JP2018119756A - 流体加熱装置 - Google Patents
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Abstract
Description
従来の純水の加熱方法として、特許文献1には、室温で供給される純水を熱源に通すことにより、目標温度まで加熱して、洗浄処理槽に供給する技術が開示されている。
前記特許文献1に開示された技術では、加熱された純水の洗浄処理槽に供給する配管に排水弁を設け、加熱された純水を排出し続けている。
第一に、加熱を中断すると、次回の洗浄工程で再度加熱する必要があり、昇温時間とそれにかかるエネルギーが余計に必要となるからである。
第二に、純水の流れを長時間停止すると、配管内に生菌が発生し、コンタミネーションの原因となる恐れがあるからである。
しかしながら、前記特許文献2に開示された技術では、エネルギー回収効率が低く、洗浄に供されない純水も廃液として廃棄されてしまうという課題がある。
この要求に対応する方法として特許文献3にみられる薬液による洗浄方法と同じように純水を循環加熱してタンクに貯蔵し、洗浄に必要な分だけの純水を循環回路から分岐させて取り出し、使用する方法が考案されている。この方法によれば洗浄をしていない間は純水を循環させれば良く、また加熱に必要エネルギーも従来より少なくてよい。
流体を貯留するタンクと、
前記タンク内の流体を搬送するポンプと、
搬送された流体を所定の温度に加熱する加熱器と、
前記加熱器により加熱された流体を前記タンクに戻す戻り配管と、
前記タンク内に加熱前の流体を供給する流体供給バルブと、
前記タンク内の加熱された流体を排出する流体排出バルブと、
加熱された流体の温度を検出する温度センサと、
前記流体供給バルブおよび前記流体排出バルブの開度を制御して、前記タンク内の流体の温度を制御する温度制御装置とを備え、
前記温度制御装置は、
前記温度センサの検出温度に基づいて、前記流体排出バルブの開度制御を行う排出開度制御部と、
前記温度センサの検出温度に基づいて、前記流体供給バルブの開度制御を行う供給開度制御部と、
を備えていることを特徴とする。
また、加熱された流体の温度を検出することにより、加熱された流体への加熱前の流体の供給、混合による温度低下を確認することができるので、加熱器による加熱を最小限とし、加熱された流体の排出量を最小限に抑えることができ、省エネルギー化および節水を実現することができる。
本発明では、前記流体排出バルブは、前記加熱器の後段の前記戻り配管中に設けられているのが好ましい。
本発明では、前記ポンプ、前記加熱器、および前記戻り配管から構成される第1の循環ループとは別に、半導体ウェーハの洗浄装置に加熱された流体の一部を供給し、他の一部を前記タンクに戻す第2の循環ループを備え、前記流体排出バルブは、前記第2の循環ループに設けられているのが好ましい。
[第1実施形態]
[1]装置構成
図1には、本発明の第1実施形態に係る純水加熱装置1の構造が示されている。
流体加熱装置として例示される純水加熱装置1は、枚葉式の半導体ウェーハの洗浄装置2に、設定温度に加熱された流体として例示される純水を供給する装置である。
洗浄装置2は、流量調整バルブ2A、2Bと、洗浄プロセス2C、および排出タンク2Dを備える。流量調整バルブ2Aは、洗浄プロセス2Cに配管2Eを介して接続される。流量調整バルブ2Bは、流量調整バルブ2Aが設けられる配管2Eから分岐した配管2F中に設けられ、純水加熱装置1のタンク3への戻り配管15に接続されている。
一方、流量調整バルブ2Aを閉、流量調整バルブ2Bを開とした状態では、加熱された純水は、洗浄プロセス2Cには供給されず、純水加熱装置1のタンク3に戻り配管15に戻される。さらに、流量調整バルブ2A、2Bの開度を調整することで純水加熱装置1から供給される加熱された純水の1部は洗浄プロセス2Cに供給し、残りを純水加熱装置1のタンク3に戻すことも可能である。
タンク3は、加熱前の常温の純水や、戻り配管15を介して戻された加熱された純水を貯留する容器である。タンク3は、石英ガラス、Polytetra fluoro ethylene(PTFE)、Per fluoro alkoxy alkane(PFAA)等のフッ素系樹脂により構成される。
タンク3には、液面計8および温度センサ9が設けられている。液面計8は、タンク3内に貯留された純水の液面位置を検出し、温度センサ9は、タンク3内の純水の温度を検出する。
加熱器5は、ポンプ4と配管11を介して接続され、ポンプ4によって圧送された純水を加熱する。加熱器5は、石英ガラス製の二重管から構成されており、二重管の内側には、ハロゲンヒータ等の加熱源が配置され、二重管の外側を純水が流通し、加熱源によって純水を設定温度に加熱する。
加熱器5の後段には、配管13が接続され、配管13は、半導体ウェーハの洗浄装置2に接続される。また、配管13には、温度センサ14が設けられ、加熱器5により加熱された純水の温度を検出する。
戻り配管15は、洗浄装置2の配管2Fと接続され、洗浄装置2で洗浄に使用されなかった純水をタンク3に戻して貯留する。
なお、配管10、11、13、15は、PTFE、PFAA等のフッ素系樹脂を材料とする配管部材によって構成される。
純水排出バルブ7は、電磁弁から構成され、タンク3の下部に設けられ、タンク3内の純水を排出するバルブである。純水排出バルブ7は、タンク3内に設けられた液面計8によって検出されるタンク3内の純水の液面位置、温度センサ9によって検出されるタンク3内の純水の温度によって、開閉が制御される。
制御装置20には、液面計8、温度センサ9、12、14からの検出値が入力され、制御装置20は、検出値に基づいて、ポンプ4、加熱器5、純水供給バルブ6、および純水排出バルブ7に制御指令を出力する。
制御装置20は、図2に示すように、供給開度制御部21、排出開度制御部22、ポンプ流量制御部23、および加熱器制御部24を備える。
排出開度制御部22は、温度センサ9または温度センサ12、および液面計8の検出値に基づいて、純水排出バルブ7の開閉を行う制御指令を生成し、純水排出バルブ7の電磁弁に出力する。
加熱器制御部24は、温度センサ14の検出温度に基づいて、加熱器5による加熱状態を制御する。具体的には、加熱器制御部24は、温度センサ14により検出された検出温度が設定温度に達しているか否かにより、加熱器5のハロゲンヒータの通電状態を制御する。
次に、前述した純水加熱装置1による純水の設定温度の変更方法について、図3に示すフローチャートに基づいて説明する。なお、以下の説明は、洗浄装置2の流量調整バルブ2Aは閉、流量調整バルブ2Bは開として、加熱された純水を、戻り配管15を介して、タンク3に循環させて、純水加熱装置1を稼働させている状態としている。
まず、制御装置20は、オペレータが操作することにより、純水の設定温度SV1が設定温度SV2に変更されたか否かを監視する(手順S1)。
設定温度SV1の変更がない場合(S1:No)、制御装置20は監視を維持する。
設定温度SV2が従前の設定温度SV1よりも上昇している場合(S2:No)、加熱器制御部24は、加熱器5の温度を設定温度SV2に設定し、温度センサ14の検出値が設定温度SV2となるまで、純水をループ内で循環させる。
このとき、純水供給バルブ6から供給される加熱前の常温の純水の温度Tnと、設定温度SV2との関係は、SV2>Tnである必要があり、これにより、タンク3内の加熱された純水の温度は、徐々に低下していく。
検出温度Tt、Tin、PVが設定温度SV2よりも低くなったら(S5:Yes)、供給開度制御部21は、純水供給バルブ6を閉じ、排出開度制御部22は、純水排出バルブ7を閉じる(手順S6)。
この状態では、設定温度SV2、検出温度PV、Ttの関係は、SV2>PV>Ttとなっているので、加熱器5による加熱が開始され、検出温度PVが設定温度SV2になるまで、加熱器5による加熱が継続される。
このような本実施形態によれば、設定温度SV1から設定温度SV2に変更された際、SV1>SV2であっても、タンク3内の純水を全て入れ替えることなく、設定温度SV2の純水に加熱することができるため、タンク3内の純水の排出量を低減して、節水することができる。
さらに、純水供給バルブ6から加熱前の純水を徐々に供給しているため、設定温度SV1から設定温度SV2への変更から、検出温度PVが設定温度SV2に制定するまでの時間を短くすることができる。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。なお、以下の説明では、既に説明した部分と同一の部分については、同一符号を付して、その説明を省略する。
前述した第1実施形態では、制御装置20の供給開度制御部21および排出開度制御部22は、純水供給バルブ6による加熱前の常温の純水の供給と、および純水排出バルブ7によるタンク3内の加熱された純水の排出とを同時に行っていた。
なお、純水加熱装置1の装置構成は第1実施形態と同様である。
本実施形態による純水加熱装置1による純水の設定温度の変更方法は、図5に示すフローチャートに基づいて行われる。なお、本実施形態では、ポンプ4による純水の循環については、省略している。
供給量演算部25は、前述した式(3)に基づいて、タンク3内の加熱された純水の排出量を演算する(手順S8)。
排出開度制御部22は、純水排出バルブ7を開け、タンク3内の加熱された純水を排出する(手順S9)。
純水の排出量が、演算された排出量に達していないと判定された場合(S10:No)純水排出バルブ7の開状態を維持する。
純水の排出量が、演算された排出量に達したと判定された場合(S10:Yes)、排出開度制御部22は、純水排出バルブ7を閉じ、供給開度制御部21は、純水供給バルブ6を開ける(手順S11)。
供給開度制御部21は、純水の供給量が、演算された供給量に達していないと判定された場合(S12:No)、純水供給バルブ6の開状態を維持する。
次に、制御装置20は、温度センサ14の検出温度PVが、設定温度よりもSV2よりも低いか否かを判定する(手順S13)、
温度センサ14の検出温度PVが設定温度SV2よりも低くなった場合(S13:Yes)、純水供給バルブ6を閉じる(手順S14)。
その後、検出温度PVが設定温度SV2になるまで、加熱器5による加熱を行う。
このような本実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の作用および効果を享受できる。
次に、本発明の第3実施形態について説明する。
前述した第1実施形態では、純水排出バルブ7は、タンク3の下部に設けられていた。
これに対して、本実施形態の純水加熱装置40は、図6に示すように、純水排出バルブ41が、加熱器5の後段の配管13の途中に設けられている点が相違する。なお、純水排出バルブ41は、戻り配管15の途中に設けてもよい。
その他の構成、純水加熱装置40による設定温度の変更方法については、第1実施形態と同様である。
また、純水の設定温度を設定温度SV1から設定温度SV2(SV1>SV2)に変更する方法は、第1実施形態で説明した方法を採用することができる。
加えて、このような位置に純水排出バルブ41を設けることにより、配管13、戻り配管15の途中を流れる純水を排出できるので、加熱器5により温度調整された純水を排出して、設定温度SV1から設定温度SV2への変更をより短時間で行うことができる。
次に、本発明の第4実施形態について説明する。
前述した第1実施形態では、タンク3、ポンプ4、加熱器5を経た加熱された純水は、配管13を介して、直接洗浄装置2に供給され、洗浄装置2内の流量調整バルブ2bを経た戻り配管15を介してタンク3に純水が戻る、1つの循環ループによって純水加熱装置1を構成していた。
これに対して、本実施形態に係る純水加熱装置50は、図7に示すように、ポンプ4、加熱器5、戻り配管15から構成される第1の循環ループと、第1の循環ループとは別に、ポンプ51、加熱器52、温度センサ53、配管13、洗浄装置2、および戻り配管54から構成される第2の循環ループを備えている点が相違する。
また、制御装置20は、タンク3内の検出温度Ttが、設定温度SV2よりもわずかに低い温度となるように、第1の循環ループ内の純水の温度調整を行い、第2の循環ループの加熱器52により、設定温度SV2とした後、洗浄装置2に純水を供給する。
このような純水加熱装置50によっても、前述した第1実施形態と同様の作用および効果を享受できる。
前述した第4実施形態では、純水排出バルブ7は、タンク3の底部に設けられていた。
これに対して、本実施形態に係る純水加熱装置60は、図8に示すように、第1の循環ループの加熱器の後段、戻り配管15の途中に純水排出バルブ41が設けられている点が相違する。
このような本実施形態によれば、前述した第1実施形態と同様の作用および効果を享受できる。
また、純水排出バルブ41を加熱器5の後段、戻り配管15の途中に設けているので、第3実施形態で述べた作用および効果と同様の作用および効果を享受できる。
前述した第5実施形態では、第1の循環ループにのみ純水排出バルブ41を設けていた。
これに対して、本実施形態に係る純水加熱装置70は、図9に示すように、第1の循環ループに純水排出バルブ41を設けるとともに、第2の循環ループの戻り配管54中に純水排出バルブ71を設けている点が相違する。
制御装置20は、純水排出バルブ41による排出に際しては、同時に純水排出バルブ71による排出も行うように、同期制御する。
さらに、第2の循環ループに純水排出バルブ71を設けることにより、設定温度SV1から設定温度SV2(SV1>SV2)の際、第2の循環ループ内の純水も排出することができるため、循環ループ内を流れるより高温の純水を排出して、タンク3内の加熱された純水の温度を効果的に低下させることができる。
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
たとえば、前述した第3実施形態から第6実施形態では、制御装置20を用いて設定温度の変更を行っていたが、本発明はこれに限らず、第2実施形態において説明した制御装置30を用いて、設定温度の変更を行ってもよい。
その他、本発明の具体的な構造および形状等は本発明の目的を達成できる範囲で他の構造等としてもよい。
第1実施形態に示される純水加熱装置1を用い、設定温度SV1=80℃から設定温度SV2=40℃への切り替えを行った状態を、温度制御のシミュレーションによって、従来方法と比較した。
従来方法は、純水加熱装置1を用い、設定温度SV1から設定温度SV2への切り替えに際し、タンク3内の加熱された純水を純水排出バルブ7から全て排出し、その後、純水供給バルブ6から加熱前の常温の純水をタンク3内に供給し、加熱器5による加熱を行ったものである。各部の仕様は次の通りである。
循環流量(ポンプ4):56L/min
タンク3の容量:65L
供給純水温度:24℃
供給純水流量:56L/min
排出純水流量:56L/min
従来方法では、設定温度の切り替え後、65Lのタンク3内の純水を排出し、空になった時点で加熱前の純水を供給している。図10では、時刻100sから1140sの間が給排水にあたり、温度センサ14による検出温度は、グラフPV2のように変化し、その後、24℃から設定温度SV2=40℃に加熱している。
また、時刻1000sから1200sまでの消費電力の違いは平均17kWであり、第1実施形態の方が、従来方法よりも電力消費量を少なくすることができる。これは、第1実施形態の場合、冷却の間、ほとんど加熱器5による加熱のための電力を使用しないためである。
Claims (4)
- 流体を貯留するタンクと、
前記タンク内の流体を搬送するポンプと、
搬送された流体を所定の温度に加熱する加熱器と、
前記加熱器により加熱された流体を前記タンクに戻す戻り配管と、
前記タンク内に加熱前の流体を供給する流体供給バルブと、
前記タンク内の加熱された流体を排出する流体排出バルブと、
加熱された流体の温度を検出する温度センサと、
前記流体供給バルブおよび前記流体排出バルブの開度を制御して、前記タンク内の流体の温度を制御する温度制御装置とを備え、
前記温度制御装置は、
前記温度センサの検出温度に基づいて、前記流体排出バルブの開度制御を行う排出開度制御部と、
前記温度センサの検出温度に基づいて、前記流体供給バルブの開度制御を行う供給開度制御部と、
を備えていることを特徴とする流体加熱装置。 - 請求項1に記載の流体加熱装置において、
前記温度制御装置は、
前記タンク内の加熱された流体の温度を設定温度に下げるために、加熱前の流体の供給量を演算する供給量演算部を備えていることを特徴とする流体加熱装置。 - 請求項1または請求項2に記載の流体加熱装置において、
前記流体排出バルブは、前記加熱器の後段の前記戻り配管中に設けられていることを特徴とする流体加熱装置。 - 請求項1または請求項2に記載の流体加熱装置において、
前記ポンプ、前記加熱器、および前記戻り配管から構成される第1の循環ループとは別に、半導体ウェーハの洗浄装置に加熱された流体の一部を供給し、他の一部を前記タンクに戻す第2の循環ループを備え、
前記流体排出バルブは、前記第2の循環ループに設けられていることを特徴とする流体加熱装置。
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