JP2018153994A - 樹脂フィルムの成膜方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ネックインを抑制しながら、成膜される樹脂フィルムの有効幅を可及的に広くすることができ、もって材料歩留りを高めることのできる樹脂フィルムの成膜方法を提供する。【解決手段】ダイ１の出口１ａから下方に押出された溶融樹脂Ｒを冷却ロール３で引取り、溶融樹脂Ｒの両端Ｒａにエア吹出しノズル４からエアを吹付けて両端Ｒａを硬化させながら冷却ロール３の表面にて溶融樹脂Ｒを冷却させて固化させることによって、樹脂フィルムＦを成膜する樹脂フィルムの成膜方法において、成膜される樹脂フィルムＦのうち、所定の膜厚範囲内の膜厚を有する樹脂フィルムＦの幅を有効幅とした際、目標有効幅を設定し、目標有効幅以上の有効幅の樹脂フィルムＦが成膜されるための、エアの吹付け風量と、エア吹出しノズル４から溶融樹脂Ｒまでの離間距離と、を設定し、この設定条件の下でエアを吹付けながら樹脂フィルムＦを成膜する。【選択図】図１

Description

本発明は、樹脂を溶融してダイから押出し、冷却ロールで引取りながら樹脂フィルムを成膜する樹脂フィルムの成膜方法に関するものである。

ダイの出口から押出された溶融樹脂は、その下方の冷却ロールに接地するまでの空間において自由表面でその形が形成される伸長流動変形を受けて膜厚がたとえば500μmから3μm程度まで薄くなる際に、溶融樹脂がネックインと呼ばれる、樹脂フィルムの幅が狭くなる挙動を示すことがある。

このネックインによって樹脂フィルムの両端は中央部に比して相対的に厚くなってしまうことから、樹脂フィルムの両端の相対的に厚い領域をトリム除去して最終製品としての樹脂フィルムの巻き取りがおこなわれる。このことから、ネックインの大きな樹脂フィルムの幅は自ずと狭くなってしまい、トリム除去される樹脂量が増加することから原材料樹脂の無駄が多くなってしまい、材料歩留り低下の原因となっている。

上記する溶融樹脂のネックインについてより詳細に説明すると、このネックインは、ダイの出口から押出された溶融樹脂が冷却ロールに接地し、冷却されて固化されるまでの間で発生する。

厳密には、このネックインの発生は以下のような、溶融樹脂の流動形態の相違に起因する。すなわち、溶融樹脂の流動形態は、幅固定された部分である樹脂フィルムの幅方向中央部が平面伸長流動となり、その幅方向にも当該幅方向に直交する長手方向にも力が作用する。

一方、樹脂フィルムの両端の流動形態は自由に縮む一軸伸長流動となるが、これに加えて、樹脂フィルムの幅方向中央部の平面伸長流動のうち、幅方向へ流動による力を受けて樹脂フィルムにネックインが生じる。このネックインの発生により、樹脂フィルムの幅方向で厚みの分布が生じてしまい、その両端が自由に縮むことによって該両端では厚くなる部分が発生してしまう。

さらに、樹脂フィルムの両端は、その一軸伸長流動と中央部の平面伸長流動の境界において、双方からの張力を受けて薄くなってしまうこともある。

従来の成膜方法で得られた樹脂フィルムにおいては、この樹脂フィルム両端の厚みの凹凸部分をトリム除去した幅寸法が最大製品幅となっていたために、既述するように材料歩留りが悪いという課題を有していた。

そこで、溶融樹脂が冷却ロールに到達する直前に該溶融樹脂の両端にエアを吹付けて冷却することにより、上記するネックインを抑制することが可能になる。なお、特許文献１には、ダイの出口から冷却ロールの間で熱可塑性樹脂の温度がガラス転移温度（Tg）以下となるようにエアノズルを用いてその両端を冷却する熱可塑性フィルムの製造方法が開示されている。

特開２００２−３３１５７１号公報

特許文献１に記載の熱可塑性フィルムの製造方法によれば、歩留りを落とすことなくネックインを抑えることができるとしている。

しかしながら、溶融樹脂の両端をエア吹付けにて冷却した際に、両端に近接した内側領域の膜厚が薄くなり過ぎ、さらに内側では膜厚が反転して厚くなり過ぎ、溶融樹脂の幅方向中央部にて適度な膜厚が形成されない現象が生じることが本発明者等によって特定されている。

そのため、エア吹付けによる溶融樹脂の両端冷却によってネックイン量は低減できても、適度な膜厚を有する樹脂フィルムの幅（有効幅）は狭いものとなってしまい、材料歩留りが低いという課題解消に至らないことが分かっている。

本発明は上記する問題に鑑みてなされたものであり、ネックインを抑制しながら、成膜される樹脂フィルムの有効幅を可及的に広くすることができ、もって材料歩留りを高めることのできる樹脂フィルムの成膜方法を提供することを目的とする。

前記目的を達成すべく、本発明による樹脂フィルムの成膜方法は、ダイに開設された出口から下方に押出された溶融樹脂を該出口の下方に位置して回転する冷却ロールで引取り、該溶融樹脂の両端にエア吹出しノズルからエアを吹付けて該両端を硬化させながら該冷却ロールの表面にて該溶融樹脂を冷却させて固化させることによって、樹脂フィルムを成膜するに当たり、成膜される樹脂フィルムのうち、所定の膜厚範囲内の膜厚を有する樹脂フィルムの幅を有効幅とした際、目標有効幅を設定し、該目標有効幅以上の有効幅の樹脂フィルムが成膜されるための、エアの吹付け風量と、前記エア吹出しノズルから溶融樹脂までの離間距離とを設定し、この設定条件の下でエアを吹付けながら樹脂フィルムを成膜するものである。

本発明の樹脂フィルムの成膜方法は、所定の膜厚範囲内の膜厚を有する樹脂フィルムの幅（有効幅）に関して目標有効幅を設定し、この目標有効幅以上の有効幅の樹脂フィルムが成膜されるように設定された、冷却ロールに到達する前の溶融樹脂の両端に対するエアの吹付け風量とエア吹出しノズルと溶融樹脂までの離間距離の下でエア吹付けを実行しながら成膜をおこなうことに特徴を有している。

これは、溶融樹脂の両端冷却によってネックインを抑制するに当たり、単にエアを吹付けるのではなくて、エアの吹付け風量とエア吹出しノズルと溶融樹脂までの離間距離が有効幅を可及的に広げるために特に重要な要素であることを特定した本発明者等による実験結果によるものである。

このようにエアの吹付け風量とエア吹出しノズルと溶融樹脂までの離間距離を好適に設定した上でエア吹付けをおこなうことにより、ネックイン量の抑制は制限されるものの、成膜される樹脂フィルムの両端よりも内側での膜厚の凹凸（厚みのばらつき）が抑制もしくは解消されることになり、結果として樹脂フィルムの有効幅を広げることに繋がる。

ここで、「所定の膜厚範囲」は特に限定されるものではないが、たとえば2μm〜5μmの範囲で好ましくは2μm〜4μm程度に規定することができる。

また、「目標有効幅」は特に限定されるものではないが、たとえばダイの出口の幅に対し、ネックインによって冷却ロールの表面上における固化前の溶融樹脂の幅は低減することから、ダイの出口の幅の80%程度の幅を成膜される樹脂フィルムの目標有効幅に規定することができる。

ここで、設定された前記目標有効幅に対し、前記エアの吹付け風量と、前記エア吹出しノズルから溶融樹脂までの離間距離と、を種々変化させて樹脂フィルムの成膜を試行し、前記目標有効幅以上の有効幅の樹脂フィルムが成膜される前記エアの吹付け風量と前記エア吹出しノズルから溶融樹脂までの離間距離を特定し、特定された条件下でエアを吹付けながら樹脂フィルムを成膜するのが好ましい。

ダイの出口幅と目標有効幅により、エアの吹付け風量と溶融樹脂までの離間距離も変化し得ることから、成膜に先行してこれら二つの条件を種々変化させながら目標有効幅の樹脂フィルムを成膜できる条件を特定するのがよい。

さらに、前記目標有効幅以上の有効幅の樹脂フィルムが成膜される条件として、エアの吹付け風量と溶融樹脂までの離間距離以外にも、前記エア吹出しノズルの開口領域の幅と、該エア吹出しノズルの該開口領域の幅方向端部が前記ダイの前記出口の幅方向端部から内側に入った幅方向離間距離および該出口から下方の前記エア吹出しノズルの前記開口領域の上下方向中心までの溶融樹脂進行方向に沿った下方離間距離と、前記溶融樹脂が前記冷却ロールに引き取られる際の該溶融樹脂と前記エア吹出しノズルとの間の角度と、をさらに設定するのが好ましい。

本発明者等によれば、本発明の成膜方法を適用することで、前記ダイの前記出口の幅が600mmの際に、前記目標有効幅を543mmに設定できることが特定されており、これは材料歩留り率としておよそ90%を意味しており、極めて高い材料歩留りを実現できることが特定されている。

上記するダイの出口の幅が600mmの際に目標有効幅を543mmに設定するに当たり、この目標有効幅を満たす条件として、エアの吹付け風量が1.3L/分であり、溶融樹脂までの離間距離が3.4mmであることが本発明者等によって特定されている。

さらに、エア吹出しノズルの開口領域の幅が26mmであり、幅方向離間距離が28.8mmであり、下方離間距離が20mmであり、前記溶融樹脂が前記冷却ロールに引き取られる際の該溶融樹脂と前記エア吹出しノズルとの間の前記角度は前記ダイ側が鋭角の80度であることもまた本発明者等によって特定されている。

以上の説明から理解できるように、本発明の樹脂フィルムの成膜方法によれば、所定の膜厚範囲内の膜厚を有する樹脂フィルムの幅（有効幅）に関して目標有効幅を設定し、この目標有効幅以上の有効幅の樹脂フィルムが成膜されるように設定された、冷却ロールに到達する前の溶融樹脂の両端に対するエアの吹付け風量とエア吹出しノズルと溶融樹脂までの離間距離の下でエア吹付けを実行しながら成膜をおこなうことにより、ネックインを抑制しながら、成膜される樹脂フィルムの有効幅を可及的に広くすることができ、材料歩留りを高めることが可能になる。

本発明の樹脂フィルムの成膜方法を成膜装置とともに説明した模式図である。 図１のI方向矢視図である。 図１のII方向矢視図である。 エア吹出しノズルの一実施の形態の斜視図である。 （ａ）は従来のエア吹付けをおこなう成膜方法における、ダイの出口から押し出された溶融樹脂幅と樹脂フィルム幅の関係を示した図であり、（ｂ）は本発明の成膜方法における、ダイの出口から押し出された溶融樹脂幅と樹脂フィルム幅の関係を示した図である。

以下、図面を参照して本発明の樹脂フィルムの成膜方法の実施の形態を成膜装置とともに説明する。なお、図示例は、成膜された樹脂フィルムとバックシートを一体にした後に巻き取る形態を示しているが、成膜された樹脂フィルムのみを巻き取る形態であってもよいことは勿論のことである。

（樹脂フィルムの成膜方法の実施の形態）
図１は本発明の樹脂フィルムの成膜方法を成膜装置とともに説明した模式図であり、図２は図１のI方向矢視図であり、図３は図１のII方向矢視図である。また、図４はエア吹出しノズルの一実施の形態の斜視図である。

図１は、溶融樹脂Ｒから樹脂フィルムＦを成膜する成膜装置１０と、成膜された樹脂フィルムＦとバックシートＳを一体としてシート材を製造するシート材製造装置２０を示している。

成膜装置１０は、押し出し機２と、所定幅の出口１ａを下端に備えたダイ１と、ダイ１の下方に位置して出口１ａから押し出された溶融樹脂Ｒを冷却する冷却ロール３と、出口１ａと冷却ロール３の間に位置して溶融樹脂Ｒの両端Ｒａにエアを吹付けて冷却する二基のエア吹出しノズル４と、から大略構成されている。

押し出し機２は不図示の攪拌スクリューを内蔵しており、ホッパー２ａから投入された不図示の樹脂ペレットが押し出し機２内で加熱溶融され、攪拌スクリューにて攪拌された溶融樹脂が連通するダイ１を介して出口１ａから所定幅で下方に押し出される。なお、出口１ａから溶融樹脂Ｒが押し出される速度よりも冷却ロール３の回転にて溶融樹脂Ｒを引き取る速度を速く設定することで、出口１ａから押し出された溶融樹脂Ｒの厚みは薄くなる。

ダイ１の出口１ａの中心線L1（鉛直方向）に対して角度φだけ傾いた下方（Ｘ１方向）に押し出された溶融樹脂Ｒは出口１ａの下方に位置して不図示の駆動モータにてＹ１方向に回転駆動する冷却ロール３に引き取られ、冷却ロール３の表面にて溶融樹脂Ｒが冷却固化されて樹脂フィルムＦが成膜される。

ここで、溶融樹脂Ｒが冷却ロール３に到達する前に、二基のエア吹出しノズル４から所定の吹付け風量のエアが溶融樹脂Ｒに向かうＸ２方向に沿って該溶融樹脂Ｒの両端Ｒａに吹き付けられ、溶融樹脂Ｒのネックインを抑制するようになっている。

この樹脂フィルムＦの成膜に当たり、成膜される樹脂フィルムＦのうち、所定の膜厚範囲内の膜厚を有する樹脂フィルムＦの幅を有効幅とした際に、まず、目標有効幅を設定する。

そして、設定された目標有効幅以上の有効幅の樹脂フィルムＦを成膜するために、以下、二つの条件を少なくとも設定する。

その一つの条件はエアの吹付け風量であり、他の一つの条件はエア吹出しノズル４から溶融樹脂Ｒまでの離間距離（図２のｔ１）である。

なお、これらの条件設定に際しては、設定された目標有効幅に対し、エアの吹付け風量と、エア吹出しノズル４から溶融樹脂Ｒまでの離間距離ｔ１と、を種々変化させて樹脂フィルムＦの成膜を試行し、目標有効幅以上の有効幅の樹脂フィルムＦが成膜されるエアの吹付け風量と離間距離ｔ１を特定するのがよい。

さらに、他の条件を設定することで、目標有効幅以上の有効幅の樹脂フィルムＦの成膜の精度が向上する。

具体的には、図２〜４で示すように、ダイ１の出口１ａからエア吹出しノズル４の複数の円形開口部４ａのそれぞれが開口している領域を合わせた領域である開口領域４ｂの上下方向中心４ｃまでの溶融樹脂Ｒの進行方向（Ｘ１方向）に沿った下方離間距離ｔ２、出口１ａの幅ｔ４、溶融樹脂Ｒの端部からエア吹出しノズル４の開口領域４ｂの幅方向端部までの幅方向離間距離ｔ３、エア吹出しノズル４の開口領域４ｂの幅ｔ５、溶融樹脂Ｒが冷却ロール３に引き取られる際の溶融樹脂Ｒとエア吹出しノズル４の間の角度θ（溶融樹脂Ｒとエア吹出しノズル４の円形開口部４ａの中心線L2の間の角度）などである。

上記するように、目標有効幅以上の有効幅の樹脂フィルムＦを成膜するために、エアの吹付け風量やエア吹出しノズル４から溶融樹脂Ｒまでの離間距離ｔ１をはじめとする各種条件を設定することにより、ネックインを抑制しながら、成膜される樹脂フィルムＦの有効幅を可及的に広くすることができ、材料歩留りを90%程度にまで高められることが後述する本発明者等による実験にて特定されている。

エア吹出しノズル４には、図４で示すように先端に複数の直径ｔ６の円形開口部４ａを１０個有するノズルを適用でき、正面形状は幅ｔ７と厚みｔ８の矩形である。なお、複数の円形開口部４ａを有する代わりに、横長のスリットを有する形態であってもよい。

たとえば、ダイ１の出口１ａの幅ｔ４が600mmである場合であって、目標有効幅をその90%程度の543mmに設定した場合に、この有効幅を満たす樹脂フィルムＦの成膜を実現する条件として、エアの吹付け風量が1.3L/分であり、エア吹出しノズル４から溶融樹脂Ｒまでの離間距離ｔ１が3.4mmであることが本発明者等によって特定されている。

さらに、エア吹出しノズル４の開口領域４ｂの幅ｔ５を26mmに設定し、幅方向離間距離ｔ３を28.8mmに設定し、下方離間距離ｔ２を20mmに設定することで、90%の歩留りをより一層保証することができる。このとき、エア吹出しノズル４の幅ｔ７は35mm、厚みｔ８は10mmとし、複数の円形開口部４ａの直径ｔ６は1mm、ダイ１の出口１ａから押し出される溶融樹脂Ｒの鉛直下方に対する角度φは20度としてもよい。

ここで、図５（ａ）は従来のエア吹付けをおこなう成膜方法における、ダイの出口から押し出された溶融樹脂幅と樹脂フィルム幅の関係を示した図であり、図５（ｂ）は本発明の成膜方法における、ダイの出口から押し出された溶融樹脂幅と樹脂フィルム幅の関係を示した図である。なお、従来の成膜方法は、膜厚を一切考慮せず、ネックイン量を最大限低減できる条件にてエア吹付けを実行するものである。

図５（ａ）、（ｂ）を比較すると、従来の成膜方法に比して本発明の成膜方法のネックイン量抑制効果は低減する。

しかしながら、従来の成膜方法では、所定の膜厚範囲の膜厚を有する、有効幅の範囲が極めて少ない。それは、溶融樹脂の端部から膜厚が急減して所定の膜厚範囲未満の薄さの膜厚となり、膜厚方向内側では膜厚が反転して所定の膜厚範囲を超える膜厚となり、さらに膜厚方向内側にてようやく所定の膜厚範囲内に膜厚が収まるような膜厚に関する凹凸を有するためである。

これに対し、本発明の成膜方法では、設定された目標有効幅を満たすべく、エアの吹付け風量やエア吹出しノズルから溶融樹脂までの離間距離をはじめとする各種条件を設定することにより、ネックイン量は従来の成膜方法よりも抑制できないものの、溶融樹脂の両端内側にて膜厚の凹凸が解消もしくは低減される結果、所定の膜厚範囲内の膜厚を有する有効幅の範囲を格段に広げることができる。

図１に戻り、冷却ロール３の表面で固化され、成膜された樹脂フィルムＦは、シート材製造装置２０を構成する、対向配置されて樹脂フィルムＦを引き寄せるようにそれぞれＹ３方向に回転する二基のニップロール６間に送られる。そして、Ｙ２方向に回転する巻出し軸５から巻き出されたバックシートＳも同様に二基のニップロール６間に送られ、ここで樹脂フィルムＦとバックシートＳが重ね合わされた状態でニップロール６間で挟圧されて一体とされ、シート材が製造される。製造されたシート材はＹ４方向に回転自在であるフリーロール７を介し、不図示の駆動モータにてＹ５方向に回転駆動する巻き取り軸８で巻き取られる。

（材料歩留りを検証した実験とその結果）
本発明者等は、以下で示す実施例による成膜方法と比較例による成膜方法にて樹脂シートを成膜した。ここで、実施例、比較例ともに図１〜４で示す成膜装置を使用し、各種条件を変えて実験をおこなった。

＜実施例の条件＞
使用材料は末端基がF型の電解質樹脂であり、流動開始点が170〜190℃、押出し成膜時の剛性率Gは210〜260℃の範囲で1×10⁴〜1×10⁵Paである。ダイからの押出し条件として、ダイの温度は240℃、ダイの出口の幅は600mm、ダイのリップギャップは500μm、ダイの出口から溶融樹脂が押し出される角度は鉛直下方に対して20度であり、エア吹出しノズルに関する条件として、溶融樹脂までの離間距離は3.4mm、下方離間距離は20mm、エアの吹付け風量は1.3L/分、エア温度は25℃、溶融樹脂とエア吹出しノズルの間の角度はダイ側が鋭角となる80度、エア吹出しノズルの開口領域の幅は26mm、幅方向離間距離は28.8mmとした。さらに、その他の条件として、冷却ロールの温度は40℃、冷却ロールによる樹脂フィルム搬送速度は12m/分とし、目標有効幅を規定する樹脂フィルムの厚みを3μmとした。

＜比較例の条件＞
使用材料は末端基がF型の電解質樹脂であり、流動開始点が170〜190℃、押出し成膜時の剛性率Gは210〜260℃の範囲で1×10⁴〜1×10⁵Paである。ダイからの押出し条件として、ダイの温度は240℃、ダイの出口の幅は600mm、ダイのリップギャップは500μm、ダイの出口から溶融樹脂が押し出される角度は鉛直下方に対して20度であり、エア吹出しノズルに関する条件として、溶融樹脂までの離間距離は5.9mm、下方離間距離は20mm、エアの吹付け風量は2.3L/分、エア温度は25℃、溶融樹脂とエア吹出しノズルの間の角度はダイ側が鋭角となる80度、エア吹出しノズルの開口領域の幅は26mm、幅方向離間距離は28.8mmとした。さらに、その他の条件として、冷却ロールの温度は40℃、冷却ロールによる樹脂フィルム搬送速度は12m/分とし、目標有効幅を規定する樹脂フィルムの厚みを3μmとした。

＜実験結果＞
ダイの出口の幅に相当する初期の溶融樹脂の幅600mmに対し、比較例の有効幅は438mmであり、材料歩留りは73%であった。

これに対し、実施例の有効幅は543mmであり、材料歩留りは90.5%と比較例に比して格段に材料歩留りが向上することが実証されている。これは、エアの吹付け風量1.3L/分、およびエア吹出しノズルから溶融樹脂までの離間距離3.4mmなる条件が特に有効であり、その他、下方離間距離20mmやエア吹出しノズルの開口領域の幅26mm、幅方向離間距離28.8mm、溶融樹脂とエア吹出しノズルとの間の角度がダイ側が鋭角の80度などの条件も寄与しているものと推察される。

以上、本発明の実施の形態を図面を用いて詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における設計変更等があっても、それらは本発明に含まれるものである。

１…ダイ、１ａ…出口、２…押し出し機、２ａ…ホッパー、３…冷却ロール、４…エア吹出しノズル、５…巻出し軸、６…ニップロール、７…フリーロール、８…巻き取り軸、１０…成膜装置、２０…シート材製造装置、Ｒ…溶融樹脂、Ｒａ…端部（両端）、Ｆ…樹脂フィルム、Ｓ…バックシート

Claims (6)

1. ダイに開設された出口から下方に押出された溶融樹脂を該出口の下方に位置して回転する冷却ロールで引取り、該溶融樹脂の両端にエア吹出しノズルからエアを吹付けて該両端を硬化させながら該冷却ロールの表面にて該溶融樹脂を冷却させて固化させることによって、樹脂フィルムを成膜するに当たり、
   成膜される樹脂フィルムのうち、所定の膜厚範囲内の膜厚を有する樹脂フィルムの幅を有効幅とした際、目標有効幅を設定し、該目標有効幅以上の有効幅の樹脂フィルムが成膜されるための、エアの吹付け風量と、前記エア吹出しノズルから溶融樹脂までの離間距離とを設定し、この設定条件の下でエアを吹付けながら樹脂フィルムを成膜する、樹脂フィルムの成膜方法。
2. 設定された前記目標有効幅に対し、前記エアの吹付け風量と、前記エア吹出しノズルから溶融樹脂までの離間距離と、を種々変化させて樹脂フィルムの成膜を試行し、前記目標有効幅以上の有効幅の樹脂フィルムが成膜される前記エアの吹付け風量と前記エア吹出しノズルから溶融樹脂までの離間距離を特定し、特定された条件下でエアを吹付けながら樹脂フィルムを成膜する、請求項１に記載の樹脂フィルムの成膜方法。
3. 前記目標有効幅以上の有効幅の樹脂フィルムが成膜される条件として、前記エア吹出しノズルの開口領域の幅と、該エア吹出しノズルの該開口領域の幅方向端部が前記ダイの前記出口の幅方向端部から内側に入った幅方向離間距離および該出口から下方の前記エア吹出しノズルの前記開口領域の上下方向中心までの溶融樹脂進行方向に沿った下方離間距離と、前記溶融樹脂が前記冷却ロールに引き取られる際の該溶融樹脂と前記エア吹出しノズルとの間の角度と、をさらに設定する請求項１または２に記載の樹脂フィルムの成膜方法。
4. 前記ダイの前記出口の幅が600mmであり、前記目標有効幅を543mmに設定する請求項１〜３のいずれか一項に記載の樹脂フィルムの成膜方法。
5. 前記エアの吹付け風量が1.3L/分、前記溶融樹脂までの離間距離が3.4mmである請求項４に記載の樹脂フィルムの成膜方法。
6. 前記エア吹出しノズルの前記開口領域の幅が26mmであり、前記幅方向離間距離が28.8mmであり、前記下方離間距離が20mmであり、前記角度は前記ダイ側が鋭角の80度である、請求項３を引用する請求項５に記載の樹脂フィルムの成膜方法。

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