JP2017134392A5 - - Google Patents

Description

本発明の実施形態に係る基板処理装置は、複数の天井板を有する処理室を備え、
前記複数の天井板は、瓦状に積み重ねられて傾斜し、傾斜方向に隣接する二つの天井板のうち、高い位置の天井板における低い側の端部が低い位置の天井板における高い側の端部を覆い、
前記高い位置の天井板における前記低い側の端部と、前記低い位置の天井板における前記高い側の端部とは、両天井板の間に設けた支持脚を介して接し、前記支持脚によって、前記低い側の端部と前記高い側の端部との間に隙間を生じさせるように設けられていることを特徴とする。

Claims (10)

1. 複数の天井板を有する処理室を備え、
   前記複数の天井板は、瓦状に積み重ねられて傾斜し、傾斜方向に隣接する二つの天井板のうち、高い位置の天井板における低い側の端部が低い位置の天井板における高い側の端部を覆い、
   前記高い位置の天井板における前記低い側の端部と、前記低い位置の天井板における前記高い側の端部とは、両天井板の間に設けた支持脚を介して接し、前記支持脚によって、前記低い側の端部と前記高い側の端部との間に隙間を生じさせるように設けられていることを特徴とする基板処理装置。
2. 前記隙間は、前記傾斜方向に沿って徐々に狭くなっていることを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
3. 前記複数の天井板のうち、高い位置に存在する天井板の長さは、低い位置に存在する天井板の長さよりも短いことを特徴とする請求項１または２に記載の基板処理装置。
4. 前記複数の天井板のうち、高い位置に存在する天井板の水平面に対する傾斜角度は、低い位置に存在する天井板よりも大きな角度であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板処理装置。
5. 同じ傾斜方向に並ぶ各天井板は、互いに平行に配置されることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の基板処理装置。
6. 前記天井板の両面には、濡れ性を向上させる膜が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の基板処理装置。
7. 前記複数の天井板のうち、最も低い位置に存在する天井板の傾斜角度は、他の天井板の傾斜角度よりも水平に近づく方向に傾斜する角度であることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載の基板処理装置。
8. 前記低い位置の天井板における高い側の端部は、高い位置の天井板における低い側の端部に平行な第１の部分と、前記高い位置の天井板から離れる方向に延びる第２の部分とからなることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれかに記載の基板処理装置。
9. 前記処理室内に設けられ、基板を搬送する基板搬送部と、
   前記処理室内に設けられ、前記基板搬送部により搬送される前記基板に対して処理液を供給する処理液供給部と、
   を備え、
   前記複数の天井板は長尺の長方形状に形成され、各長手方向を、前記基板の搬送方向に沿わせて瓦状に積み重ねられていることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれかに記載の基板処理装置。
10. 前記処理室における、前記基板の搬送方向に対して水平に直交する方向の外壁面に設けられ、前記天井板から流れてくる液滴を受け取って収容する樋を有し、
    前記樋の底面は、前記基板の搬送方向に沿って徐々に低くなるように傾けられていることを特徴とする請求項１から請求項９のいずれかに記載の基板処理装置。