JP2017199834A5 - - Google Patents

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支持基材１００の粗化について、より詳細に説明する。支持基材１００にＳＵＳ基材を用いる場合、ＳＵＳ基材の表面は不動態化されている。ここで、上記のエッチャントに含まれるＣｕイオンはＳＵＳ基材中のＦｅ、Ｃｒ、Ｎｉの少なくとも１つと置換されることでＳＵＳがエッチングされる。しかし、ＳＵＳのエッチングは局所的に進行するため不均一にエッチングされ、エッチング後のＳＵＳ表面の凹凸が大きくなる。つまり、図４に示す状態でエッチャントに浸漬することで、ＳＵＳ基材の第２面３０４及び側面３１０を同一処理で粗化することができる。

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