JP2017168506A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の実施の形態に係る半導体装置は、図1に示すように、第1導電型(n+型)のドレイン領域1と、ドレイン領域1上に配置されドレイン領域1よりも低不純物濃度のエピタキシャル層からなる第1導電型(n型)のバッファ領域12と、バッファ領域12上に配置されバッファ領域12よりも低不純物濃度のエピタキシャル層からなる第1導電型(n−型)のドリフト領域2とを備えるプレナー型且つ縦型のパワーMOSFETである。ドレイン領域1はn+型の半導体基板から構成されている。
次に、図1、図3(a)〜図6(b)を参照しながら、本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法の一例を説明する。なお、以下に示す本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法は一例であって、本発明の実施の形態に係る半導体装置はこれ以外の種々の方法でも製造可能である。
上記のように、本発明は実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面は本発明を限定するものであると理解すべきではない。
2,102…ドリフト領域
2a,102a…打返し領域
2b,102b…JFET領域
3…半導体層
3a,3b,103a,103b…チャネル領域
4a,4b,104a,104b…ベース領域
5a,5b,105a,105b…ソース領域
6a,6b,106a,106b…ベースコンタクト領域
7,107…ゲート絶縁膜
8,108…ゲート電極(ポリシリコン層)
9,109…ソース電極
10,110…ドレイン電極
11,111…層間絶縁膜
12,112…バッファ領域
13…Ni膜
14,16…Ti膜、
15…TiN膜
20a,20b,20c,20d…MOSFET
21a,21b,21c,21d…ダイオード
23…DC電源
24…負荷インダクタンス
Claims (5)
- シリコンより禁制帯幅が広い半導体材料を主電流経路に用いた半導体装置であって、
前記半導体材料からなる第1導電型のドレイン領域と、
前記ドレイン領域上に配置され、前記ドレイン領域よりも低不純物濃度の第1導電型のバッファ領域と、
前記バッファ領域上に配置され、前記バッファ領域よりも低不純物濃度の第1導電型のドリフト領域とを備え、
前記ドリフト領域から前記バッファ領域を経由して前記ドレイン領域に至る経路に前記主電流経路が含まれ、前記バッファ領域の不純物濃度の3乗根が前記バッファ領域の下面から上面への距離に対して比例して減少するように、前記バッファ領域の不純物濃度が規定されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記バッファ領域の上面から、前記バッファ領域の不純物濃度が前記ドリフト領域の不純物濃度の10倍となる深さまでの厚さが、前記ドリフト領域の厚さの20%未満であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記ドリフト領域及び前記バッファ領域の少なくとも一方にライフタイムキラーが導入されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記半導体材料は、炭化珪素、窒化ガリウム又はダイヤモンドであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- シリコンよりも禁制帯幅の広い半導体材料からなる第1導電型の半導体基板をドレイン領域とし、前記ドレイン領域上に、前記ドレイン領域よりも低不純物濃度で前記半導体材料からなる第1導電型のバッファ領域をエピタキシャル成長させる工程と、
前記バッファ領域上に、前記バッファ領域よりも低不純物濃度で前記半導体材料からなる第1導電型のドリフト領域をエピタキシャル成長させる工程とを含み、
前記バッファ領域のエピタキシャル成長は、前記バッファ領域の不純物濃度の3乗根が前記バッファ領域の下面から上面への距離に対して比例して減少するように、前記第1導電型の不純物元素を含むドーピングガスの流量を制御することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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