JP2013247367A5 - - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 6
- 238000000342 Monte Carlo simulation Methods 0.000 claims 3
Claims (10)
- 発光素子であって、
上面図において第一領域及び第二領域を含むパターン化界面を含み、
前記第一領域及び前記第二領域には、それぞれ、複数の所定パターン構造が含まれており、
前記第一領域及び前記第二領域における前記複数の所定パターン構造は、互いに重複し、且つ、前記複数の所定パターン構造のうちの任意の二つの隣接するものは、互いに異なる、発光素子。 - 請求項1に記載の発光素子であって、
前記複数所定パターン構造の各々は、上面図において、形状が多角形又は円形であり、また、0.5μm乃至10μmの間にある特徴サイズを有する、発光素子。 - 請求項1に記載の発光素子であって、
前記複数の所定パターン構造の配列方式は、モンテカルロ・シミュレーション(Monte-Carlo Simulation)によるものである、発光素子。 - 請求項1に記載の発光素子であって、
基板及びエピタキシャルスタック層を更に含み、
前記パターン化界面は、前記基板と前記エピタキシャルスタック層との間に位置する、発光素子。 - 請求項1に記載の発光素子であって、
前記パターン化界面は、微細構造を含み、前記微細構造の粗度は、前記パターン化界面の粗度よりも低い、発光素子。 - 発光素子の製造方法であって、
基材を提供し;
重複して出現するランダムパターンを準備し、前記重複して出現するランダムパターンのうちの任意の二つの隣接するものは、互いに異なり;
前記重複して出現するランダムパターンを有するマスク層を形成し;及び
前記基材の一部を除去し、これにより、前記基材の表面に、前記重複して出現するランダムパターンを形成するステップを含む、製造方法。 - 請求項6に記載の製造方法であって、
前記重複して出現するランダムパターンの配列方式は、モンテカルロ・シミュレーション(Monte-Carlo Simulation)によるものである、製造方法。 - 請求項6に記載の製造方法であって、
前記重複して出現するランダムパターンは、上面図において、異なるサイズを有する、製造方法。 - 発光素子であって
第一領域及び第二領域を含む基板と、
前記第一領域に位置する第一組のパターン構造と、
前記第二領域に位置する第二組のパターン構造と、
を含み、
前記第一組のパターン構造及び前記第二組のパターン構造にそれぞれ含まれている複数のパターン構造、前記第一組のパターン構造のうちの前記複数のパターン構造、及び前記第二組のパターン構造のうちの前記複数のパターン構造は、互いに重複するが配列方式が異なる形状を有し、前記複数のパターン構造の配列方式は、モンテカルロ・シミュレーション(Monte-Carlo Simulation)によるものである、発光素子。 - 請求項9に記載の発光素子であって、
前記第一組のパターン構造のうちの任意の二つの隣接するパターン構造のサイズは、互いに異なる、発光素子。
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