JP2017224858A - リニアFinFET構造をもつ回路 - Google Patents
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Abstract
Description
●全ての入力電極が実質的に整列されたマルチ入力ロジックゲート、
●ローカル拡散フィン層電源、
●グローバル高レベル相互接続部電源、及び
●ゲート電極を垂直ローカル相互接続部に接続するのに使用され、且つ接触部の配置に大きな融通性を可能にすることで接触層の製造を改善する上で役立つ水平相互接続部。
●2つ以上の入力のためのゲート電極で、そのゲート電極は実質的に整列される、
●同じ拡散タイプの拡散フィン間に配置されたゲート電極端線スペース、
●同じ拡散タイプの拡散フィン間のゲート電極接触部、
●セルのローカル相互接続部へのローカル電源に使用されるtype1_diff及びtype2_diff拡散フィンであって、met1が高レベル相互接続部(グローバル)電源に使用され、ローカル及びグローバルの両電源が当接セルと共有されるもの、
●ローカルレベルでセルへ電流を供給し、且つマルチチップ電源戦略をサポートするために既定の間隔で高レベル相互接続部、例えば、met1に接続できるtype1_diff及びtype2_diffの拡散フィン、
●ゲート電極に接続するための水平ローカル相互接続部の使用、及び
●垂直ローカル相互接続層をゲート電極層に接続し、ゲート電極接触部の位置をシフトして、接触部マスクパターンの融通性を高めるように働き、潜在的なリソグラフィーの問題を緩和するのに使用できる実質的に水平なローカル相互接続部。
●実質的にリニアなゲート電極構造体、
●ゲート電極層上の3つ以上のリニア形状のゲート電極構造体であって、その2つは、ダミー、即ちトランジスタのゲート電極を形成しないゲート電極レベル構造体、
●同じ垂直方向寸法(長さ)即ち同じ長さを拡散フィンの長手方向(x方向)に垂直なy方向に有するゲート電極層上の3つ以上のゲート電極構造体、
●実質的に等しい長手方向中心線対長手方向中心線ピッチで実質的に均一に離間されたゲート電極層上のゲート電極構造体、
●左及び/又は右の隣接セルと共有されるダミーゲート電極構造体、及び
●met1電源レールの下でカットされるダミーゲート電極構造体。
●実質的に同じピッチに従う実質的に均一に離間された拡散フィン、この拡散フィンはグリッド上にあり、拡散フィンピッチは、ある実施形態では、90nm未満、
●p型及びn型の各々に対する1つ以上の拡散フィン、図11は、n型の2つの拡散フィン及びp型の2つの拡散フィンを示すが、他の実施形態では、各タイプの任意の数の拡散フィンが含まれ、
●同じ数のp型及びn型の拡散フィン、他の実施形態では、異なる数のp型対n型拡散フィンが含まれ、
●電源レールの下で省略される1つ以上の拡散フィン、
●p型区分とn型区分との間で省略される1つ以上の拡散フィン、及び
●実質的に等しい巾及び長さの各拡散フィン。
●ゲート電極及び拡散フィンソース/ドレイン接続部が異なる導体層にあり、それらの異なる導体層は、互いに分離され、
●ソースドレイン接続のためのゲートに平行な実質的にリニアな導体層;ある実施形態では、ゲート層と同じピッチで;又、ある実施形態では、このリニアな導体層は、ゲートの半ピッチだけオフセットされ、及び
●ローカル相互接続部と拡散フィンとの正のオーバーラップ。
●p型拡散フィンとn型拡散フィンとの間のゲート導体接触部、
●両方向に格子状の接触部、
●接触部は、ローカル相互接続部及びゲート導体をその上の金属層に接続し、
●実質的にリニアな金属;あるピッチでの金属;半ピッチオフセットを垂直に伴い拡散フィンピッチと同じピッチでの金属、
●同じ層上の出力ノード及び入力ノードピン、
●各々共有される上縁及び下縁のワイドな電源レール;この電源レールは、当接により左右に接続され、
●最高の金属レベルでの出力及び入力ノード;p型拡散フィンとn型拡散フィンとの間に位置された接触部、及び
●電源レールは、上部及び下部の当接セルと共有されるローカル相互接続部に接触する。
●実質的にリニアなゲート電極構造体、
●ゲート電極層上の3つ以上のリニアな構造体であって、その少なくとも2つは、ダミー、
●ゲート電極層上のダミー構造体は、同じ垂直方向寸法(長さ)のもので、即ち拡散フィンの長手方向(x方向)に垂直なy方向に同じ長さのものであり、
●ゲート電極層上の構造体は、x方向に実質的に均一に離間され及び/又は等しいピッチにされ、
●ダミー構造体は、左及び/又は右の隣接セルと共有され、
●ダミー構造体及びゲート電極構造体は、単一の線として描かれ、次いで、電源レールの下及び必要な場所でカットされ、ゲート電極構造体のカット部が個別の層上に描かれ;ゲート電極層は、図17A/Bにカット部を伴う最終結果として示され、
●ゲート電極の3つ以上のセグメントが2つのタイプp型及びn型トランジスタをコントロールし、及び
●多数のゲート電極構造体が同じx位置にあって、その各々が異なるネットに接続されると共に、2つの異なる入力ネットに接続される。
●実質的に等しいピッチに従う実質的に均一の離間された拡散フィンであって、それら拡散フィンはグリッド上にあり、拡散フィンピッチは、ある実施形態では、90nm未満であり、
●p型及びn型の各々に対する1つ以上の拡散フィン、
●同じ数のp型及びn型拡散フィン、
●電源レールの下の共有拡散フィン、
●拡散フィンは、p型区分とn型区分との間は省略されてもされなくてもよく、図17A/Bは、存在する全てのフィンを示し、
●実質的に等しい巾及び長さの各拡散フィンであって、拡散フィンの巾はy方向に測定され、そして拡散フィンの長さはx方向に測定され、及び
●拡散フィンは、連続線として描かれ、個別のカットマスクは、それらをセグメントに分離するように描かれ、図17A/Bは、分離後の拡散フィンセグメントを示し;ある実施形態では、拡散フィン線端が拡散フィンレベルレイアウトで描かれるか又はカットマスクを使用して形成されることを理解されたい。
●ゲート電極及び拡散フィンソース/ドレイン接続は、異なる導体層上にあり;それらの異なる導体層は、製造中に合併され、
●ソースドレイン接続のためのゲートに平行な実質的にリニアな導体層であって、ある実施形態では、ゲート層と同じピッチであり、且つある実施形態では、このリニアな導体層は、ゲートの半ピッチだけオフセットされ、
●ローカル相互接続部と拡散フィンとの正、ゼロ又は負のオーバーラップ、
●ローカル相互接続部と拡散フィンソース/ドレイン及びゲート電極構造体との直結、 ●電源レールの下の共有ローカル相互接続部;ある実施形態では、電源レールの下のローカル相互接続部は省略されてもよい。
●拡散フィン間のゲート電極構造体接触部、
●x及びy方向の一方又は両方に格子状の接触部、
●接触部は、ローカル相互接続部及びゲート導体をその上の金属層に接続し、
●金属の位置は、x及びy方向の一方又は両方に固定され、
●同じ層にある出力ノード及び入力ノードピン、
●上部及び下部のワイドな電源レールは共有され;電源レールは、当接により左及び右に接続され;ローカル相互接続部への電源レール接触部は、共有され、
●金属は、屈曲部を有し、ある実施形態では、金属相互接続部の屈曲部は、隣接する拡散フィン間の中心にあり、又、ある実施形態では、y方向に延びる金属相互接続部の垂直セグメントは、垂直のローカル相互接続部に沿ってy方向に延びるように垂直のローカル相互接続部と整列される。
●単一方向性金属相互接続構造体、即ちリニアな形状の金属相互接続構造体、
●電源レールの下には共有ローカル相互接続部もフィンもない、
●最も高い金属層に1つの入力ピンがあり、そしてその下の金属層に別の入力ピン及び出力ピンがあり、
●ローカル相互接続部から分離されたゲート電極接触部。
●金属ピッチより小さい拡散フィンピッチ;金属ピッチの半分の拡散フィンピッチ、
●拡散フィン間に示されたゲート電極及びローカル相互接続部のカット部;別の実施形態では、拡散フィンのカット部の上にカット部があり;これは、1つ以上のトランジスタにおいて拡散フィンの数を減少し、
●最も高い金属層にある1つの入力ピン、その下の金属層にある別の入力ピン及び出力ピン、
●p型及びn型の拡散フィン間の間隔は、最小値より大きく;p型及びn型の拡散フィン区分間では1つ以上の拡散フィンが省略され、
●拡散フィンに配置されたゲート電極接触部、
●拡散フィンに配置されたローカル相互接続接触部、及び
●垂直のmet2は、セル内でx方向に異なるオフセットをもつ。
●実質的にリニアなゲート電極構造体、
●ゲート電極層上の3つ以上のリニアな構造体であって、その少なくとも2つは、ダミーであり、
●ゲート電極層上のダミー構造体は、同じ寸法のものであり、
●実質的に均一に離間され及び/又はx方向に等しいピッチにされたゲート電極層上の構造体、
●左及び/又は右の隣接セルと共有されるダミー構造体、
●電源レールの下のダミー構造体カット部、
●2つ以上のp型及びn型トランジスタをコントロールする単一のゲート電極構造体であって、製造プロセスにおいて後で分離されて、ゲート電極構造体2601及び2603で描かれたような2つ以上の個別のゲート電極を形成するもの、
●入力ネット2605に接続されたゲート電極構造体2601、及び入力ネット2607に接続されたゲート電極構造体2603で示されたように、2つ以上の異なるネットに接続され、2つ以上の異なる入力ネットに接続された同じx位置のゲート電極、及び
●同じx位置にある2つ以上のダミーセグメント。
●実質的に等しいピッチにより実質的に均一に離間された拡散フィンであって、それら拡散フィンはグリッド上にあり、拡散フィンピッチは、ある実施形態では、90nm未満であり、
●p型及びn型の各々に対する1つ以上の拡散フィン、
●同じ数のp型及びn型拡散フィン、
●電源レールの下では1つ以上の拡散フィンが省略され、
●p型区分とn型区分との間では拡散フィンが省略されず、
●実質的に等しい巾及び長さの各拡散フィン、及び
●n型拡散フィン間に位置されたp型拡散フィン、その逆もある。
●ゲート電極及び拡散フィンソース/ドレイン接続部が異なる導体層にあり、それらの異なる導体層は、互いに分離され、
●ソースドレイン接続のためのゲートに平行な実質的にリニアな導体層;ある実施形態では、ゲート層と同じピッチで;又、ある実施形態では、このリニアな導体層は、ゲートの半ピッチだけオフセットされ、及び
●ローカル相互接続部と拡散フィンとの正のオーバーラップ。
●拡散フィン間のゲート電極構造体接触部、
●x及びy方向の一方又は両方に格子状の接触部、
●接触部は、ローカル相互接続部及びゲート導体をその上の金属層に接続し、
●出力ノード上の実質的にリニアな形状の導体、
●異なる層上の出力ノード及び入力ノードピン、
●上部及び下部の電源レールに対向する中央部の電源レールであって;上部及び下部の電源レールは共有され、全ての電源レールは、当接により左及び右に接続し、及び
●最も高い金属レベルにおける出力ノード。
●ゲート導体は、カット形状2701を含むカット層のようなカット層と共に描かれ、 ●ゲート導体2703及び2705のように、異なるネットに各々接続され、入力ネットに各々接続され、多数のフィンで構成されたp型及びn型トランジスタを各々コントロールする同じx位置の2つのゲート導体セグメント、及び
●最も高い金属層上の1つの入力ピン、その下の金属層上の別の入力ピン及び出力ピン。
●実質的にリニアなゲート電極構造体、
●ゲート電極層上の3つ以上のリニアな構造体であって、その少なくとも2つは、ダミー、
●3つ以上のゲート電極構造体は、同じ寸法、
●実質的に均一に離間され及び/又はx方向に等しいピッチであるゲート電極層上の構造体、
●左及び/又は右の隣接セルと共有されるダミー構造体、及び
●電源レールの下のダミー構造体カット部。
●実質的に等しいピッチに従う実質的に均一に離間された拡散フィン、この拡散フィンはグリッド上にあり、拡散フィンピッチは、ある実施形態では、90nm未満、
●p型及びn型の各々に対する1つ以上の拡散フィン、
●異なる数のp型対n型拡散フィン、
●電源レールの下で省略される1つ以上の拡散フィン、
●p型区分とn型区分との間で省略される1つ以上の拡散フィン、及び
●実質的に等しい巾及び長さの各拡散フィン。
●ゲート電極及び拡散フィンソース/ドレイン接続部は、導体層から直接であり、
●ソースドレイン接続のためにゲートに平行な実質的にリニアな導体層であって;ある実施形態では、ゲート層と同じピッチであり;又、ある実施形態では、このリニアな導体層は、ゲートの半ピッチだけオフセットされ、
●ローカル相互接続部と拡散フィン及びゲート電極構造体とのゼロ又は負のオーバーラップ、
●ローカル相互接続部は、2段階で構成され、即ち最初に、垂直のローカル相互接続構造体、それに続いて、水平のローカル相互接続構造体;各段階は、1組のリニアな、一方向性のローカル相互接続構造体を生成し、及び
●それとは別に、2つの個別のローカル相互接続層があり、即ち1つは、垂直のローカル相互接続層、及び1つは、水平のローカル相互接続層。
●拡散フィンは、電源レールの下に配置でき、
●x及びy方向の一方又は両方に格子状の接触部、
●接触部は、全てのローカル相互接続部をその上の金属層に接続し、及び
●接触部は、どこにでも配置できる。
●実質的にリニアなゲート電極構造体、
●ゲート電極層上の3つ以上のリニアな構造体であって、その少なくとも2つは、ダミーであり、
●3つ以上のゲート電極構造体は、同じ寸法のものであり、
●実質的に均一に離間され及び/又はx方向に等しいピッチにされたゲート電極層上の構造体、
●左及び/又は右の隣接セルと共有されるダミー構造体、及び
●電源レールの下のダミー構造体カット部
●実質的に等しいピッチに従う実質的に均一に離間された拡散フィン、この拡散フィンはグリッド上にあり、拡散フィンピッチは、ある実施形態では、90nm未満、
●p型及びn型の各々に対する1つ以上の拡散フィン、
●同じ数のp型対n型拡散フィン、
●電源レールの下で省略される1つ以上の拡散フィン、
●p型区分とn型区分との間で省略される1つ以上の拡散フィン、及び
●実質的に等しい巾及び長さの各拡散フィン。
●ゲート電極及び拡散フィンソース/ドレイン接続部は、導体層から直接であり、
●ソースドレイン接続のためにゲートに平行な実質的にリニアな導体層であって;ある実施形態では、ゲート層と同じピッチであり;又、ある実施形態では、このリニアな導体層は、ゲートの半ピッチだけオフセットされ、
●ローカル相互接続部と拡散フィン及びゲート電極構造体とのゼロ又は負のオーバーラップ、
●ローカル相互接続部は、2段階で構成され、即ち最初に、垂直のローカル相互接続構造体、それに続いて、水平のローカル相互接続構造体;各段階は、1組のリニアな、一方向性のローカル相互接続構造体を生成し、
●ある実施形態では、垂直及び水平のローカル相互接続構造体は、互いに交差し接続するように形成され、それにより、二次元的に変化するローカル相互接続構造体、即ち屈曲部を伴うローカル相互接続構造体を形成し、及び
●それとは別に、2つの個別のローカル相互接続層があり、即ち1つは、垂直のローカル相互接続層、及び1つは、水平のローカル相互接続層。
●拡散フィンを電源レールの下に配置でき、
●x及びy方向の一方又は両方に格子状の接触部、
●met1相互接続構造体は、ゲート電極構造体と同じピッチに従って位置され、
●接触部は、全てのローカル相互接続部をその上の金属層に接続し、及び
●接触部は、どこにでも配置できる。
上述したfinFETトランジスタを合体した種々の回路レイアウトを、制約のあるゲートレベルレイアウトアーキテクチャー内で実施することができる。ゲートレベルについては、多数の平行な垂直線がレイアウトを横切って延びるように定義される。これらの平行な垂直線は、レイアウト内での種々のトランジスタのゲート電極の配置をインデックスするのに使用されるので、ゲート電極トラックと称される。ある実施形態では、ゲート電極トラックを形成する平行な垂直線は、それらの間の垂直間隔を特定のゲート電極ピッチに等しくすることで定義される。それ故、ゲート電極トラックにおけるゲート電極セグメントの配置は、指定のゲート電極ピッチに対応する。別の実施形態では、ゲート電極トラックは、指定のゲート電極ピッチ以上の可変ピッチで離間される。
1.ゲート導体
a.実質的に均一に離間されたゲート導体。
b.カットしたマスクで形成される均一なゲート導体線端ギャップであって、ローカル相互接続を回避するために、又はカットを必要としない大きなゲート導体線端ギャップを許すに充分なスペースがある場合には、大きなゲート導体線端ギャップと結合される。
c.ある場合には金属の使用を減少するために、即ち高レベル相互接続の使用を減少するために、ワイヤとして使用される幾つかのゲート導体。
2.拡散フィン
a.実質的に均一に離間された拡散フィン。
b.p型とn型との間、及び上部及び下部のセル縁において省略される拡散フィン。
c.拡散フィンの巾対スペース関係は、変化してもよく、又は図71A/Bから77A/Bの例に描かれたように実質的に等しい関係を有してもよい。
3.ローカル相互接続
a.ローカル相互接続構造体は、拡散フィン及びゲート導体に直結できる。
b.ローカル相互接続構造体は、接触層を通して金属1(met1又はM1)に接続できる。
c.図76A/Bに一例として示すような水平及び垂直ローカル相互接続構造体は、個別の設計層を使用して製造され、即ち個別のマスク層を使用して製造される。
d.水平及び垂直ローカル相互接続構造体は、同じ層上にあり、即ち図71A/Bから75A/B、及び77A/Bの例に示されたように同じマスク層上にある。又、製造中に、水平及び垂直ローカル相互接続構造体は、2つの個別の段階又は単一の段階で製造することができる。
e.ローカル相互接続構造体は、拡散フィン及びゲート導体と正、ゼロ又は負のオーバーラップを有する。
f.垂直のローカル相互接続構造体は、ゲート導体から半ピッチのオフセットで、ゲート導体と同様のピッチである。
4.接触部
a.接触部は、ローカル相互接続構造体を金属1(met1又はM1)に接続するように画成される。
b.ローカル相互接続構造体は、接触部において正、ゼロ又は負のオーバーラップを有する。
c.金属1(met1又はM1)は、接触部において正、ゼロ又は負のオーバーラップを有する。
5.金属2(met2又はM2)
a.金属2構造体は、ある実施形態では、単一方向性であり、即ちリニアな形状である。
b.金属2構造体は、水平(x)及び/又は垂直(y)方向に延びる。
●金属2は、内部配線に使用されない。
●金属2は、電源レールに使用される。
●3状態及び伝送ゲート交差結合トランジスタ構造体が使用される。
●ローカル相互接続構造体は、水平(x)及び垂直(y)の両方向に延びる。
●あるゲート導体は、ワイヤとして使用され、そしてトランジスタのゲート電極を形成しない。
●ゲート導体のカット部が種々の位置及び組み合わせで設けられる。
●ゲート導体のカット部は、サイズが均一である。
●ゲート導体層が完全にポピュレートされ、即ち少なくとも1つのゲート導体がセル内の各利用可能なゲート導体ピッチ位置に位置される。
●金属2構造体は、垂直(y)方向の内部配線に使用される。
●図71A/Bの例より高密度の回路レイアウト。
●3状態及び伝送ゲートの両交差結合トランジスタ構造体が使用される。
●ゲート導体層が完全にポピュレートされ、即ち少なくとも1つのゲート導体がセル内の各利用可能なゲート導体ピッチ位置に位置される。
●ゲート導体カット部が示される。
●実質的に均一なゲート導体カット部が、種々の組み合わせで及び/又はレイアウトを最適にする位置に使用される。
●共同整列及び隣接配置の拡散フィン端間の分離距離(即ち、拡散フィンカット距離)は、ゲート電極ピッチのサイズより小さい。
●垂直のローカル相互接続構造体は、拡散フィンの1つの縁(水平に向けられた縁)において拡散フィン(水平に向けられた)にオーバーラップし;このケースでは、垂直のローカル相互接続構造体を分離するのに使用される(カットマスクの)あるカット部が拡散フィンにタッチ又はオーバーラップするように画成される。
●水平のローカル相互接続構造体は、ゲート電極構造体の1つの縁(垂直に向けられた縁)において(垂直に向けられた)ゲート電極構造体にオーバーラップする。
●ゲートエンドキャップのサイズ(即ち、ゲート電極構造体がその下の拡散フィンを越えて延びる距離)は、1つ以上の拡散フィンピッチのサイズ未満であるか、又は平均拡散フィンピッチのサイズ未満である。
●共同整列及び隣接配置のゲート電極構造体端間の分離距離(即ち、ゲート電極構造体カット距離)は、1つ以上の拡散フィンピッチのサイズ以下であるか、又は平均拡散フィンピッチのサイズ未満である。
●隣接配置のn型及びp型拡散フィン間の長手方向中心線分離(拡散フィンに垂直な方向に測定した)は、1つ以上の拡散フィンピッチの整数倍、又は平均拡散フィンピッチの整数倍として定義される。
102:拡散フィン
104:ゲート電極層
105:基板
106:ゲート酸化物層
107:コア
109:スペーサ
201:拡散フィン
203:拡散フィンピッチ
207:ゲート電極構造体
209:固定ゲートピッチ
211:ローカル相互接続構造体(lih)
213:ローカル相互接続構造体(liv)
215:金属1(met1)相互接続構造体
217:接触部
219:met2相互接続構造体
2001:領域
2601、2603:ゲート電極構造体
2605、2607:入力ネット
8001:領域
8003:拡散フィン
9001:ゲート電極トラック
Claims (53)
- 基板、第1トランジスタ、及び第2トランジスタを備え、
前記第1トランジスタは、第1拡散フィン内にソース領域及びドレイン領域を有するものであり、前記第1拡散フィンは、前記基板の表面から突出するように構成され、前記第1拡散フィンは、前記第1拡散フィンの第1端から前記第1拡散フィンの第2端へ第1方向に長さに沿って延びるように構成され、
前記第2トランジスタは、第2拡散フィン内にソース領域及びドレイン領域を有するものであり、前記第2拡散フィンは、前記基板の表面から突出するように構成され、前記第2拡散フィンは、前記第2拡散フィンの第1端から前記第2拡散フィンの第2端へ前記第1方向に長さに沿って延びるように構成され、前記第2拡散フィンは、前記第1拡散フィンから間隔を置いて隣接配置され、
前記第2拡散フィンの第1端又は第2端のいずれかが、前記第1拡散フィンの第1端と第2端との間で前記第1方向に位置される、半導体装置。 - 前記第1及び第2トランジスタは、第2方向に異なる位置に配置される、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1及び第2トランジスタの各々は、三次元ゲート付きトランジスタである、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1トランジスタは、前記基板の上から見て前記第1方向に垂直な第2方向に長さに沿って延びる第1のリニア形状のゲート電極構造体を備え、
前記第2トランジスタは、前記基板の上から見て前記第1方向に垂直な第2方向に長さに沿って延びる第2のリニア形状のゲート電極構造体を備え、
前記第1拡散フィンの第1及び第2端の少なくとも一方は、前記第1及び第2のリニア形状のゲート電極構造体間で前記第1方向に位置され、及び
前記第2拡散フィンの第1及び第2端の少なくとも一方は、前記第1及び第2のリニア形状のゲート電極構造体間で前記第1方向に位置される、請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第1のリニア形状のゲート電極構造体は、前記第2のリニア形状のゲート電極構造体から間隔を置いて隣接配置される、請求項4に記載の半導体装置。
- 前記第2方向に延びて前記第1及び第2のリニア形状のゲート電極構造体間に位置されたリニア形状のローカル相互接続構造体を更に備えた、請求項4に記載の半導体装置。
- 前記リニア形状のローカル相互接続構造体は、前記第1及び第2のリニア形状のゲート電極構造体間で前記第1方向に実質的に中心に置かれる、請求項6に記載の半導体装置。
- 前記リニア形状のローカル相互接続構造体は、前記第1及び第2の拡散フィンの1つ以上に接続する、請求項6に記載の半導体装置。
- 前記第1方向に延びて前記第1及び第2の拡散フィン間に位置されたリニア形状のローカル相互接続構造体を更に備えた、請求項4に記載の半導体装置。
- 前記リニア形状のローカル相互接続構造体は、前記第1及び第2の拡散フィン間で前記第2方向に実質的に中心に置かれる、請求項9に記載の半導体装置。
- 前記リニア形状のローカル相互接続構造体は、前記第1及び第2のゲート電極構造体の1つ以上に接続する、請求項9に記載の半導体装置。
- 前記リニア形状のローカル相互接続構造体は、第1のリニア形状のローカル相互接続構造体であり、前記半導体装置は、前記第2方向に延びて前記第1及び第2のリニア形状のゲート電極構造体間に位置された第2のリニア形状のローカル相互接続構造体を更に備えている、請求項9に記載の半導体装置。
- 前記第2のリニア形状のローカル相互接続構造体は、前記第1及び第2のリニア形状のゲート電極構造体間で前記第1方向に実質的に中心に置かれる、請求項12に記載の半導体装置。
- 前記第2のリニア形状のローカル相互接続構造体は、前記第1拡散フィン、前記第2拡散フィンの1つ以上に接続する、請求項12に記載の半導体装置。
- 前記第1のリニア形状のローカル相互接続構造体は、二次元的に変化する非リニアなローカル相互接続構造体の第1のリニアなセグメントであり、そして前記第2のリニア形状のローカル相互接続構造体は、二次元的に変化する非リニアなローカル相互接続構造体の第2のリニアなセグメントである、請求項12に記載の半導体装置。
- 前記第1及び第2のリニア形状のローカル相互接続構造体は、互いに接続される、請求項15に記載の半導体装置。
- 前記第1及び第2の拡散フィン間に配置された接触構造体を更に備えた、請求項4に記載の半導体装置。
- 前記接触構造体は、実質的に前記第1拡散フィンと第2拡散フィンとの間の中心に置かれる、請求項17に記載の半導体装置。
- 前記接触構造体は、前記第1のゲート電極構造体又は第2のゲート電極構造体のいずれかに接続される、請求項18に記載の半導体装置。
- 前記第1及び第2のゲート電極構造体間に位置された接触構造体を更に備えた、請求項4に記載の半導体装置。
- 前記接触構造体は、実質的に前記第1及び第2のゲート電極構造体間の中心に置かれる、請求項20に記載の半導体装置。
- 前記第1及び第2の拡散フィン間で前記第2方向に位置された導電性相互接続構造体を更に備え、前記接触構造体がこの導電性相互接続構造体に接続される、請求項20に記載の半導体装置。
- 前記導電性相互接続構造体は、拡散フィンではない前記第1方向に延びる最低レベルの相互接続構造体である、請求項22に記載の半導体装置。
- 前記第1及び第2の拡散フィン間で前記第1方向に位置された導電性相互接続構造体を更に備え、前記接触構造体がこの導電性相互接続構造体に接続される、請求項20に記載の半導体装置。
- 前記導電性相互接続構造体は、高レベルの相互接続構造体である、請求項22に記載の半導体装置。
- 1つ以上の相互接続構造体を更に備え、該1つ以上の相互接続構造体の幾つかは、前記第1方向に延びる1つ以上の相互接続セグメントを含む、請求項4に記載の半導体装置。
- 前記第1方向に延びる1つ以上の相互接続セグメントの幾つかは、前記第1及び第2の拡散フィン間に位置される、請求項26に記載の半導体装置。
- 前記第1方向に延びる1つ以上の相互接続セグメントの幾つかは、前記第1の拡散フィン又は第2の拡散フィンのいずれかの上に位置される、請求項26に記載の半導体装置。
- 前記第1方向に延びる1つ以上の相互接続セグメントは、その1つ以上の相互接続セグメントの各第1方向を向いた中心線間で第2方向に測定して第2方向相互接続ピッチに従って位置される、請求項26に記載の半導体装置。
- 前記第1及び第2の拡散フィンは、その第1及び第2の拡散フィンの各第1方向を向いた中心線間で第2方向に測定して拡散フィンピッチに従って位置され、
前記第2方向の相互接続ピッチは、拡散フィンピッチの有理数倍であり、その有理数倍は、整数値の比として定義される、請求項29に記載の半導体装置。 - 前記第1及び第2の拡散フィンの各々は、前記第1方向に測定して第1拡散フィンピッチ又は前記第2方向に測定して第2拡散フィンピッチのいずれかに従って中心線配置され、前記第1及び第2の拡散フィンピッチは、前記第2方向に順次交番し、そして平均拡散フィンピッチは、前記第1及び第2拡散フィンピッチの平均値であり、
前記第2方向相互接続ピッチは、平均拡散フィンピッチの有理数倍であり、その有理数倍は、整数値の比として定義される、請求項29に記載の半導体装置。 - 前記第1拡散フィンピッチは、前記第2拡散フィンピッチに等しい、請求項31に記載の半導体装置。
- 前記第1拡散フィンピッチは、前記第2拡散フィンピッチとは異なる、請求項31に記載の半導体装置。
- 前記1つ以上の相互接続構造体は、ローカル相互接続構造体、高レベル相互接続構造体、又はその組み合わせを含み、前記ローカル相互接続構造体は、拡散フィンではない最低レベルの相互接続構造体であり、そして前記高レベルの相互接続構造体は、基板に対して前記ローカル相互接続構造体の上のレベルで形成された相互接続構造体である、請求項26に記載の半導体装置。
- 前記第1及び第2拡散フィンの各々は、前記第2方向に測定して第1拡散フィンピッチ又は前記第2方向に測定して第2拡散フィンピッチに従って中心線配置され、前記第1及び第2の拡散フィンピッチは、前記第2方向に順次交番し、そして平均拡散フィンピッチは、前記第1及び第2拡散フィンピッチの平均値であり、
前記第1方向に延びる1つ以上の相互接続セグメントは、前記第2方向に測定して第1相互接続ピッチ又は前記第2方向に測定して第2相互接続ピッチに従って中心線配置され、前記第1及び第2の相互接続ピッチは、前記第2方向に順次交番し、そして平均相互接続ピッチは、前記第1及び第2相互接続ピッチの平均値であり、
前記平均相互接続ピッチは、前記平均拡散フィンピッチの有理数倍であり、その有理数倍は、整数値の比として定義される、請求項26に記載の半導体装置。 - 前記第1拡散フィンピッチは、前記第2拡散フィンピッチに等しく、そして前記第1相互接続ピッチは、前記第2相互接続ピッチに等しい、請求項35に記載の半導体装置。
- 前記第1拡散フィンピッチは、前記第2拡散フィンピッチとは異なり、そして前記第1相互接続ピッチは、前記第2相互接続ピッチとは異なる、請求項35に記載の半導体装置。
- 前記第1拡散フィンピッチは、前記第1相互接続ピッチに等しく、そして前記第2拡散フィンピッチは、前記第2相互接続ピッチに等しい、請求項35に記載の半導体装置。
- 1つ以上の相互接続構造体を更に備え、その1つ以上の相互接続構造体の幾つかは、前記第2方向に延びる1つ以上の相互接続セグメントを含む、請求項4に記載の半導体装置。
- 前記第2方向に延びる1つ以上の相互接続セグメントの幾つかは、前記第1及び第2のゲート電極構造体間に位置される、請求項39に記載の半導体装置。
- 前記第2方向に延びる1つ以上の相互接続セグメントの幾つかは、前記第1のゲート電極構造体又は第2のゲート電極構造体のいずれかの上に位置される、請求項39に記載の半導体装置。
- 前記第2方向に延びる前記1つ以上の相互接続セグメントは、その1つ以上の相互接続セグメントの各第2方向を向いた中心線間で前記第1方向に測定して第1方向相互接続ピッチに従って位置される、請求項39に記載の半導体装置。
- 前記第1及び第2のゲート電極構造体は、その第1及び第2のゲート電極構造体の各第2方向を向いた中心線間で前記第1方向に測定してゲート電極ピッチに従って位置され、 前記第1方向の相互接続ピッチは、ゲート電極ピッチの有理数倍であり、その有理数倍は、整数値の比として定義される、請求項42に記載の半導体装置。
- 前記1つ以上の相互接続構造体は、ローカル相互接続構造体、高レベル相互接続構造体、又はその組み合わせを含み、前記ローカル相互接続構造体は、拡散フィンではない最低レベルの相互接続構造体であり、そして高レベルの相互接続構造体は、基板に対して前記ローカル相互接続構造体の上のレベルで形成された相互接続構造体である、請求項39に記載の半導体装置。
- 更に、各拡散フィンによって形成された各ソース領域及び各ドレイン領域を各々有する第1の複数のトランジスタを備え、第1の複数のトランジスタの各拡散フィンは、基板の表面から突出するように構成され、第1の複数のトランジスタの各拡散フィンは、各拡散フィンの第1端から第2端へ第1方向に長さに沿って延びるように構成され、第1の複数のトランジスタの拡散フィンの第1端は、第1方向において互いに実質的に整列され、
更に、各拡散フィンによって形成された各ソース領域及び各ドレイン領域を各々有する第2の複数のトランジスタを備え、第2の複数のトランジスタの各拡散フィンは、基板の表面から突出するように構成され、第2の複数のトランジスタの各拡散フィンは、各拡散フィンの第1端から第2端へ第1方向に長さに沿って延びるように構成され、第2の複数のトランジスタの拡散フィンの第1端は、第1方向において互いに実質的に整列され、
第2の複数のトランジスタの拡散フィンの1つ以上の第1端は、第1の複数のトランジスタの1つ以上の拡散フィンの第1端と第2端との間で第1方向に位置される、請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第2の複数のトランジスタの拡散フィンの第1端の各々は、前記第1の複数のトランジスタの1つ以上の拡散フィンの第1端と第2端との間で前記第1方向に位置される、請求項45に記載の半導体装置。
- 前記第2の複数のトランジスタの拡散フィンの少なくとも1つは、前記第1の複数のトランジスタの少なくとも1つの拡散フィンからある間隔で隣接配置される、請求項46に記載の半導体装置。
- 前記第1の複数のトランジスタは、n型トランジスタ、p型トランジスタ、或いはn型及びp型トランジスタの組み合わせを含み、そして
前記第2の複数のトランジスタは、n型トランジスタ、p型トランジスタ、或いはn型及びp型トランジスタの組み合わせを含む、請求項45に記載の半導体装置。 - 前記第1の複数のトランジスタは、n型トランジスタであり、そして前記第2の複数のトランジスタは、p型トランジスタである、請求項45に記載の半導体装置。
- 前記第1及び第2の複数の拡散フィンは、それらの各第1方向を向いた中心線を、第2方向に測定して第1拡散フィンピッチ及び第2方向に測定して第2拡散フィンピッチで画成された拡散フィン整列格子に実質的に整列させるように位置され、そして前記第1及び第2の拡散フィンピッチは、第2方向に交互のシーケンスで生じる、請求項45に記載の半導体装置。
- 前記第1及び第2の複数のトランジスタの拡散フィンは、拡散フィン整列格子の少なくとも8つの連続整列位置の部分を集合的に占有する、請求項50に記載の半導体装置。
- 半導体装置を製造する方法において、
基板を準備し、
基板上に第1トランジスタを形成し、第1トランジスタは、第1拡散フィン内にソース領域及びドレイン領域を有し、第1拡散フィンは、基板の表面から突出するように形成され、第1拡散フィンは、第1拡散フィンの第1端から第1拡散フィンの第2端へ第1方向に長さに沿って延びるように形成され、
基板上に第2トランジスタを形成し、第2トランジスタは、第2拡散フィン内にソース領域及びドレイン領域を有し、第2拡散フィンは、基板の表面から突出するように構成され、第2拡散フィンは、第2拡散フィンの第1端から第2拡散フィンの第2端へ第1方向に長さに沿って延びるように形成され、第2拡散フィンは、第1拡散フィンから間隔を置いて隣接位置に形成され、
第2拡散フィンの第1端又は第2端のいずれかが第1拡散フィンの第1端と第2端との間の位置で第1方向に形成されるようにした、方法。 - 半導体装置のレイアウトをレンダリングするためにコンピュータ実行可能なプログラムインストラクションを記憶しているデータストレージ装置において、
基板に形成されるべき第1トランジスタを画成するコンピュータプログラムインストラクションを含み、その第1トランジスタは、第1拡散フィン内にソース領域及びドレイン領域を有するように画成され、その第1拡散フィンは、基板の表面から突出するように画成され、且つその第1拡散フィンは、その第1拡散フィンの第1端からその第1拡散フィンの第2端へ第1方向に長さに沿って延びるように画成され、
基板に形成されるべき第2トランジスタを画成するコンピュータプログラムインストラクションを含み、その第2トランジスタは、第2拡散フィン内にソース領域及びドレイン領域を有するように画成され、その第2拡散フィンは、基板の表面から突出するように画成され、その第2拡散フィンは、その第2拡散フィンの第1端からその第2拡散フィンの第2端へ第1方向に長さに沿って延びるように画成され、その第2拡散フィンは、第1拡散フィンから間隔を置いて隣接配置されるように画成され、且つその第2拡散フィンは、その第1端又は第2端を、第1拡散フィンの第1端と第2端との間で第1方向に位置させるように画成されている、データストレージ装置。
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