製造方法。
7. 前記第１および第２の遮光膜形成工程において、チタンブラック、カーボンブラック、黒色レジスト、黒色樹脂のうちいずれか１つ以上と樹脂バインダを含む塗布材料を塗布して前記遮光膜を形成することを特徴とする請求項１から６いずれか１項記載の光学部材の製造方法。
8. 透明基材の表面の光学有効領域にアルミナの水和物を主成分とする透明な微細凹凸膜を含む反射防止膜を備え、該光学有効領域と隣接する非有効領域の少なくとも該光学有効領域に隣接する境界部を含む領域に遮光膜を備えてなる光学部材であって、
   前記非有効領域の一部に、前記遮光膜が２層重ねて形成された部分を有していることを特徴とする光学部材。
9. 透明基材の表面の光学有効領域にアルミナの水和物を主成分とする透明な微細凹凸膜を含む反射防止膜を備え、該光学有効領域と隣接する非有効領域の少なくとも該光学有効領域に隣接する境界部を含む領域に遮光膜を備えてなる光学部材であって、
   前記非有効領域の一部に、前記遮光膜、該遮光膜とは異なる光学薄膜、前記遮光膜が順次積層されてなる部分を有していることを特徴とする光学部材。
10. 前記非有効領域の一部が、前記光学有効領域に隣接する前記境界部を含むことを特徴とする請求項８または９記載の光学部材。
11. 前記透明基材が、前記非有効領域に凹凸形状部を有するものであり、
    前記非有効領域の一部が、前記凹凸形状部を含むことを特徴とする請求項８から１０いずれか１項記載の光学部材。
12. 前記反射防止膜が形成された光学有効領域が曲面であることを特徴とする請求項８から１１いずれか１項記載の光学部材。
13. 前記遮光膜が、チタンブラック、カーボンブラック、黒色レジスト、黒色樹脂のうちいずれか１つ以上を含む材料からなることを特徴とする請求項８から１２いずれか１項記載の光学部材。