JP2017134392A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1に示すように、実施の一形態に係る基板処理装置1は、基板Wを処理するための処理室10と、処理室10内の空気を排出する排気部20と、基板Wを搬送する基板搬送部30と、搬送される基板Wに処理液(例えば、薬液又は洗浄液)を供給する処理液供給部40とを備えている。なお、処理対象の基板Wとしては、例えば、ガラスなどの矩形状の基板が用いられる。
次に、天井カバー11の設置角度及び天井板11aの使用枚数の決定方法について図3から図5を参照して説明する。
c=tanθ×(a/2)
の式から求められる。この天井カバー11の高さcは、天井カバー11の設置角度θの増大に応じて高くなる。
次に、前述の基板処理装置1が行う基板処理工程について説明する。
なお、傾斜方向に隣接する二つの天井板11aのうち、高い位置(上方)の天井板11aの端部B1と、低い位置(下方)の天井板11aの端部B2との鉛直離間距離(隙間)は、1cm程度に設定されており、それらの端部B1と端部B2は平行になっているが、これに限るものではない。高い位置の天井板11aの端部B1から、低い位置の天井板11aの端部B2に液滴が乗り移る部分が1cm程度あれば良い。
前述の実施形態においては、薬液や洗浄液などの処理液により基板W(例えば、パターン膜が形成された基板W)を処理する処理室10に、前述の瓦重ね構造の天井カバー11を適用することを例示したが、これに限るものではなく、例えば、基板Wを乾燥させる乾燥室など各種の処理室に適用することが可能である。また、例えば、薬液により処理を行う薬液室、洗浄液により洗浄処理を行う洗浄室、気体の吹き付けにより乾燥を行う乾燥室が連続して設けられている場合には、それらに共通の天井カバーとして、前述の瓦重ね構造の天井カバー11を設けることも可能である。
10 処理室
11a 天井板
30 基板搬送部
40 処理液供給部
B1 低い側の端部
B2 高い側の端部
Claims (5)
- 複数の天井板を有する処理室を備え、
前記複数の天井板は、瓦状に積み重ねられて傾斜し、傾斜方向に隣接する二つの天井板のうち、高い位置の天井板における低い側の端部が低い位置の天井板における高い側の端部を覆い、前記低い側の端部と前記高い側の端部との間に隙間を生じさせるように設けられていることを特徴とする基板処理装置。 - 前記隙間は、前記傾斜方向に沿って前記処理室の外部に向かって狭くなっていることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記複数の天井板のうち、高い位置に存在する天井板の長さは、低い位置に存在する天井板の長さよりも短いことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記複数の天井板のうち、高い位置に存在する天井板の水平面に対する傾斜角度は、低い位置に存在する天井板よりも大きな角度であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記処理室内に設けられ、基板を搬送する基板搬送部と、
前記処理室内に設けられ、前記基板搬送部により搬送される前記基板に対して処理液を供給する処理液供給部と、
を備え、
前記複数の天井板は長尺の長方形状に形成され、各長手方向を、前記基板の搬送方向に沿わせて瓦状に積み重ねられていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201710047899.6A CN106997860B (zh) | 2016-01-22 | 2017-01-20 | 基板处理装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016010946 | 2016-01-22 | ||
JP2016010946 | 2016-01-22 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017134392A true JP2017134392A (ja) | 2017-08-03 |
JP2017134392A5 JP2017134392A5 (ja) | 2020-01-30 |
JP6962683B2 JP6962683B2 (ja) | 2021-11-05 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016242694A Active JP6962683B2 (ja) | 2016-01-22 | 2016-12-14 | 基板処理装置 |
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- 2016-12-14 JP JP2016242694A patent/JP6962683B2/ja active Active
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