JP2017116578A - 可動体の傾き調整方法 - Google Patents

Abstract

【課題】振れ補正機能付きユニットにおいて、固定体に対する可動体の傾きを高精度に調整すること。
【解決手段】振れ補正機能付きユニット１は、光学モジュール２が搭載される可動体１０と、可動体１０を揺動可能に支持する支持機構３０を備える固定体２０と、可動体１０と固定体２０とを接続する板バネ状の弾性支持部材７０を備える。可動体１０の傾き調整を行う際、まず、偏荷重Ｆを加えて可動体１０を傾けた状態とし、可動体１０を動かすために偏荷重Ｆに応じた駆動力が必要な状態とする。そして、この状態から振れ補正用駆動機構５０を駆動して可動体１０の傾き調整を行う。可動体１０の基準面Ｈの方向と、目標方向Ｈ０とを一致させた状態で、ＵＶ硬化型接着剤によって弾性支持部材７０と可動体１０とを固定する。
【選択図】図７

Description

本発明は、可動体と、可動体を揺動可能に支持する支持機構を備える固定体と、可動体の手振れや振動を抑制する振れ補正用駆動機構と、を備える振れ補正機能付きユニットにおける可動体の傾き調整方法に関する。

従来から、撮影用の光学ユニットが搭載された各種の光学機器が用いられている。かかる光学ユニットは、手振れや振動による撮影画像の乱れを抑制するために、光学モジュールを揺動させて振れを補正する振れ補正用駆動機構を備える。特許文献１には、この種の振れ補正機能付き光学ユニットが開示されている。特許文献１の振れ補正機能付き光学ユニットは、光学モジュールを搭載した可動体をケース（固定体）に対して揺動可能に支持するための支持機構として、可動体と固定体との間に配置したジンバル機構を備える。

特開２０１５−６４５０１号公報

振れ補正機能付き光学ユニットは、振れ補正用駆動機構を駆動していない静止状態において、固定体側に設けられた撮像素子の光軸と、可動体側に設けられた光学系の光軸とのずれ（静チルト）を小さくすることが望ましい。また、光学系を構成する部材が可動体側と固定体側に分かれている場合には、振れ補正を行っていない静止状態での固定体に対する可動体の姿勢のずれが、光軸のずれの度合いだけでなく光学系自体の性能にも影響する。従って、振れ補正を行っていない静止状態での固定体に対する可動体の傾き調整を高精度に行うことが望ましい。

ここで、特許文献１の振れ補正機能付き光学ユニットは、光学モジュールを搭載した可動体を揺動可能に支持するジンバル機構に加えて、可動体と固定体の間に取り付けられる板状バネ（弾性支持部材）を備える。そして、静止状態における可動体の姿勢は板状バネによって定まる。板状バネは、固定体に固定される固定体側固定部と、可動体に固定される可動体側固定部を備えており、可動体側固定部は、可動体の取り付け位置を調整することが可能な構造となっている。具体的には、可動体側固定部と可動体との間に隙間があるため、この隙間の範囲で可動体を移動させ、可動体の取り付け位置を調整することができる。このような構造において、静止状態における可動体の姿勢と固定体の姿勢のずれを少なくするためには、板状バネに対して固定される際の可動体の傾き調整を高精度に行うことが求められる。

本発明の課題は、このような点に鑑みて、可動体と、可動体を揺動可能に支持する支持機構を備える固定体と、可動体の手振れや振動を抑制する振れ補正用駆動機構と、を備える振れ補正機能付きユニットにおいて、固定体に対する可動体の傾きを高精度に調整することにある。

上記の課題を解決するために、可動体と、前記可動体を揺動可能に支持する支持機構を備える固定体と、前記固定体に対して前記可動体を揺動させる振れ補正用駆動機構と、前記可動体と前記固定体とを接続する弾性支持部材と、を備える振れ補正機能付きユニット
における可動体の傾き調整方法であって、前記可動体に対して、前記振れ補正用駆動機構の駆動力と逆向きの成分を持つ力が作用する状態を形成する第１工程と、前記可動体の傾き方向が目標方向と一致するように前記駆動力を調節する第２工程と、前記可動体の傾き方向が目標方向と一致した状態で、前記弾性支持部材を介して前記可動体と前記固定体を接続する第３工程と、を行うことを特徴とする。

本発明によれば、可動体の振れ補正を行うために装置内部に備わっている振れ補正用駆動機構を用いて可動体の傾き方向を目標方向と一致させ、可動体の傾き方向が目標方向と一致した状態で、弾性支持部材と可動体とを接続する。その際、まず、可動体の動きに制限を加える。具体的には、振れ補正用駆動機構の駆動力と逆向きの成分を持つ力が可動体に作用する状態とし、可動体を動かすためにこの力よりも大きな力が必要な状態とし、しかる後に、振れ補正用駆動機構を駆動して可動体の傾き調整を行う。このようにすると、振れ補正用駆動機構の駆動力を加えたときにわずかな力で可動体が大きく動いてしまうことを回避できるので、可動体の傾きがばらつくことを抑制できる。従って、可動体の傾き調整を高精度に行うことができる。また、装置内にある振れ補正用駆動機構を用いて可動体の傾き調整を行うので、外部の駆動機構を用いて可動体を動かす方法と比較して、可動体の傾きがばらついてしまう要因を少なくすることができる。よって、可動体の傾き調整を高精度に、且つ、安定して行うことができる。

本発明において、前記第１工程では、前記可動体の重心へ向かう方向と異なる方向の偏荷重を前記可動体に加えることが望ましい。このようにすると、偏荷重によって可動体が傾くので、可動体が傾いた状態から傾き調整を開始することになる。従って、振れ補正用駆動機構から駆動力を加えたときに、可動体が目標位置を超えるほど大きく動くおそれが少ない。従って、可動体の傾きがばらつくことを抑制できるので、可動体の傾き調整を高精度に行うことができる。

本発明において、前記第１工程では、前記可動体にバネ荷重を加える。もしくは、前記可動体に錘の荷重を加える。あるいは、前記可動体に保持された磁石と前記可動体に保持されていない磁石との間に働く反発力もしくは吸引力を前記可動体に加える。これらの方法で偏荷重を加えることにより、簡素な構造で可動体の動きに制限を加えることができる。従って、振れ補正用駆動機構の力を加えたときにわずかな力で可動体が大きく動いてしまうことを回避できるので、可動体の傾きがばらつくことを抑制できる。従って、可動体の傾き調整を高精度に行うことができる。

本発明において、前記第３工程では、ＵＶ硬化型接着剤を用いて前記可動体と前記弾性支持部材とを固定し、前記ＵＶ硬化型接着剤の塗布および硬化処理が行われる間、前記偏荷重と前記傾き調整力とが釣り合った状態を保つように前記振れ補正用駆動機構を制御することが望ましい。このようにすると、ＵＶ硬化型接着剤が硬化する途中で固定箇所に加わる力の変動によって可動体の位置がずれるおそれを少なくすることができる。

本発明において、前記第２工程では、前記可動体で反射された測定光を検出することによって前記可動体の傾き方向を測定することが望ましい。このように、光学式の傾き測定方法を用いれば、接触式の傾き測定方法と比較して可動体の位置ずれ要因を少なくすることができる。従って、可動体の傾き調整を高精度に行うことができる。

本発明において、前記振れ補正用駆動機構はコイルおよび磁石を備え、前記第２工程では、前記可動体の傾き方向を測定し、測定した前記傾き方向と前記目標方向とのずれに基づいて前記コイルに供給する駆動電流を制御するフィードバック制御を行うことが望ましい。このようにすると、可動体の傾き方向を自動調整で目標方向に合わせることができる。従って、可動体の傾き調整を容易に行うことができる。

本発明において、前記支持機構は、前記固定体の中心軸線と交差する第１方向周りの揺動方向と、前記中心軸線および前記第１方向と交差する第２方向周りの揺動方向の２方向に揺動可能に前記可動体を支持し、前記振れ補正用駆動機構は、前記第１方向周りに前記可動体を揺動させる第１駆動機構と、前記第２方向周りに前記可動体を揺動させる第２駆動機構を備え、前記第１工程において、前記第１方向周りに前記可動体を傾ける第１荷重と、前記第２方向周りに前記可動体を傾ける第２荷重の少なくとも一方を前記可動体に加え、前記第２工程において、前記第１駆動機構および前記第２駆動機構を制御して、前記可動体の前記第１方向周りの傾き方向と前記第２方向周りの傾き方向を調節し、前記第３工程において、前記固定体に対して前記第１方向および前記第２方向に相対移動可能な状態で前記可動体を支持するように前記弾性支持部材を取り付けることが望ましい。このようにすると、可動体に光学モジュールが搭載される場合に、光学モジュールの光軸方向を目標どおりに設定できる。

本発明によれば、可動体の振れ補正を行うために装置内部に備わっている振れ補正用駆動機構を用いて可動体の傾き調整を行うので、外部の駆動機構を用いて可動体を動かす方法と比較して、可動体の傾きがばらついてしまう要因を少なくすることができる。また、予め可動体の動きに制限を加え、この状態から振れ補正用駆動機構を駆動して可動体の傾き調整を行うので、振れ補正用駆動機構の駆動力を加えたときにわずかな力で可動体が大きく動いてしまうことを回避できる。従って、可動体の傾きがばらつくことを抑制できる。よって、可動体の傾き調整を高精度に、且つ、安定して行うことができる。

本発明を適用した振れ補正機能付きユニットの斜視図である。 図１の振れ補正機能付きユニットの断面図である。 図１の振れ補正機能付きユニットの分解斜視図である。 支持機構および振れ補正用駆動機構の説明図である。 弾性支持部材による可動体と固定体の接続方法を示す説明図である。 弾性支持部材による可動体と固定体の接続方法を示す説明図である。 可動体の傾き調整方法の説明図である。 可動体の傾き調整の制御ブロック図である。 可動体の傾き調整方法のフローチャートである。 可動体に偏荷重を与える方法の変形例を示す説明図である。

（全体構成）
以下に、図面を参照して、本発明の振れ補正機能付きユニットにおける可動体の傾き調整方法の実施の形態を説明する。図１は振れ補正機能付きユニットの斜視図であり、図２は振れ補正機能付きユニット１の断面図（図１のＡ−Ａ断面図）である。図１、図２に示す振れ補正機能付きユニット１には、光学モジュール２（図２参照）が搭載される。光学モジュール２を搭載した振れ補正機能付きユニット１は、例えばカメラ付き携帯電話機、ドライブレコーダー等の光学機器や、ヘルメット、自転車、ラジコンヘリコプター等に搭載されるアクションカメラやウエアラブルカメラ等の光学機器に用いられる。このような光学機器では、撮影時に振れが発生すると、撮像画像に乱れが発生することを回避するため、振れ補正機能付きユニット１を駆動して振れを補正する。

本明細書において、ＸＹＺの３軸は互いに直交する方向であり、Ｘ軸方向の一方側を＋Ｘ、他方側を−Ｘで示し、Ｙ軸方向の一方側を＋Ｙ、他方側を−Ｙで示し、Ｚ軸方向の一方側を＋Ｚ、他方側を−Ｚで示す。Ｚ軸方向は、振れ補正機能付きユニット１の中心軸線
Ｌである。中心軸線Ｌ方向は、振れ補正機能付きユニット１に光学モジュール２を搭載した場合に、光学モジュール２の光軸Ｌ０（図２参照）と一致させるべき方向である。また、−Ｚ方向は光軸Ｌ０方向の像側、＋Ｚ方向は光軸Ｌ０方向の被写体側となる方向である。振れ補正機能付きユニット１のＸ軸周りの回転は、いわゆるピッチング（縦揺れ）に相当し、Ｙ軸周りの回転は、いわゆるヨーイング（横揺れ）に相当する。また、Ｚ軸周りの回転は、いわゆるローリングに相当する。

図３は振れ補正機能付きユニット１の分解斜視図である。図２、図３に示すように、振れ補正機能付きユニット１は、可動体１０と、固定体２０と、可動体１０を固定体２０に対して揺動可能に支持する支持機構３０と、可動体１０を固定体２０に対して相対変位させる磁気駆動力を発生させる振れ補正用駆動機構５０と、可動体１０と固定体２０とを接続する弾性支持部材７０と、フレキシブル配線基板８０を備える。振れ補正機能付きユニット１は、フレキシブル配線基板８０を介して、振れ補正機能付きユニット１を搭載する光学機器の本体側に設けられた上位の制御装置に電気的に接続される。制御装置には、光学機器に振れが発生したときに振れを検出するジャイロスコープ（振れ検出センサ）の出力が入力される。制御装置は、ジャイロスコープの出力に基づいて振れ補正用駆動機構５０を駆動して可動体１０を揺動させ、振れ補正を行う。

可動体１０は、支持機構３０により、中心軸線Ｌと交差する第１軸線Ｒ１（図１参照）回りに揺動可能に支持されているとともに、中心軸線Ｌおよび第１軸線Ｒ１と交差する第２軸線Ｒ２（図１参照）回りに揺動可能に支持されている。第１軸線Ｒ１および第２軸線Ｒ２は、固定体２０の対角方向であり、中心軸線Ｌと直交する。また、第１軸線Ｒ１および第２軸線Ｒ２は、互いに直交する。ここで、第１軸線Ｒ１および第２軸線Ｒ２は、Ｘ軸およびＹ軸と交差する方向であるが、可動体１０の第１軸線Ｒ１周りの揺動および第２軸線Ｒ２周りの揺動は、可動体１０のＸ軸周りの揺動およびＹ軸周りの揺動を組み合わせた動きに変換される。すなわち、支持機構３０は、可動体１０をＸ軸周りおよびＹ軸周りに揺動可能に支持している。

（固定体）
固定体２０は、Ｚ軸方向に見た場合に略正方形の外形をした第１ケース２１０と、第１ケース２１０に対して−Ｚ方向側から組み付けられる第２ケース２５０を備える。第１ケース２１０は、溶接等により第２ケース２５０と固定される。第１ケース２１０は、可動体１０の周りを囲む角筒状の胴部２１１と、胴部２１１の＋Ｚ方向の端部から内側に張り出した矩形枠状の端板部２１２を備える。端板部２１２の中央には窓２１４が形成されている。胴部２１１は、＋Ｘ方向側、−Ｘ方向側、＋Ｙ方向側、−Ｙ方向側の各方向に位置する側板部２１６を備える。

第２ケース２５０は、矩形枠状の第１部材２５１と、第１部材２５１の＋Ｚ方向側に取り付けられる矩形枠状の第２部材２５２の２部材によって構成される。第２ケース２５０は矩形の開口部２５３が設けられている。開口部２５３の内周側には、可動体１０と固定体２０とを接続する弾性支持部材７０が配置される。弾性支持部材７０は板状バネである。第２部材２５２は、第１軸線Ｒ１上の対角位置から＋Ｚ方向に立ち上がる側壁部２５４、２５５を備える。側壁部２５４、２５５には、支持機構３０の第１揺動支持部３６を構成する第１接点バネ保持部３１が形成されている。

（振れ補正用駆動機構）
図４は支持機構３０および振れ補正用駆動機構５０の説明図であり、図４（ａ）は振れ補正機能付きユニット１から第１ケース２１０を取り外した状態の斜視図、図４（ｂ）は第２揺動支持部３７の部分付断面図（図４（ａ）のＢ−Ｂ断面図）である。振れ補正用駆動機構５０は、固定体２０と可動体１０の間に設けられた４組の磁気駆動機構５１を備え
る。各磁気駆動機構５１は、磁石５２とコイル５３を備える。コイル５３は空芯コイルであり、可動体１０の＋Ｘ方向側および−Ｘ方向側の側面、ならびに可動体１０の＋Ｙ方向側および−Ｙ方向側の側面に保持される。図２、図３に示すように、磁石５２は、第１ケース２１０の胴部２１１において、＋Ｘ方向側、−Ｘ方向側、＋Ｙ方向側、−Ｙ方向側の各方向に位置する側板部２１６の内面に保持される。従って、可動体１０と第１ケース２１０の胴部２１１との間では、＋Ｘ方向側、−Ｘ方向側、＋Ｙ方向側、−Ｙ方向側のいずれにおいても、磁石５２とコイル５３とが対向する。

磁石５２は、胴部２１１に接する外面側と、コイル５３に面する内面側が異なる極に着磁されている。また、磁石５２は中心軸線Ｌ方向（すなわち、Ｚ軸方向）に２分割され、内面側の磁極が分割位置を境にして異なるように着磁されている。このため、コイル５３は、上下の長辺部分が有効辺として利用される。４つの磁石は、外面側および内面側に対する着磁パターンが同一である。第１ケース２１０は磁性材料から構成されており、磁石５２に対するヨークとして機能する。

図４に示すように、磁気駆動機構５１は、可動体１０の＋Ｙ方向側および−Ｙ方向側に位置する２組の磁石５２およびコイル５３からなる第１磁気駆動機構５１Ｘと、可動体１０の＋Ｘ方向側および−Ｘ方向側に位置する２組の磁石５２とコイル５３からなる第２磁気駆動機構５１Ｙを備える。第１磁気駆動機構５１Ｘを構成する２つのコイル５３は、通電時にＸ軸周りの同一方向の磁気駆動力が発生するように配線接続されている。また、第２磁気駆動機構５１Ｙを構成する２つのコイル５３は、通電時にＹ軸周りの同一方向の磁気駆動力が発生するように配線接続されている。従って、第１磁気駆動機構５１Ｘのコイル５３に通電すると、可動体１０を挟んでＹ軸方向に対向する２か所でＸ軸周りの同一方向の回転力が可動体１０に加わる。また、第２磁気駆動機構５１Ｙのコイル５３に通電すると、可動体１０を挟んでＸ軸方向に対向する２か所でＹ軸周りの同一方向の回転力が可動体１０に加わる。従って、第１磁気駆動機構５１Ｘのコイルに通電することにより、ピッチング（縦揺れ）方向の振れ補正を行うことができる。また、第２磁気駆動機構５１Ｙのコイルに通電することにより、ヨーイング（横揺れ）方向の振れ補正を行うことができる。

（可動体）
図２、図３に示すように、可動体１０は、光学モジュール２が取り付けられるホルダ４０と、ホルダ４０の−Ｚ方向の端部に取り付けられる枠状のストッパー４９を備える。ストッパー４９は、可動体１０が揺動する際に固定体２０の第２ケース２５０の内周面と当接して可動体１０の揺動範囲を規制する。ホルダ４０は、Ｚ軸方向に見た場合の平面形状が略正方向形である枠部４１を備えており、枠部４１の中央には光学モジュール２を配置するための円形の保持孔４２が形成されている。光学モジュール２は、ホルダ４０に固定される際、ホルダ４０に設けられた基準面Ｈに対してＺ軸方向に当接して位置決めされる。

図３に示すように、枠部４１の＋Ｘ方向側、−Ｘ方向側、＋Ｙ方向側、−Ｙ方向側の各側端縁には、＋Ｚ方向に立ち上がる壁部４４が配置されている。壁部４４は保持孔４２の外周側を囲むように配置され、枠部４１の各側端縁の中央でＸ軸方向もしくはＹ軸方向に直線状に延在する。４箇所の壁部４４は、それぞれ、保持孔４２とは反対側を向く外側面に形成されたコイル保持部４５を備える。コイル保持部４５は矩形の凸部であり、磁気駆動機構５１のコイル５３が取り付けられる。図２に示すように、コイル保持部４５は、コイル５３の中央から磁石５２の側に突出しており、磁石５２と対向する。振動等によって可動体１０がＸ軸方向もしくはＹ軸方向に変位する際、コイル保持部４５が磁石５２と当接して可動体１０の移動範囲を規制する。

枠部４１には、コイル５３に対する給電用のフレキシブル配線基板８０が取り付けられる。フレキシブル配線基板８０は、４箇所の壁部４４の内周側に沿って延在する矩形枠部分８１と、矩形枠部分８１の内周縁から保持孔４２を通って−Ｚ方向に引き出される帯状の引き回し部８２と、引き回し部８２の−Ｚ方向の端部に設けられる平板状部分８３を備える。矩形枠部分８１には４つのコイル５３が接続される。平板状部分８３は第２ケース２５０の開口部２５３よりも−Ｚ方向側に位置し、光学モジュール２に設けられた電子部品に接続される。

枠部４１の第１軸線Ｒ１上の対角位置には、第１軸線Ｒ１に対して垂直な面によって切り欠かれた切り欠き部４６が設けられている。可動体１０を固定体２０に対して組み付けると、第２ケース２５０の第１軸線Ｒ１上の対角位置に設けられた側壁部２５４、２５５が切り欠き部４６に配置される。従って、側壁部２５４、２５５に設けられた第１接点バネ保持部３１が枠部４１の第１軸線Ｒ１上の対角位置に配置される。また、枠部４１の第２軸線Ｒ２上の対角位置には、支持機構３０の第２揺動支持部３７を構成する第２接点バネ保持部３２が形成されている。

枠部４１の外周面は、＋Ｘ方向側、−Ｘ方向側、＋Ｙ方向側、−Ｙ方向側の各面がＺ軸方向の途中位置で段差のある形状になっている。すなわち、図２、図３に示すように、枠部４１の外周面の−Ｚ方向側の部分には内周側に凹んだ段部４７が設けられ、段部４７の−Ｚ方向の端部にストッパー４９が取り付けられている。段部４７は、＋Ｘ方向側、−Ｘ方向側、＋Ｙ方向側、−Ｙ方向側を向く各面の中央に形成された固定用凸部４８を備える。固定用凸部４８はＺ軸方向に直線状延びており、弾性支持部材７０を係合する係合部として機能する。

（支持機構）
可動体１０を固定体２０に対して揺動可能に支持する支持機構３０は、第２ケース２５０とホルダ４０との間に構成されている。本形態では、支持機構３０としてジンバル機構を用いる。支持機構３０（ジンバル機構）は、可動体１０を固定体２０に対して組み付けたときに第１軸線Ｒ１方向で離間する２か所に配置される第１揺動支持部３６と、第２軸線Ｒ２方向で離間する２か所に配置される第２揺動支持部３７と、第１揺動支持部３６および第２揺動支持部３７によって支持される可動枠３９を備える。

図３、図４に示すように、可動枠３９は概略矩形状のジンバルばねである。可動枠３９は、中心軸線Ｌ回りの４か所に設けられた支点部３９１と、中心軸線Ｌ回りで隣り合う支点部３９１を繋ぐ連結部３９２を備える。各支点部３９１の内側面には溶接等によって金属製の球体３８が固定されている。この球体３８によって、各支点部３９１に可動枠３９の中心を向く半球状の凸面が設けられている。連結部３９２は、Ｘ軸方向もしくはＹ軸方向に延在する蛇行部３９３を備えており、中心軸線Ｌに対して直交する方向に弾性変形可能である。

第１揺動支持部３６は、固定体２０の第２ケース２５０に設けられた第１接点バネ保持部３１と、第１接点バネ保持部３１に保持される第１接点バネ３３を備える。第１接点バネ３３は、Ｕ字状に屈曲した金属製の板バネである。第１揺動支持部３６は、第１軸線Ｒ１方向の対角位置に設けられた支点部３９１の内周側に配置され、第１軸線Ｒ１方向に弾性変形可能な状態に取り付けられた第１接点バネ３３を介して可動枠３９を支持する。

第２揺動支持部３７は、可動体１０のホルダ４０に設けられた第２接点バネ保持部３２と、第２接点バネ保持部３２に保持される第２接点バネ３４を備える。第２接点バネ３４は、Ｕ字状に屈曲した金属製の板バネであり、第１接点バネ３３と同一形状である。第２揺動支持部３７は、第２軸線Ｒ２方向に弾性変形可能な状態に取り付けられた第２接点バ
ネ３４を介して可動枠３９を支持する。

第１揺動支持部３６の第１接点バネ３３および第２揺動支持部３７の第２接点バネ３４には、それぞれ、支点部３９１に溶接された球体３８に接触する半球状の接点部が形成される。可動枠３９は、中心軸線Ｌ回りの４か所に設けられた支点部３９１が、第１接点バネ３３および第２接点バネ３４の半球状の接点部と球体３８とが点接触することによって支持される。従って、可動枠３９は、中心軸線Ｌ方向と直交する２方向（第１軸線Ｒ１方向および第２軸線Ｒ２方向）の各方向回りに回転可能な状態で支持される。

（弾性支持部材）
図５、図６は弾性支持部材による可動体１０と固定体２０の接続方法を示す説明図であり、図５はホルダ４０、弾性支持部材７０、および第１部材２５１の分解斜視図である。また、図６は振れ補正機能付きユニット１を−Ｚ方向側から見た底面図であり、固定体２０の第１部材２５１、可動体１０のストッパー４９、およびフレキシブル配線基板８０を取り外した状態を示す。図２に示すように、弾性支持部材７０は、固定体２０の−Ｚ方向の端部に配置され、固定体２０と可動体１０とを接続する。振れ補正用駆動機構５０が駆動されていない静止状態にあるときの可動体１０の姿勢は、弾性支持部材７０によって定まる。

図５に示すように、弾性支持部材７０は、金属板を加工した矩形枠状の板状バネである。弾性支持部材７０は、固定体２０に接続される固定体側連結部７１と、可動体１０に接続される可動体側連結部７２と、固定体側連結部７１と可動体側連結部７２とを連結するアーム部７３を備える。図５に示すように、第１部材２５１は、＋Ｚ方向を向く端面の四隅に形成された取付面２５６を備える。４箇所の取付面２５６には、それぞれ、＋Ｚ方向に突出する固定用凸部２５８が形成されている。固定体側連結部７１は弾性支持部材７０の外周部の四隅に形成され、固定用凸部２５８が嵌る係合孔７４が形成されている。一方、可動体側連結部７２は弾性支持部材７０の内周縁に形成されている。可動体側連結部７２は、弾性支持部材７０の内周側に配置される可動体１０の部分（段部４７）の外周面に沿う形状の枠状部であり、段部４７に設けられた固定用凸部４８に対応する位置に形成された凹部７５を備える。

（弾性支持部材による固定体と可動体の接続構造）
弾性支持部材７０は、固定体２０と可動体１０との組み付け作業が行われる前に、固定体２０の第２ケース２５０に取り付けられる。まず、第１部材２５１と第２部材２５２とを分離した状態で、第１部材２５１に対して＋Ｚ方向側から弾性支持部材７０を取り付ける。このとき、固定体側連結部７１の係合孔７４を固定用凸部４８に係合させて、第１部材２５１に対して弾性支持部材７０を位置決めする。弾性支持部材７０の取り付け後、第１部材２５１と第２部材２５２とを接合して第２ケース２５０を形成する。

固定体２０に対して可動体１０が組み付けられると、第２ケース２５０の開口部２５３に可動体１０の段部４７が配置される。弾性支持部材７０の可動体側連結部７２は、開口部２５３に配置された段部４７を囲むように配置される。ここで、図６に示すように、可動体側連結部７２は段部４７の外形よりも少し大きく、段部４７の外周面と可動体側連結部７２との間には隙間がある。また、可動体側連結部７２に設けられた凹部７５と段部４７に設けられた固定用凸部４８は、その間に隙間がある状態で係合する。つまり、固定体２０に対して可動体１０が組み付けられると、弾性支持部材７０の可動体側連結部７２は、可動体１０に対して相対移動可能な状態で係合する。

本形態では、固定体２０に対して可動体１０を組み付けた後、可動体側連結部７２が可動体１０に対して相対移動可能な状態で係合された状態で、可動体１０の姿勢（傾き）を
調整する。可動体側連結部７２と可動体１０との固定は、可動体１０の傾きを調整した後に、ＵＶ硬化型接着剤を用いて行う。

（可動体の傾き調整方法）
図７は可動体１０の傾き調整方法の説明図であり、図７（ａ）は可動体１０に偏荷重を与えた状態、図７（ｂ）は可動体１０の傾き方向を目標方向と一致させた状態を示す。本形態では、可動体１０に光学モジュール２を取り付けた際、光学モジュール２の光軸Ｌ０が振れ補正機能付きユニット１の中心軸線Ｌと一致するように可動体１０の傾きを調整し、しかる後に可動体１０と弾性支持部材７０とをＵＶ硬化型接着剤で接続する。上述したように、光学モジュール２の姿勢は可動体１０の基準面Ｈによって定まるので、基準面Ｈが中心軸線Ｌに対して垂直な方向（目標方向Ｈ０：図７（ａ）参照）を向くように可動体１０の傾きを調整する。

図７（ａ）、（ｂ）に示すように、可動体１０の傾き調整を行うための装置は、可動体１０に偏荷重を加えてその動きを制限する制限部１００と、可動体１０の傾き方向を測定する傾き測定部１１０と、傾き測定部１１０の出力に基づいて振れ補正用駆動機構５０を制御して可動体１０の傾きを補正する制御部１２０を備える。このように、本形態では、可動体１０の傾き調整を行うための駆動機構として、振れ補正機能付きユニット１を外部から動かす駆動機構ではなく、振れ補正機能付きユニット１の内部に備わっている振れ補正用駆動機構５０を用いる。

制限部１００は、振れ補正機能付きユニット１を載せる測定台１０１と、測定台１０１に設けられた可動体押圧部１０２を備える。可動体押圧部１０２は、測定台１０１に形成された凹部１０３と、凹部１０３の軸線方向に移動可能な移動部材１０４と、凹部１０３から突出する方向に移動部材１０４を付勢するバネ１０５を備える。振れ補正機能付きユニット１は、弾性支持部材７０が取り付けられている側（すなわち、図１、図２において−Ｚ方向を向く側）を上方にして測定台１０１に設置される。また、振れ補正機能付きユニット１は、可動体押圧部１０２が中心軸線Ｌ上から外れた位置で可動体１０を押圧するように設置される。可動体押圧部１０２は、バネ１０５によって移動部材１０４を付勢して可動体１０を押圧することにより、可動体１０に対して中心軸線Ｌと平行な偏荷重Ｆを加える。

可動体１０は、その重心Ｗが振れ補正機能付きユニット１の中心軸線Ｌ上に位置する。可動体押圧部１０２は、中心軸線Ｌ上から外れた位置で中心軸線Ｌと平行な方向に可動体１０を押圧する。すなわち、可動体押圧部１０２は、可動体１０を傾けるように作用する偏荷重Ｆを可動体１０に加える。なお、偏荷重Ｆは、中心軸線Ｌと平行な力でなくてもよく、可動体１０を傾けることができる方向の力であればよい。すなわち、可動体押圧部１０２から可動体１０に加えられる偏荷重Ｆは、可動体１０の重心Ｗへ向かう方向と異なる方向を向く力であればよい。

傾き測定部１１０は、オートコリメータ１１１および反射部材１１２を備える。オートコリメータ１１１は、測定台１０１上に設置された振れ補正機能付きユニット１の中心軸線Ｌと平行な測定光を振れ補正機能付きユニット１に照射する。反射部材１１２は、例えばミラーであり、可動体１０に対し、光学モジュール２の取付面である基準面Ｈと平行に取り付けられる。傾き測定部１１０は、反射部材１１２で反射された反射光をオートコリメータ１１１で検出することにより、可動体１０の傾き方向θ（図７（ａ）参照）を検出する。本形態では、光学モジュール２の光軸Ｌ０（図２参照）を振れ補正機能付きユニット１の中心軸線Ｌと一致させることを目標として可動体１０の傾き調整を行う。従って、基準面Ｈの傾き方向と一致させるべき目標方向Ｈ０は、中心軸線Ｌに対して垂直な方向である。このため、θ＝０となるように可動体１０の傾き調整を行う。

可動体１０は、支持機構３０により、Ｘ軸周りとＹ軸周りの２方向に揺動可能に支持されている。制限部１００は、偏荷重Ｆとして、Ｘ軸周りの傾きを発生させる第１荷重Ｆ１と、Ｙ軸周りの傾きを発生させる第２荷重Ｆ２を可動体１０に加える。例えば、測定台１０１には、測定台１０１に設置される振れ補正機能付きユニット１の中心軸線Ｌを基準として９０度離れた角度位置に、それぞれ、可動体押圧部１０２が設けられている。可動体押圧部１０２を２か所に設けることにより、その一方によってＸ軸周りの傾きを発生させる第１荷重Ｆ１を可動体１０に加えることができる。また、もう一方によってＹ軸周りの傾きを発生させる第２荷重Ｆ２を可動体１０に加えることができる。

なお、制限部１００は、偏荷重Ｆとして、第１荷重Ｆ１と第２荷重Ｆ２を合成した荷重を１か所の可動体押圧部１０２から加える構成であってもよい。あるいは、第１荷重Ｆ１と第２荷重Ｆ２のうちのいずれか一方のみを加える構成であってもよい。また、２か所に可動体押圧部１０２を設ける場合、その位置関係は中心軸線Ｌを基準として９０度離れた角度位置に限定されるものではない。

図８は可動体１０の傾き調整の制御ブロック図である。制御部１２０は、測定台１０１に設置される振れ補正機能付きユニット１およびオートコリメータ１１１に接続される制御ユニットに設けられる。制御部１２０は、傾き量算出回路１２１と、駆動力算出回路１２２と、駆動電流制御回路１２３Ｘ、１２３Ｙを備える。上記のように、制限部１００がＸ軸周りとＹ軸周りの２方向の偏荷重を可動体１０に加える場合、オートコリメータ１１１で測定される傾きは、Ｘ軸周りの傾き量とＹ軸周りの傾き量の合成量となる。傾き量算出回路１２１は、オートコリメータ１１１の出力から、可動体１０のＸ軸周りの傾き量（Ｐｉｔｃｈ傾き量）とＹ軸周りの傾き量（Ｙａｗ傾き量）を求める。傾き量算出回路１２１が求める傾き量は、例えば、目標方向Ｈ０に対する現在の基準面Ｈの傾き方向のずれ量をＸ軸方向成分とＹ軸方向成分に分けたものである。

駆動力算出回路１２２は、傾き量算出回路１２１によって算出されたＸ軸周りおよびＹ軸周りの傾き量に基づき、可動体１０の傾き方向を目標方向Ｈ０に一致させるための、第１磁気駆動機構５１Ｘおよび第２磁気駆動機構５１Ｙの駆動量を求める。駆動力算出回路１２２が求める駆動量は、具体的には、第１磁気駆動機構５１Ｘおよび第２磁気駆動機構５１Ｙのコイル５３に通電する電流値（補正電流）である。駆動力算出回路１２２は、求めた補正電流を流すための指令信号として、第１磁気駆動機構５１Ｘのコイル５３の通電量を制御するためのＰｉｔｃｈ補正指示を駆動電流制御回路１２３Ｘに与える。また、第２磁気駆動機構５１Ｙのコイル５３の通電量を制御するためのＹａｗ補正指示を駆動電流制御回路１２３Ｙに与える。

（可動体の傾き調整）
図９は、可動体１０の傾き調整方法のフローチャートであり、可動体１０の傾き調整を行い、しかる後に弾性支持部材７０によって固定体２０と可動体１０とを接続する工程を示す。まず、可動体１０の傾き調整を開始する前に、弾性支持部材７０を固定体２０に取り付け、可動体１０を固定体２０に組み付ける。傾き調整を開始する前の振れ補正機能付きユニット１の状態は、弾性支持部材７０の取り付け方法の欄で説明したように、弾性支持部材７０の固定体側連結部７１が固定体２０に固定され、且つ、可動体側連結部７２が可動体１０に対して相対移動可能な状態で係合された状態である。

ステップＳ１（第１工程）では、制限部１００により、振れ補正機能付きユニット１に偏荷重Ｆを加える。具体的には、振れ補正機能付きユニット１を測定台１０１に設置して、２か所の可動体押圧部１０２から、Ｘ軸周りの傾きを発生させる第１荷重Ｆ１と、Ｙ軸周りの傾きを発生させる第２荷重Ｆ２を可動体１０に加える。

ステップＳ２〜Ｓ８（第２工程）では、制御部１２０が振れ補正用駆動機構５０を制御して、可動体１０基準面Ｈの傾き方向を目標方向Ｈ０に合わせる自動調整を行う。まず、ステップＳ２では、オートコリメータ１１１が可動体１０の傾き量を検出し、Ｘ軸周りおよびＹ軸周りの傾き量（Ｐｉｔｃｈ傾き量、Ｙａｗ傾き量）を方向別に制御部１２０に出力する。ステップＳ２で検出された傾き量は、目標方向Ｈ０とのずれ量である。そして、ステップＳ３では、駆動力算出回路１２２により、Ｘ軸周りおよびＹ軸周りの傾き量に基づいてＰｉｔｃｈ補正指示およびＹａｗ補正指示を求める処理を行う。続いて、ステップＳ４では、Ｐｉｔｃｈ補正指示およびＹａｗ補正指示を受けた駆動電流制御回路１２３Ｘおよび駆動電流制御回路１２３Ｙによって、第１磁気駆動機構５１Ｘのコイル５３および第２磁気駆動機構５１Ｙのコイル５３に補正電流を通電する処理を行う。

ステップＳ４で補正電流が通電されると、第１磁気駆動機構５１Ｘおよび第２磁気駆動機構５１Ｙから可動体１０に磁気駆動力が加わる。補正電流により発生する磁気駆動力は、偏荷重Ｆと逆向きの力である。従って、可動体１０は、偏荷重Ｆによる傾きを解消する方向に揺動し、補正電流に応じた角度だけ可動体１０の傾きが補正される。

ステップＳ５では、ステップＳ２と同様に、オートコリメータ１１１が可動体１０の傾き量の検出を行う。続いて、ステップＳ６に進み、方向別の傾き量が許容量よりも大きいか否かを判定する。ずれが許容量よりも大きいと判定した場合には（ステップＳ６：Ｎｏ）、ステップＳ３に戻る。制御部１２０は、目標方向Ｈ０とのずれが許容量を下回るまで、ステップＳ３〜Ｓ６を繰り返すフィードバック制御を行う。

制御部１２０は、傾き量が許容量以下であると判定すると（ステップＳ６：Ｙｅｓ）、ステップＳ７に進む。ステップＳ７（接続工程）では、可動体１０に対して相対移動可能な状態で係合されている可動体側連結部７２を可動体１０に固定することにより、弾性支持部材７０を介して可動体１０と固定体２０とを接続する。具体的には、可動体側連結部７２の凹部７５と可動体１０の固定用凸部４８とが係合している箇所にＵＶ硬化型接着剤を塗布し、しかる後にＵＶ光を照射してＵＶ硬化型接着剤を硬化させる。ＵＶ硬化型接着剤の塗布および硬化処理を行う間、制御部１２０は、制限部１００から可動体１０に加えられる第１荷重Ｆ１および第２荷重Ｆ２と、第１磁気駆動機構５１Ｘおよび第２磁気駆動機構５１Ｙから可動体１０に加えられるＸ軸周りの磁気駆動力およびＹ軸周りの磁気駆動力とが釣り合った状態を維持するように、振れ補正用駆動機構５０の制御を行う。

ＵＶ硬化型接着剤の硬化処理が完了し、弾性支持部材７０による可動体１０と固定体２０との接続が完了した後、反射部材１１２を振れ補正機能付きユニット１から取り外し、測定台１０１から振れ補正機能付きユニット１を取り外す。

（作用効果）
以上のように、本形態の可動体１０の傾き調整方法は、可動体１０の振れ補正を行うために振れ補正機能付きユニット１の内部に備わっている振れ補正用駆動機構５０を用いて可動体１０の基準面Ｈの傾き方向を目標方向Ｈ０と一致させ、可動体１０の基準面Ｈの傾き方向が目標方向Ｈ０と一致した状態で、弾性支持部材７０と可動体１０とを固定する。その際、まず、可動体１０の動きに制限を加える。具体的には、可動体１０に偏荷重Ｆ（第１荷重Ｆ１、第２荷重Ｆ２）を加えて可動体１０を傾けた状態とし、且つ、可動体１０を動かすために偏荷重Ｆに応じた駆動力が必要な状態とする。そして、この状態から振れ補正用駆動機構５０を駆動して可動体１０の傾き調整を行う。このようにすると、振れ補正用駆動機構５０の駆動力を加えたときにわずかな力で可動体１０が大きく動いてしまうことを回避できるので、可動体１０の傾きがばらつくことを抑制できる。従って、可動体１０の傾き調整を高精度に行うことができる。また、振れ補正機能付きユニット１の内部
にある振れ補正用駆動機構５０を用いて可動体１０の傾き調整を行うので、外部の駆動機構を用いて可動体１０を動かす方法と比較して、可動体１０の傾きがばらついてしまう要因を少なくすることができる。よって、可動体１０の傾き調整を高精度に、且つ、安定して行うことができる。

本形態では、可動体１０に対して偏荷重を加えることにより、可動体１０の動きに制限を加える。例えば、偏荷重としてバネ荷重を加える。バネを利用することにより、簡単な構造で可動体１０の動きに制限を加えることができる。従って、振れ補正用駆動機構５０から復帰力を加えたときにわずかな力で可動体１０が大きく動いてしまうことを回避できるので、可動体１０の傾きがばらつくことを抑制できる。従って、可動体１０の傾き調整を高精度に行うことができる。

本形態では、ＵＶ硬化型接着剤によって弾性支持部材７０と可動体１０とを固定する工程の間、制限部１００から可動体１０に加えられる第１荷重Ｆ１および第２荷重Ｆ２と、第１磁気駆動機構５１Ｘおよび第２磁気駆動機構５１Ｙから可動体１０に加えられるＸ軸周りの磁気駆動力およびＹ軸周りの磁気駆動力とが釣り合った状態を維持する。従って、ＵＶ硬化型接着剤による固定の途中に、固定箇所に加わる力の変動によって固定位置がずれるおそれが少ない。従って、可動体１０の傾き調整を高精度に行うことができる。

本形態では、オートコリメータ１１１を用いて可動体１０の傾き検出を行う。光学式の傾き測定方法を用いると、接触式の傾き測定方法と比較して可動体１０の位置ずれ要因を少なくすることができる。従って、可動体１０の傾き調整を高精度に行うことができる。

本形態では、オートコリメータ１１１の出力に基づき、可動体１０の傾き方向と目標方向とが一致するまで、コイル５３に供給する駆動電流を繰り返し調整するフィードバック制御を行う。従って、可動体１０の基準面Ｈの傾き方向を自動調整で目標方向Ｈ０に合わせることができ、可動体１０の傾き調整を容易に行うことができる。

（変形例）
上記形態の制限部１００は、可動体１０に偏荷重Ｆを与えるためにバネ力を利用していたが、偏荷重Ｆを与えるために他の手段を用いてもよい。図１０は制限部１００の変形例を示す説明図であり、図１０（ａ）は錘を用いる変形例、図１０（ｂ）は磁石の反発力を用いる変形例を示す。図１０（ａ）に示すように、変形例１の制限部１００Ａは、可動体１０に載せる錘１０６を備える。錘１０６の重心Ｗ１は、可動体１０に錘１０６を取り付けた状態で、振れ補正機能付きユニット１の中心軸線Ｌ上から外れた位置に位置する。従って、錘１０６から可動体１０に加わる荷重は偏荷重となり、上記形態と同様に、可動体１０を傾けた状態で傾き調整を行うことができる。

図１０（ｂ）に示すように、変形例２の制限部１００Ｂは、可動体１０に取り付けた第１磁石１０７と、測定台１０１に取り付けた第２磁石１０８を備える。第１磁石１０７と第２磁石１０８は同極の磁石であり、振れ補正機能付きユニット１の中心軸線Ｌ上から外れた位置に配置される。変形例２の制限部１００Ｂは、第１磁石１０７と第２磁石１０８磁石の間に働く反発力によって可動体１０に偏荷重Ｆを加えることができる。あるいは、第１磁石１０７と第２磁石１０８磁石を異なる極の磁石としてもよい。この場合は、第１磁石１０７と第２磁石１０８磁石の間に働く吸引力によって可動体１０に偏荷重Ｆを加えることができる。したがって、いずれの場合でも、上記形態と同様に、可動体１０に与える偏荷重Ｆを偏荷重とすることができる。

（他の実施形態）
（１）上記形態は、可動体をＸ軸周りおよびＹ軸周りに揺動可能に支持する支持機構とし
てジンバル機構を用いる振れ補正機能付きユニットに本発明を適用したものであったが、支持機構としてピボット機構を用いる振れ補正機能付きユニットに本発明を適用してもよい。

（２）上記形態は、オートコリメータ１１１を用いて可動体１０の傾き方向を検出するものであったが、他の方法で可動体１０の傾き方向を検出してもよい。例えば、接触式の検出機構を用いてもよい。あるいは、レーザ変位計を用いて可動体１０の変位を検出し、検出した変位量から傾き方向を求めてもよい。

１…振れ補正機能付きユニット、２…光学モジュール、１０…可動体、２０…固定体、３０…支持機構、３１…第１接点バネ保持部、３２…第２接点バネ保持部、３３…第１接点バネ、３４…第２接点バネ、３６…第１揺動支持部、３７…第２揺動支持部、３８…球体、３９…可動枠、４０…ホルダ、４１…枠部、４２…保持孔、４４…壁部、４５…コイル保持部、４６…切り欠き部、４７…段部、４８…固定用凸部、４９…ストッパー、５０…振れ補正用駆動機構、５１…磁気駆動機構、５１Ｘ…第１磁気駆動機構、５１Ｙ…第２磁気駆動機構、５２…磁石、５３…コイル、７０…弾性支持部材、７１…固定体側連結部、７２…可動体側連結部、７３…アーム部、７４…係合孔、７５…凹部、８０…フレキシブル配線基板、８１…矩形枠部分、８２…引き回し部、１００、１００Ａ、１００Ｂ…制限部、１０１…測定台、１０２…可動体押圧部、１０３…凹部、１０４…移動部材、１０５…バネ、１０６…錘、１０７…第１磁石、１０８…第２磁石、１１０…測定部、１１１…オートコリメータ、１１２…反射部材、１２０…制御部、１２１…傾き量算出回路、１２２…駆動力算出回路、１２３Ｘ…第１駆動電流制御回路、１２３Ｙ…第２駆動電流制御回路、２１０…第１ケース、２１１…胴部、２１２…端板部、２１４…窓、２１６…側板部、２５０…第２ケース、２５１…第１部材、２５２…第２部材、２５３…開口部、２５４、２５５…側壁部、２５６…取付面、２５８…固定用凸部、３９１…支点部、３９２…連結部、３９３…蛇行部、Ｆ…偏荷重、Ｆ１…第１荷重、Ｆ２…第２荷重、Ｈ…基準面、Ｈ０…目標方向、Ｌ…中心軸線、Ｌ０…光軸、Ｒ１…第１軸線、Ｒ２…第２軸線、Ｗ…可動体の重心、Ｗ１…錘の重心

Claims (9)

1. 可動体と、前記可動体を揺動可能に支持する支持機構を備える固定体と、前記固定体に対して前記可動体を揺動させる振れ補正用駆動機構と、前記可動体と前記固定体とを接続する弾性支持部材と、を備える振れ補正機能付きユニットにおける可動体の傾き調整方法であって、
   前記可動体に対して、前記振れ補正用駆動機構の駆動力と逆向きの成分を持つ力が作用する状態を形成する第１工程と、
   前記可動体の傾き方向が目標方向と一致するように前記駆動力を調節する第２工程と、
   前記可動体の傾き方向が目標方向と一致した状態で、前記弾性支持部材を介して前記可動体と前記固定体を接続する第３工程と、を行うことを特徴とする可動体の傾き調整方法。
2. 前記第１工程では、前記可動体の重心へ向かう方向と異なる方向の偏荷重を前記可動体に加えることを特徴とする請求項１に記載の可動体の傾き調整方法。
3. 前記第１工程では、前記可動体にバネ荷重を加えることを特徴とする請求項２に記載の可動体の傾き調整方法。
4. 前記第１工程では、前記可動体に錘の荷重を加えることを特徴とする請求項２に記載の可動体の傾き調整方法。
5. 前記第１工程では、前記可動体に保持された磁石と前記可動体に保持されていない磁石との間に働く反発力もしくは吸引力を前記可動体に加えることを特徴とする請求項２に記載の可動体の傾き調整方法。
6. 前記第３工程では、
   ＵＶ硬化型接着剤を用いて前記可動体と前記弾性支持部材とを固定し、
   前記ＵＶ硬化型接着剤の塗布および硬化処理が行われる間、前記偏荷重と前記駆動力とが釣り合った状態を保つように前記振れ補正用駆動機構を制御することを特徴とする請求項２から５の何れか一項に記載の可動体の傾き調整方法。
7. 前記第２工程では、前記可動体で反射された測定光を検出することによって前記可動体の傾き方向を測定することを特徴とする請求項１から６の何れか一項に記載の可動体の傾き調整方法。
8. 前記振れ補正用駆動機構はコイルおよび磁石を備え、
   前記第２工程では、前記可動体の傾き方向を測定し、測定した前記傾き方向と前記目標方向とのずれに基づいて前記コイルに供給する駆動電流を制御するフィードバック制御を行うことを特徴とする請求項１から７の何れか一項に記載の可動体の傾き調整方法。
9. 前記支持機構は、前記固定体の中心軸線と交差する第１方向周りの揺動方向と、前記中心軸線および前記第１方向と交差する第２方向周りの揺動方向の２方向に揺動可能に前記可動体を支持し、
   前記振れ補正用駆動機構は、前記第１方向周りに前記可動体を揺動させる第１駆動機構と、前記第２方向周りに前記可動体を揺動させる第２駆動機構を備え、
   前記第１工程において、前記第１方向周りに前記可動体を傾ける第１荷重と、前記第２方向周りに前記可動体を傾ける第２荷重の少なくとも一方を前記可動体に加え、
   前記第２工程において、前記第１駆動機構および前記第２駆動機構を制御して、前記可動体の前記第１方向周りの傾き方向と前記第２方向周りの傾き方向を調節し、
   前記第３工程において、前記固定体に対して前記第１方向および前記第２方向に相対移動可能な状態で前記可動体を支持するように前記弾性支持部材を取り付けることを特徴とする請求項１から８の何れか一項に記載の可動体の傾き調整方法。

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