JP2017210391A - 窒化物半導体自立基板作製方法 - Google Patents
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- 成長基板の上に六方晶系の窒化ホウ素からなる分離層を形成する第1工程と、
前記分離層の上にAlNからなるAlN層を+c軸方向に結晶成長する第2工程と、
前記AlN層の主表面を酸化して変質させて変質層とする第3工程と、
前記変質層の主表面を窒化して主表面をN極性とした成長準備層とする第4工程と、
主表面をN極性とした前記成長準備層の上に、GaN、AlN、InGaN、およびInNのいずれかの窒化物半導体を窒素極性で結晶成長して前記窒化物半導体の結晶からなるブールを作製する第5工程と、
前記成長基板を前記分離層で分離することで前記ブールより前記成長基板を取り除く第6工程と、
前記ブールを分割して複数の窒化物半導体自立基板を作製する第7工程と
を備えることを特徴とする窒化物半導体自立基板作製方法。 - 請求項1記載の窒化物半導体自立基板作製方法において、
前記成長基板は、単結晶ニッケルから構成されて主表面が(111)面とされている
ことを特徴とする窒化物半導体自立基板作製方法。 - 請求項1記載の窒化物半導体自立基板作製方法において、
前記成長基板は、単結晶鉄、鉄とシリコンの合金の単結晶、および鉄とガリウムの合金の単結晶の何れかから構成されて主表面が(111)面とされている
ことを特徴とする窒化物半導体自立基板作製方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021014834A1 (ja) * | 2019-07-25 | 2021-01-28 | 信越化学工業株式会社 | Iii族化合物基板の製造方法及びその製造方法により製造した基板 |
JP2021020839A (ja) * | 2019-07-25 | 2021-02-18 | 信越化学工業株式会社 | Iii族化合物基板の製造方法及びその製造方法により製造した基板 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11310498A (ja) * | 1998-04-28 | 1999-11-09 | Kyocera Corp | 成膜用基板 |
JP2007066975A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体発光素子 |
JP2009147271A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-02 | Tohoku Univ | 基板製造方法およびiii族窒化物半導体結晶 |
JP2012188294A (ja) * | 2011-03-08 | 2012-10-04 | Tohoku Univ | 半導体装置の製造方法 |
JP2013084781A (ja) * | 2011-10-11 | 2013-05-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体積層構造の製造方法 |
JP2015534531A (ja) * | 2012-09-05 | 2015-12-03 | サン‐ゴバン、クリストー、エ、デテクトゥールSaint−Gobain Cristaux & Detecteurs | 特定の結晶学的特徴を有するiii−v族基板材料および形成方法 |
-
2016
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11310498A (ja) * | 1998-04-28 | 1999-11-09 | Kyocera Corp | 成膜用基板 |
JP2007066975A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体発光素子 |
JP2009147271A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-02 | Tohoku Univ | 基板製造方法およびiii族窒化物半導体結晶 |
JP2012188294A (ja) * | 2011-03-08 | 2012-10-04 | Tohoku Univ | 半導体装置の製造方法 |
JP2013084781A (ja) * | 2011-10-11 | 2013-05-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体積層構造の製造方法 |
JP2015534531A (ja) * | 2012-09-05 | 2015-12-03 | サン‐ゴバン、クリストー、エ、デテクトゥールSaint−Gobain Cristaux & Detecteurs | 特定の結晶学的特徴を有するiii−v族基板材料および形成方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021014834A1 (ja) * | 2019-07-25 | 2021-01-28 | 信越化学工業株式会社 | Iii族化合物基板の製造方法及びその製造方法により製造した基板 |
JP2021020839A (ja) * | 2019-07-25 | 2021-02-18 | 信越化学工業株式会社 | Iii族化合物基板の製造方法及びその製造方法により製造した基板 |
US20220267897A1 (en) * | 2019-07-25 | 2022-08-25 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Group iii compound substrate production method and substrate produced by this production method |
JP7204625B2 (ja) | 2019-07-25 | 2023-01-16 | 信越化学工業株式会社 | Iii族化合物基板の製造方法及びその製造方法により製造した基板 |
EP4006213A4 (en) * | 2019-07-25 | 2023-07-26 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | METHOD FOR PRODUCTION OF GROUP III COMPOUND SUBSTRATE AND SUBSTRATE PRODUCED BY THIS PRODUCTION METHOD |
US11932936B2 (en) | 2019-07-25 | 2024-03-19 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for producing a group III compound crystal by hydride vapor phase epitaxy on a seed substrate formed on a group III nitride base substrate |
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