JP6843661B2 - レーザ加工装置 - Google Patents
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Description
加工対象物へのレーザ光の照射位置を変化させる走査部と、
前記レーザ光が照射された前記加工対象物の熱輻射の強度を測定する熱輻射測定部と、
前記熱輻射測定部により測定された熱輻射の強度に基づいて前記加工対象物の異常箇所を判定する判定部と、
を備え、
前記判定部は、前記加工対象物の第1の位置に前記レーザ光が照射されたときの熱輻射の強度と、前記第1の位置の近傍に前記レーザ光が照射されたときの熱輻射の強度との比較を行う構成とした。
図2は、制御部により実行される加工処理の手順を示すフローチャートである。
10 制御部
11 判定部
12 表示部
21 レーザ光源
22 走査光学系
23 ダイクロイックミラー
24、25 レンズ
26 熱輻射測定部
31 ステージ
41 加工対象物
P0 被加工位置
Claims (3)
- 加工対象物へのレーザ光の照射位置を変化させる走査部と、
前記レーザ光が照射された前記加工対象物の熱輻射の強度を測定する熱輻射測定部と、
前記熱輻射測定部により測定された熱輻射の強度に基づいて前記加工対象物の異常箇所を判定する判定部と、
を備え、
前記判定部は、前記加工対象物の第1の位置に前記レーザ光が照射されたときの熱輻射の強度と、前記第1の位置の近傍に前記レーザ光が照射されたときの熱輻射の強度との比較を行うレーザ加工装置。 - 前記判定部は、前記比較に基づいて、前記第1の位置又は前記第1の位置の近傍の異常の有無を判定する、
請求項1記載のレーザ加工装置。 - 前記加工対象物は半導体素子材料のウェハであり、
前記走査部は、前記レーザ光の照射位置を変化させて前記加工対象物の表面部をアニール処理し、
前記判定部は、前記加工対象物のクラック、異物の混入又は反りを判定する、
請求項1又は請求項2記載のレーザ加工装置。
Priority Applications (12)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017056827A JP6843661B2 (ja) | 2017-03-23 | 2017-03-23 | レーザ加工装置 |
EP22152391.3A EP4026648B1 (en) | 2017-03-13 | 2018-03-12 | Laser machining device, and process of laser machining |
PCT/JP2018/009373 WO2018168728A1 (ja) | 2017-03-13 | 2018-03-12 | レーザ加工装置 |
CN202210048989.8A CN114289912A (zh) | 2017-03-13 | 2018-03-12 | 激光加工装置及在激光加工中进行异常判定的方法 |
KR1020197021793A KR102380718B1 (ko) | 2017-03-13 | 2018-03-12 | 레이저가공장치 |
EP22152385.5A EP4026647A1 (en) | 2017-03-13 | 2018-03-12 | Laser machining device, and process of laser machining |
KR1020227009960A KR102411865B1 (ko) | 2017-03-13 | 2018-03-12 | 레이저가공장치 |
CN201880011190.3A CN110392618B (zh) | 2017-03-13 | 2018-03-12 | 激光加工装置 |
KR1020227009961A KR102411866B1 (ko) | 2017-03-13 | 2018-03-12 | 레이저가공장치 |
EP18767578.0A EP3597351B1 (en) | 2017-03-13 | 2018-03-12 | Laser machining device |
CN202210049028.9A CN114289913A (zh) | 2017-03-13 | 2018-03-12 | 激光加工装置及激光加工方法 |
US16/560,603 US20200016691A1 (en) | 2017-03-13 | 2019-09-04 | Laser machining device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017056827A JP6843661B2 (ja) | 2017-03-23 | 2017-03-23 | レーザ加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018160553A JP2018160553A (ja) | 2018-10-11 |
JP6843661B2 true JP6843661B2 (ja) | 2021-03-17 |
Family
ID=63796103
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017056827A Active JP6843661B2 (ja) | 2017-03-13 | 2017-03-23 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6843661B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102019115554A1 (de) * | 2019-06-07 | 2020-12-10 | Bystronic Laser Ag | Bearbeitungsvorrichtung zur Laserbearbeitung eines Werkstücks und Verfahren zur Laserbearbeitung eines Werkstücks |
JP6835151B2 (ja) * | 2019-06-28 | 2021-02-24 | 株式会社安川電機 | 評価装置、評価方法、評価システムおよび評価プログラム |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0758448A (ja) * | 1993-08-09 | 1995-03-03 | Mitsubishi Electric Corp | レーザーボンディング装置及び方法 |
JPH08220008A (ja) * | 1995-02-15 | 1996-08-30 | Mitsubishi Electric Corp | 赤外検査装置 |
JP4677392B2 (ja) * | 2006-10-30 | 2011-04-27 | 住友重機械工業株式会社 | パルスレーザ熱処理装置とその制御方法 |
JP2011003630A (ja) * | 2009-06-17 | 2011-01-06 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ照射装置、及びレーザ照射方法 |
JP6030451B2 (ja) * | 2011-06-15 | 2016-11-24 | 株式会社日本製鋼所 | レーザ処理装置およびレーザ処理方法 |
EP2851154B1 (en) * | 2012-05-15 | 2019-08-28 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Welding method, welding device, and battery manufacturing method |
JP2017028017A (ja) * | 2015-07-17 | 2017-02-02 | 住友重機械工業株式会社 | レーザアニール装置及びレーザアニール方法 |
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2017
- 2017-03-23 JP JP2017056827A patent/JP6843661B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018160553A (ja) | 2018-10-11 |
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