JP2008266064A - 半導体素子用基板、及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 応力が低減された半導体素子用基板の提供。
【解決手段】異種基板11としてサファイア基板を使用し、MOCVD装置を用いて前記サファイア基板上に300Å以下の膜厚でGaNからなるバッファー層(図示せず)を形成した後、前記異種基板11の上に触媒層12をパターン形成する(a)。この触媒層12は基板側から窒化物/遷移金属、又は遷移金属/窒化物/遷移金属との順に積層され、Cu、Fe、Ni、Coから選ばれる少なくとも一つの元素を含有するものであって、スパッタ装置を用いて形成される。その後、ウェハーをプラズマCVD装置に搬入し、カーボンナノチューブ13を前記触媒層上に形成する(b)。この後、ウェハーをMOCVD装置に移動し、半導体層14を形成する(c)。次に、半導体層14を形成したウェハーから異種基板11を除去して半導体素子用基板とする(d)。
【選択図】図1
【解決手段】異種基板11としてサファイア基板を使用し、MOCVD装置を用いて前記サファイア基板上に300Å以下の膜厚でGaNからなるバッファー層(図示せず)を形成した後、前記異種基板11の上に触媒層12をパターン形成する(a)。この触媒層12は基板側から窒化物/遷移金属、又は遷移金属/窒化物/遷移金属との順に積層され、Cu、Fe、Ni、Coから選ばれる少なくとも一つの元素を含有するものであって、スパッタ装置を用いて形成される。その後、ウェハーをプラズマCVD装置に搬入し、カーボンナノチューブ13を前記触媒層上に形成する(b)。この後、ウェハーをMOCVD装置に移動し、半導体層14を形成する(c)。次に、半導体層14を形成したウェハーから異種基板11を除去して半導体素子用基板とする(d)。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体素子を成長させるための基板、及びその製造方法に関するものである。
半導体素子を成長させる基板(以下、半導体素子用基板と示す。)には、半導体素子とホモ成長させるものを用いることが望ましい。しかしながら、半導体素子によっては、このホモ成長させる半導体素子用基板が高価であるもの、また工業化が困難であるものがある。そのため、半導体素子を成長させる基板には異種材料からなる異種基板を用いることがある。この場合、ヘテロ成長させる半導体素子と基板には格子定数や熱膨張係数に差異があるために半導体素子には応力が発生する。半導体素子にクラックが発生することもある。
特開2001−15077号公報
特開2001−52652号公報
特開2003−243316号公報
例えば、半導体素子に窒化物半導体を用いる場合には、サファイア基板やSiC基板、GaAs基板等の異種基板上に保護膜をパターン形成し、その上に窒化物半導体を選択成長させた後、窒化物半導体のみを取り出し、これを半導体素子用基板とするものがある。この半導体素子用基板は窒化物半導体からなる基板であるため、該基板上に窒化物半導体素子を成長させることは見かけにはホモ成長となる。しかしながら、この半導体素子用基板が窒化物半導体からなる基板であったとしても、もともと異種基板上に成長させた窒化物半導体であるため、この半導体素子用基板には応力が内在している。
応力が内在する半導体素子用基板上に成長させる半導体素子にも応力が伝播されるため、異種基板上に半導体素子をヘテロ成長させる場合と略同様の課題が継続して残る。特に、半導体素子の成長段階や、その後のアッセンブリ段階においてクラックが発生する頻度が高くなる。このような半導体素子用基板上に、半導体素子を形成したものは、所望の特性が得られにくいため、更なる改善が必要となる。応力が内在しない半導体素子用基板が必要となる。
特許文献1や特許文献2にはカーボンナノチューブを電界電子放出源として用いる白色光源が開示されている。しかしながら、このカーボンナノチューブを半導体素子用基板の製造工程に用いることは開示されていない。
特許文献3にはSiC(0001)層を加熱することで、SiCの結合が切断され、Si原子が除去されてSiC層の表面にカーボンナノチューブからなる凸部を形成し、その上にGaN層を形成することが開示されている。しかしながら、SiC層の表面において、Si原子を除去してカーボンナノチューブからなる凸部を形成する方法では、カーボンナノチューブの特性や高さを制御することが困難と考えられる。また所望の高さを確保することも困難である。
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、応力・歪みの発生等を抑制した信頼性の高い半導体素子用基板、及びその製造方法を提供することを目的とする。
本発明の半導体素子用基板は、基板と、前記基板上に開口部を有する触媒層と、前記触媒層上に形成されたカーボンナノチューブと、前記カーボンナノチューブを被覆する半導体層と、を備えたものである。
前記カーボンナノチューブは、基板上において、ストライプ状、格子状、又はドット状に開口部を有する形状とすることが好ましい。
前記カーボンナノチューブの高さは、10μm以上150μm以下とすることが好ましい。
前記カーボンナノチューブは、基板上面において、20%以上70%以下の領域を占めることが好ましい。
前記触媒層は、銅、鉄、ニッケル、コバルト、マンガンからなる群から選ばれることが好ましい。
前記触媒層は、開口部の幅を5μm以上30μm以下とすることが好ましい。
前記半導体素子用基板の熱伝導率は、500W/m・k以上であることが好ましい。
本発明の半導体素子用基板は、カーボンナノチューブを内在する半導体層を備えており、熱伝導率が500W/m・k以上である。
本発明の半導体素子用基板の製造方法は、基板上に開口部を有する触媒層をパターン形成する第1の工程と、前記触媒層上にカーボンナノチューブを形成する第2の工程と、前記カーボンナノチューブを被覆する半導体層を形成する第3の工程と、を備えたものである。
前記3の工程後、前記基板を除去する第4の工程を備えたものであれば、半導体層を主に有する半導体素子用基板となる。
前記カーボンナノチューブは、基板上において、形状を特に限定するものではないが、ストライプ状、格子状、又はドット状に開口部を有する形状とすることが好ましい。
本発明の半導体素子用基板によれば、基板上に形成される半導体の材料に関係なく、応力が内在しない半導体素子用基板を得ることができる。
また、この半導体素子用基板を窒化物半導体基板とし、カーボンナノチューブを含有することで、熱伝導率が飛躍的に向上し、放熱性が強く要求されるハイパワー光源用基板を得ることができる。また、このカーボンナノチューブが、貫通転位密度の削減にも寄与する。
また、本発明の半導体素子用基板の製造方法によれば、再現性よく所望の半導体素子用基板を提供することが可能となる。
また、この半導体素子用基板を窒化物半導体基板とし、カーボンナノチューブを含有することで、熱伝導率が飛躍的に向上し、放熱性が強く要求されるハイパワー光源用基板を得ることができる。また、このカーボンナノチューブが、貫通転位密度の削減にも寄与する。
また、本発明の半導体素子用基板の製造方法によれば、再現性よく所望の半導体素子用基板を提供することが可能となる。
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
本発明の半導体素子用基板は、図1cに示すように、主として、異種基板11と、異種基板上に形成された触媒層12、その触媒層上に形成されたカーボンナノチューブ13、更にはカーボンナノチューブを被覆する半導体層14を備えて構成されている。特に、カーボンナノチューブ13は、基板11上において開口部を有するものである。
本発明の半導体素子用基板は、図1cに示すように、主として、異種基板11と、異種基板上に形成された触媒層12、その触媒層上に形成されたカーボンナノチューブ13、更にはカーボンナノチューブを被覆する半導体層14を備えて構成されている。特に、カーボンナノチューブ13は、基板11上において開口部を有するものである。
ここで、カーボンナノチューブ13は、一般に言われているように、炭素原子の6員環を構成単位とする網状のネットワークが円筒状に丸められた構造を持つ高分子である。また、前記円筒状の構造はその直径が1nm〜数十nmであり、その長さは直径の10倍以上である。
前記半導体素子用基板を構成するカーボンナノチューブ13は、基板上の全面において同一の膜厚で形成されるものではなく、その断面形状は凹凸段差を有する形状となっている。この凹凸段差は10μm以上あることが好ましい。カーボンナノチューブ13に、このような段差があることで、応力(ストレス)が内在しない半導体層14を形成することができる。また、この凹部にはカーボンナノチューブが連続して形成されておらず、異種基板や他の層が露出しているものがより好ましい。これにより、半導体層の低転位化が実現できる。
カーボンナノチューブ13は、凹凸段差を形成する凸部は円筒状をしており、その凸部上面を半球面形状とすることが好ましい。これにより、カーボンナノチューブ13を被覆する半導体層に応力が発生することを効果的に抑制することができる。
触媒層12は、異種基板11上に形成するものであるから、この異種基板との密着性が良好なものが好ましい。触媒層12としては、例えば、遷移金属を含有するものであり、銅、鉄、ニッケル、コバルト、マンガンからなる群から選ばれる材料、またはこれらの化合物である。但し、異種基板上に触媒層を接して形成するものではなく、下地層を介して触媒層を形成する場合には、触媒層は異種基板の種類に依存しない。また、触媒層12は、単層に限られず、多層からなるものであってもよい。
触媒層12は、異種基板や下地層の上に10Å以上の膜厚で形成される。この膜厚の上限値は特に限定されるものではないが、200Å以下の膜厚であって、好ましくは100Å以下の膜厚である。また、触媒層12上に形成されるカーボンナノチューブ13は、触媒層12のパターンに依存するため、この触媒層を所望のパターン形状とする。
半導体層14は、II−VI族化合物半導体、III−V族化合物半導体、IV族化合物半導体から選ばれるものである。また、この半導体層は、2元混晶の半導体層に限定されるものではなく、3元混晶や4元混晶の半導体層が含有されるものであってもよい。その中で、III−V族化合物半導体であれば、窒化物半導体を採用するのに本発明は優位である。何故なら、窒化物半導体はバルク単結晶が未だに流通するまで商業化されておらず、異種基板上に形成する窒化物半導体基板であっても高価であるためである。本発明によれば、窒化物半導体を形成する異種基板は特に限定されるものではなく、安価であるサファイア基板等を採用することができ、応力が内在しない窒化物半導体基板を提供することができる。
前記窒化物半導体は、一般式がInxAlyGa1−x−yN(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦x+y≦1)である。また、この窒化物半導体には、AsやP、Sbが含有されるものや、n型不純物やp型不純物が含有されるものでもよい。
異種基板11としては、サファイア、シリコン、スピネル、SiC、GaAs、InP、GaP、ZnO、ZnS、ZnSe等が挙げられる。これらの異種基板は、オフ角が形成されたものであってもよい。
また、窒化物半導体基板を製造する工程で、窒化物半導体と異なる材料からなる異種基板上に窒化物半導体を形成し、その後に異種基板を研磨やエッチング、レーザ照射等により剥離除去して窒化物半導体のみを取り出した基板を上記異種基板として用いてもよい。応力が内在する窒化物半導体基板も本件発明での異種基板として用いることができる。
また、窒化物半導体基板を製造する工程で、窒化物半導体と異なる材料からなる異種基板上に窒化物半導体を形成し、その後に異種基板を研磨やエッチング、レーザ照射等により剥離除去して窒化物半導体のみを取り出した基板を上記異種基板として用いてもよい。応力が内在する窒化物半導体基板も本件発明での異種基板として用いることができる。
その他の半導体素子用基板の形態としては、異種基板11上にバッファー層(図示せず)や下地層を介して前記触媒層12を形成するものがある。このバッファー層とは結晶構造が多結晶であるものを含有した薄膜層であって、異種基板11と半導体層14との応力緩和効果があるため、前記カーボンナノチューブ13との組み合わせにより、応力が内在しない半導体素子用基板を実現することができる。
また、図2aに示すように、異種基板11上に下地層11aを介して触媒層12をパターン形成するものがある。この下地層11aは、半導体層14と同一材料からなるものが好ましい。何故なら、後工程で下地層11a上に形成するカーボンナノチューブ13の開口部には下地層が露出しているため、この下地層の上に形成される半導体層と下地層との接合界面は同一材料からなり、この接合界面から新たに転位が発生することを抑制することができる。
ここで、前記触媒層12を多層構造として、各層を機能分離させてもよい。まず、下地層との密着性が良好な第1の触媒層12aと、カーボンナノチューブ13を良好に形成するための第2の触媒層12bとを順に備えたものである。例えば、第1の触媒層12として鉄、第2の触媒層12bとして銅を積層したものであれば、カーボンナノチューブを所望の形状で再現性よく形成することができる。
前記下地層11aは、膜厚が5μm以下であって、半導体層14と同一材料を含有するものである。半導体層を窒化物半導体層とする場合には、下地層をGaNとし、第1の触媒層12aをTiNとし、また第2の触媒層12bをNiとするものがある。これにより異種基板からカーボンナノチューブ、半導体層までの密着性が向上する。
以下に、窒化物半導体からなる半導体素子用基板の製造工程を説明するが、本発明はこの製造方法に限定されるものではない。
まず、2インチ以上のサイズをした異種基板11を準備する。ここでは、異種基板に厚さが400μm、サイズが2インチ、C面(0001)を主面とするサファイア基板を使用する。但し、得ようとする窒化物半導体基板によっては、このサファイア基板の主面をM面(10-10)やA面(11-20)、またはR面(1-102)とする。このサファイア基板には1°以下のオフ角が形成されているものが好ましい。
まず、2インチ以上のサイズをした異種基板11を準備する。ここでは、異種基板に厚さが400μm、サイズが2インチ、C面(0001)を主面とするサファイア基板を使用する。但し、得ようとする窒化物半導体基板によっては、このサファイア基板の主面をM面(10-10)やA面(11-20)、またはR面(1-102)とする。このサファイア基板には1°以下のオフ角が形成されているものが好ましい。
次に、前記サファイア基板上にバッファー層(図示せず)を形成する。このバッファー層は気相成長法を用いて反応温度が600℃以下の低温で形成する。ここでは、MOCVD装置を用いて、この炉内に前記サファイア基板を搬入し、原料ガスを供給することでバッファー層を形成する。このバッファー層にGaNを用いる場合には、原料ガスにトリメチルガリウム(TMG)、アンモニアを使用する。ここでは、バッファー層の膜厚を200Å程度とする。
次に、MOCVD装置の炉内で前記バッファー層上に下地層21aを形成する。この下地層にGaNを用いる場合には、原料ガスにトリメチルガリウム(TMG)、アンモニアを使用する。ここでは、下地層の膜厚を1〜5μmとする。
次に、MOCVD装置の炉内からサファイア基板上にGaNからなる下地層を形成したウェハーを取り出す。その後、ウェハー上に触媒層22を形成する(図2a)。ここでは、触媒層22を多層とする。前記ウェハーをスパッタ装置に搬入し、第1の触媒層22aを形成する。第1の触媒層22aとしては、膜厚が10Å程度のTiNとする。雰囲気ガスに窒素、又はアンモニアを用い、ターゲットにTiを用いる。更には第1の触媒層22bとしてCuを10Å程度の膜厚で形成する。但し、この触媒層には、カーボンナノチューブを形成することができる公知の材料や形成方法を用いてもよく、ここで開示しているものに限定されるものではない。
次に、前記触媒層22を公知のエッチング方法を用いてパターン形成する。このパターン形状としては、ストライプ形状や格子形状、三角形状、多角形状、縞状、円状のものがある。例えば、図2aに示すようにストライプ形状とするには、触媒層22とその開口部とを交互に形成する。ここでは、触媒層22の幅を5μmとし、開口部の幅を20μmとする。
その後、前記触媒層22の上にカーボンナノチューブ13を選択的に形成する(図2b)。ここでは、カーボンナノチューブ13を形成する装置にプラズマCVD装置を用いる。反応温度を800℃程度として、原料ガスには炭素含有ガスを用いる。ここでは、メタン(CH4)ガスを用いるが、エタン(C2H6)等のCnH2n+2ガス、又はこれらの混合ガスを用いる。カーボンナノチューブの膜厚としては、例えば10μm〜200μmの範囲である。ここでは、単層カーボンナノチューブを15μmの膜厚で形成する。また、本発明におけるカーボンナノチューブは、グラファイトのクラスターが含有するものであってもよい。
次に、前記カーボンナノチューブ13が選択的にパターン形成されたウェハー上に半導体層14を形成する(図2c)。ウェハーをMOCVD装置の炉内に搬入し、原料にはトリメチルガリウム、アンモニアを用いてGaNからなる半導体層14を膜厚200μmで形成する。
また、前記半導体層14は、GaNのような2元混晶に限らず、3元混晶であるものや不純物を含有するものであってもよい。半導体層14を3元混晶とするにはトリメチルインジウム(TMI)、又はトリメチルアルミニウム(TMA)を原料ガスに追加することで形成することができる。また、半導体層14に不純物を含有するには、n型ドーパントガスとして、シランガスや酸素含有ガスを用い、p型ドーパントとしてシクロペンタジエルマグネシウムを用いる。
次に、半導体層14を形成したウェハーから異種基板11を除去する(図2d)。これにより、応力が内在しないGaNからなる半導体素子用基板10を得ることができる。ここで、異種基板を除去する方法としては、ウェットエッチングや研磨による除去、さらには異種基板と下地層との界面にレーザを照射して、その界面から異種基板を剥離除去する方法がある。
また、ウェハーから異種基板を除去して半導体素子用基板10を形成する工程で、半導体層14にカーボンナノチューブ13が内在する構造としてもよい(図1e)。上述したパターン間隔でカーボンナノチューブ13が形成されている場合には、半導体素子用基板10の膜厚(高さ)に対してカーボンナノチューブ13の高さは1/10以上あることが好ましい。カーボンナノチューブ13は、熱伝導率が1300W/mKと非常に高く、放熱用基板としても効果的に作用するからである。
その他の製造工程としては、異種基板を除去することで形成した前記半導体素子用基板10を厚膜化するものがある。前記半導体素子用基板10がGaNからなるため、このGaNを厚膜化するにはHVPE装置を用いることが好ましい。GaNからなる半導体素子用基板をHVPE装置の炉内に搬入し、原料にはガリウム、アンモニア、塩化水素を用いて前記基板上にGaN層を形成する。ここで、GaN層としては、50μm〜2mm程度である。これにより、この基板上に形成する半導体素子の製造工程でのハンドリングが容易になる。
上記のようにして製造された半導体素子用基板は、パターン形成されたカーボンナノチューブ13上に半導体層を選択成長させて形成したものであるため、半導体層の低転位化も実現できる。GaNであれば、単位面積あたりの転位密度を5×106/cm2以下とすることができる。
また、HVPE法によって作製されたGaN基板の熱伝導率は210W/m・k程度であるが、前記GaN基板がカーボンナノチューブを含有する事により、熱伝導率の値は500W/m・kを超えるようになる。
また、半導体素子用基板の別の製造工程を図1を用いて説明する。まず、異種基板11上に触媒層12をパターン形成したものを準備する(図1a)。後工程で形成する半導体層を窒化物半導体とする場合には、この下地層も窒化物半導体からなるものが好ましい。ここでは、異種基板11にサファイア基板を使用し、MOCVD装置を用いて前記サファイア基板上に300Å以下の膜厚でGaNからなるバッファー層(図示せず)を形成する。
次に、前記異種基板11の上に触媒層12をパターン形成する。この触媒層12は基板側から窒化物/遷移金属、又は遷移金属/窒化物/遷移金属との順に積層されたものである。この触媒層はCu、Fe、Ni、Coから選ばれる少なくとも一つの元素を含有するものであって、スパッタ装置を用いて形成される。
その後、ウェハーをプラズマCVD装置に搬入し、カーボンナノチューブ13を前記触媒層上に形成する(図1b)。その後、ウェハーをMOCVD装置に移動し、半導体層14を形成する(図1c)。次に、半導体層14を形成したウェハーから異種基板11を除去して半導体素子用基板とする(図1d)。
本発明のカーボンナノチューブは、スパッタ法によりパターン形成して核を所望の形状にデザインして、またその核種を選ぶことにより、多種のカーボンナノチューブをはやすことができる。異種基板と半導体層との間で起こる圧縮応力(ストレス)の緩和作用がはたらく。また、カーボンナノチューブは柔軟性があるため、半導体層を厚膜で形成する場合にもストレス緩和作用がある。更には、異種基板を半導体層から剥離する時の離形作用のはたらきがあると考えられる。
本発明の半導体素子用基板は、レーザダイオード素子のみならず、発光ダイオード素子やスーパーフォトルミネセンスダイオード等の発光素子、太陽電池、光センサ等の受光素子、あるいはトランジスタ、パワーデバイス等の電子デバイスに用いる基板として利用することができる。
10 半導体素子用基板
11 異種基板
12 触媒層
13 カーボンナノチューブ
14 半導体層
21a 下地層
11 異種基板
12 触媒層
13 カーボンナノチューブ
14 半導体層
21a 下地層
Claims (11)
- 基板と、前記基板上に開口部を有する触媒層と、前記触媒層上に形成されたカーボンナノチューブと、前記カーボンナノチューブを被覆する半導体層と、を備えた半導体素子用基板。
- 前記カーボンナノチューブは、基板上において、ストライプ状、格子状、又はドット状に開口部を有する形状とすることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子用基板。
- 前記カーボンナノチューブの高さは、10μm以上150μm以下とすることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体素子用基板。
- 前記カーボンナノチューブは、基板上面において、20%以上70%以下の領域を占めることを特徴とする請求項1から3いずれか1項に記載の半導体素子用基板。
- 前記触媒層は、銅、鉄、ニッケル、コバルト、マンガンからなる群から選ばれることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子用基板。
- 前記触媒層は、開口部の幅を5μm以上30μm以下とすることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子用基板。
- 前記半導体素子用基板の熱伝導率は、500W/m・k以上であることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子用基板。
- カーボンナノチューブを内在する半導体層を備えており、熱伝導率が500W/m・k以上である半導体素子用基板。
- 基板上に開口部を有する触媒層をパターン形成する第1の工程と、
前記触媒層上にカーボンナノチューブを形成する第2の工程と、
前記カーボンナノチューブを被覆する半導体層を形成する第3の工程と、を備えた半導体素子用基板の製造方法。 - 前記3の工程後、前記基板を除去する第4の工程を備えた請求項9に記載の半導体素子用基板の製造方法。
- 前記カーボンナノチューブは、基板上において、ストライプ状、格子状、又はドット状に開口部を有する形状とする請求項9に記載の半導体素子用基板の製造方法。
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