JP2014154591A - GaN薄膜の製造方法及びGaN薄膜 - Google Patents
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Abstract
【課題】AlxGa1−xN(0.5≦x≦1)上に、島状成長ではないGaN薄膜を形成するGaN薄膜の製造方法及びGaN薄膜を提供すること。
【解決手段】有機金属化学気相成長装置を用いて、サファイア基板上にAlN薄膜を成長させる(ステップS1)。成膜したAlN薄膜について、X線回折法により対称面及び非対称面のロッキングカーブを測定する(ステップS2)。得られたAlN薄膜を有機金属化学気相成長装置内に導入し、成長室内の温度を約1100℃に昇温し、AlN薄膜表面のサーマルクリーニングを行う(ステップS3)。1060度まで降温し、成長室内の圧力200Torrとし、Ga原料としてトリメチルガリウムを用い、N原料としてはNH3を用いてGaN薄膜を約200nm成長させる。
【選択図】図1
【解決手段】有機金属化学気相成長装置を用いて、サファイア基板上にAlN薄膜を成長させる(ステップS1)。成膜したAlN薄膜について、X線回折法により対称面及び非対称面のロッキングカーブを測定する(ステップS2)。得られたAlN薄膜を有機金属化学気相成長装置内に導入し、成長室内の温度を約1100℃に昇温し、AlN薄膜表面のサーマルクリーニングを行う(ステップS3)。1060度まで降温し、成長室内の圧力200Torrとし、Ga原料としてトリメチルガリウムを用い、N原料としてはNH3を用いてGaN薄膜を約200nm成長させる。
【選択図】図1
Description
本発明は、GaN薄膜の製造方法及びGaN薄膜に関し、より詳細には、AlxGa1−xN(0.5≦x≦1)上にGaN薄膜を形成したGaN薄膜の製造方法に関する。
従来から、半導体素子は、さまざまな電子機器に用いられており発光素子や受光素子などの光学デバイス及び各種センサなどに応用されている。例えば、発光素子(LED)に着目すると、発光波長が280nm以下の深紫外領域のLED(以下、UVC−LED)の開発が期待されている。
一般的なUVC−LEDは、AlN基板又はサファイア基板上に作成されたAlN膜上に、n型層,発光層,バリア層(AlGaN),p型層(GaN;窒化ガリウム)と積層された構造である。p型のAlGaNの開発は困難であるため、p型層としては、AlGaNではなくGaNが用いられている。つまり、UVC−LEDでは、AlGaNからなるバリア層上にGaNが積層された構造となっている。
一般的なUVC−LEDは、AlN基板又はサファイア基板上に作成されたAlN膜上に、n型層,発光層,バリア層(AlGaN),p型層(GaN;窒化ガリウム)と積層された構造である。p型のAlGaNの開発は困難であるため、p型層としては、AlGaNではなくGaNが用いられている。つまり、UVC−LEDでは、AlGaNからなるバリア層上にGaNが積層された構造となっている。
また、近年、窒化物系化合物半導体を用いた発光デバイスは、紫外光から青緑色の領域といった短波長の発光が得られるため注目されている。これら発光ダイオードやレーザダイオードといったデバイスは、照明や表示装置、また次世代DVD用光源として期待されている。これら発光デバイスに用いられる基板としては、主要な窒化物系化合物半導体層であるGaN層と、格子定数の一致するGaN単結晶基板を用いることが好ましいとされている。
したがって、通常、GaNに比較的格子定数が近似し、化学的にも安定なサファイア基板が用いられる。このようなサファイア基板上にGaN層をエピタキシャル成長させる方法としては、通常、MOVPE(Metal−Organic Vapor Phase Epitaxy;有機金属気相成長)法が用いられている。
したがって、通常、GaNに比較的格子定数が近似し、化学的にも安定なサファイア基板が用いられる。このようなサファイア基板上にGaN層をエピタキシャル成長させる方法としては、通常、MOVPE(Metal−Organic Vapor Phase Epitaxy;有機金属気相成長)法が用いられている。
しかしながら、サファイア基板は、GaN層と格子定数が近似するものの一致してはいないため、サファイア基板とGaN層の界面で格子不整合による転位などの多数の欠陥が導入される。この欠陥は、成長方向に伸びて、エピタキシャル層表面に多数の貫通欠陥として現出するとともに、レーザダイオードなどの発光デバイスの特性や寿命を著しく劣化させる。また、サファイア基板の熱膨張係数とGaN層の熱膨張率とは大きく異なるため、エピタキシャル成長後の基板には大きな反りが発生してしまう。さらに、サファイア基板は劈開性がないため、劈開面を反射面とするレーザダイオードの作製が極めて困難であるという問題がある。
この種の問題を解決するために、例えば、特許文献1には、Si基板上に、バッファ層として一般式AlXGa1−XN(0≦x≦1)で記述される窒化ガリウム系化合物半導体を成長し、その上にGaNをエピタキシャル成長させることが開示されている。
また、特許文献2には、SiC基板上にバッファ層としてAlN薄膜を介してGaN薄膜を形成するGaN薄膜の形成方法が開示されている。
さらに、非特許文献1によれば、AlxGa1−xN(0.5≦x≦1)上にGaNを成長させると島状成長することが分かっている。
また、特許文献2には、SiC基板上にバッファ層としてAlN薄膜を介してGaN薄膜を形成するGaN薄膜の形成方法が開示されている。
さらに、非特許文献1によれば、AlxGa1−xN(0.5≦x≦1)上にGaNを成長させると島状成長することが分かっている。
Japanese Journal of Applied Physics Vol.46,No.5A 2007,pp2895−2900
しかしながら、上述した非特許文献1では、AlN上のGaNを用いて転位密度の低いGaN薄膜を作成しており、UVC−LEDを作成する場合、ホール注入層及びp型コンタクト層の役割をもつp−GaN層が島状成長していると、電流分布の集中や、コンタクト特性の悪化などの問題が発生してしまう。また、一般に島状成長したGaN薄膜は下地層に対する被覆率が低く、ホール注入効率やLED効率の悪化という問題も発生してしまう。
また、上述した特許文献1には、Si基板上に、バッファ層として一般式AlXGa1−XN(0≦x≦1)で記述される窒化ガリウム系化合物半導体を成長し、マスクを作製し、横方向成長させることでGaN薄膜中の転位密度を低減させる成長方法が開示されているが、フラットなAlXGa1−XN(0≦x≦1)上にGaN薄膜を成長させる製造方法については開示されていない。
また、上述した特許文献2には、SiC基板上にバッファ層としてAlN薄膜を介してGaN薄膜を形成するGaN薄膜の形成方法が開示されており、格子緩和しない程度のAlN薄膜上にGaN薄膜を成長させて転位密度を低減させている。特許文献2に開示されているGaN膜の厚みは1.5umと厚膜であるが、本発明で示した0.2um厚と薄いGaN膜の成長方法については開示されていない。
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、AlxGa1−xN(0.5≦x≦1)上に、島状成長ではないGaN薄膜を形成するGaN薄膜の製造方法及びGaN薄膜を提供することにある。
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、AlxGa1−xN(0.5≦x≦1)上に、島状成長ではないGaN薄膜を形成するGaN薄膜の製造方法及びGaN薄膜を提供することにある。
本発明は、このような目的を達成するためになされたもので、請求項1に記載の発明は、基板上に形成されたAlxGa1−xN(0.5≦x≦1)上に、窒素ガス雰囲気下でGaN薄膜を成長させる工程を有することを特徴とするGaN薄膜の製造方法である。
また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記AlxGa1−xNのX線ロッキングカーブの半値幅が対称面で400秒以下、非対称面で800秒以下であることを特徴とする。
また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記AlxGa1−xNのX線ロッキングカーブの半値幅が対称面で400秒以下、非対称面で800秒以下であることを特徴とする。
また、請求項3に記載の発明は、請求項1又は2に記載の発明において、前記GaN薄膜を成長させる工程が、有機金属気相成長法であることを特徴とする。
また、請求項4に記載の発明は、請求項1,2又は3に記載のGaN薄膜の製造方法により製造されたことを特徴とするGaN薄膜である。
また、請求項5に記載の発明は、基板上に設けられたAlxGa1−xN(0.5≦x≦1)と、該AlxGa1−xN(0.5≦x≦1)上に設けられたGaN薄膜とを備え、前記AlxGa1−xNに対する前記GaN薄膜の被覆率が、95%以上であることを特徴とするGaN薄膜である。
また、請求項4に記載の発明は、請求項1,2又は3に記載のGaN薄膜の製造方法により製造されたことを特徴とするGaN薄膜である。
また、請求項5に記載の発明は、基板上に設けられたAlxGa1−xN(0.5≦x≦1)と、該AlxGa1−xN(0.5≦x≦1)上に設けられたGaN薄膜とを備え、前記AlxGa1−xNに対する前記GaN薄膜の被覆率が、95%以上であることを特徴とするGaN薄膜である。
本発明のGaN薄膜の製造方法によれば、AlxGa1−xN(0.5≦x≦1)上に、島状成長ではなくGaN薄膜を製造することが可能になる。また、本発明によれば、AlxGa1−xN(0.5≦x≦1)に対する被覆率が95%以上のGaN薄膜を得ることができる。これによって、ホール注入効率を向上させることができ、LED効率向上が達成される。
以下、本発明の実施の形態について説明する。
本発明の実施形態は、AlxGa1−xN(0.5≦x≦1)上に、窒素雰囲気下でGaN薄膜を成長させる工程を有するGaN薄膜の製造方法である。
本発明の実施形態は、AlxGa1−xN(0.5≦x≦1)上に、窒素雰囲気下でGaN薄膜を成長させる工程を有するGaN薄膜の製造方法である。
<GaN薄膜の製造方法>
AlN上にGaNを成長させる際に水素をキャリアガスとして用いる従来技術(水素がほぼ100%の割合の雰囲気)の場合は、GaNは島状成長してしまう。
一方、GaN薄膜を成長させる工程における雰囲気が、窒素雰囲気でGaN薄膜を成長させる本実施形態によれば、GaN薄膜が島状成長しない。GaN薄膜が島状成長しないことにより、該GaNに起因した電流分布の集中、コンタクト特性の悪化を低減することが可能になる。窒素雰囲気にするための方法としては、特に制限されないが、キャリアガスや原料バブリングガスとして窒素を用いる方法が挙げられる。また、窒素雰囲気の具体的状態としては、例えば、チャンバー内の窒素ガス比率を50%にすることが挙げられる。
AlN上にGaNを成長させる際に水素をキャリアガスとして用いる従来技術(水素がほぼ100%の割合の雰囲気)の場合は、GaNは島状成長してしまう。
一方、GaN薄膜を成長させる工程における雰囲気が、窒素雰囲気でGaN薄膜を成長させる本実施形態によれば、GaN薄膜が島状成長しない。GaN薄膜が島状成長しないことにより、該GaNに起因した電流分布の集中、コンタクト特性の悪化を低減することが可能になる。窒素雰囲気にするための方法としては、特に制限されないが、キャリアガスや原料バブリングガスとして窒素を用いる方法が挙げられる。また、窒素雰囲気の具体的状態としては、例えば、チャンバー内の窒素ガス比率を50%にすることが挙げられる。
<メカニズム>
このメカニズムについて、MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition;有機金属化学気相蒸着)法での薄膜成長を例として以下に説明する。
一般に、AlGaNからなる窒化物半導体をMOCVDで成長する場合には、高純度なガスを用いることが好ましい観点から、キャリアガス・原料バブリングガスとして水素が用いられていた。しかし、水素ガスを用いて一定以上の品質をもつAlN上にGaNを成長させた場合、安定なファセット面を出しながら島状成長していく。
GaN成長のV族原料としてアンモニアを用いた場合、アンモニアは熱分解されてGa原子と結合し、GaN薄膜が成長していく。アンモニアの分解は下記式(1)で表される。
NH3⇔N*+3/2H2・・・(1)
このメカニズムについて、MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition;有機金属化学気相蒸着)法での薄膜成長を例として以下に説明する。
一般に、AlGaNからなる窒化物半導体をMOCVDで成長する場合には、高純度なガスを用いることが好ましい観点から、キャリアガス・原料バブリングガスとして水素が用いられていた。しかし、水素ガスを用いて一定以上の品質をもつAlN上にGaNを成長させた場合、安定なファセット面を出しながら島状成長していく。
GaN成長のV族原料としてアンモニアを用いた場合、アンモニアは熱分解されてGa原子と結合し、GaN薄膜が成長していく。アンモニアの分解は下記式(1)で表される。
NH3⇔N*+3/2H2・・・(1)
ここで、従来技術の様に水素ガスをキャリアガスとして用いた場合、(1)式での平衡はアンモニアが分化されにくい左方向に動く。よって、薄膜成長表面での実質的なN原子は減少することとなる。その結果、成長表面でのGa原子とN原子での衝突確率が減少し、Ga原子は比較的自由にマイグレーションすると考えられる。そのため、エネルギー的に安定面を維持しながら、歪んだ状態で成長していくため、安定面が得られながら島状成長すると考えられる。
一方、N2をキャリアガスとした場合、上記(1)式において、平衡が左方向に動くことがないために、上記(1)の平衡反応は右方向に動き、NH3の分解が進み、薄膜表面に十分なN原子が存在する。そのため、Ga原子が十分にマイグレーションする前にN原子と反応し、薄膜成長核を生成する。このような場合には、表面に多数のGaN微結晶核が発生するため、安定面が得られるように島状成長するのではなく2次元成長する。
<AlGaN>
本実施形態において、AlxGa1−xNは、Al組成0.5以上1以下(Ga組成0以上0.5以下)のものであれば特に制限されない。x=1、すなわちAlNの場合、例えば、AlN単結晶であってもよいし、任意の基板上に成長されたAlN薄膜であってもよい。またAlxGa1−xNの形成方法は特に制限されず、昇華法やHVPE(Hydride vapor phase epitaxy;ハイドランド気相成長)法、MOCVD法、MBE(Molecular beam epitaxy;分子線エピタキシー)法などの方法が例示される。
本実施形態において、AlxGa1−xNは、Al組成0.5以上1以下(Ga組成0以上0.5以下)のものであれば特に制限されない。x=1、すなわちAlNの場合、例えば、AlN単結晶であってもよいし、任意の基板上に成長されたAlN薄膜であってもよい。またAlxGa1−xNの形成方法は特に制限されず、昇華法やHVPE(Hydride vapor phase epitaxy;ハイドランド気相成長)法、MOCVD法、MBE(Molecular beam epitaxy;分子線エピタキシー)法などの方法が例示される。
Al組成0.5以上のAlxGa1−xNの場合、その上にGaNを成長させると、GaNが島状成長する傾向が顕著になるが、本実施形態の製造方法によれば、島状成長することなくGaNを製膜することが可能になる。
高品質なAlxGa1−xNの指標の一例として、AlxGa1−xNのX線ロッキングカーブの半値幅が対称面で400秒以下であることが好ましく、200秒以下であることがより好ましい。また、AlxGa1−xNのX線ロッキングカーブの半値幅が非対称面で800秒以下であることが好ましく、500秒以下であることがより好ましい。
高品質なAlxGa1−xNの指標の一例として、AlxGa1−xNのX線ロッキングカーブの半値幅が対称面で400秒以下であることが好ましく、200秒以下であることがより好ましい。また、AlxGa1−xNのX線ロッキングカーブの半値幅が非対称面で800秒以下であることが好ましく、500秒以下であることがより好ましい。
<GaN薄膜を成長させる工程>
GaN薄膜を成長させる工程におけるGaN成長方法は、特に制限されないが、MOCVD法やMBE法など挙げられる。窒素原料の供給が容易であるという観点からMOCVD法であることが好ましい。GaN薄膜を成長させる工程におけるGa原料及びN原料は、GaN薄膜が成長可能なものであれば特に制限されない。Ga原料の一例としては、トリメチルガリウム,トリエチルガリウムなどがあるが特に限定されない。N原料の一例としてはNH3ガスが挙げられる。
また、本発明のAlxGa1−xN,GaNは、Be,C,Zn,Mg,Te,Sn,Si,Znなどドーパントして不純物元素が適宜含まれていても構わない。
GaN薄膜を成長させる工程におけるGaN成長方法は、特に制限されないが、MOCVD法やMBE法など挙げられる。窒素原料の供給が容易であるという観点からMOCVD法であることが好ましい。GaN薄膜を成長させる工程におけるGa原料及びN原料は、GaN薄膜が成長可能なものであれば特に制限されない。Ga原料の一例としては、トリメチルガリウム,トリエチルガリウムなどがあるが特に限定されない。N原料の一例としてはNH3ガスが挙げられる。
また、本発明のAlxGa1−xN,GaNは、Be,C,Zn,Mg,Te,Sn,Si,Znなどドーパントして不純物元素が適宜含まれていても構わない。
<GaN薄膜>
本実施形態のGaN薄膜の製造方法を用いることにより、従来技術では得ることができなかった高品質なAlxGa1−xN上に被覆率95%以上のGaN薄膜を得ることができる。
本実施形態のGaN薄膜の製造方法を用いることにより、従来技術では得ることができなかった高品質なAlxGa1−xN上に被覆率95%以上のGaN薄膜を得ることができる。
以下、本発明に係るGaN薄膜の製造方法の具体的な実施例について説明する。本発明は、この実施例に限定されるものではない。
図1は、本発明に係るGaN薄膜の製造方法を説明するためのフローチャートを示す図である。
<準備工程>
VEECO社製の有機金属化学気相成長装置を用いて、サファイア基板(0002)面上にAlN薄膜を1μm成長した。原料としてトリメチルアルミニウム及びアンモニアを用い、H2をキャリアガスとして用いた(ステップS1)。
成膜したAlN薄膜について、X線回折法により対称面(0002)面及び非対称面(10−12)面のロッキングカーブを測定し、対称面で400秒以下、非対称面で800秒以下の高品質なAlN薄膜であることを確認した(ステップS2)。
VEECO社製の有機金属化学気相成長装置を用いて、サファイア基板(0002)面上にAlN薄膜を1μm成長した。原料としてトリメチルアルミニウム及びアンモニアを用い、H2をキャリアガスとして用いた(ステップS1)。
成膜したAlN薄膜について、X線回折法により対称面(0002)面及び非対称面(10−12)面のロッキングカーブを測定し、対称面で400秒以下、非対称面で800秒以下の高品質なAlN薄膜であることを確認した(ステップS2)。
<GaN薄膜成長工程>
次に、準備工程で得られたAlN薄膜を有機金属化学気相成長装置内に導入し、成長室内の温度を約1100℃に昇温し、AlN薄膜表面のサーマルクリーニングを行った(ステップS3)。
次に、1060度まで降温し、成長室内の圧力200Torrとし、Ga原料としてトリメチルガリウムを用い、N原料としてはNH3を用いてGaN薄膜を約200nm成長させた。この際、原料用のバブリングガス及びキャリアガスとしてN2を用いることで、有機金属化学気相成長装置の成長室内のN2ガス比率を90%以上に保ちながらGaN薄膜の成長を行った(ステップS4)。
次に、準備工程で得られたAlN薄膜を有機金属化学気相成長装置内に導入し、成長室内の温度を約1100℃に昇温し、AlN薄膜表面のサーマルクリーニングを行った(ステップS3)。
次に、1060度まで降温し、成長室内の圧力200Torrとし、Ga原料としてトリメチルガリウムを用い、N原料としてはNH3を用いてGaN薄膜を約200nm成長させた。この際、原料用のバブリングガス及びキャリアガスとしてN2を用いることで、有機金属化学気相成長装置の成長室内のN2ガス比率を90%以上に保ちながらGaN薄膜の成長を行った(ステップS4)。
図2は、N2をキャリアガスとした場合のGaN薄膜の表面SEM像を示す図で、図3は、N2をキャリアガスとした場合のGaN薄膜の断面SEM像を示す図である。上述した本発明のGaN薄膜の製造方法により得られたGaN薄膜の表面SEM(Scanning Electron Microscope;走査電子顕微鏡)像を図2に示してある。図中符号1はGaN、2はAlNを示している。
本発明のGaN薄膜の製造方法によって得られたGaN薄膜は、平坦性が高く(図2参照)、また、島状成長ではなく2次元成長しており、AlxGa1−xN薄膜に対するGaN薄膜の被覆率がほぼ100%であることが理解される(図3参照)。
本発明のGaN薄膜の製造方法によって得られたGaN薄膜は、平坦性が高く(図2参照)、また、島状成長ではなく2次元成長しており、AlxGa1−xN薄膜に対するGaN薄膜の被覆率がほぼ100%であることが理解される(図3参照)。
<比較例>
原料用のバブリングガス及びフローガスとしてH2を用いた以外は、実施例と同様の方法でGaN薄膜を約200nm成長させた。この時、有機金属化学気相成長装置の成長室内のH2ガス比率は90%であった。
原料用のバブリングガス及びフローガスとしてH2を用いた以外は、実施例と同様の方法でGaN薄膜を約200nm成長させた。この時、有機金属化学気相成長装置の成長室内のH2ガス比率は90%であった。
図4は、H2をキャリアガスとした場合のGaN薄膜の表面顕微鏡像を示す図で、図5は、H2をキャリアガスとした場合のGaN薄膜の斜め表面SEM像を示す図である。図中符号3はAlN薄膜面を示している。
原料用のバブリングガス及びキャリアガスとしてH2を用いる従来技術のGaN薄膜の製造方法によって得られたGaN薄膜は、平坦性が悪く、また、安定なファセット面が成長面となるように島状成長しており、AlN薄膜に対するGaN薄膜の被覆率が半分程度であることが理解される。
原料用のバブリングガス及びキャリアガスとしてH2を用いる従来技術のGaN薄膜の製造方法によって得られたGaN薄膜は、平坦性が悪く、また、安定なファセット面が成長面となるように島状成長しており、AlN薄膜に対するGaN薄膜の被覆率が半分程度であることが理解される。
上述した実施例及び比較例により、本発明のGaN薄膜の製造方法によれば、平坦性が高く、島状成長ではなく2次元成長しており、AlN薄膜に対するGaN薄膜の被覆率が高いGaN薄膜を得ることが可能となることがより一層理解される。
本発明は、AlxGa1−xN(0.5≦x≦1)上にGaN薄膜を形成したGaN薄膜の製造方法に関するもので、製造されたGaN薄膜は、AlxGa1−xN上に薄膜成長するため、発光波長280nm以下の深紫外LEDに好適に用いられる。
1 GaN
2 AlN
3 AlN薄膜面
2 AlN
3 AlN薄膜面
Claims (5)
- 基板上に形成されたAlxGa1−xN(0.5≦x≦1)上に、窒素ガス雰囲気下でGaN薄膜を成長させる工程を有することを特徴とするGaN薄膜の製造方法。
- 前記AlxGa1−xNのX線ロッキングカーブの半値幅が対称面で400秒以下、非対称面で800秒以下であることを特徴とする請求項1に記載のGaN薄膜の製造方法。
- 前記GaN薄膜を成長させる工程が、有機金属気相成長法であることを特徴とする請求項1又は2に記載のGaN薄膜の製造方法。
- 請求項1,2又は3に記載のGaN薄膜の製造方法により製造されたことを特徴とするGaN薄膜。
- 基板上に設けられたAlxGa1−xN(0.5≦x≦1)と、該AlxGa1−xN(0.5≦x≦1)上に設けられたGaN薄膜とを備え、前記AlxGa1−xNに対する前記GaN薄膜の被覆率が、95%以上であることを特徴とするGaN薄膜。
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- 2013-02-05 JP JP2013020651A patent/JP2014154591A/ja active Pending
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