JP6246263B2 - 酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種とポリシリコンとを含む基体を研磨する方法 - Google Patents
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims description 164
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 57
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 title claims description 47
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 47
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 46
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 title claims description 46
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 title claims description 46
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 43
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 title claims description 41
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 97
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 68
- 125000002015 acyclic group Chemical group 0.000 claims description 52
- -1 sulfonic acid compound Chemical class 0.000 claims description 37
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 15
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 claims description 6
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 claims description 6
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 125000000373 fatty alcohol group Chemical group 0.000 claims description 3
- 239000003002 pH adjusting agent Substances 0.000 claims description 3
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims 2
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 claims 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- 238000013461 design Methods 0.000 description 5
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 4
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 description 4
- 229910052809 inorganic oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 4
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 4
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 4
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 3
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 3
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 3
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 3
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 3
- POFFJVRXOKDESI-UHFFFAOYSA-N 1,3,5,7-tetraoxa-4-silaspiro[3.3]heptane-2,6-dione Chemical compound O1C(=O)O[Si]21OC(=O)O2 POFFJVRXOKDESI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- 125000002877 alkyl aryl group Chemical group 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005380 borophosphosilicate glass Substances 0.000 description 2
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 150000002191 fatty alcohols Chemical class 0.000 description 2
- AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L hydroxy(oxo)manganese;manganese Chemical compound [Mn].O[Mn]=O.O[Mn]=O AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910001853 inorganic hydroxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 2
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229920002432 poly(vinyl methyl ether) polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 2
- 229920000151 polyglycol Polymers 0.000 description 2
- 239000010695 polyglycol Substances 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- CMCBDXRRFKYBDG-UHFFFAOYSA-N 1-dodecoxydodecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCOCCCCCCCCCCCC CMCBDXRRFKYBDG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 229910052580 B4C Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910026551 ZrC Inorganic materials 0.000 description 1
- JXOOCQBAIRXOGG-UHFFFAOYSA-N [B].[B].[B].[B].[B].[B].[B].[B].[B].[B].[B].[B].[Al] Chemical compound [B].[B].[B].[B].[B].[B].[B].[B].[B].[B].[B].[B].[Al] JXOOCQBAIRXOGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OTCHGXYCWNXDOA-UHFFFAOYSA-N [C].[Zr] Chemical compound [C].[Zr] OTCHGXYCWNXDOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 239000003139 biocide Substances 0.000 description 1
- INAHAJYZKVIDIZ-UHFFFAOYSA-N boron carbide Chemical compound B12B3B4C32B41 INAHAJYZKVIDIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 229910021485 fumed silica Inorganic materials 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 229910003002 lithium salt Inorganic materials 0.000 description 1
- 159000000002 lithium salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- NFFIWVVINABMKP-UHFFFAOYSA-N methylidynetantalum Chemical compound [Ta]#C NFFIWVVINABMKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004005 microsphere Substances 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920000233 poly(alkylene oxides) Polymers 0.000 description 1
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 150000003242 quaternary ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 1
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 159000000000 sodium salts Chemical class 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 125000001273 sulfonato group Chemical group [O-]S(*)(=O)=O 0.000 description 1
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 229910003468 tantalcarbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C(F)(F)C(F)(F)F MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
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- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
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- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
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- H01L21/46—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/428
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Description
本発明は化学機械研磨方法に関する。より具体的には、本発明は、酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種の存在と共にポリシリコンを有する基体を研磨するための化学機械研磨方法に関する。
集積回路および他の電子デバイスの製造において、導電体材料、半導体材料および誘電体材料の複数の層が半導体ウェハの表面上に堆積されるか、または半導体ウェハの表面から除かれる。導電体材料、半導体材料および誘電体材料の薄層は多くの堆積技術によって堆積されうる。最新の処理における一般的な堆積技術には、スパッタリングとしても知られている物理蒸着（ＰＶＤ）、化学蒸着（ＣＶＤ）、プラズマエンハンスト（ｐｌａｓｍａ−ｅｎｈａｎｃｅｄ）化学蒸着（ＰＥＣＶＤ）、および電気化学めっき（ＥＣＰ）が挙げられる。
材料の層が逐次的に堆積されそして除去されるにつれて、ウェハの最も上の表面は非平面となる。後続の半導体処理（例えば、金属化）は、ウェハが平坦な表面を有することを必要とするので、このウェハは平坦化されることを必要とする。平坦化は望まれない表面形状並びに表面欠陥、例えば、粗い表面、凝集した材料、結晶格子損傷、ひっかき傷、および汚染された層もしくは材料を除去するのに有用である。
化学機械平坦化もしくは化学機械研磨（ＣＭＰ）は、半導体ウェハのような基体を平坦化するのに使用される一般的な技術である。従来のＣＭＰにおいては、ウェハはキャリアアセンブリ上に取り付けられ、ＣＭＰ装置の研磨パッドと接触するように位置決めされる。キャリアアセンブリは制御可能な圧力をウェハに加え、研磨パッドにウェハを押し付ける。外部駆動力によってこのパッドはウェハに対して動かされ（例えば、回転させられ）る。これと同時に、研磨組成物（スラリー）もしくは他の研磨液がウェハと研磨パッドとの間に提供される。よって、ウェハ表面は、パッド表面およびスラリーの化学的および機械的作用によって研磨されそして平坦にされる。
シャロートレンチ分離（ＳＴＩ）プロセスと称される半導体デバイスの要素を分離するのに使用される一方法は、シリコン基体上に形成された窒化ケイ素層、この窒化ケイ素層に形成されたシャロートレンチの使用を通常は伴っており、そして誘電体材料（例えば、酸化物）がそのトレンチを満たすように堆積される。典型的には、過剰な誘電体材料が基体の頂部上に堆積され、トレンチの完全な充填を確実にする。次いで、化学機械平坦化技術を使用して、この過剰な誘電体材料層は除去されて、窒化ケイ素層を露出させる。
過去のデバイス設計は窒化ケイ素に対する酸化ケイ素についての化学機械平坦化選択性（すなわち、窒化ケイ素の除去速度と比べて、より高い窒化ケイ素についての除去速度）を強調してきた。これらのデバイス設計においては、窒化ケイ素層は化学機械平坦化プロセスについての停止層として機能していた。
ある最近のデバイス設計は、化学機械平坦化プロセスにおける使用のために、ポリシリコンの存在下での酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種に対する選択性（すなわち、ポリシリコンについての除去速度と比べて、より高い酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種についての除去速度）を提供する研磨組成物を要求する。
ポリシリコンと比べて、酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種に対する選択性を提供する化学機械平坦化プロセスにおける使用のための１つの研磨配合物が、ダイサード（Ｄｙｓａｒｄ）らへの米国特許出願公開第２００７／００７７８６５号に開示されている。ダイサードらは、基体を化学機械研磨する方法を開示し、この方法は（ｉ）酸化ケイ素および窒化ケイ素から選択される材料とポリシリコンとを含む基体を、（ａ）研磨剤、（ｂ）液体キャリア、（ｃ）液体キャリアおよびそれに溶解もしくは懸濁されている成分の重量を基準にして約１ｐｐｍ〜約１００ｐｐｍの、約１５以下のＨＬＢを有するポリエチレンオキシド／ポリプロピレンオキシドコポリマー、並びに（ｄ）研磨パッド：を含む化学機械研磨システムと接触させ；（ｉｉ）基体に対して研磨パッドを動かし；並びに（ｉｉｉ）基体の少なくとも一部分を摩耗させて、基体を研磨する：ことを含む。
ポリシリコンよりも、酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種に対する選択性を提供する化学機械平坦化プロセスにおける使用のための別の研磨配合物が、パーク（Ｐａｒｋ）らへの米国特許第６，６２６，９６８号に開示されている。パークらは酸化ケイ素層およびポリシリコン層を有する表面を同時に研磨するための、ｐＨ７〜１１を有し、スラリー形態の化学機械研磨組成物を開示し、当該スラリー組成物は、本質的に、水；シリカ（ＳｉＯ２）、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、セリア（ＣｅＯ２）、マガニア（Ｍｎ２Ｏ３）およびこれらの混合物からなる群から選択される研磨剤粒子；並びに、ポリビニルメチルエーテル（ＰＶＭＥ）、ポリエチレングリコール（ＰＥＧ）、ポリオキシエチレン２３ラウリルエーテル（ＰＯＬＥ）、ポリプロパン酸（ＰＰＡ）、ポリアクリル酸（ＰＡＡ）、ポリエーテルグリコールビスエーテル（ＰＥＧＢＥ）、およびこれらの混合物からなる群から選択されるポリマー添加剤約０．００１重量％〜約５重量％：から本質的になり、このポリマー添加剤は、ポリシリコン層の除去に対する酸化ケイ素層の除去についての選択性比を向上させる。
にもかかわらず、半導体システムの製造における使用のためのデバイス設計の動的な分野をサポートするために、設計ニーズの変更に適合する研磨特性の望まれるバランスを提供するように配合される化学機械研磨組成物についての継続した必要性が存在している。例えば、ポリシリコンよりも窒化ケイ素および酸化ケイ素の少なくとも１種の除去に有利に働くように適合した除去速度および除去速度選択性を示す化学機械研磨組成物についての必要性が存在している。
本発明は、酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種とポリシリコンとを含む基体を提供し；６〜３０個の炭素原子を有する非環式疎水性部分と１０〜３００個の炭素原子を有する非イオン性非環式親水性部分とを有する非環式有機スルホン酸化合物、水、並びに研磨剤を当初成分として含む（好ましくは、これらから本質的になる）化学機械研磨組成物を提供し；化学機械研磨パッドに研磨面を提供し；基体に対して研磨面を動かし；化学機械研磨組成物を研磨面上に分配し；基体の少なくとも一部分を摩耗させて、基体を研磨し；ポリシリコンの少なくとも幾分かが基体から除去され；並びに、酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種の少なくとも幾分かが基体から除去される；ことを含む、基体を化学機械研磨する方法を提供する。
本発明は、酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種とポリシリコンとを含む基体を提供し；６〜３０個の炭素原子を有する非環式疎水性部分と１０〜３００個の炭素原子を有する非イオン性非環式親水性部分とを有する非環式有機スルホン酸化合物、水、並びに研磨剤を当初成分として含む（好ましくは、これらから本質的になる）化学機械研磨組成物を提供し；化学機械研磨パッドに研磨面を提供し；基体に対して研磨面を動かし；化学機械研磨組成物を研磨面上に分配し；基体の少なくとも一部分を摩耗させて、基体を研磨し；ポリシリコンの少なくとも幾分かが基体から除去され；酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種の少なくとも幾分かが基体から除去され；並びに、化学機械研磨組成物が２〜５の研磨ｐＨを示す；ことを含む、基体を化学機械研磨する方法も提供する。
本発明は、酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種とポリシリコンとを含む基体を提供し；式Ｒ（ＥＯ）ｘＳＯ３Ｎａ（式中、Ｒは６〜３０個の炭素原子を有する脂肪アルコールであり、ＥＯはエチレンオキシドであり、およびｘは１０〜３００である）を有する非環式有機スルホン酸化合物、水、および研磨剤を当初成分として含む（好ましくは、これらから本質的になる）化学機械研磨組成物を提供し；化学機械研磨パッドに研磨面を提供し；基体に対して研磨面を動かし；化学機械研磨組成物を研磨面上に分配し；基体の少なくとも一部分を摩耗させて、基体を研磨し；ポリシリコンの少なくとも幾分かが基体から除去され；酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種の少なくとも幾分かが基体から除去され；並びに、化学機械研磨組成物が無機酸で調節されて２〜５の研磨ｐＨを示す；ことを含む、基体を化学機械研磨する方法も提供する。
本発明は、酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種とポリシリコンとを含む基体を提供し；６〜３０個の炭素原子を有する非環式疎水性部分と１０〜３００個の炭素原子を有する非イオン性非環式親水性部分とを有する非環式有機スルホン酸化合物、水、並びに研磨剤を当初成分として含む（好ましくは、これらから本質的になる）化学機械研磨組成物を提供し；化学機械研磨パッドに研磨面を提供し；基体に対して研磨面を動かし；化学機械研磨組成物を研磨面上に分配し；基体の少なくとも一部分を摩耗させて、基体を研磨し；ポリシリコンの少なくとも幾分かが基体から除去され；酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種の少なくとも幾分かが基体から除去され；並びに、化学機械研磨組成物が２〜５の研磨ｐＨを示す；ことを含む、基体を化学機械研磨する方法も提供する。
本発明は、酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種とポリシリコンとを含む基体を提供し；式Ｒ（ＥＯ）ｘＳＯ３Ｎａ（式中、Ｒは６〜３０個の炭素原子を有する脂肪アルコールであり、ＥＯはエチレンオキシドであり、およびｘは１０〜３００である）を有する非環式有機スルホン酸化合物、水、および研磨剤を当初成分として含む（好ましくは、これらから本質的になる）化学機械研磨組成物を提供し；化学機械研磨パッドに研磨面を提供し；基体に対して研磨面を動かし；化学機械研磨組成物を研磨面上に分配し；基体の少なくとも一部分を摩耗させて、基体を研磨し；ポリシリコンの少なくとも幾分かが基体から除去され；酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種の少なくとも幾分かが基体から除去され；並びに、化学機械研磨組成物が無機酸で調節されて２〜５の研磨ｐＨを示す；ことを含む、基体を化学機械研磨する方法も提供する。
本発明の化学機械研磨方法は、酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種と共にポリシリコンを含む基体を研磨するのに有用である。本発明の方法において使用される化学機械研磨組成物は、ポリシリコン除去速度抑制量の非環式有機スルホン酸化合物を含み、この化合物は酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種の除去速度の最小限の影響を有する。
本明細書および特許請求の範囲において使用される、化学機械研磨組成物への非環式有機スルホン酸化合物の添加によりもたらされる（Å／分で測定される除去速度について）除去速度抑制に関する用語「実質的に低い」とは、ポリシリコンの除去速度が２０％以上低いことを意味する。すなわち、ポリシリコン除去速度が実質的に低い場合には、下記の式が満足される：
（（Ａ０−Ａ）／Ａ０）×１００≧２０
式中、Ａは、非環式有機スルホン酸化合物を含む本発明の方法において使用される化学機械研磨組成物についてのポリシリコン除去速度（Å／分単位）であり；Ａ０は、この非環式有機スルホン酸化合物が化学機械研磨組成物に存在しないことを除いて同じ条件下で得られたポリシリコン除去速度（Å／分単位）である。
（（Ａ０−Ａ）／Ａ０）×１００≧２０
式中、Ａは、非環式有機スルホン酸化合物を含む本発明の方法において使用される化学機械研磨組成物についてのポリシリコン除去速度（Å／分単位）であり；Ａ０は、この非環式有機スルホン酸化合物が化学機械研磨組成物に存在しないことを除いて同じ条件下で得られたポリシリコン除去速度（Å／分単位）である。
本明細書および特許請求の範囲において使用される、化学機械研磨組成物への非環式有機スルホン酸化合物の添加によりもたらされる酸化ケイ素または窒化ケイ素についての除去速度（Å／分で測定）の変化に関する用語「実質的に変化なし」とは、酸化ケイ素または窒化ケイ素の除去速度が１０％以内しか変化しないことを意味する。すなわち、酸化ケイ素または窒化ケイ素除去速度が実質的に変化なしの場合には、下記の式が満足される：
（（（Ｂ０−Ｂ）の絶対値）／Ｂ０）×１００≦１０
式中、Ｂは、非環式有機スルホン酸化合物を含む本発明の方法において使用される化学機械研磨組成物についての酸化ケイ素もしくは窒化ケイ素除去速度（Å／分単位）であり；Ｂ０は、この非環式有機スルホン酸化合物が化学機械研磨組成物に存在しないことを除いて同じ条件下で得られた酸化ケイ素もしくは窒化ケイ素除去速度である。
（（（Ｂ０−Ｂ）の絶対値）／Ｂ０）×１００≦１０
式中、Ｂは、非環式有機スルホン酸化合物を含む本発明の方法において使用される化学機械研磨組成物についての酸化ケイ素もしくは窒化ケイ素除去速度（Å／分単位）であり；Ｂ０は、この非環式有機スルホン酸化合物が化学機械研磨組成物に存在しないことを除いて同じ条件下で得られた酸化ケイ素もしくは窒化ケイ素除去速度である。
本発明の化学機械研磨方法において使用される化学機械研磨組成物において使用される非環式有機スルホン酸化合物は、一般式Ｒ−ＳＯ３Ｈまたは塩としてＲ−ＳＯ３ −（式中、Ｒは非環式疎水性部分および非イオン性非環式親水性部分を含む）で表されうる。スルホン酸部分（すなわち、−ＳＯ３Ｈ）およびスルホナート部分（−ＳＯ３ −）は本明細書においては交換可能に使用される。
非環式有機スルホン酸化合物における非環式疎水性部分は、水溶解度のために好適な長さを有する長鎖非環式炭化水素である。特に、非環式疎水性部分は６〜３０個の炭素原子総数を有する。好ましくは、非環式疎水性部分は８〜２０個の炭素原子を有し、より好ましくは非環式疎水性部分は１２〜１６個の炭素原子を有する。非環式疎水性部分は直鎖もしくは分岐鎖であることができる。非環式疎水性部分は飽和または不飽和であってよい。最も好ましくは、非環式疎水性部分は脂肪アルコール由来の直鎖である。
非環式有機スルホン酸化合物における非イオン性非環式親水性部分は１０〜３００個の炭素原子を含む。好ましくは、非イオン性非環式親水性部分は２０〜２００個の炭素原子を含む。さらにより好ましくは、非イオン性非環式親水性部分は２５〜１５０個の炭素原子を含む。非イオン性非環式親水性部分は直鎖もしくは分岐鎖であることができる。非イオン性非環式親水性部分は飽和または不飽和であって良い。好ましくは、非イオン性非環式親水性部分は飽和もしくは不飽和の直鎖ポリアルキレンオキシドである。最も好ましくは、非イオン性非環式親水性部分は直鎖のポリエチレンオキシドである。
非環式有機スルホン酸化合物は場合によっては本発明の方法に使用される化学機械研磨組成物に、アンモニウム、カリウム、第四級アンモニウム、ナトリウムもしくはリチウム塩として添加される。好ましくは、非環式有機スルホン酸化合物はナトリウム塩として、本発明の方法に使用される化学機械研磨組成物に添加される。
好ましくは、非環式有機スルホン酸化合物はポリグリコールエーテルスルファートである。最も好ましくは、非環式有機スルホン酸化合物は式Ｒ（ＥＯ）ｘＳＯ３Ｎａ（式中、Ｒは６〜３０個の炭素原子（より好ましくは、８〜２０個の炭素原子、さらにより好ましくは１２〜１６個の炭素原子）を有する脂肪アルコールであり；ＥＯはエチレンオキシドであり；ｘは１０〜３００（より好ましくは、２０〜２００、さらにより好ましくは２５〜１５０、最も好ましくは２５〜４０）である）を有する。
本発明の化学機械研磨方法に使用される化学機械研磨組成物に使用される非環式有機スルホン酸化合物の量は、酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種の除去速度に対して、ポリシリコン除去速度を調整するように選択される。使用される化学機械研磨組成物は、好ましくは、当初成分として０．０００１〜１重量％の非環式有機スルホン酸化合物を含む。より好ましくは、使用される化学機械研磨組成物は当初成分として０．０１〜１重量％、さらにより好ましくは０．０１〜０．１重量％、最も好ましくは０．０１〜０．０５重量％の非環式有機スルホン酸化合物を含む。
本発明の化学機械研磨方法に使用される化学機械研磨組成物に含まれる水は、付随的な不純物を制限するために好ましくは脱イオンおよび蒸留の少なくとも一方がなされる。
本発明の化学機械研磨方法に使用される化学機械研磨組成物は０．１〜４０重量％の研磨剤、好ましくは５〜２５重量％の研磨剤を含む。使用される研磨剤は好ましくは１００ｎｍ以下；より好ましくは１０〜１００ｎｍ；最も好ましくは２５〜６０ｎｍの平均粒子サイズを有する。
本発明の化学機械研磨方法に使用される化学機械研磨組成物における使用に好適な研磨剤には、例えば、無機酸化物、無機水酸化物、無機水酸化酸化物、金属ホウ化物、金属炭化物、金属窒化物、ポリマー粒子および前記の少なくとも１種を含む混合物が挙げられる。好適な無機酸化物には、例えば、シリカ（ＳｉＯ２）、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、ジルコニア（ＺｒＯ２）、セリア（ＣｅＯ２）、酸化マンガン（ＭｎＯ２）、酸化チタン（ＴｉＯ２）もしくは前記酸化物の少なくとも１種を含む組み合わせ物が挙げられる。所望の場合には、これら無機酸化物の修飾された形態、例えば、有機ポリマーコーティングした無機酸化物粒子、および無機コーティングした粒子も利用されうる。好適な金属炭化物、ホウ化物および窒化物には、例えば、炭化ケイ素、窒化ケイ素、シリコンカルボニトリド（ＳｉＣＮ）、炭化ホウ素、炭化タングステン、炭化ジルコニウム、ホウ化アルミニウム、炭化タンタル、炭化チタン、または前記金属炭化物、ホウ化物および窒化物の少なくとも１種を含む組み合わせ物が挙げられる。
本発明の化学機械研磨方法に使用される化学機械研磨組成物における使用に好ましい研磨剤はコロイダルシリカである。好ましくは、使用されるコロイダルシリカはヒュームドシリカ、沈降シリカおよび凝集シリカの少なくとも１種を含む。好ましくは、使用されるコロイダルシリカは１００ｎｍ以下、より好ましくは１０〜１００ｎｍ、最も好ましくは２５〜６０ｎｍの平均粒子サイズを有し、化学機械研磨組成物の０．１〜４０重量％、好ましくは１〜３０重量％、最も好ましくは１５〜２５重量％の割合を占める。
本発明の化学機械研磨方法に使用される化学機械研磨組成物は、場合によっては、分散剤、界面活性剤、緩衝剤、消泡剤および殺生物剤から選択される追加の添加剤をさらに含む。
本発明の化学機械研磨方法に使用される化学機械研磨組成物は５以下、好ましくは２〜４、より好ましくは２〜３のｐＨを有する。使用される化学機械研磨組成物は無機および有機ｐＨ調節剤を含むことができる。場合によっては、ｐＨ調節剤は無機酸（例えば、硝酸、硫酸、塩酸およびリン酸）から選択される。
本発明の化学機械研磨方法で研磨される基体は、酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種と共にポリシリコンを含む。
基体におけるポリシリコンは当該技術分野において知られているあらゆる好適なポリシリコン材料であることができる。ポリシリコンはあらゆる好適な相であることができ、非晶質、結晶質またはこれらの組み合わせであることができる。
基体における酸化ケイ素は、存在する場合には、当該技術分野において知られているあらゆる好適な酸化ケイ素材料；例えば、ボロホスホシリケートガラス（ＢＰＳＧ）、プラズマエッチ（ｐｌａｓｍａ−ｅｔｃｈｅｄ）テトラエチルオルトシリケート（ＰＥＴＥＯＳ）、熱酸化物、未ドープシリケートガラス、高密度プラズマ（ＨＤＰ）オキシドであることができる。
基体における窒化ケイ素は、存在する場合には、当該技術分野において知られているあらゆる好適な窒化ケイ素材料；例えば、Ｓｉ３Ｎ４であることができる。
本発明の化学機械研磨方法に使用される化学機械研磨パッドは当該技術分野において知られているあらゆる好適な研磨パッドであることができる。化学機械研磨パッドは、場合によっては、織物研磨パッドおよび不織研磨パッドから選択されうる。化学機械研磨パッドは、様々な密度、硬さ、厚み、圧縮性、および弾性率のあらゆる好適なポリマーから製造されうる。化学機械研磨パッドは、望まれる場合には、溝を付けられ、穴あけされうる。
本発明の化学機械研磨方法に使用される化学機械研磨組成物に含まれる非環式有機スルホン酸化合物は、好ましくは、それが酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種の除去速度（分あたりのオングストローム、すなわちÅ／分で測定して）を抑制するよりも大きな比率差でポリシリコンの除去速度を抑制する。膜Ｘの除去速度の相対的抑制（ΔＸ）をΔＸ＝（Ｘ０−Ｘ）／Ｘ０として定義する場合に、Ｘ０およびＸは、非環式有機スルホン酸化合物の添加なしの（Ｘ０）およびこれを添加した（Ｘ）研磨組成物を使用して、Å／分単位で測定した膜Ｘの除去速度を表す。本発明の方法に使用される化学機械研磨組成物における非環式有機スルホン酸化合物の混入は好ましくは、下記式の少なくとも１つを満足させる：実施例において説明される研磨条件下で測定して、（ｉ）Δポリシリコン＞Δ酸化ケイ素、および（ｉｉ）Δポリシリコン＞ΔＳｉ３Ｎ４。例えば、実施例で説明される条件下で、非環式有機スルホン酸化合物を含まない組成物で研磨することが、対照の除去速度、ポリシリコンについてＸ０＝５００Å／分、および二酸化ケイ素および窒化ケイ素について５００Å／分を提供する場合には、研磨組成物に非環式有機スルホン酸化合物を添加することは、ポリシリコンの除去速度をＸ＝３００Å／分に低下させ、そして二酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種の除去速度が＞３００Å／分のはずである。
望ましくは、本発明の化学機械研磨方法においては、非環式有機スルホン酸化合物を含む化学機械研磨組成物によって示されるポリシリコンの研磨除去速度は、非環式有機スルホン酸化合物が存在しないことを除いて同じ条件下で得られたポリシリコンの除去速度よりも実質的に低い。好ましくは、本発明の方法に使用される化学機械研磨組成物への非環式有機スルホン酸化合物の添加を通じて得られたポリシリコン除去速度抑制は、実施例において説明される研磨条件下で測定して、２５％以上、より好ましくは５０％以上（すなわち、除去速度抑制＝（（Ａ０−Ａ）／Ａ０）×１００）である。典型的には、本発明の方法に使用される化学機械研磨組成物への非環式有機スルホン酸化合物の添加を通じて得られたポリシリコン除去速度抑制は、実施例において説明される研磨条件下で測定して、２００％以下である。
望ましくは、本発明の化学機械研磨方法に使用される化学機械研磨組成物は、実施例において説明される研磨条件下で測定して、ポリシリコンについて、２０％以上、より好ましくは２５％以上、最も好ましくは５０％以上（すなわち、除去速度抑制＝（（Ａ０−Ａ）／Ａ０）×１００である）の研磨除去速度抑制を示し；酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種について、実施例において説明される研磨条件下で測定して、１０％以下、より好ましくは７％以下、さらにより好ましくは６％以下、さらにより好ましくは５％以下、最も好ましくは１％以下（すなわち、除去速度変化＝（（（Ｂ０−Ｂ）の絶対値）／Ｂ０）×１００）［式中、Ｂは、アルキルアリールポリエーテルスルホナート化合物を含む本発明の方法に使用される化学機械研磨組成物についての、Å／分単位での、酸化ケイ素もしくは窒化ケイ素除去速度であり；Ｂ０は、アルキルアリールポリエーテルスルホナート化合物が化学機械研磨組成物に存在しないことを除いて同じ条件下で得られた酸化ケイ素もしくは窒化ケイ素除去速度である］の研磨除去速度変化を示す。
望ましくは、本発明の化学機械研磨方法は、実施例において説明される研磨条件下で測定して、８００Å／分以上、好ましくは１，０００Å／分以上、より好ましくは１，２００Å／分以上、さらにより好ましくは１，４００Å／分以上、最も好ましくは１，５００Å／分以上の窒化ケイ素除去速度、および実施例において説明される研磨条件下で測定して、２以上：１、好ましくは３以上：１、より好ましくは５以上：１、さらにより好ましくは６以上：１の窒化ケイ素対ポリシリコン除去速度選択性（すなわち、窒化ケイ素の除去速度：ポリシリコンの除去速度）で基体を研磨するために使用されうる。
望ましくは、本発明の化学機械研磨方法は、実施例において説明される研磨条件下で測定して、８００Å／分以上、好ましくは１，０００Å／分以上、より好ましくは１，２００Å／分以上、さらにより好ましくは１，５００Å／分以上、最も好ましくは１，６００Å／分以上の酸化ケイ素除去速度、および実施例において説明される研磨条件下で測定して、２以上：１、好ましくは３以上：１、より好ましくは５以上：１、さらにより好ましくは７以上：１の酸化ケイ素対ポリシリコン除去速度選択性（すなわち、酸化ケイ素の除去速度：ポリシリコンの除去速度）で基体を研磨するために使用されうる。
望ましくは、本発明の化学機械研磨方法は、ポリシリコンに対して酸化ケイ素および窒化ケイ素の双方の選択的研磨（すなわち、除去）を同時に提供する（すなわち、実施例において説明される研磨条件下で測定して、酸化ケイ素および窒化ケイ素の双方について、ポリシリコンの除去速度よりも高い除去速度を示す）。
本発明の化学機械研磨方法に使用される化学機械研磨組成物は低い名目研磨パッド圧力、例えば、３〜３５ｋＰａでの操作を可能にする。この低い名目研磨パッド圧力は、スクラッチングおよび他の望まれない研磨欠陥を低減することにより研磨性能を向上させ、さらに脆性材料に対する損傷を最小限にする。
ここで、本発明のいくつかの実施形態が下記の実施例において詳細に説明される。
化学機械研磨組成物
試験された化学機械研磨組成物（ＣＭＰＣ）は表１に記載される。化学機械研磨組成物Ａは比較配合物であり、これは請求項に特定される発明の範囲内にはない。
試験された化学機械研磨組成物（ＣＭＰＣ）は表１に記載される。化学機械研磨組成物Ａは比較配合物であり、これは請求項に特定される発明の範囲内にはない。
Γ：実施例において使用された非環式有機スルホン酸化合物はポリグリコールエーテルスルファートであり、具体的には、コグニスケミカルズグループ（Ｃｏｇｎｉｓ Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ Ｇｒｏｕｐ）によって製造されたジスポニル（Ｄｉｓｐｏｎｉｌ）ＦＥＳ７７で、Ｒ（ＥＯ）３３ＳＯ３Ｎａ（式中、Ｒは脂肪アルコールおよびＥＯはエチレンオキシドである）の名目組成を有していた。
£：実施例において使用された研磨剤は、ＡＺエレクトロニックマテリアルズ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ）によって製造され、ザダウケミカルカンパニーから入手可能なクレボソール（Ｋｌｅｂｏｓｏｌ登録商標）３０Ｈ５０ｉコロイダルシリカであった。
￥：組成物ｐＨは必要に応じてＨＮＯ３またはＫＯＨを使用して調節された。
£：実施例において使用された研磨剤は、ＡＺエレクトロニックマテリアルズ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ）によって製造され、ザダウケミカルカンパニーから入手可能なクレボソール（Ｋｌｅｂｏｓｏｌ登録商標）３０Ｈ５０ｉコロイダルシリカであった。
￥：組成物ｐＨは必要に応じてＨＮＯ３またはＫＯＨを使用して調節された。
研磨試験
２００ｍｍブランケットウェハ、具体的には（Ａ）ＴＥＯＳ誘電体ウェハ；（Ｂ）Ｓｉ３Ｎ４誘電体ウェハ；および（Ｃ）非晶質ポリシリコン誘電体ウェハを使用して、表１に記載された化学機械研磨組成物が試験された。ポリウレタン含浸不織サブパッドおよびポリマー中空コア微小球体を含むポリウレタン研磨層を含む研磨パッド（すなわち、ロームアンドハースエレクトロニックマテリアルズＣＭＰインコーポレイテッドから市販されているＩＣ１０１０商標研磨パッド）を使用して、実施例における全てのブランケットウェハを研磨するために、ストラスバーグ エヌスパイア（Ｓｔｒａｓｂａｕｇｈ ｎＳｐｉｒｅ商標）ＣＭＰシステムモデル６ＥＣロータリー型研磨プラットフォームが使用された。全ての実施例において使用された研磨条件は、９３ｒｐｍのプラテン速度；８７ｒｐｍのキャリア速度；２００ｍｌ／分の研磨媒体流速；および２０．７ｋＰａのダウンフォースであった。それぞれの研磨実験についての除去速度は表２に提供される。この除去速度は研磨前膜厚および研磨後膜厚から計算されたことに留意されたい。具体的には、除去速度はＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒから入手可能なＳｐｅｃｔｒａＦＸ２００光学薄膜計測システムを用いて決定された。
２００ｍｍブランケットウェハ、具体的には（Ａ）ＴＥＯＳ誘電体ウェハ；（Ｂ）Ｓｉ３Ｎ４誘電体ウェハ；および（Ｃ）非晶質ポリシリコン誘電体ウェハを使用して、表１に記載された化学機械研磨組成物が試験された。ポリウレタン含浸不織サブパッドおよびポリマー中空コア微小球体を含むポリウレタン研磨層を含む研磨パッド（すなわち、ロームアンドハースエレクトロニックマテリアルズＣＭＰインコーポレイテッドから市販されているＩＣ１０１０商標研磨パッド）を使用して、実施例における全てのブランケットウェハを研磨するために、ストラスバーグ エヌスパイア（Ｓｔｒａｓｂａｕｇｈ ｎＳｐｉｒｅ商標）ＣＭＰシステムモデル６ＥＣロータリー型研磨プラットフォームが使用された。全ての実施例において使用された研磨条件は、９３ｒｐｍのプラテン速度；８７ｒｐｍのキャリア速度；２００ｍｌ／分の研磨媒体流速；および２０．７ｋＰａのダウンフォースであった。それぞれの研磨実験についての除去速度は表２に提供される。この除去速度は研磨前膜厚および研磨後膜厚から計算されたことに留意されたい。具体的には、除去速度はＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒから入手可能なＳｐｅｃｔｒａＦＸ２００光学薄膜計測システムを用いて決定された。
Claims (3)
- 酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種と非晶質ポリシリコンとを含む基体を提供すること；
当初成分として、０．０１〜０．１重量％の量の、式Ｒ（ＥＯ）ｘＳＯ３Ｎａ（式中、Ｒは６〜３０個の炭素原子を有する脂肪アルコールであり；ＥＯはエチレンオキシドであり；ｘは２５〜１５０である）を有する非環式有機スルホン酸化合物、水、５以下のｐＨをもたらす無機ｐＨ調節剤、および５〜２５重量％の量の研磨剤のみからなる化学機械研磨組成物を提供すること；
化学機械研磨パッドに研磨面を提供すること；
基体に対して研磨面を動かすこと；
化学機械研磨組成物を研磨面上に分配すること；および
基体の少なくとも一部分を摩耗させて、基体を研磨すること；
を含み、
化学機械研磨組成物が５以上：１の酸化ケイ素：非晶質ポリシリコン除去速度選択性を示し、
化学機械研磨組成物が５以上：１の窒化ケイ素：非晶質ポリシリコン除去速度選択性を示し、
非環式有機スルホン酸化合物を化学機械研磨組成物に添加したことによる酸化ケイ素および窒化ケイ素の除去速度の変化が１０％以内であり、
非環式有機スルホン酸化合物を化学機械研磨組成物に添加したことによる非晶質ポリシリコンの除去速度の低下が２０％以上である、
基体を化学機械研磨する方法。 - 化学機械研磨組成物が、２００ｍｍ研磨装置において、９３回転／分のプラテン速度、
８７回転／分のキャリア速度、２００ｍｌ／分の化学機械研磨組成物流速、２０．７ｋＰ
ａの名目ダウンフォースで、８００Å／分以上の酸化ケイ素除去速度を示し；ポリウレタ
ン含浸不織サブパッドおよびポリマー中空コア微小粒子を含むポリウレタン研磨層を化学
機械研磨パッドが含む、請求項１に記載の方法。 - 化学機械研磨組成物が、２００ｍｍ研磨装置において、９３回転／分のプラテン速度、
８７回転／分のキャリア速度、２００ｍｌ／分の化学機械研磨組成物流速、２０．７ｋＰ
ａの名目ダウンフォースで、８００Å／分以上の窒化ケイ素除去速度を示し；ポリウレタ
ン含浸不織サブパッドおよびポリマー中空コア微小粒子を含むポリウレタン研磨層を化学
機械研磨パッドが含む、請求項１に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US12/724,721 US8492277B2 (en) | 2010-03-16 | 2010-03-16 | Method of polishing a substrate comprising polysilicon and at least one of silicon oxide and silicon nitride |
| US12/724721 | 2010-03-16 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011052895A Division JP2011192995A (ja) | 2010-03-16 | 2011-03-10 | 酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種とポリシリコンとを含む基体を研磨する方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016157985A JP2016157985A (ja) | 2016-09-01 |
| JP6246263B2 true JP6246263B2 (ja) | 2017-12-13 |
Family
ID=44558415
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011052895A Pending JP2011192995A (ja) | 2010-03-16 | 2011-03-10 | 酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種とポリシリコンとを含む基体を研磨する方法 |
| JP2016105160A Active JP6246263B2 (ja) | 2010-03-16 | 2016-05-26 | 酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種とポリシリコンとを含む基体を研磨する方法 |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011052895A Pending JP2011192995A (ja) | 2010-03-16 | 2011-03-10 | 酸化ケイ素および窒化ケイ素の少なくとも１種とポリシリコンとを含む基体を研磨する方法 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8492277B2 (ja) |
| JP (2) | JP2011192995A (ja) |
| KR (1) | KR101737334B1 (ja) |
| CN (1) | CN102201337B (ja) |
| DE (1) | DE102011013978A1 (ja) |
| FR (1) | FR2957547B1 (ja) |
| TW (1) | TWI508154B (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8491808B2 (en) * | 2010-03-16 | 2013-07-23 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Method of polishing a substrate comprising polysilicon, silicon oxide and silicon nitride |
| US8496843B2 (en) * | 2010-03-16 | 2013-07-30 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Method of polishing a substrate comprising polysilicon and at least one of silicon oxide and silicon nitride |
| CN104057615A (zh) * | 2014-06-24 | 2014-09-24 | 王起 | 一种三维立体画压膜机 |
| US10711158B2 (en) | 2017-09-28 | 2020-07-14 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Aqueous silica slurry and amine carboxylic acid compositions for use in shallow trench isolation and methods of using them |
| US10584265B2 (en) | 2017-09-28 | 2020-03-10 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Aqueous silica slurry and amine carboxylic acid compositions selective for nitride removal in polishing and methods of using them |
| US10508221B2 (en) | 2017-09-28 | 2019-12-17 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Aqueous low abrasive silica slurry and amine carboxylic acid compositions for use in shallow trench isolation and methods of making and using them |
| US11186748B2 (en) | 2017-09-28 | 2021-11-30 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Aqueous anionic functional silica slurry and amine carboxylic acid compositions for selective nitride removal in polishing and methods of using them |
| CN109971356A (zh) | 2017-12-27 | 2019-07-05 | 安集微电子（上海）有限公司 | 一种化学机械抛光液 |
| JP7120846B2 (ja) * | 2018-08-10 | 2022-08-17 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物及びその製造方法並びに研磨方法並びに基板の製造方法 |
| WO2023186762A1 (en) | 2022-03-31 | 2023-10-05 | Basf Se | Compositions and methods for tungsten etching inhibition |
Family Cites Families (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3457107A (en) * | 1965-07-20 | 1969-07-22 | Diversey Corp | Method and composition for chemically polishing metals |
| US4283321A (en) | 1979-10-03 | 1981-08-11 | Gaf Corporation | Alkyl aryl ethyleneoxy sulfonate surfactants for vinyl acetate polymerization |
| JP3265199B2 (ja) * | 1996-09-30 | 2002-03-11 | 株式会社東芝 | 化学的機械研磨法、化学的機械研磨法に用いる研磨剤および半導体装置の製造方法 |
| KR100378180B1 (ko) * | 2000-05-22 | 2003-03-29 | 삼성전자주식회사 | 화학기계적 연마 공정용 슬러리 및 이를 이용한 반도체소자의 제조방법 |
| US6743683B2 (en) * | 2001-12-04 | 2004-06-01 | Intel Corporation | Polysilicon opening polish |
| US7201647B2 (en) * | 2002-06-07 | 2007-04-10 | Praxair Technology, Inc. | Subpad having robust, sealed edges |
| JP2008044103A (ja) * | 2003-04-09 | 2008-02-28 | Jsr Corp | 研磨複層体および半導体ウエハの研磨方法 |
| US7018560B2 (en) * | 2003-08-05 | 2006-03-28 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Composition for polishing semiconductor layers |
| US7247566B2 (en) * | 2003-10-23 | 2007-07-24 | Dupont Air Products Nanomaterials Llc | CMP method for copper, tungsten, titanium, polysilicon, and other substrates using organosulfonic acids as oxidizers |
| JP2005347737A (ja) * | 2004-05-07 | 2005-12-15 | Nissan Chem Ind Ltd | シリコンウェハー用研磨組成物 |
| KR100591719B1 (ko) * | 2004-11-09 | 2006-06-22 | 삼성전자주식회사 | 에피텍셜 콘택 플러그 제조방법, 그 제조 방법을 이용한반도체 장치 제조 방법 및 그 제조 방법을 이용한 더블스택형 트랜지스터 제조 방법 |
| US7790618B2 (en) * | 2004-12-22 | 2010-09-07 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Selective slurry for chemical mechanical polishing |
| US20060205218A1 (en) * | 2005-03-09 | 2006-09-14 | Mueller Brian L | Compositions and methods for chemical mechanical polishing thin films and dielectric materials |
| US20070077865A1 (en) | 2005-10-04 | 2007-04-05 | Cabot Microelectronics Corporation | Method for controlling polysilicon removal |
| US8512593B2 (en) * | 2005-11-04 | 2013-08-20 | Cheil Industries, Inc. | Chemical mechanical polishing slurry compositions, methods of preparing the same and methods of using the same |
| US20070131899A1 (en) * | 2005-12-13 | 2007-06-14 | Jinru Bian | Composition for polishing semiconductor layers |
| KR100827591B1 (ko) * | 2006-11-27 | 2008-05-07 | 제일모직주식회사 | 화학적 기계적 연마용 슬러리 조성물 및 그 전구체 조성물 |
| US20080148649A1 (en) * | 2006-12-21 | 2008-06-26 | Zhendong Liu | Ruthenium-barrier polishing slurry |
| US20090032765A1 (en) * | 2007-08-03 | 2009-02-05 | Jinru Bian | Selective barrier polishing slurry |
| SG10201605686XA (en) * | 2008-02-01 | 2016-08-30 | Fujimi Inc | Polishing Composition And Polishing Method Using The Same |
| JP2009278061A (ja) * | 2008-04-16 | 2009-11-26 | Hitachi Chem Co Ltd | Ｃｍｐ用研磨液及び研磨方法 |
| JP5441362B2 (ja) * | 2008-05-30 | 2014-03-12 | 富士フイルム株式会社 | 研磨液及び研磨方法 |
| JP5467804B2 (ja) * | 2008-07-11 | 2014-04-09 | 富士フイルム株式会社 | 窒化ケイ素用研磨液及び研磨方法 |
| US8119529B2 (en) * | 2009-04-29 | 2012-02-21 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Method for chemical mechanical polishing a substrate |
| US8491808B2 (en) * | 2010-03-16 | 2013-07-23 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Method of polishing a substrate comprising polysilicon, silicon oxide and silicon nitride |
| US8496843B2 (en) * | 2010-03-16 | 2013-07-30 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Method of polishing a substrate comprising polysilicon and at least one of silicon oxide and silicon nitride |
-
2010
- 2010-03-16 US US12/724,721 patent/US8492277B2/en active Active
-
2011
- 2011-03-10 JP JP2011052895A patent/JP2011192995A/ja active Pending
- 2011-03-14 TW TW100108479A patent/TWI508154B/zh active
- 2011-03-15 DE DE102011013978.8A patent/DE102011013978A1/de not_active Withdrawn
- 2011-03-15 KR KR1020110022811A patent/KR101737334B1/ko active IP Right Grant
- 2011-03-16 FR FR1152168A patent/FR2957547B1/fr active Active
- 2011-03-16 CN CN201110072107.3A patent/CN102201337B/zh active Active
-
2016
- 2016-05-26 JP JP2016105160A patent/JP6246263B2/ja active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE102011013978A1 (de) | 2014-02-13 |
| JP2016157985A (ja) | 2016-09-01 |
| TW201142933A (en) | 2011-12-01 |
| KR101737334B1 (ko) | 2017-05-18 |
| FR2957547A1 (fr) | 2011-09-23 |
| CN102201337B (zh) | 2014-03-12 |
| US8492277B2 (en) | 2013-07-23 |
| TWI508154B (zh) | 2015-11-11 |
| US20110230049A1 (en) | 2011-09-22 |
| CN102201337A (zh) | 2011-09-28 |
| JP2011192995A (ja) | 2011-09-29 |
| FR2957547B1 (fr) | 2016-05-06 |
| KR20110104442A (ko) | 2011-09-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160526 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160526 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170321 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170619 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171107 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171114 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6246263 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |