JP2018018909A - レーザ加工機 - Google Patents
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Abstract
Description
レーザビームを出力するレーザ光源と、
前記レーザ光源から出力されたレーザビームを走査するビームスキャナと、
前記ビームスキャナによって走査されたレーザビームの経路に配置された光学部品と、
前記光学部品へのレーザビームの入射から出射までの過程で発生する光を検出する光検出器と、
前記ビームスキャナに走査指令を与えるとともに、前記光検出器で検出された光の強度に基づいて、前記ビームスキャナによるレーザビームの走査範囲内における光の強度分布を求める制御装置と
を有するレーザ加工機が提供される。
11 アッテネータ
12 ビームエキスパンダ
13 ビームホモジナイザ
14 ビームスキャナ
15 レンズ
20 チャンバ
21 レーザ透過窓
22 ステージ
25 光検出器
27 走査されたレーザビームの経路
30 光検出器
30a、30b、30c、30d 光検出部
40 制御装置
40a 走査指令生成部
40b アッテネータ制御部
40c 光強度分布データ
40d 光強度正規化部
40e 判定部
41 出力装置
50 加工対象物
51 走査開始位置
52 走査終了位置
Claims (7)
- レーザビームを出力するレーザ光源と、
前記レーザ光源から出力されたレーザビームを走査するビームスキャナと、
前記ビームスキャナによって走査されたレーザビームの経路に配置された光学部品と、
前記光学部品へのレーザビームの入射から出射までの過程で発生する光を検出する光検出器と、
前記ビームスキャナに走査指令を与えるとともに、前記光検出器で検出された光の強度に基づいて、前記ビームスキャナによるレーザビームの走査範囲内における光の強度分布を求める制御装置と
を有するレーザ加工機。 - 前記光検出器は、前記ビームスキャナで走査されたレーザビームの経路の側方に配置された複数の光検出部を含む請求項1に記載のレーザ加工機。
- 前記光検出部は、前記ビームスキャナで走査されたレーザビームの経路の中心軸を回転中心とした回転対称となる位置に配置されている請求項2に記載のレーザ加工機。
- 前記制御装置は、前記光検出器で検出された光の強度の時間変化を、前記ビームスキャナに与える走査指令に基づいて空間分布に変換する請求項1乃至3のいずれか1項に記載のレーザ加工機。
- 前記光検出器は二次元画像を取得する撮像装置を含む請求項1乃至3のいずれか1項に記載のレーザ加工機。
- さらに、画像を表示する出力装置を有し、
前記制御装置は、前記光検出器で検出された光の強度の二次元分布を前記出力装置に二次元画像として表示する請求項1乃至5のいずれか1項に記載のレーザ加工機。 - 前記制御装置は、前記光検出器で検出された光の強度が許容範囲に納まっているか否かを判定し、許容範囲から外れている場合には異常を通知する請求項1乃至6のいずれか1項に記載のレーザ加工機。
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