JP2018150520A - 元素状ケイ素を含む膜の化学機械平坦化 - Google Patents
元素状ケイ素を含む膜の化学機械平坦化 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018150520A JP2018150520A JP2018035003A JP2018035003A JP2018150520A JP 2018150520 A JP2018150520 A JP 2018150520A JP 2018035003 A JP2018035003 A JP 2018035003A JP 2018035003 A JP2018035003 A JP 2018035003A JP 2018150520 A JP2018150520 A JP 2018150520A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- derivatives
- salts
- polishing composition
- range
- group
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 76
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 76
- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims abstract description 24
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 135
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 116
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 63
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 27
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims abstract description 18
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 15
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 100
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 74
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 61
- -1 heterocyclic carbon compound Chemical class 0.000 claims description 48
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 40
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 38
- 229940100555 2-methyl-4-isothiazolin-3-one Drugs 0.000 claims description 35
- BEGLCMHJXHIJLR-UHFFFAOYSA-N methylisothiazolinone Chemical compound CN1SC=CC1=O BEGLCMHJXHIJLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 34
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 33
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 claims description 22
- 239000000080 wetting agent Substances 0.000 claims description 21
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 20
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 20
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 18
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 claims description 18
- 239000011246 composite particle Substances 0.000 claims description 17
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 15
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 150000003009 phosphonic acids Chemical class 0.000 claims description 14
- 150000003460 sulfonic acids Chemical class 0.000 claims description 14
- JPMIIZHYYWMHDT-UHFFFAOYSA-N octhilinone Chemical compound CCCCCCCCN1SC=CC1=O JPMIIZHYYWMHDT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- HSJKGGMUJITCBW-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxybutanal Chemical compound CC(O)CC=O HSJKGGMUJITCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- PORQOHRXAJJKGK-UHFFFAOYSA-N 4,5-dichloro-2-n-octyl-3(2H)-isothiazolone Chemical compound CCCCCCCCN1SC(Cl)=C(Cl)C1=O PORQOHRXAJJKGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N Acetophenone Chemical compound CC(=O)C1=CC=CC=C1 KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 12
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 12
- YRKCREAYFQTBPV-UHFFFAOYSA-N acetylacetone Chemical compound CC(=O)CC(C)=O YRKCREAYFQTBPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 claims description 12
- DHNRXBZYEKSXIM-UHFFFAOYSA-N chloromethylisothiazolinone Chemical compound CN1SC(Cl)=CC1=O DHNRXBZYEKSXIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 12
- GCZLBHOAHLBGEA-UHFFFAOYSA-N 3-butyl-1,2-benzothiazole 1-oxide Chemical compound C1=CC=C2C(CCCC)=NS(=O)C2=C1 GCZLBHOAHLBGEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 claims description 11
- DMSMPAJRVJJAGA-UHFFFAOYSA-N benzo[d]isothiazol-3-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)NSC2=C1 DMSMPAJRVJJAGA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 claims description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000000908 ammonium hydroxide Substances 0.000 claims description 9
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 claims description 9
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 claims description 9
- MFGOFGRYDNHJTA-UHFFFAOYSA-N 2-amino-1-(2-fluorophenyl)ethanol Chemical compound NCC(O)C1=CC=CC=C1F MFGOFGRYDNHJTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- SEQKRHFRPICQDD-UHFFFAOYSA-N N-tris(hydroxymethyl)methylglycine Chemical compound OCC(CO)(CO)[NH2+]CC([O-])=O SEQKRHFRPICQDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 claims description 8
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 claims description 8
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 claims description 8
- HUCVOHYBFXVBRW-UHFFFAOYSA-M caesium hydroxide Inorganic materials [OH-].[Cs+] HUCVOHYBFXVBRW-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 8
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 claims description 8
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 8
- 239000003002 pH adjusting agent Substances 0.000 claims description 8
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 8
- NEAQRZUHTPSBBM-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-3,3-dimethyl-7-nitro-4h-isoquinolin-1-one Chemical compound C1=C([N+]([O-])=O)C=C2C(=O)N(O)C(C)(C)CC2=C1 NEAQRZUHTPSBBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 claims description 7
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 150000001413 amino acids Chemical class 0.000 claims description 7
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 claims description 7
- 229910021485 fumed silica Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 claims description 7
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 7
- MGIYRDNGCNKGJU-UHFFFAOYSA-N isothiazolinone Chemical compound O=C1C=CSN1 MGIYRDNGCNKGJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000010445 mica Substances 0.000 claims description 7
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 claims description 7
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 claims description 7
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 claims description 7
- 229920005862 polyol Chemical class 0.000 claims description 7
- 150000003077 polyols Chemical class 0.000 claims description 7
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 claims description 7
- 229940124530 sulfonamide Drugs 0.000 claims description 7
- 150000003456 sulfonamides Chemical class 0.000 claims description 7
- 150000003573 thiols Chemical class 0.000 claims description 7
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 claims description 7
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 7
- KJPRLNWUNMBNBZ-QPJJXVBHSA-N (E)-cinnamaldehyde Chemical compound O=C\C=C\C1=CC=CC=C1 KJPRLNWUNMBNBZ-QPJJXVBHSA-N 0.000 claims description 6
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 claims description 6
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 claims description 6
- 229940117916 cinnamic aldehyde Drugs 0.000 claims description 6
- KJPRLNWUNMBNBZ-UHFFFAOYSA-N cinnamic aldehyde Natural products O=CC=CC1=CC=CC=C1 KJPRLNWUNMBNBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 claims description 6
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 claims description 6
- 150000003557 thiazoles Chemical class 0.000 claims description 6
- 150000003852 triazoles Chemical class 0.000 claims description 6
- MWOOGOJBHIARFG-UHFFFAOYSA-N vanillin Chemical compound COC1=CC(C=O)=CC=C1O MWOOGOJBHIARFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- FGQOOHJZONJGDT-UHFFFAOYSA-N vanillin Natural products COC1=CC(O)=CC(C=O)=C1 FGQOOHJZONJGDT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 235000012141 vanillin Nutrition 0.000 claims description 6
- VUWCWMOCWKCZTA-UHFFFAOYSA-N 1,2-thiazol-4-one Chemical class O=C1CSN=C1 VUWCWMOCWKCZTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- CZSRXHJVZUBEGW-UHFFFAOYSA-N 1,2-thiazolidine Chemical compound C1CNSC1 CZSRXHJVZUBEGW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- OGYGFUAIIOPWQD-UHFFFAOYSA-N 1,3-thiazolidine Chemical compound C1CSCN1 OGYGFUAIIOPWQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- LSMMRJUHLKJNLR-UHFFFAOYSA-N 3-methyl-1,3-benzothiazol-2-one Chemical compound C1=CC=C2SC(=O)N(C)C2=C1 LSMMRJUHLKJNLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- JUZMPZSPQKWSBH-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-5H-1,3-thiazol-2-one Chemical compound CC1=NC(SC1)=O JUZMPZSPQKWSBH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 5
- 150000001299 aldehydes Chemical class 0.000 claims description 5
- 150000001414 amino alcohols Chemical class 0.000 claims description 5
- 239000003966 growth inhibitor Substances 0.000 claims description 5
- 150000003854 isothiazoles Chemical class 0.000 claims description 5
- 239000003755 preservative agent Substances 0.000 claims description 5
- 150000003217 pyrazoles Chemical class 0.000 claims description 5
- CVHZOJJKTDOEJC-UHFFFAOYSA-N saccharin Chemical compound C1=CC=C2C(=O)NS(=O)(=O)C2=C1 CVHZOJJKTDOEJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229940081974 saccharin Drugs 0.000 claims description 5
- 235000019204 saccharin Nutrition 0.000 claims description 5
- 239000000901 saccharin and its Na,K and Ca salt Substances 0.000 claims description 5
- 150000003536 tetrazoles Chemical class 0.000 claims description 5
- IMLSAISZLJGWPP-UHFFFAOYSA-N 1,3-dithiolane Chemical compound C1CSCS1 IMLSAISZLJGWPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- IHPYMWDTONKSCO-UHFFFAOYSA-N 2,2'-piperazine-1,4-diylbisethanesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)CCN1CCN(CCS(O)(=O)=O)CC1 IHPYMWDTONKSCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- JKMHFZQWWAIEOD-UHFFFAOYSA-N 2-[4-(2-hydroxyethyl)piperazin-1-yl]ethanesulfonic acid Chemical compound OCC[NH+]1CCN(CCS([O-])(=O)=O)CC1 JKMHFZQWWAIEOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- DVLFYONBTKHTER-UHFFFAOYSA-N 3-(N-morpholino)propanesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)CCCN1CCOCC1 DVLFYONBTKHTER-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- PJWWRFATQTVXHA-UHFFFAOYSA-N Cyclohexylaminopropanesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)CCCNC1CCCCC1 PJWWRFATQTVXHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- FSVCELGFZIQNCK-UHFFFAOYSA-N N,N-bis(2-hydroxyethyl)glycine Chemical compound OCCN(CCO)CC(O)=O FSVCELGFZIQNCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- UZMAPBJVXOGOFT-UHFFFAOYSA-N Syringetin Natural products COC1=C(O)C(OC)=CC(C2=C(C(=O)C3=C(O)C=C(O)C=C3O2)O)=C1 UZMAPBJVXOGOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000007997 Tricine buffer Substances 0.000 claims description 4
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 claims description 4
- 230000001580 bacterial effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000007998 bicine buffer Substances 0.000 claims description 4
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-N carbonic acid Chemical compound OC(O)=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- KCFYHBSOLOXZIF-UHFFFAOYSA-N dihydrochrysin Natural products COC1=C(O)C(OC)=CC(C2OC3=CC(O)=CC(O)=C3C(=O)C2)=C1 KCFYHBSOLOXZIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 230000002538 fungal effect Effects 0.000 claims description 4
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 claims description 4
- 150000002461 imidazolidines Chemical class 0.000 claims description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 4
- 150000004867 thiadiazoles Chemical class 0.000 claims description 4
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 claims description 3
- WRYCSMQKUKOKBP-UHFFFAOYSA-N Imidazolidine Chemical compound C1CNCN1 WRYCSMQKUKOKBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical compound OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- VLLMWSRANPNYQX-UHFFFAOYSA-N thiadiazole Chemical compound C1=CSN=N1.C1=CSN=N1 VLLMWSRANPNYQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- CCIVGXIOQKPBKL-UHFFFAOYSA-N ethanesulfonic acid Chemical compound CCS(O)(=O)=O CCIVGXIOQKPBKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N silicic acid Chemical compound O[Si](O)(O)O RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims 3
- 150000004863 dithiolanes Chemical class 0.000 claims 2
- KJUGUADJHNHALS-UHFFFAOYSA-N 1H-tetrazole Substances C=1N=NNN=1 KJUGUADJHNHALS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- BXRFQSNOROATLV-UHFFFAOYSA-N 4-nitrobenzaldehyde Chemical compound [O-][N+](=O)C1=CC=C(C=O)C=C1 BXRFQSNOROATLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- AVXURJPOCDRRFD-UHFFFAOYSA-N Hydroxylamine Chemical compound ON AVXURJPOCDRRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 claims 1
- 150000000001 isothiazolidines Chemical class 0.000 claims 1
- 150000003548 thiazolidines Chemical class 0.000 claims 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 34
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 abstract 1
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 23
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 23
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N monopropylene glycol Natural products CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 5
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 4
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 238000002296 dynamic light scattering Methods 0.000 description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 4
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 3
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 3
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 3
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 description 3
- NLYAJNPCOHFWQQ-UHFFFAOYSA-N kaolin Chemical compound O.O.O=[Al]O[Si](=O)O[Si](=O)O[Al]=O NLYAJNPCOHFWQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000006179 pH buffering agent Substances 0.000 description 3
- 235000021317 phosphate Nutrition 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 3
- 238000000527 sonication Methods 0.000 description 3
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerol Natural products OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N Propylene oxide Chemical compound CC1CO1 GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M Sodium laurylsulphate Chemical compound [Na+].CCCCCCCCCCCCOS([O-])(=O)=O DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000007771 core particle Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 2
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol Natural products OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 2
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 2
- 125000001453 quaternary ammonium group Chemical group 0.000 description 2
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 125000003107 substituted aryl group Chemical class 0.000 description 2
- KANAPVJGZDNSCZ-UHFFFAOYSA-N 1,2-benzothiazole 1-oxide Chemical compound C1=CC=C2S(=O)N=CC2=C1 KANAPVJGZDNSCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TZCPCKNHXULUIY-RGULYWFUSA-N 1,2-distearoyl-sn-glycero-3-phosphoserine Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(=O)OC[C@H](COP(O)(=O)OC[C@H](N)C(O)=O)OC(=O)CCCCCCCCCCCCCCCCC TZCPCKNHXULUIY-RGULYWFUSA-N 0.000 description 1
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKDGPOCKHMGDQY-UHFFFAOYSA-N 3,4-dihydropyrrol-2-one Chemical compound O=C1CCC=N1 OKDGPOCKHMGDQY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NECRQCBKTGZNMH-UHFFFAOYSA-N 3,5-dimethylhex-1-yn-3-ol Chemical compound CC(C)CC(C)(O)C#C NECRQCBKTGZNMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UMCMPZBLKLEWAF-BCTGSCMUSA-N 3-[(3-cholamidopropyl)dimethylammonio]propane-1-sulfonate Chemical compound C([C@H]1C[C@H]2O)[C@H](O)CC[C@]1(C)[C@@H]1[C@@H]2[C@@H]2CC[C@H]([C@@H](CCC(=O)NCCC[N+](C)(C)CCCS([O-])(=O)=O)C)[C@@]2(C)[C@@H](O)C1 UMCMPZBLKLEWAF-BCTGSCMUSA-N 0.000 description 1
- GUUULVAMQJLDSY-UHFFFAOYSA-N 4,5-dihydro-1,2-thiazole Chemical class C1CC=NS1 GUUULVAMQJLDSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M Bisulfite Chemical group OS([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JZNWSCPGTDBMEW-UHFFFAOYSA-N Glycerophosphorylethanolamin Natural products NCCOP(O)(=O)OCC(O)CO JZNWSCPGTDBMEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZWZWYGMENQVNFU-UHFFFAOYSA-N Glycerophosphorylserin Natural products OC(=O)C(N)COP(O)(=O)OCC(O)CO ZWZWYGMENQVNFU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKIZCWYLBDKLSU-UHFFFAOYSA-M N,N,N-Trimethylmethanaminium chloride Chemical compound [Cl-].C[N+](C)(C)C OKIZCWYLBDKLSU-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-L Phosphate ion(2-) Chemical compound OP([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Chemical group OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WTKZEGDFNFYCGP-UHFFFAOYSA-N Pyrazole Chemical compound C=1C=NNC=1 WTKZEGDFNFYCGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004541 SiN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008310 Si—Ge Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005708 Sodium hypochlorite Substances 0.000 description 1
- 229920002359 Tetronic® Polymers 0.000 description 1
- FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N Thiazole Chemical compound C1=CSC=N1 FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 150000001335 aliphatic alkanes Chemical group 0.000 description 1
- 125000005599 alkyl carboxylate group Chemical group 0.000 description 1
- 150000005215 alkyl ethers Chemical class 0.000 description 1
- 150000008051 alkyl sulfates Chemical class 0.000 description 1
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002280 amphoteric surfactant Substances 0.000 description 1
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 235000015278 beef Nutrition 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000003139 biocide Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 150000001722 carbon compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000003093 cationic surfactant Substances 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical group 0.000 description 1
- 238000005119 centrifugation Methods 0.000 description 1
- MRUAUOIMASANKQ-UHFFFAOYSA-N cocamidopropyl betaine Chemical compound CCCCCCCCCCCC(=O)NCCC[N+](C)(C)CC([O-])=O MRUAUOIMASANKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940073507 cocamidopropyl betaine Drugs 0.000 description 1
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001923 cyclic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- REQPQFUJGGOFQL-UHFFFAOYSA-N dimethylcarbamothioyl n,n-dimethylcarbamodithioate Chemical compound CN(C)C(=S)SC(=S)N(C)C REQPQFUJGGOFQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002009 diols Chemical class 0.000 description 1
- LRCFXGAMWKDGLA-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;hydrate Chemical compound O.O=[Si]=O LRCFXGAMWKDGLA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OVRWSOABJJYTBD-UHFFFAOYSA-N dodecylazanium;sulfate Chemical compound OS(O)(=O)=O.CCCCCCCCCCCCN.CCCCCCCCCCCCN OVRWSOABJJYTBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SYELZBGXAIXKHU-UHFFFAOYSA-N dodecyldimethylamine N-oxide Chemical compound CCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)[O-] SYELZBGXAIXKHU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003623 enhancer Substances 0.000 description 1
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930182478 glucoside Natural products 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- YWTYJOPNNQFBPC-UHFFFAOYSA-N imidacloprid Chemical compound [O-][N+](=O)\N=C1/NCCN1CC1=CC=C(Cl)N=C1 YWTYJOPNNQFBPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- ZLTPDFXIESTBQG-UHFFFAOYSA-N isothiazole Chemical compound C=1C=NSC=1 ZLTPDFXIESTBQG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002605 large molecules Chemical class 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical group OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Chemical group 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 1
- ZPIRTVJRHUMMOI-UHFFFAOYSA-N octoxybenzene Chemical class CCCCCCCCOC1=CC=CC=C1 ZPIRTVJRHUMMOI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- CTYRPMDGLDAWRQ-UHFFFAOYSA-N phenyl hydrogen sulfate Chemical class OS(=O)(=O)OC1=CC=CC=C1 CTYRPMDGLDAWRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- WTJKGGKOPKCXLL-RRHRGVEJSA-N phosphatidylcholine Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCC(=O)OC[C@H](COP([O-])(=O)OCC[N+](C)(C)C)OC(=O)CCCCCCCC=CCCCCCCCC WTJKGGKOPKCXLL-RRHRGVEJSA-N 0.000 description 1
- 150000008104 phosphatidylethanolamines Chemical class 0.000 description 1
- 150000003904 phospholipids Chemical class 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 description 1
- 150000003335 secondary amines Chemical class 0.000 description 1
- 229960004029 silicic acid Drugs 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- UKLNMMHNWFDKNT-UHFFFAOYSA-M sodium chlorite Chemical compound [Na+].[O-]Cl=O UKLNMMHNWFDKNT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229960002218 sodium chlorite Drugs 0.000 description 1
- SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N sodium hypochlorite Chemical compound [Na+].Cl[O-] SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019333 sodium laurylsulphate Nutrition 0.000 description 1
- BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)=O BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000008054 sulfonate salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000003760 tallow Substances 0.000 description 1
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 1
- YMBCJWGVCUEGHA-UHFFFAOYSA-M tetraethylammonium chloride Chemical compound [Cl-].CC[N+](CC)(CC)CC YMBCJWGVCUEGHA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- FBEVECUEMUUFKM-UHFFFAOYSA-M tetrapropylazanium;chloride Chemical compound [Cl-].CCC[N+](CCC)(CCC)CCC FBEVECUEMUUFKM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910021654 trace metal Inorganic materials 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Chemical group OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004627 transmission electron microscopy Methods 0.000 description 1
- GPRLSGONYQIRFK-MNYXATJNSA-N triton Chemical compound [3H+] GPRLSGONYQIRFK-MNYXATJNSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Chemical group 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09G—POLISHING COMPOSITIONS; SKI WAXES
- C09G1/00—Polishing compositions
- C09G1/02—Polishing compositions containing abrasives or grinding agents
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B1/00—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/042—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces operating processes therefor
- B24B37/044—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces operating processes therefor characterised by the composition of the lapping agent
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/11—Lapping tools
- B24B37/20—Lapping pads for working plane surfaces
- B24B37/24—Lapping pads for working plane surfaces characterised by the composition or properties of the pad materials
- B24B37/245—Pads with fixed abrasives
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09G—POLISHING COMPOSITIONS; SKI WAXES
- C09G1/00—Polishing compositions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09G—POLISHING COMPOSITIONS; SKI WAXES
- C09G1/00—Polishing compositions
- C09G1/04—Aqueous dispersions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09G—POLISHING COMPOSITIONS; SKI WAXES
- C09G1/00—Polishing compositions
- C09G1/06—Other polishing compositions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K13/00—Etching, surface-brightening or pickling compositions
- C09K13/04—Etching, surface-brightening or pickling compositions containing an inorganic acid
- C09K13/06—Etching, surface-brightening or pickling compositions containing an inorganic acid with organic material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1409—Abrasive particles per se
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1436—Composite particles, e.g. coated particles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1454—Abrasive powders, suspensions and pastes for polishing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1454—Abrasive powders, suspensions and pastes for polishing
- C09K3/1463—Aqueous liquid suspensions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
- H01L21/30625—With simultaneous mechanical treatment, e.g. mechanico-chemical polishing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
- H01L21/31051—Planarisation of the insulating layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3205—Deposition of non-insulating-, e.g. conductive- or resistive-, layers on insulating layers; After-treatment of these layers
- H01L21/321—After treatment
- H01L21/32115—Planarisation
- H01L21/3212—Planarisation by chemical mechanical polishing [CMP]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
Description
本願は、2017年2月28日出願の米国仮出願第62/454680号の非仮出願であり、ここに参照することによってその全体を本明細書の内容とする。
0.01質量%〜15質量%の範囲の研磨剤粒子、
0.001質量%〜0.5質量%の範囲の、元素状ケイ素を含む膜の除去速度を高める化合物、および、
液体キャリア、
を含む研磨組成物を提供し、そして、
この研磨組成物のpHは、2〜12の範囲であり、
1種もしは2種以上の研磨剤は、ヒュームドシリカ、コロイド状シリカ、ヒュームドアルミナ、コロイド状アルミナ、酸化セリウム、セリア−シリカ複合粒子、二酸化チタン、酸化ジルコニウム、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、雲母、水和ケイ酸アルミニウム、およびそれらの混合物からなる群から選択され、そして、
元素状ケイ素を含む膜の除去速度を高める化合物は、(i)硫黄または窒素または硫黄と窒素の両方をヘテロ原子として含み、そして環構造に結合されたカルボニル基を含むヘテロ環式炭素化合物、(ii)硫黄または窒素または硫黄と窒素の両方をヘテロ原子として含むヘテロ環式炭素化合物、(iii)アルデヒドまたはケトン化合物、およびそれらの組合わせからなる群から選択される。
元素状ケイ素を含む少なくとも1つの表面を研磨パッドと接触させる工程;
研磨組成物を、前記元素状ケイ素を含む少なくとも1つの表面へと供給する工程;
前記研磨組成物は、
0.01質量%〜15質量%の範囲の研磨剤粒子;
元素状ケイ素を含む膜の除去速度を高めるための、0.001質量%〜0,5質量%の範囲の化合物;および、
液体キャリア、
を含んでおり、そして
前記研磨組成物のpHは2〜12の範囲である;
ここで、1種もしくは2種以上の研磨剤は、ヒュームドシリカ、コロイド状シリカ、ヒュームドアルミナ、コロイド状アルミナ、酸化セリウム、セリア−シリカ複合粒子、二酸化チタン、酸化ジルコニウム、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、雲母、水和ケイ酸アルミニウムおよびそれらの混合物からなる群から選択されれ;そして、
元素状ケイ素を含む膜の除去速度を高める化合物は、イソチアゾリノンおよび誘導体、チアゾリノンおよび誘導体、イミダゾリジンおよび誘導体、ピロゾリジン(pyrozolidine)および誘導体、イミダゾールおよび誘導体、ピラゾールおよび誘導体、チアゾールおよび誘導体、イソチアゾールおよび誘導体、チアゾリジンおよび誘導体、イソチアゾリジンおよび誘導体、ジチオランおよび誘導体、トリアゾールおよび誘導体、テトラゾールおよび誘導体、チアジアゾールおよび誘導体、ならびにそれらの組合わせ;アセトン、ベンゾフェノン、アセトフェノン、アセチルアセトン、ブタノール、3−ヒドロキシブタナール、p-nitrobenzenzaaldehyde、シンナムアルデヒド、バニリン、およびそれらの組合わせからなる群から選択される;ならびに、
前記元素状ケイ素を含む少なくとも1つの表面を前記研磨組成物で研磨する工程。
半導体基材;
研磨パッド;ならびに、
0.01質量%〜15質量%の範囲の研磨剤粒子;
元素状ケイ素を含む膜の除去速度を高めるための、0.001質量%〜0,5質量%の範囲の化合物;および、
液体キャリア、
を含む研磨組成物;そして
前記研磨組成物のpHは2〜12の範囲である;
ここで、前記研磨剤は、ヒュームドシリカ、コロイド状シリカ、ヒュームドアルミナ、コロイド状アルミナ、酸化セリウム、セリア−シリカ複合粒子、二酸化チタン、酸化ジルコニウム、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、雲母、水和ケイ酸アルミニウムおよびそれらの混合物からなる群から選択されれ;そして、
元素状ケイ素を含む膜の除去速度を高める化合物は、イソチアゾリノンおよび誘導体、チアゾリノンおよび誘導体、イミダゾリジンおよび誘導体、ピロゾリジン(pyrozolidine)および誘導体、イミダゾールおよび誘導体、ピラゾールおよび誘導体、チアゾールおよび誘導体、イソチアゾールおよび誘導体、チアゾリジンおよび誘導体、イソチアゾリジンおよび誘導体、ジチオランおよび誘導体、トリアゾールおよび誘導体、テトラゾールおよび誘導体、チアジアゾールおよび誘導体、ならびにそれらの組合わせ;アセトン、ベンゾフェノン、アセトフェノン、アセチルアセトン、ブタノール、3−ヒドロキシブタナール、p-nitrobenzenzaaldehyde、シンナムアルデヒド、バニリン、およびそれらの組合わせからなる群から選択される;
ここで、前記半導体基材は、前記研磨組成物および前記パッドと接触される。
TEOS/ポリSiの選択性=TEOS RR/ポリSi RR
同じ下向き力(psi)において
以下に示される例では、CMP実験が、下記の手順および実験条件を用いて実施された。
研磨組成物は、表1に列挙された組成物に従って作られた。
組成物13が作られ、1質量%の、30nmの粒子径を有するアルミニウム含有シリカ粒子、0.2質量%のポリアクリル酸アンモニウム(分子量が1000〜5000)、および0.05質量%のメチルイソチアゾリノンを含み、5のpHを有していた。
組成物14が作られ、1質量%の、30nmの粒子径を有するFuso PL2シリカ粒子、0.05質量%のメチルイソチアゾリノンおよび水を含み、pH5に調整されたpHを有していた。
組成物が作られ、表6に記載されているように、セリア含有研磨剤粒子(セリアコーティングされたシリカ粒子)およびシリカ粒子の組み合わせを含んでいた。
Claims (22)
- 0.01質量%〜15質量%の範囲の研磨剤粒子;
0.001質量%〜0.5質量%の範囲の、元素状ケイ素を含む膜の除去速度を高める化合物;および、
液体キャリア;を含んでなる研磨組成物であって、前記研磨組成物のpHが2〜12の範囲であり、
前記研磨剤粒子が、ヒュームドシリカ、コロイド状シリカ、ヒュームドアルミナ、コロイド状アルミナ、酸化セリウム、セリア−シリカ複合粒子、二酸化チタン、酸化ジルコニウム、ポリスチレン、ポリメタクリル酸メチル、マイカ、水和ケイ酸アルミニウムおよびそれらの混合物からなる群から選択され、そして、
元素状ケイ素を含む膜の除去速度を高める前記化合物が、(i)硫黄または窒素または硫黄と窒素の両方をヘテロ原子として含み、かつ環構造に結合したカルボニル基を含むヘテロ環式炭素化合物、(ii)硫黄または窒素または硫黄と窒素の両方をヘテロ原子として含むヘテロ環式炭素化合物、(iii)アルデヒドまたはケトン化合物、ならびにそれらの組合わせからなる群から選択される、
研磨組成物。 - 元素状ケイ素を含む膜の除去速度を高める前記化合物が、イソチアゾリノンおよび誘導体、チアゾリノンおよび誘導体からなる群から選択される、請求項1記載の研磨組成物。
- 前記イソチアゾリノンおよび誘導体が、メチルイソチアゾリノン(MIT),クロロメチルイソチアゾリノン(CMIT)、ベンズイソチアゾリノン(BIT)、オクチルイソチアゾリノン(OIT),ジクロロオクチルイソチアゾリノン(DCOIT)およびブチルベンズイソチアゾリノン(BBIT)およびそれらの組合わせからなる群から選択され、そして前記チアゾリノンおよび誘導体が、2−ベンゾチアゾール−1,1,3−トリオン(サッカリン)、N−メチル2−ベンゾチアゾリノン、チアゾリノン、およびそれらの組合わせからなる群から選択される、請求項2記載の研磨組成物。
- 元素状ケイ素を含む膜の除去速度を高める前記化合物が、イミダゾリジンおよび誘導体、ピロゾリジン(pyrozolidine)および誘導体、イミダゾールおよび誘導体、ピラゾールおよび誘導体、チアゾールおよび誘導体、イソチアゾールおよび誘導体、チアゾリジンおよび誘導体、イソチアゾリジンおよび誘導体、ジチオランおよび誘導体、トリアゾールおよび誘導体、テトラゾールおよび誘導体、チアジアゾールおよび誘導体、およびそれらの組合わせからなる群から選択される、かあるいは、アセトン、ベンゾフェノン、アセトフェノン、アセチルアセトン、ブタノール、3−ヒドロキシブタナール、p−ニトロベンズアルデヒド、シンナムアルデヒド、バニリンおよびそれらの組合わせからなる群から選択される、請求項1記載の研磨組成物。
- 前記液体キャリアが、水であり、そして前記研磨組成物のpHが、4〜10の範囲である、請求項1記載の研磨組成物。
- 前記研磨剤粒子が、セリア−シリカ複合粒子およびコロイド状シリカ粒子を含む、請求項5記載の研磨組成物。
- 0.1ppm〜0.5質量%の、500〜100000の範囲の分子量を有する、アクリル酸基を含むポリマーまたは共重合体から選択された化合物、有機カルボン酸、アミノ酸、アミドカルボン酸、N−アシルアミノ酸、およびそれらの塩;有機スルホン酸およびそれらの塩;有機ホスホン酸およびそれらの塩;高分子量カルボン酸およびそれらの塩;高分子量スルホン酸およびそれらの塩;高分子量ホスホン酸およびそれらの塩;アリールアミン、アミノアルコール、脂肪族アミン、ヘテロ環式アミン、ヒドロキサム酸、置換フェノール、スルホンアミド、チオール、ヒドロキシル基を有するポリオール、ならびにそれらの組合わせからなる群から選択される官能基を有する化合物、を更に含む、請求項1記載の研磨組成物。
- アクリル酸基を含み、500〜100000の範囲の分子量を有するポリマーまたは共重合体を更に含む、請求項1記載の研磨組成物。
- アクリル酸基を含む前記ポリマーまたは共重合体が、ポリアクリル酸アンモニウムである、請求項7記載の研磨組成物。
- (1)有機カルボン酸およびそれらの塩、アミノ酸およびそれらの塩、アミドカルボン酸およびそれらの塩、N−アシルアミノ酸およびそれらの塩、有機スルホン酸およびそれらの塩;有機ホスホン酸およびそれらの塩;高分子量カルボン酸およびそれらの塩;高分子量スルホン酸およびそれらの塩;高分子量ホスホン酸およびそれらの塩;アリールアミン、アミノアルコール、脂肪族アミン、ヘテロ環式アミン、ヒドロキサム酸、置換フェノール、スルホンアミド、チオール、ヒドロキシル基を有するポリオール、ならびにそれらの組合わせからなる群から選択される官能基を有する添加剤、前記添加剤は、0.1ppm〜0.5質量%の範囲である、
(2)水酸化ナトリウム、水酸化セシウム、水酸化カリウム、水酸化セシウム、水酸化アンモニウム、水酸化第四級有機アンモニウム(例えば、水酸化テトラメチルアンモニウム):ポリアクリル酸、クエン酸、酢酸、炭酸、ビシン、トリシン、トリス4−(2−ヒドロキシエチル)−1−ピペラジンエタンスルホン酸、N−シクロヘキシル−3−アミノプロパンスルホン酸、3−(N−モルフォリノ)プロパンスルホン酸、およびピペラジン−N,N−ビス(2−エタンスルホン酸)の塩、およびそれらの混合物からなる群から選択されるpH調整剤、前記pH調整剤は、0.0005質量%〜1質量%の範囲である、
(3)a)非イオン性表面湿潤剤、b)アニオン性表面湿潤剤、c)カチオン性表面湿潤剤、d)両性表面湿潤剤、およびそれらの混合物からなる群から選択される界面活性剤、前記界面活性剤は、0.001質量%〜約1質量%の範囲である、
(4)貯蔵の間の細菌および真菌の成長を防止するための生物学的成長阻害剤または保存料、
の少なくとも1つを更に含む、請求項1記載の研磨組成物。 - 元素状ケイ素を含む少なくとも1つの表面を含む半導体基材の化学機械平坦化のための研磨方法であって、以下の工程、
元素状ケイ素を含む前記少なくとも1つの表面を研磨パッドと接触させる工程;
研磨組成物を、元素状ケイ素を含む前記少なくとも1つの表面に供給する工程、
前記研磨組成物は、
0.01質量%〜15質量%の範囲の研磨剤粒子;
0.001質量%〜0.5質量%の範囲の、元素状ケイ素を含む悪の除去速度を高める化合物;および、
液体キャリア、を含み、
前記研磨組成物のpHは2〜12の範囲であり、
前記研磨剤粒子は、ヒュームドシリカ、コロイド状シリカ、ヒュームドアルミナ、コロイド状アルミナ、酸化セリウム、セリア−シリカ複合粒子、二酸化チタン、酸化ジルコニウム、ポリスチレン、ポリメタクリル酸メチル、マイカ、水和ケイ酸アルミニウムおよびそれらの混合物からなる群から選択され、そして、
元素状ケイ素を含む膜の除去速度を高める前記化合物は、イソチアゾリノンおよび誘導体、チアゾリノンおよび誘導体、イミダゾリジンおよび誘導体、ピロゾリジン(pyrozolidine)および誘導体、イミダゾールおよび誘導体、ピラゾールおよび誘導体、チアゾールおよび誘導体、イソチアゾールおよび誘導体、チアゾリジンおよび誘導体、イソチアゾリジンおよび誘導体、ジチオランおよび誘導体、トリアゾールおよび誘導体、テトラゾールおよび誘導体、チアジアゾールおよび誘導体、アセトン、ベンゾフェノン、アセトフェノン、アセチルアセトン、ブタノール、3−ヒドロキシブタナール、p-nitrobenzenzaaldehyde、シンナムアルデヒド、バニリンおよびそれらの組合わせからなる群から選択される、ならびに、
元素状ケイ素を含む前記少なくとも1つの表面を、前記研磨組成物で研磨する工程、
を含んでなる方法。 - 元素状ケイ素を含む膜の除去速度を高める前記化合物が、(i)メチルイソチアゾリノン(MIT),クロロメチルイソチアゾリノン(CMIT)、ベンズイソチアゾリノン(BIT)、オクチルイソチアゾリノン(OIT),ジクロロオクチルイソチアゾリノン(DCOIT)およびブチルベンズイソチアゾリノン(BBIT)およびそれらの組合わせからなる群から選択されるイソチアゾリノンおよび誘導体、ならびに(ii)2−ベンゾチアゾール−1,1,3−トリオン(サッカリン)、N−メチル2−ベンゾチアゾリノン、チアゾリノンおよびそれらの組合わせからなる群から選択されるチアゾリノンおよび誘導体、
からなる群から選択される、請求項11記載の方法。 - 前記研磨組成物が、メチルイソチアゾリノン(MIT)を含み、前記液体キャリアが水であり、そして前記研磨組成物のpHが4〜10の範囲である、請求項11記載の研磨組成物。
- 前記半導体基材が、酸化ケイ素、窒化ケイ素またはそれらの組合わせを含む少なくとも1つの表面を更に含み、そして、
前記研磨組成物が、0.1ppm〜0.5質量%の、(i)500〜100000の範囲の分子量を有するポリアクリル酸またはその塩、(ii)有機カルボン酸およびそれらの塩、アミノ酸およびそれらの塩、アミドカルボン酸およびそれらの塩、N−アシルアミノ酸およびそれらの塩、有機スルホン酸およびそれらの塩;有機ホスホン酸およびそれらの塩;高分子量カルボン酸およびそれらの塩;高分子量スルホン酸およびそれらの塩;高分子量ホスホン酸およびそれらの塩;アリールアミン、アミノアルコール、脂肪族アミン、ヘテロ環式アミン、ヒドロキサム酸、置換フェノール、スルホンアミド、チオール、ヒドロキシル基を有するポリオール、ならびにそれらの組合わせ、あるいは(i)および(ii)の組み合わせ、を更に含み、
元素状ケイ素および酸化ケイ素もしくは窒化ケイ素の間の除去速度選択性が、0.1〜110の範囲で調整可能である、
請求項11記載の研磨方法。 - 前記研磨組成物が、メチルイソチアゾリノン(MIT)、500〜100000の範囲の分子量を有するポリアクリル酸アンモニウムを含み、前記液体キャリアが水であり、そして前記研磨組成物のpHが4〜10の範囲である、請求項13記載の研磨方法。
- 前記研磨組成物が、
(1)水酸化ナトリウム、水酸化セシウム、水酸化カリウム、水酸化セシウム、水酸化アンモニウム、水酸化第四級有機アンモニウム(例えば、水酸化テトラメチルアンモニウム):ポリアクリル酸、クエン酸、酢酸、炭酸、ビシン、トリシン、トリス4−(2−ヒドロキシエチル)−1−ピペラジンエタンスルホン酸、N−シクロヘキシル−3−アミノプロパンスルホン酸、3−(N−モルフォリノ)プロパンスルホン酸、およびピペラジン−N,N−ビス(2−エタンスルホン酸)の塩、およびそれらの混合物からなる群から選択されるpH調整剤、前記pH調整剤は、0.0005質量%〜1質量%の範囲である、
(2)a)非イオン性表面湿潤剤、b)アニオン性表面湿潤剤、c)カチオン性表面湿潤剤、d)両性表面湿潤剤、およびそれらの混合物からなる群から選択される界面活性剤、前記界面活性剤は、0.001質量%〜約1質量%の範囲である、ならびに、
(3)貯蔵の間の細菌および真菌の成長を防止するための生物学的成長阻害剤または保存料、
の少なくとも1つを含む、請求項11記載の研磨方法。 - 元素状ケイ素を含む少なくとも1つの表面を含む半導体基材の化学機械研磨装置であって、
前記半導体基材、
研磨パッド、および、
研磨組成物であって、
0.01質量%〜15質量%の範囲の研磨剤粒子;
0.01質量%〜0.5質量%の範囲の、元素状ケイ素を含む膜の除去速度を高める化合物、および、
液体キャリア、を含む研磨剤組成物を含んでなり、
前記研磨組成物のpHが2〜12の範囲であり、
前記研磨剤粒子が、ヒュームドシリカ、コロイド状シリカ、ヒュームドアルミナ、コロイド状アルミナ、酸化セリウム、セリア−シリカ複合粒子、二酸化チタン、酸化ジルコニウム、ポリスチレン、ポリメタクリル酸メチル、マイカ、水和ケイ酸アルミニウムおよびそれらの混合物からなる群から選択され、そして元素状ケイ素を含む膜の除去速度を高める前記化合物が、イソチアゾリノンおよび誘導体、チアゾリノンおよび誘導体、イミダゾリジンおよび誘導体、ピロゾリジン(pyrozolidine)および誘導体、イミダゾールおよび誘導体、ピラゾールおよび誘導体、チアゾールおよび誘導体、イソチアゾールおよび誘導体、チアゾリジンおよび誘導体、イソチアゾリジンおよび誘導体、ジチオランおよび誘導体、トリアゾールおよび誘導体、テトラゾールおよび誘導体、チアジアゾールおよび誘導体、ならびにそれらの組合わせ;アセトン、ベンゾフェノン、アセトフェノン、アセチルアセトン、ブタノール、3−ヒドロキシブタナール、p-nitrobenzenzaaldehyde、シンナムアルデヒド、バニリンおよびそれらの組合わせからなる群から選択され、
前記半導体基材が、前記組成物および前記パッドと接触される、
装置。 - 元素状ケイ素を含む膜の除去速度を高める前記化合物が、(i)メチルイソチアゾリノン(MIT),クロロメチルイソチアゾリノン(CMIT)、ベンズイソチアゾリノン(BIT)、オクチルイソチアゾリノン(OIT),ジクロロオクチルイソチアゾリノン(DCOIT)、ブチルベンズイソチアゾリノン(BBIT)およびそれらの組合わせからなる群から選択されるイソチアゾリノンおよび誘導体、ならびに(ii)2−ベンゾチアゾール−1,1,3−トリオン(サッカリン)、N−メチル2−ベンゾチアゾリノン、チアゾリノンおよびそれらの組合わせからなる群から選択されるチアゾリノンおよび誘導体、ならびにそれらの組合わせ、からなる群から選択される、前記17記載の装置、
- 前記研磨組成物が、メチルイソチアゾリノン(MIT)を含み、前記液体キャリアが水であり、そして前記研磨組成物のpHが4〜10の範囲である、請求項17記載の装置。
- 前記半導体基材が、酸化ケイ素、窒化ケイ素またはそれらの組合わせを含む少なくとも1つの表面を更に含み、そして、
前記研磨組成物が、0.1ppm〜0.5質量%の、(i)500〜100000の範囲の分子量を有するポリアクリル酸またはその塩、(ii)有機カルボン酸およびそれらの塩、アミノ酸およびそれらの塩、アミドカルボン酸およびそれらの塩、N−アシルアミノ酸およびそれらの塩、有機スルホン酸およびそれらの塩;有機ホスホン酸およびそれらの塩;高分子量カルボン酸およびそれらの塩;高分子量スルホン酸およびそれらの塩;高分子量ホスホン酸およびそれらの塩;アリールアミン、アミノアルコール、脂肪族アミン、ヘテロ環式アミン、ヒドロキサム酸、置換フェノール、スルホンアミド、チオール、ヒドロキシル基を有するポリオール、ならびにそれらの組合わせからなる群から選択される官能基を有する添加剤、あるいは(i)および(ii)の組み合わせ、を更に含み、
0.1〜110の範囲で調整可能な、元素状ケイ素および酸化ケイ素もしくは窒化ケイ素の間の除去速度選択性を与える、
請求項17記載の装置。 - 前記研磨組成物が、メチルイソチアゾリノン(MIT)、500〜100000の範囲の分子量を有するポリアクリル酸アンモニウムを含み、前記液体キャリアが水であり、そして前記研磨組成物のpHが4〜10の範囲である、請求項20記載の装置。
- 前記研磨組成物が、
(1)水酸化ナトリウム、水酸化セシウム、水酸化カリウム、水酸化セシウム、水酸化アンモニウム、水酸化第四級有機アンモニウム(例えば、水酸化テトラメチルアンモニウム):ポリアクリル酸、クエン酸、酢酸、炭酸、ビシン、トリシン、トリス4−(2−ヒドロキシエチル)−1−ピペラジンエタンスルホン酸、N−シクロヘキシル−3−アミノプロパンスルホン酸、3−(N−モルフォリノ)プロパンスルホン酸、およびピペラジン−N,N−ビス(2−エタンスルホン酸)の塩、およびそれらの混合物からなる群から選択されるpH調整剤、前記pH調整剤は、0.0005質量%〜1質量%の範囲である、
(2)a)非イオン性表面湿潤剤、b)アニオン性表面湿潤剤、c)カチオン性表面湿潤剤、d)両性表面湿潤剤、およびそれらの混合物からなる群から選択される界面活性剤、前記界面活性剤は、0.001質量%〜約1質量%の範囲である、ならびに、
(3)貯蔵の間の細菌および真菌の成長を防止するための生物学的成長阻害剤または保存料、
の少なくとも1つを更に含む、請求項17記載の装置。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201762464680P | 2017-02-28 | 2017-02-28 | |
US62/464,680 | 2017-02-28 | ||
US15/901,317 US20180244955A1 (en) | 2017-02-28 | 2018-02-21 | Chemical Mechanical Planarization of Films Comprising Elemental Silicon |
US15/901,317 | 2018-02-21 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018150520A true JP2018150520A (ja) | 2018-09-27 |
JP6673954B2 JP6673954B2 (ja) | 2020-04-01 |
Family
ID=61526679
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018035003A Active JP6673954B2 (ja) | 2017-02-28 | 2018-02-28 | 元素状ケイ素を含む膜の化学機械平坦化 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20180244955A1 (ja) |
EP (1) | EP3366742A1 (ja) |
JP (1) | JP6673954B2 (ja) |
KR (1) | KR102118568B1 (ja) |
CN (1) | CN108504288B (ja) |
IL (1) | IL257765B2 (ja) |
SG (1) | SG10201801578TA (ja) |
TW (1) | TWI671393B (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20200071567A1 (en) * | 2018-09-04 | 2020-03-05 | Fujimi Incorporated | Polishing composition and polishing system |
US20200102475A1 (en) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Chemical mecahnical polishing composition and method of polishing silcon dioxide over silicon nitiride |
US10640681B1 (en) * | 2018-10-20 | 2020-05-05 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Chemical mechanical polishing composition and method for tungsten |
US11608451B2 (en) | 2019-01-30 | 2023-03-21 | Versum Materials Us, Llc | Shallow trench isolation (STI) chemical mechanical planarization (CMP) polishing with tunable silicon oxide and silicon nitride removal rates |
US11267987B2 (en) * | 2019-10-30 | 2022-03-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Chemical mechanical polishing slurry composition and method of polishing metal layer |
CN113528085B (zh) * | 2020-04-21 | 2022-07-01 | Skc索密思株式会社 | 用于半导体工艺的液体组合物以及基板的研磨方法 |
US11180679B1 (en) | 2020-05-27 | 2021-11-23 | Skc Solmics Co., Ltd. | Composition for semiconductor processing and method for polishing substrate using the same |
CN113416493B (zh) * | 2021-06-02 | 2022-09-20 | 万华化学集团电子材料有限公司 | 存储稳定的硅片抛光组合物的制备方法、组合物及其使用方法 |
CN113861848B (zh) * | 2021-11-08 | 2022-07-12 | 万华化学集团电子材料有限公司 | 一种再生晶圆化学机械抛光液及其制备方法 |
CN114350264B (zh) * | 2022-02-18 | 2023-06-02 | 河北工业大学 | 一种用于钴互连结构钴膜cmp粗抛的碱性抛光液及其制备方法 |
CN117050661B (zh) * | 2023-06-21 | 2024-05-17 | 湖北兴福电子材料股份有限公司 | 一种绿色单晶硅粗抛光液 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002164308A (ja) * | 2000-11-24 | 2002-06-07 | Nec Corp | 化学的機械的研磨用スラリー |
JP2003313542A (ja) * | 2002-04-22 | 2003-11-06 | Jsr Corp | 化学機械研磨用水系分散体 |
JP2004526301A (ja) * | 2001-01-12 | 2004-08-26 | ロデール ホールディングス インコーポレイテッド | 半導体基板の研磨 |
JP2008539581A (ja) * | 2005-04-28 | 2008-11-13 | テクノ セミケム シーオー., エルティーディー. | 高段差酸化膜の平坦化のための自動研磨停止機能を有する化学機械的研磨組成物 |
US20090156006A1 (en) * | 2006-05-02 | 2009-06-18 | Sriram Anjur | Compositions and methods for cmp of semiconductor materials |
JP2011108811A (ja) * | 2009-11-17 | 2011-06-02 | Asahi Glass Co Ltd | 研磨剤、研磨剤セットおよび研磨方法 |
CN102408836A (zh) * | 2011-10-20 | 2012-04-11 | 天津理工大学 | 一种用于氧化钛薄膜化学机械平坦化的纳米抛光液及应用 |
JP2012182299A (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-20 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体基板用研磨液及び半導体基板の研磨方法 |
JP2014505358A (ja) * | 2010-12-17 | 2014-02-27 | キャボット マイクロエレクトロニクス コーポレイション | ポリシリコンの研磨用組成物及び研磨方法 |
CN103965789A (zh) * | 2014-04-18 | 2014-08-06 | 烟台恒迪克能源科技有限公司 | 一种非金属悬浮抛光液及其制备方法 |
CN104745093A (zh) * | 2013-12-26 | 2015-07-01 | 安集微电子(上海)有限公司 | 一种化学机械抛光液 |
JP2016030831A (ja) * | 2014-07-25 | 2016-03-07 | エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッドAir Products And Chemicals Incorporated | コバルト含有基板の化学的機械的研磨(cmp) |
EP3101076A1 (en) * | 2015-06-05 | 2016-12-07 | Air Products And Chemicals, Inc. | Barrier chemical mechanical planarization slurries using ceria-coated silica abrasives |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3429080A (en) | 1966-05-02 | 1969-02-25 | Tizon Chem Corp | Composition for polishing crystalline silicon and germanium and process |
US5230833A (en) | 1989-06-09 | 1993-07-27 | Nalco Chemical Company | Low sodium, low metals silica polishing slurries |
US6533832B2 (en) | 1998-06-26 | 2003-03-18 | Cabot Microelectronics Corporation | Chemical mechanical polishing slurry and method for using same |
WO2001060940A1 (en) | 2000-02-16 | 2001-08-23 | Rodel Inc | Biocides for polishing slurries |
US7071105B2 (en) * | 2003-02-03 | 2006-07-04 | Cabot Microelectronics Corporation | Method of polishing a silicon-containing dielectric |
JP2007088379A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-04-05 | Fujifilm Corp | 水系研磨液、及び、化学機械的研磨方法 |
JP5182483B2 (ja) * | 2005-12-16 | 2013-04-17 | Jsr株式会社 | 化学機械研磨用水系分散体および化学機械研磨方法、ならびに化学機械研磨用水系分散体を調製するためのキット |
US7585340B2 (en) | 2006-04-27 | 2009-09-08 | Cabot Microelectronics Corporation | Polishing composition containing polyether amine |
CN101358125B (zh) * | 2007-08-03 | 2013-07-10 | 安集微电子(上海)有限公司 | 一种浓缩化学机械平坦化浆料产品及其使用方法 |
US8247327B2 (en) | 2008-07-30 | 2012-08-21 | Cabot Microelectronics Corporation | Methods and compositions for polishing silicon-containing substrates |
JP2011008811A (ja) | 2010-08-16 | 2011-01-13 | Fujitsu Ltd | プログラム、及びデータ抽出方法 |
WO2013017139A1 (en) | 2011-08-01 | 2013-02-07 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e. V. | An rf coil assembly for mri with a plurality of coil elements distributed over at least two coil rows |
CN102441819B (zh) * | 2011-10-20 | 2014-03-19 | 天津理工大学 | 一种用于硫系相变材料的化学机械抛光方法 |
US8435420B1 (en) | 2011-10-27 | 2013-05-07 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Method of polishing using tunable polishing formulation |
US8545715B1 (en) * | 2012-10-09 | 2013-10-01 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Chemical mechanical polishing composition and method |
KR101983755B1 (ko) | 2015-03-31 | 2019-05-29 | 니끼 쇼꾸바이 카세이 가부시키가이샤 | 실리카계 복합 미립자 분산액, 그의 제조 방법 및 실리카계 복합 미립자 분산액을 포함하는 연마용 슬러리 |
-
2018
- 2018-02-21 US US15/901,317 patent/US20180244955A1/en not_active Abandoned
- 2018-02-27 SG SG10201801578TA patent/SG10201801578TA/en unknown
- 2018-02-27 TW TW107106464A patent/TWI671393B/zh active
- 2018-02-27 IL IL257765A patent/IL257765B2/en unknown
- 2018-02-28 EP EP18159327.8A patent/EP3366742A1/en active Pending
- 2018-02-28 KR KR1020180024853A patent/KR102118568B1/ko active IP Right Grant
- 2018-02-28 JP JP2018035003A patent/JP6673954B2/ja active Active
- 2018-02-28 CN CN201810166584.8A patent/CN108504288B/zh active Active
-
2019
- 2019-10-04 US US16/593,268 patent/US11111415B2/en active Active
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002164308A (ja) * | 2000-11-24 | 2002-06-07 | Nec Corp | 化学的機械的研磨用スラリー |
JP2004526301A (ja) * | 2001-01-12 | 2004-08-26 | ロデール ホールディングス インコーポレイテッド | 半導体基板の研磨 |
JP2003313542A (ja) * | 2002-04-22 | 2003-11-06 | Jsr Corp | 化学機械研磨用水系分散体 |
JP2008539581A (ja) * | 2005-04-28 | 2008-11-13 | テクノ セミケム シーオー., エルティーディー. | 高段差酸化膜の平坦化のための自動研磨停止機能を有する化学機械的研磨組成物 |
US20090156006A1 (en) * | 2006-05-02 | 2009-06-18 | Sriram Anjur | Compositions and methods for cmp of semiconductor materials |
JP2011108811A (ja) * | 2009-11-17 | 2011-06-02 | Asahi Glass Co Ltd | 研磨剤、研磨剤セットおよび研磨方法 |
JP2014505358A (ja) * | 2010-12-17 | 2014-02-27 | キャボット マイクロエレクトロニクス コーポレイション | ポリシリコンの研磨用組成物及び研磨方法 |
JP2012182299A (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-20 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体基板用研磨液及び半導体基板の研磨方法 |
CN102408836A (zh) * | 2011-10-20 | 2012-04-11 | 天津理工大学 | 一种用于氧化钛薄膜化学机械平坦化的纳米抛光液及应用 |
CN104745093A (zh) * | 2013-12-26 | 2015-07-01 | 安集微电子(上海)有限公司 | 一种化学机械抛光液 |
CN103965789A (zh) * | 2014-04-18 | 2014-08-06 | 烟台恒迪克能源科技有限公司 | 一种非金属悬浮抛光液及其制备方法 |
JP2016030831A (ja) * | 2014-07-25 | 2016-03-07 | エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッドAir Products And Chemicals Incorporated | コバルト含有基板の化学的機械的研磨(cmp) |
EP3101076A1 (en) * | 2015-06-05 | 2016-12-07 | Air Products And Chemicals, Inc. | Barrier chemical mechanical planarization slurries using ceria-coated silica abrasives |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
SG10201801578TA (en) | 2018-09-27 |
US11111415B2 (en) | 2021-09-07 |
IL257765A (en) | 2018-04-30 |
KR102118568B1 (ko) | 2020-06-03 |
TWI671393B (zh) | 2019-09-11 |
EP3366742A1 (en) | 2018-08-29 |
IL257765B1 (en) | 2023-12-01 |
JP6673954B2 (ja) | 2020-04-01 |
KR20180099570A (ko) | 2018-09-05 |
US20200032108A1 (en) | 2020-01-30 |
US20180244955A1 (en) | 2018-08-30 |
TW201833292A (zh) | 2018-09-16 |
IL257765B2 (en) | 2024-04-01 |
CN108504288A (zh) | 2018-09-07 |
CN108504288B (zh) | 2021-10-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6673954B2 (ja) | 元素状ケイ素を含む膜の化学機械平坦化 | |
JP6480394B2 (ja) | ストップ‐オンシリコンコーティング層添加剤 | |
TWI731273B (zh) | 複合粒子、其精製方法及用途 | |
JP6581198B2 (ja) | 化学機械平坦化組成物用の複合研磨粒子及びその使用方法 | |
TWI736796B (zh) | 複合粒子、其精製方法及用途 | |
JP6246263B2 (ja) | 酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも1種とポリシリコンとを含む基体を研磨する方法 | |
JP2005167204A (ja) | アスパラギン酸/トリルトリアゾールを用いる化学的機械的平坦化のための調整可能な組成物および方法 | |
JP6002983B2 (ja) | 調整可能な絶縁体研磨選択比を有するスラリー組成物及び基板研磨方法 | |
TWI785220B (zh) | 供使用在釕和銅材料的研磨組成物及用於從半導體元件研磨和移除釕的方法 | |
TWI732952B (zh) | 一種氮化矽化學機械研磨液 | |
JP2024516576A (ja) | 誘電材料を研磨するためのcmp組成物 | |
TWI750234B (zh) | 一種氮化矽化學機械研磨液 | |
TWI518157B (zh) | 具有可調介電質研磨選擇性之漿液組成物及研磨基板之方法 | |
TW202026392A (zh) | 化學機械拋光液及其應用 | |
JP2009065001A (ja) | 化学機械研磨用水系分散体、該分散体を調製するためのキット、および化学機械研磨用水系分散体の調製方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180510 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190205 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20190426 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190802 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200305 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6673954 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |