JP2010156814A - 振れ補正機能付き光学ユニット、および振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】可動モジュールの後端側をベースに形成した揺動支持部によって支持するとともに、バネ部材によって可動モジュールを揺動支持部に向けて付勢する構成を採用した場合でも、可動モジュールの位置精度を高めることのできる振れ補正機能付き光学ユニット、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】振れ補正機能付き光学ユニット２００の製造方法では、可動側アセンブリ形成工程において、バネ部材２８０を介して可動モジュール１がバネホルダ２７０に対して搭載された可動側アセンブリ１ｂを形成する。次に、収容工程では、ベース２２０および固定カバー２６０によって囲まれた空間内に可動側アセンブリ１ｂを収容した状態とする。次に調整工程では、固定カバー２６０の相対向する側板部２６１の切り欠き２６２ａから露出するバネホルダ２７０を冶具で両側から保持してバネホルダ２７０の位置を調整する。
【選択図】図８

Description

本発明は、レンズを搭載した可動モジュールを揺動させて手振れなどの振れを補正する振れ補正機能付き光学ユニット、および当該振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法に関するものである。

携帯電話機やデジタルカメラなどに搭載される撮影用光学装置や、レーザポインタ、携帯用や車載用の投射表示装置などの光学機器では、手振れや外部振動が伝わってきた際、光軸に振れが発生しやすい。

そこで、携帯用の撮影用光学装置などに用いる撮影用光学ユニットにおいて、弾性体を介して、レンズが搭載された可動モジュールを、弾性体を介して固定体に支持するとともに、可動モジュールの各側面にアクチュエータを構成しておき、可動モジュールに搭載された手振れ検出センサの検出結果に基づいて、アクチュエータ光軸方向（Ｚ軸方向）に直交するＸ軸周りおよびＹ軸周りに可動モジュールを揺動させて手振れを補正する技術が提案されている（特許文献１参照）。
特開２００７−１２９２９５号公報の図１２

しかしながら、特許文献１に記載の構成では、可動モジュールが弾性体によって支持されているだけであるため、磁気駆動機構によって可動モジュールを揺動させる構成を採用した場合、可動モジュールの姿勢を精度よく制御できない。

そこで、可動モジュールの後端側をベースに形成した揺動支持部によって支持するとともに、バネ部材によって、可動モジュールを揺動支持部に向けて付勢することが好ましい。かかる構成によれば、揺動支持部に対する可動モジュールの位置を正確に設定するだけで、可動モジュールの姿勢を精度よく制御することができる。

しかしながら、可動モジュールの後方にベースを配置し、ベースの前側に可動モジュールを覆うように固定カバーを配置した場合、固定カバーとベースとを重ねた状態になって初めて、可動モジュールの後端側がベースの揺動支持部によって支持された状態になるとともに、可動モジュールがバネ部材によって揺動支持部に向けて付勢された状態となる。また、可動モジュールと固定カバーとの間に磁気駆動機構が構成されるので、固定カバーとベースとによって囲まれた空間内に可動モジュールを収容した状態になって初めて、磁気駆動機構が完成する。それ故、製造工程の途中で可動モジュールの位置を調整しても可動モジュールの位置精度が低いとともに、固定カバーとベースとによって囲まれた空間内に可動モジュールを収容した後では、可動モジュールの位置を調整することができないという問題点がある。

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、可動モジュールの後端側をベースに形成した揺動支持部によって支持するとともに、バネ部材によって可動モジュールを揺動支持部に向けて付勢する構成を採用した場合でも、可動モジュールの位置精度を高めることのできる振れ補正機能付き光学ユニット、および当該振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明では、少なくともレンズが搭載された可動モジュールと、該可動モジュールの後方で当該可動モジュールを揺動可能に支持する揺動支持部を備えたベースと、該可動モジュールを前記揺動支持部に向けて付勢するバネ部材と、前記ベースの前側で前記バネ部材を保持するバネホルダと、前記ベースの前側で前記可動モジュール、前記バネ部材および前記バネホルダを覆う固定カバーと、該固定カバーと前記可動モジュールとの間に構成され、前記可動モジュールの振れを補正する振れ補正用磁気駆動機構と、を有し、前記可動モジュール、前記バネ部材および前記バネホルダは、前記バネ部材を介して前記可動モジュールが前記バネホルダに対して搭載された可動側アセンブリを構成しており、前記バネホルダは、前記ベースおよび前記固定カバーのうちの少なくとも一方に固定され、前記固定カバーには、前記バネホルダの少なくとも一部を外側に露出させる切り欠きが形成されていることを特徴とする。

また、本発明では、互いに直交する３方向を各々Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸としたとき、Ｚ軸に沿う方向に光軸を向けたレンズが搭載された可動モジュールと、該可動モジュールの後方で当該可動モジュールを揺動可能に支持する揺動支持部を備えたベースと、該可動モジュールを前記揺動支持部に向けて付勢するバネ部材と、前記ベースの前側で前記バネ部材を保持するバネホルダと、前記ベースの前側で前記可動モジュール、前記バネ部材および前記バネホルダを覆う固定カバーと、該固定カバーと前記可動モジュールとの間に構成され、前記可動モジュールの振れを補正する振れ補正用磁気駆動機構と、を有する振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法において、前記固定カバーに対して、前記バネホルダの少なくとも一部を外側に露出させる切り欠きを形成しておき、前記バネ部材を介して前記可動モジュールが前記バネホルダに対して搭載された可動側アセンブリを形成する可動側アセンブリ形成工程と、前記ベースおよび前記固定カバーによって囲まれた空間内に前記可動側アセンブリを収容した状態とする収容工程と、前記切り欠きを介して前記バネホルダを移動させて前記可動側アセンブリの位置調整を行なう調整工程と、該調整工程の後、前記バネホルダを前記固定カバーおよび前記ベースのうちの少なくとも一方と固定する固定工程と、を有することを特徴とする。

本発明では、可動モジュール、バネ部材およびバネホルダを、バネ部材を介して可動モジュールがバネホルダに対して搭載された可動側アセンブリとしておき、かかる可動側アセンブリの状態で、ベースおよび固定カバーによって囲まれた空間内に可動側アセンブリを収容する。このため、振れ補正機能付き光学ユニットを効率よく製造することができる。また、バネホルダの位置を調整すれば、可動モジュールの位置を調整することもできる。ここで、固定カバーには、バネホルダの少なくとも一部を露出させる切り欠きが形成されている。このため、ベースおよび固定カバーによって囲まれた空間内に可動側アセンブリを収容した後でも、バネホルダの位置を調整することができる。それ故、可動モジュールの後端側をベースに形成した揺動支持部によって支持するとともに、バネ部材によって可動モジュールを揺動支持部に向けて付勢する構成を採用した場合でも、可動モジュールの位置精度を高めることができる。

本発明において、前記調整工程では、前記バネホルダにおいて前記切り欠きから露出する部分を冶具によって保持し、当該冶具を移動させて当該バネホルダの位置を調整することが好ましい。このように構成すると、切り欠きが小さくても、バネホルダを保持することができ、バネホルダの位置を容易に調整することができる。

本発明において、前記収容工程では、前記固定カバーに対して前記ベースを固定することが好ましい。このように構成すると、ベースに形成した揺動支持部の最終的な位置が定まった状態で可動側アセンブリの位置を調整することになるので、可動モジュールの位置精度を高めることができる。また、ベース上における揺動支持部の位置にばらつきがあっても、揺動支持部の最終的な位置が定まった状態で可動側アセンブリの位置を調整することになるので、可動モジュールの位置精度を高めることができる。

本発明において、前記調整工程では、前記バネホルダのＸ軸周りの角度位置、および前記バネホルダのＹ軸周りの角度位置を調整することが好ましい。バネホルダのＸ軸周りの角度位置、およびバネホルダのＹ軸周りの角度位置がずれていると、可動モジュールの揺動範囲が所望の範囲からずれるが、かかる角度位置を調整すれば、可動モジュールの揺動範囲を所望の範囲に設定することができる。

本発明において、前記調整工程では、前記バネホルダのＸ軸方向の位置、および前記バネホルダのＹ軸方向の位置を調整することが好ましい。バネホルダのＸ軸方向の位置、およびバネホルダのＹ軸方向の位置がずれていると、可動モジュールの揺動範囲が所望の範囲からずれるが、かかる角度位置を調整すれば、可動モジュールの揺動範囲を所望の範囲に設定することができる。

本発明において、前記調整工程では、前記振れ補正用磁気駆動機構によって前記可動モジュールを揺動させて、予め設定された揺動範囲を確保することが好ましい。かかる構成を採用すると、振れ補正用磁気駆動機構の組立精度のばらつきなどを含めた条件で、可動モジュールの位置を調整することになる。従って、可動モジュールの揺動範囲を所望の範囲に確実に設定することができる。

本発明において、前記調整工程では、前記バネホルダのＺ軸方向の位置を調整することが好ましい。このように構成すると、バネ部材の付勢力を所望の条件に設定することができる。従って、可動モジュールを揺動させるのに必要なモーメントを所定の範囲に設定することができるので、可動モジュールの揺動を高い精度で行なうことができる。

本発明において、前記バネホルダのＺ軸方向の位置を調整するにあたっては、前記バネホルダをＺ軸方向前側に移動させて前記可動モジュールが前記揺動支持部から離間する際の前記バネ部材の付勢力を計測し、当該付勢力が、予め設定したレベルになるように前記バネホルダのＺ軸方向の位置を決定することが好ましい。このように構成すると、バネ部材の付勢力を直接、設定することになるので、可動モジュールを揺動させるのに必要なモーメントを所定の範囲に設定することができる。それ故、可動モジュールの揺動を高い精度で行なうことができる。

本発明において、前記固定工程では、前記バネホルダを前記固定カバーおよび前記ベースのうちの少なくとも一方と接着剤、あるいはハンダにより固定する構成を採用することができる。

本発明では、可動モジュール、バネ部材およびバネホルダを、バネ部材を介して可動モジュールがバネホルダに対して搭載された可動側アセンブリとしておき、かかる可動側アセンブリの状態で、ベースおよび固定カバーによって囲まれた空間内に可動側アセンブリを収容する。このため、振れ補正機能付き光学ユニットを効率よく製造することができる。また、バネホルダの位置を調整すれば、可動モジュールの位置を調整することもできる。ここで、固定カバーには、バネホルダの少なくとも一部を露出させる切り欠きが形成されている。このため、ベースおよび固定カバーによって囲まれた空間内に可動側アセンブリを収容した後でも、バネホルダの位置を調整することができる。それ故、可動モジュールの後端側をベースに形成した揺動支持部によって支持するとともに、バネ部材によって可動モジュールを揺動支持部に向けて付勢する構成を採用した場合でも、可動モジュールの位置精度を高めることができる。

以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら説明する。以下の説明においては、固定体において互いに直交する３方向を各々Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸とし、光軸Ｌ（レンズ光軸）に沿う方向をＺ軸として説明する。従って、以下の説明では、各方向の振れのうち、Ｘ軸周りの回転は、いわゆるピッチング（縦揺れ）に相当し、Ｙ軸周りの回転は、いわゆるヨーイング（横揺れ）に相当し、Ｚ軸周りの回転は、いわゆるローリングに相当する。また、以下の説明では、「被写体側」を「前側」あるいは「上側」として説明し、「被写体側とは反対側」を「後側」あるいは「下側」として説明する。

（振れ補正機能付き光学ユニットの全体構成）
図１は、本発明を適用した振れ補正機能付き光学ユニットの外観を示す説明図であり、図１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は各々、本発明を適用した振れ補正機能付き光学ユニットを被写体側（前側）においてフレキシブル基板が引き出されている側からみた斜視図、被写体側（前側）においてフレキシブル基板が引き出されている側とは反対側からみた斜視図、および被写体とは反対側である後側からみた斜視図である。

図１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示す振れ補正機能付き光学ユニット２００（手振れ補正機能付き光学ユニット）は、カメラ付き携帯電話機に用いられる薄型カメラであって、全体として略直方体形状を有している。本形態において、振れ補正機能付き光学ユニット２００は、略矩形板状のベース２２０と、このベース２２０の上方に被せられた箱状の固定カバー２６０とを備えており、ベース２２０と固定カバー２６０は互いに固定されて固定体２１０の一部を構成している。固定体２１０において、固定カバー２６０の前側端部（被写体側端部）には、シャッタ機構や、各種フィルタを光軸上に出現した状態および光軸上から退避した状態に切り換えるフィルタ駆動機構、さらには絞り機構を内蔵する付属モジュールが固定されることもある。

固定カバー２６０は、光軸Ｌの方向（Ｚ軸の方向）からみたときに矩形形状を有しており、矩形の天板部２６１を前側に備えている。天板部２６１には、円形の開口部２６１ａが形成されており、天板部２６１の外周縁から後方に向けては、４枚の側板部２６２が延びている。４枚の側板部２６２のうち、Ｙ軸方向に位置する２枚の側板部２６２の一方には、後端縁に矩形の切り欠き２６２ｄが形成されており、切り欠き２６２ｄからはフレキシブル基板３００の引き出し部３５０がＹ軸方向に引き出されている。

また、４枚の側板部２６２のうち、Ｘ軸方向で対向する２枚の側板部２６２の一方には、後端縁に矩形の切り欠き２６２ａが形成されており、他方には、後端縁に矩形の２つの切り欠き２６２ｂ、２６２ｃが形成されている。

固定カバー２６０の内側には、レンズに対するフォーカス機構を内蔵する可動モジュール１が配置されているとともに、後述するように、可動モジュール１を揺動させて手振れ補正を行なう手振れ補正機構が構成されている。可動モジュール１は、レンズに対するフォーカス機構を内蔵するレンズ駆動モジュール１ａを有している。

フレキシブル基板３００の引き出し部３５０は、側板部２６２に対して接着剤などで固定されており、本形態では、かかるフレキシブル基板３００を介して、可動モジュール１や後述する手振れ補正機構と、外部との電気的な接続が行なわれている。例えば、フレキシブル基板３００の引き出し部３５０の端部が、外部に配置されたコネクタ（図示せず）に接続される。

（レンズ駆動モジュールの構成）
図２は、本発明を適用した振れ補正機能付き光学ユニット２００の可動モジュール１内に構成したレンズ駆動モジュール１ａの説明図であり、図２（ａ）、（ｂ）は各々、レンズ駆動モジュール１ａを斜め上方からみた外観図、および分解斜視図である。図３は、図２に示すレンズ駆動モジュール１ａの動作を模式的に示す説明図である。なお、図３の左半分は、移動体３が無限遠の位置（通常撮影位置）にあるときの図を示しており、図３の右半分は、移動体３がマクロ位置（接写撮影位置）にあるときの図を示している。

図２（ａ）、（ｂ）および図３において、レンズ駆動モジュール１ａは、レンズを光軸Ｌの方向に沿って被写体（物体側）に近づくＡ方向（前側）、および被写体とは反対側（撮像素子側／像側）に近づくＢ方向（後側）の双方向に移動させるためのものであり、略直方体形状を有している。レンズ駆動モジュール１ａは、概ね、３枚のレンズ１２１および固定絞りを内側に保持した移動体３と、この移動体３を光軸Ｌの方向に沿って移動させるレンズ駆動機構５と、レンズ駆動機構５および移動体３等が搭載された支持体２とを有している。移動体３は、レンズ１２１および固定絞りを保持する円筒状のレンズホルダ１２と、後述するレンズ駆動用コイル３０ｓ、３０ｔを外周側面で保持するレンズ駆動用コイルホルダ１３とを備えている。

支持体２は、被写体側と反対側で撮像素子１５を位置決めする矩形板状の撮像素子ホルダ１９と、撮像素子ホルダ１９に対して被写体側で被さる箱状のケース１８と、ケース１８の内側に配置される矩形板状のスペーサ１１とを備えており、ケース１８およびスペーサ１１の中央には、被写体からの光をレンズ１２１に取り込むための円形の入射窓１１０、１８ａが各々形成されている。また、撮像素子ホルダ１９の中央には、入射光を撮像素子１５に導く穴１９ａが形成されている。

さらに、レンズ駆動モジュール１ａにおいて、支持体２は、撮像素子１５が実装された基板１５４を備えており、基板１５４は撮像素子ホルダ１９の下面に固定されている。ここで、基板１５４は両面基板であり、基板１５４の下面側には、図１に示すフレキシブル基板３００が接続されている。

本形態において、ケース１８は、鋼板等の強磁性板からなり、ヨークとしても機能する。このため、ケース１８は、後述するレンズ駆動用マグネット１７とともに、レンズ駆動用コイルホルダ１３に保持されたレンズ駆動用コイル３０ｓ、３０ｔに鎖交磁界を発生させる鎖交磁界発生体４を構成しており、かかる鎖交磁界発生体４は、レンズ駆動用コイルホルダ１３の外周面に巻回されたレンズ駆動用コイル３０ｓ、３０ｔとともにレンズ駆動機構５を構成している。

支持体２と移動体３とは、金属製のバネ部材１４ｓ、１４ｔを介して接続されている。バネ部材１４ｓ、１４ｔは基本的な構成が同様であり、支持体２側に保持される外周側連結部１４ａと、移動体３の側に保持される円環状の内周側連結部１４ｂと、外周側連結部１４ａと内周側連結部１４ｂとを接続するアーム状の板バネ部１４ｃとを備えている。バネ部材１４ｓ、１４ｔのうち、撮像素子側のバネ部材１４ｓは、撮像素子ホルダ１９に外周側連結部１４ａが保持され、内周側連結部１４ｂが移動体３のレンズ駆動用コイルホルダ１３の撮像素子側端面に連結されている。被写体側のバネ部材１４ｔは、スペーサ１１に外周側連結部１４ａが保持され、内周側連結部１４ｂが移動体３のレンズ駆動用コイルホルダ１３の被写体側端面に連結されている。このようにして、移動体３は、バネ部材１４ｓ、１４ｔを介して支持体２に光軸Ｌの方向に移動可能に支持されている。かかるバネ部材１４ｓ、１４ｔはいずれも、ベリリウム銅や非磁性のＳＵＳ系鋼材等といった非磁性の金属製であり、所定厚の薄板に対するプレス加工、あるいはフォトリソグラフィ技術を用いたエッチング加工により形成したものである。なお、バネ部材１４ｓ、１４ｔのうち、バネ部材１４ｓは、バネ片１４ｅ、１４ｆに２分割されており、レンズ駆動用コイル３０ｓ、３０ｔの各端末は各々、バネ片１４ｅ、１４ｆに接続される。また、バネ部材１４ｓにおいて、バネ片１４ｅ、１４ｆには各々、端子１４ｄが形成されており、バネ部材１４ｓ（バネ片１４ｅ、１４ｆ）はレンズ駆動用コイル３０ｓ、３０ｔに対する給電部材としても機能する。

本形態においては、レンズ駆動用コイルホルダ１３の前側端面にリング状の磁性片６１が保持されており、かかる磁性片６１の位置は、レンズ駆動用マグネット１７に対して前側位置である。磁性片６１は、レンズ駆動用マグネット１７との間に作用する吸引力により移動体３に対して光軸Ｌの方向の付勢力を印加する。このため、移動体３が無通電時に自重で変位することを防止することができるので、移動体３に所望の姿勢を維持させ、さらに耐衝撃性を向上させることが可能である。また、磁性片６１はレンズホルダ１２の前側端面に配置されており、磁性片６１は非通電時（原点位置）においてはレンズ駆動用マグネット１７とを吸引することによりレンズホルダ１２を後側に静置することができる。

本形態のレンズ駆動モジュール１ａにおいて、光軸Ｌの方向からみたとき、レンズ１２１は円形であるが、支持体２に用いたケース１８は矩形箱状である。従って、ケース１８は、角筒状胴部１８ｃを備えており、角筒状胴部１８ｃの上面側には、入射窓１８ａが形成された上板部１８ｇを備えている。本形態において、角筒状胴部１８ｃは四角筒状であり、光軸Ｌの方向からみたときに四角形の辺に相当する各位置に４つの側板部１８ｂを備えている。４つの側板部１８ｂの各々の内面にはレンズ駆動用マグネット１７が固着されており、かかるレンズ駆動用マグネット１７は各々、矩形の平板状永久磁石からなる。４つのレンズ駆動用マグネット１７はいずれも光軸Ｌの方向において磁気的に２分割されており、いずれにおいても内面と外面とが異なる極に着磁されている。例えば、４つのレンズ駆動用マグネット１７では、例えば、上半分では内面がＮ極に着磁され、外面がＳ極に着磁され、下半分では、内面がＳ極に着磁され、外面がＮ極に着磁されている。このため、４つのレンズ駆動用マグネット１７では、隣接する永久磁石同士において、磁極の配置が同一であり、コイルに対する鎖交磁束線を効率よく発生させることができる。

移動体３は、レンズ１２１等を保持する円筒状のレンズホルダ１２と、コイル（レンズ駆動用コイル３０ｓ、３０ｔ）が外周側面に巻回されたレンズ駆動用コイルホルダ１３とを備えており、レンズホルダ１２およびレンズ駆動用コイルホルダ１３によって移動体３の側壁部分が構成されている。レンズホルダ１２は、上半部が大径の大径円筒部１２ｂになっており、下半部が大径円筒部１２ｂより小径の小径円筒部１２ａになっている。レンズ駆動用コイルホルダ１３は、レンズホルダ１２を内側に保持するための円形のレンズホルダ収納穴１３０を備えている。

本形態では、レンズ駆動用コイルホルダ１３を光軸Ｌの方向からみたとき、内周形状は円形であるが、レンズ駆動用コイルホルダ１３の外周形状を規定する外周側面１３１は四角形であり、四角形の４つの辺に相当する各位置に４つの面１３２を備えている。かかるレンズ駆動用コイルホルダ１３の外周側面１３１において、光軸Ｌの方向における両端部および中央位置には、その全周にわたってリブ状突起１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃが形成されており、撮像素子側端部に形成されたリブ状突起１３１ａと中央位置に形成されたリブ状突起１３１ｂとに挟まれた凹部は第１コイル巻回部１３２ａになっており、被写体側端部に形成されたリブ状突起１３１ｃと中央位置に形成されたリブ状突起１３１ｂとに挟まれた凹部は第２コイル巻回部１３２ｂになっている。

レンズ駆動用コイルホルダ１３において、４つの面１３２の各々には、第１コイル巻回部１３２ａ、および第２コイル巻回部１３２ｂの各々に対して、四角形の角部分を避けるように除去してなる矩形の貫通穴（貫通穴１３３ａ、１３３ｂ）が形成されており、かかる貫通穴１３３ａ、１３３ｂは、レンズ駆動用コイルホルダ１３の側面壁を内外方向で貫通している。このようにして、本形態では、レンズ駆動用コイルホルダ１３の貫通穴１３３ａ、１３３ｂによって、移動体３の外周側面１３１で内側に凹む肉抜き部が構成されている。但し、貫通穴１３３ａ、１３３ｂは、周方向においては、レンズ駆動用コイルホルダ１３の外周側面１３１において隣接する角部分で挟まれた中央部分に、各面１３２の周方向の長さ寸法（四角形の辺の寸法）の約１／３の寸法で形成されている。このため、レンズ駆動用コイルホルダ１３の角部分には、光軸Ｌの方向に向けて延びる肉厚の支柱部分１３４が同等の太さで形成されている。

このように構成したレンズ駆動用コイルホルダ１３において、第１コイル巻回部１３２ａにはレンズ駆動用コイル３０ｓが巻回されており、第２コイル巻回部１３２ｂにはレンズ駆動用コイル３０ｔが巻回されている。ここで、第１コイル巻回部１３２ａおよび第２コイル巻回部１３２ｂは、光軸Ｌの方向からみたとき四角形であるため、レンズ駆動用コイル３０ｓ、３０ｔはいずれも四角筒状に巻回されている。なお、４つのレンズ駆動用マグネット１７はいずれも光軸Ｌの方向において、磁気的に２分割されており、いずれにおいても内面と外面とが異なる極に着磁されているため、２つのレンズ駆動用コイル３０ｓ、３０ｔにおける巻回方向は反対である。

このように構成したレンズ駆動用コイルホルダ１３は、ケース１８の内側に配置される。その結果、レンズ駆動用コイル３０ｓ、３０ｔの４つの辺部は各々、ケース１８の角筒状胴部１８ｃの内面に固着されたレンズ駆動用マグネット１７に対向することになる。

（レンズ駆動機構の動作）
本形態のレンズ駆動モジュール１ａにおいて、移動体３は、通常は撮像素子側に位置しており、このような状態において、レンズ駆動用コイル３０ｓ、３０ｔに所定方向の電流を流すと、レンズ駆動用コイル３０ｓ、３０ｔは、それぞれ上向き（前側）の電磁力を受けることになる。これにより、レンズ駆動用コイル３０ｓ、３０ｔが固着された移動体３は、被写体側（前側）に移動し始めることになる。このとき、バネ部材１４ｔと移動体３の前端との間、およびバネ部材１４ｓと移動体３の後端との間には、移動体３の移動を規制する弾性力が発生する。このため、移動体３を前側に移動させようとする電磁力と、移動体３の移動を規制する弾性力とが釣り合ったとき、移動体３は停止する。その際、バネ部材１４ｓ、１４ｔによって移動体３に働く弾性力に応じて、レンズ駆動用コイル３０ｓ、３０ｔに流す電流量を調整することで、移動体３を所望の位置に停止させることができる。

また、レンズ駆動モジュール１ａでは、レンズ１２１は円形であるが、かかるレンズ形状に関係なく、レンズ駆動用コイル３０ｓ、３０ｔは四角形であり、レンズ駆動用マグネット１７は、支持体２において内周面が四角形に形成されたケース１８の角筒状胴部１８ｃの辺に相当する複数の内面の各々に固着された平板状永久磁石である。このため、移動体３と支持体２との間において、移動体３の外周側に十分なスペースがない場合でも、レンズ駆動用コイル３０ｓ、３０ｔとレンズ駆動用マグネット１７との対向面積が広いので、十分な推力を発揮することができる。

このように構成したレンズ駆動モジュール１ａに対しては、撮像素子１５およびレンズ駆動用コイル３０ｓ、３０ｔを装置本体の制御部（図示せず）に電気的に接続する必要がある。そこで、本形態では、レンズ駆動モジュール１ａに対して被写体側とは反対側にフレキシブル基板３００（図１参照）を配置し、フレキシブル基板３００に形成した配線パターンに撮像素子１５およびレンズ駆動用コイル３０ｓ、３０ｔを電気的に接続してある。

（手振れ補正機構の全体構成）
本形態の振れ補正機能付き光学ユニット２００は、携帯電話機などの光学機器に搭載されて撮影に用いられる。かかる光学機器において、撮影を行なう際、概ね、Ｚ軸が水平に向けられる。従って、シャッタを押した際の手振れによって、Ｘ軸周りの縦振れが発生するとともに、Ｙ軸周りの横振れが発生するおそれがある。そこで、本形態では、図４〜図６を参照して以下に説明する手振れ補正機能が付加されている。かかる手振れ補正機構では、以下に説明するように、可動モジュール１に手振れ検出センサを設けるとともに、固定体２１０に対してＸ軸周りおよびＹ軸周りに揺動可能に配置した可動モジュール１を手振れ補正用磁気駆動機構によって揺動させる構成になっている。

図４は、本発明を適用した振れ補正機能付き光学ユニット２００の断面構成を示す説明図であり、振れ補正機能付き光学ユニット２００をＹ軸方向で切断したときの縦断面図である。図５および図６は各々、本発明を適用した振れ補正機能付き光学ユニット２００を前側からみた分解斜視図、および後側からみた分解斜視図である。

本形態では、図４〜図６に示すように、固定体２１０は、後側（下側）から前側（上側）にベース２２０、矩形枠状のバネホルダ２７０、矩形枠状のストッパ部材２９０、および固定カバー２６０を順に重ねて固定した構造を有している。これらの部材の詳細な構成は後述するが、ベース２２０は、可動モジュール１を揺動可能に支持する機能を担っている。バネホルダ２７０は、バネ部材２８０を保持する機能と、可動モジュール１の過度の変位を阻止する機能を担っている。ストッパ部材２９０は、可動モジュール１の過度の変位を阻止する機能を担っている。固定カバー２６０は、振れ補正機能付き光学ユニット２００のハウジングとして機能するとともに、手振れ補正用コイル２３０ｘ、２３０ｙを保持する機能を担っている。

ベース２２０と可動モジュール１との間には、フレキシブル基板３００の一部、およびバネ部材２８０が配置され、かかるフレキシブル基板３００およびバネ部材２８０は、可動モジュール１に接続されている。フレキシブル基板３００は振れ検出センサ１７０や振れ補正用磁気駆動機構と外部との電気的な接続を行なう機能を担い、バネ部材２８０は、可動モジュール１をベース２２０に向けて付勢する機能を担っている。

可動モジュール１は、レンズ駆動モジュール１ａを内側に保持するモジュールカバー１６０を備えている。モジュールカバー１６０は、Ｚ軸方向からみたとき矩形形状を備え、矩形形状の天板部１６１の外周縁からは後側に４つの側板部１６２が延びている。モジュールカバー１６０において、天板部１６１には、円形の開口部１６１ａが形成されている。

モジュールカバー１６０の後端部は開口しており、かかる開口を覆うように金属製のセンサカバー１８０がモジュールカバー１６０の後端部にネジ１９９によって連結されている。かかる連結を行なうにあたって、本形態では、モジュールカバー１６０の後端部には、四つの角部分にモジュールカバー側フランジ部１６８を備えており、かかるモジュールカバー側フランジ部１６８とセンサカバー１８０とが固定されている。従って、可動モジュール１の下端部分には、４つの角部分で外側に張り出す突部１０３が形成されている。なお、センサカバー１８０の内側には、フレキシブル基板３００において、手振れ検出センサ１７０が実装されている部分が収納される。ここで、手振れ検出センサ１７０は、表面実装タイプのジャイロセンサ（角速度センサ）であり、２軸好ましくは直交する２軸の角速度を検出する。かかる検出の際、ジャイロセンサに励起信号を入力し、出力信号と入力信号との位相差などに基づいて手振れを検出する。

フレキシブル基板３００は、Ｙ軸方向に延在する略矩形形状のシートを長手方向の３箇所で折り曲げた形状になっている。かかるフレキシブル基板３００において、センサカバー１８０の後側に配置される平板部分３１０、３２０には大径の丸い穴３１０ａ、３２０ａが形成されており、かかる穴３１０ａ、３２０ａは、センサカバー１８０の後面側に、可動モジュール１を揺動可能に支持する支持機構４００を配置するための切り欠き部分である。このように、本形態では、フレキシブル基板３００に切り欠き（穴３１０ａ、３２０ａ）を形成して支持機構４００を避けるようにフレキシブル基板３００を配置している。このため、ベース２２０と可動モジュール１とに挟まれた空間をフレキシブル基板３００の引き回しスペースとして有効利用することができる。

（支持機構４００の構成）
センサカバー１８０の底板部１８１は、前側からみたとき、中央の円形部分１８６が後方に凹んでいるとともに、円形部分１８６の中央部分は、前方に向けて有底円筒状に突出して下面で開口する凹部１８７（支持用受け部）が形成されている。

センサカバー１８０に対して後側で対向配置されるベース２２０は、矩形の底板部２２１の外周縁から前側に４つの側板部２２２が起立した構成になっており、４つの側板部２２２のうち、３つの側板部２２２は、長さ方向で分割されている。

ベース２２０において、底板部２２１の中央部分には前側（上側）に半球状に突出した揺動支持部２２７が形成されている。従って、ベース２２０の前側（上側）にセンサカバー１８０を配置すると、ベース２２０の揺動支持部２２７がセンサカバー１８０の凹部１８７に嵌る。このようにして、本形態では、固定体２１０のベース２２０と可動モジュール１のセンサカバー１８０との間には、凹部１８７と揺動支持部２２７とによってビポット部が形成され、かかるピボット部は、固定体２１０に対して可動モジュール１を揺動可能とする支持機構４００を構成している。本形態において、支持機構４００は、手振れ検出センサ１７０の後側において、手振れ検出センサ１７０に対してＺ軸方向で重なる位置に配置されている。

ベース２２０は金属板のプレス加工品であり、前側（上側）からみたとき、底板部２２１には、外周領域と、揺動支持部２２７が形成された中央領域との間に、前側に凹んだ凹部２２６が形成され、かかる凹部２２６は、揺動支持部２２７が形成された中央領域の三方を囲むように形成されている。また、ベース２２０の底板部２２１において、中央領域には、揺動支持部２２７が形成されている領域の三方を囲むようにスリット２２８が形成されており、かかるスリット２２８によって、Ｙ軸方向に延びる板バネ部２２９が形成されている。従って、揺動支持部２２７は、板バネ部２２９の先端に形成された構成になっている。従って、板バネ部２２９がＺ軸方向に変形した場合、支持機構４００全体がＺ軸方向に変位することになる。

ここで、板バネ部２２９は、ベース２２０の後面よりわずかに前側に位置する。このため、板バネ部２２９の後面は、ベース２２０の後面および固定カバー２６０の後端縁に対して所定の寸法Ｇ１０だけ前側に位置する。

（バネ部材２８０の構成）
図７は、本発明を適用した振れ補正機能付き光学ユニット２００に用いたバネ部材２８０の平面図である。可動モジュール１のセンサカバー１８０とベース２２０との間には、可動モジュール１をベース２２０に向けて付勢するバネ部材２８０が配置されている。バネ部材２８０は、平面矩形形状を有するジンバルバネ（板バネ）であり、リン青銅、ベリリウム銅や非磁性のＳＵＳ系鋼材等といった金属製の薄板に対するプレス加工、あるいはフォトリソグラフィ技術を用いたエッチング加工により形成したものである。

バネ部材２８０において、４つの角部分には、固定体２１０に用いられたバネホルダ２７０に連結される固定体側連結部２８１が形成されている。固定体側連結部２８１には小穴２８１ａが形成されている一方、バネホルダ２７０の後側の面において４つの角部分には小突起２７８が形成されている。従って、バネホルダ２７０の小突起２７８をバネ部材２８０の小穴２８１ａを嵌めて、バネ部材２８０とバネホルダ２７０とを位置決めした後、接着、加締め、小突起２７８を加熱して溶融させるなどの方法で固定体側連結部２８１をバネホルダ２７０に連結する。

バネ部材２８０には、固定体側連結部２８１に対応する４つの角部分に、可動モジュール１のセンサカバー１８０と連結される４つの可動モジュール側連結部２８２が形成されており、可動モジュール側連結部２８２の中央領域は、矩形に開口した構造になっている。これに対して、センサカバー１８０の底板部１８１は、中央部分が矩形形状をもって後方に突き出ており、かかる中央部分が可動モジュール側連結部２８２の内側に位置する。この状態で、バネ部材２８０は、接着などの方法で可動モジュール側連結部２８２がセンサカバー１８０の底板部１８１の後面に固定される。

図７に示すように、バネ部材２８０は、Ｙ軸方向に位置する固定体側連結部２８１同士が梁部２８３で接続されている。また、Ｘ軸方向に位置する固定体側連結部２８１同士は梁部２８４で接続されている。梁部２８４は、固定体側連結部２８１からＹ軸方向に延在する幅広の第１梁部２８４ａと、第１梁部２８４ａの先端で折り返して第１梁部２８４ａに並列する幅狭の第２梁部２８４ｂと、第２梁部２８４ｂの先端で直角屈曲して、Ｘ方向で隣接する固定体側連結部２８１に到る幅広の第３梁部２８４ｃとを備えており、第１梁部２８４ａと第２梁部２８４ｂとの屈曲部分、および第２梁部２８４ｂと第３梁部２８４ｃとの屈曲部分に可動モジュール側連結部２８２が形成されている。

かかる構成のバネ部材２８０は、振れ補正機能付き光学ユニット２００に搭載する前の状態で固定体側連結部２８１と可動モジュール側連結部２８２とが同一面内にある。但し、振れ補正機能付き光学ユニット２００を構成した状態では、図４に示すように、可動モジュール１の底板部１８１がベース２２０の揺動支持部２２７に当接し、かつ、可動モジュール側連結部２８２が固定体側連結部２８１よりも前側に位置している。このため、バネ部材２８０は、可動モジュール１をベース２２０の揺動支持部２２７に向けて付勢する。

なお、センサカバー１８０の底板部１８１において、バネ部材２８０の梁部２８３、２８４とＺ軸方向で重なる部分は、バネ部材２８０の可動モジュール側連結部２８２が接続されている領域に比較して、梁部２８３、２８４から離間する方向（前側）に向けて凹んでいるため、センサカバー１８０の底板部１８１と梁部２８３との間には隙間が介在している。従って、センサカバー１８０の底板部１８１は、バネ部材２８０の梁部２８３、２８４に一切接触しておらず、かつ、可動モジュール１が揺動してバネ部材２８０が変形した場合でも、センサカバー１８０の底板部１８１と梁部２８３、２８４とが接触することはない。

（振れ補正用磁気駆動機構の構成）
図４、図５および図６に示すように、本形態では、可動モジュール１を揺動させる磁気駆動力を発生させる手振れ補正用磁気駆動機構として、支持機構４００を支点にして可動モジュール１をＸ軸周りに揺動させる第１手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｘと、支持機構４００を支点にして可動モジュール１をＹ軸周りに揺動させる第２手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｙとが構成されており、かかる第１手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｘおよび第２手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｙの構成を以下に説明する。

まず、可動モジュール１において、Ｙ軸方向で相対向するモジュールカバー１６０の２つの側板部１６２の外面には、第１手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｘを構成する矩形板状の手振れ補正用マグネット２４０ｘ（第１手振れ補正用マグネット）が保持され、Ｘ軸方向で相対向する他の２つの側板部１６２の外面には、第２手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｙを構成する矩形板状の手振れ補正用マグネット２４０ｙ（第２手振れ補正用マグネット）が保持されている。ここで、手振れ補正用マグネット２４０ｘ、２４０ｙは、いずれも矩形の平板状永久磁石からなる。

本形態において、手振れ補正用マグネット２４０ｘ、２４０ｙは、Ｚ軸方向に配列された２枚の平板状永久磁石によって構成され、これらの平板状永久磁石では、外面側および内面側が異なる極に着磁されている。また、Ｚ軸方向に配列された２枚の平板状永久磁石では、着磁方向が逆である。なお、手振れ補正用マグネット２４０ｘ、２４０ｙについては、１枚の永久磁石に異なる極性を２極着磁してもよい。

また、固定体２１０において、Ｙ軸方向で相対向する固定カバー２６０の２つの側板部２６２の内面には、第１手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｘを構成する手振れ補正用コイル２３０ｘ（第１手振れ補正用コイル）が接着固定され、Ｘ軸方向で相対向する固定カバー２６０の２つの側板部２６２の内には、第２手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｙを構成する手振れ補正用コイル２３０ｙ（第２手振れ補正用コイル）が接着固定されている。かかる手振れ補正用コイル２３０ｘ、２３０ｙは各々、手振れ補正用マグネット２４０ｘ、２４０ｙに対向している。

また、手振れ補正用コイル２３０ｘ、２３０ｙにおいてＺ軸方向に位置する２つの有効辺部は各々、手振れ補正用マグネット２４０ｘ、２４０ｙにおいてＺ軸方向に配列された２枚の平板状永久磁石の各々と対向している。ここで、手振れ補正用コイル２３０ｘ、２３０ｙの各端部は、フレキシブル基板３００を介して、あるいは別のフレキシブル基板を介して外部に電気的に接続されている。

このようにして、本形態では、Ｙ軸方向において支持機構４００を間に挟んで対向する２箇所で対になって可動モジュール１をＸ軸周りに揺動させる第１手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｘが構成されており、第１手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｘにおいて、２つの手振れ補正用コイル２３０ｘは、通電されたときに可動モジュール１をＸ軸周りの同一方向に磁気駆動力を発生するように配線接続されている。従って、２つの第１手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｘは、２つの手振れ補正用コイル２３０ｘに通電されたときに支持機構４００を通るＸ軸周りにおいて同一方向のモーメントを可動モジュール１に印加する。また、本形態では、Ｘ軸方向において支持機構４００を間に挟んで対向する２箇所で対になって可動モジュール１をＹ軸周りに揺動させる第２手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｙが構成されており、第２手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｙにおいて、２つの手振れ補正用コイル２３０ｙは、通電されたときに可動モジュール１をＹ軸周りの同一方向に磁気駆動力を発生するように配線接続されている。従って、２つの第２手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｙは、２つの手振れ補正用コイル２３０ｙに通電されたときに支持機構４００を通るＹ軸周りにおいて同一方向のモーメントを可動モジュール１に印加する。

本形態において、モジュールカバー１６０は磁性体からなり、手振れ補正用マグネット２４０ｘ、２４０ｙに対するヨークとして機能する。また、モジュールカバー１６０において、後側端部は、外側に小さく折れ曲がった屈曲部が形成されており、かかる屈曲部１６９は集磁性能を高める機能を担っている。

このように構成した振れ補正機能付き光学ユニット２００を搭載したカメラ付き携帯電話機では、撮影の際の手振れを検出するためのジャイロセンサなどの手振れ検出センサ１７０が可動モジュール１に搭載されており、かかる手振れ検出センサ１７０での検出結果に基づいて、カメラ付き携帯電話機に搭載された制御部は、手振れ補正用コイル２３０ｘ、および手振れ補正用コイル２３０ｙの一方あるいは双方に通電を行い、可動モジュール１をＸ軸周りおよびＹ軸周りの一方および双方において揺動させる。かかる揺動を合成すれば、ＸＹ面全体に対して可動モジュール１を揺動させたことになる。それ故、カメラ付き携帯電話などで想定される全ての手振れを確実に補正することができる。

かかる手振れ補正を行なうにあたって、本形態では、手振れ検出センサ１７０を可動モジュール１自身に搭載し、制御部（図示せず）は、手振れ検出センサ１７０が検出した角速度がゼロとなるように、第１手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｘおよび第２手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｙを閉ループ制御する。また、制御部（図示せず）は、手振れ検出センサ１７０が検出した角速度の積分値、すなわち、角度変位がゼロとなるように、第１手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｘおよび第２手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｙを閉ループ制御する。

ここで、振れ検出センサ１７０は可動モジュール１に搭載されている。このため、光軸Ｌの振れを直接、振れ検出センサ１７０によって検出するため、精度よく振れを補正することができる。また、可動モジュール１の後側に構成した支持機構４００を中心に可動モジュール１を揺動させるため、フレキシブル基板３００の変形が極めて小さい。従って、フレキシブル基板３００が変形した際の形状復帰力が小さいので、可動モジュール１を迅速に揺動させることができる。

（可動モジュール１に対する可動範囲制限機構の構成）
本形態においては、図５および図６に示す矩形枠状のストッパ部材２９０は、固定カバー２６０の上板部２６１の内側に接着固定され、被写体側からみたとき、ストッパ部材２９０は、可動モジュール１の周りを囲むように配置される。ストッパ部材２９０の下面では、４つの角部分に下方に突出する突起２９１が形成されている。ここで、振れ補正機能付き光学ユニット２００を組み立てた際、ストッパ部材２９０と可動モジュール１との間には、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に隙間が介在する。従って、バネホルダ２７０は、可動モジュール１のＸ軸方向における双方向、Ｙ軸方向における双方向、Ｘ軸周りにおける双方向、Ｙ軸周りにおける双方向、およびＺ軸周の前側への可動範囲を制限する。

また、図５および図６に示す矩形枠状のバネホルダ２７０も、被写体側からみたとき、可動モジュール１の周りを囲むように配置される。バネホルダ２７０は、矩形の枠部分２７６の上面に突起２７１を備えており、角部部分には、円形の凹部２７３が形成されている。突起２７１は、枠部分２７６の長さ方向の中央位置に形成されており、振れ補正機能付き光学ユニット２００を組み立てた際、突起２７１は、可動モジュール１の突部１０３の間に位置する。また、振れ補正機能付き光学ユニット２００を組み立てた際、凹部２７３には、可動モジュール１のネジ１９９の頭が位置する。ここで、振れ補正機能付き光学ユニット２００を組み立てた際、バネホルダ２７０と可動モジュール１との間には、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に隙間が介在する。従って、バネホルダ２７０は、可動モジュール１のＸ軸方向における双方向、Ｙ軸方向における双方向、Ｘ軸周りにおける双方向、Ｙ軸周りにおける双方向、およびＺ軸周の後側への可動範囲を制限する。

バネホルダ２７０の枠部分２７６では、相対向するＸ軸方向で対向する部分の外面に段付き凹部２７７が形成されており、かかる段付き凹部２７７は、固定カバー２６０の切り欠き２６２ａ、２６２ｂ、２６２ｃと重なる計３個所に形成されている。

本形態において、ストッパ部材２９０およびバネホルダ２７０は、樹脂製であり、金属製と違って衝撃吸収性や振動吸収性を備えている。このため、可動モジュール１がストッパ部材２９０およびバネホルダ２７０に当接しても、余計な音や振動が発生せず、振動が周囲に伝播することもない。かかる観点からすれば、ストッパ部材２９０およびバネホルダ２７０において、可動モジュール１と当接する部分については硬質ゴム製としてもよい。

さらに、図４に示す支持機構４００では、ベース２２０の揺動支持部２２７が可動モジュール１の底板部１８１に当接し、かかる支持機構４００でも、可動モジュール１のＺ軸方向の後側への移動が規制されている。ここで、落下などの衝撃によって可動モジュール１がＺ軸方向の後側に急激に変位すると、可動モジュール１がバネホルダ２７０に当接するまでの間、ベース２２０の揺動支持部２２７と可動モジュール１の底板部１８１との当接個所に負荷が集中し、揺動支持部２２７や底板部１８１が変形するおそれがある。しかるに本形態において、揺動支持部２２７は、ベース２２０に形成された板バネ部２２９の先端部に形成されているため、可動モジュール１のＺ軸方向の後側に変位した際、支持機構４００全体がＺ軸方向に変位する。このため、落下などの衝撃が加わった際、揺動支持部２２７と底板部１８１との当接個所に負荷が集中しても、揺動支持部２２７や底板部１８１が変形するおそれがない。

ここで、板バネ部２２９は、ベース２２０の後面および固定カバー２６０の後端縁に対して所定の寸法Ｇ１０だけ前側に位置する。このため、落下などの衝撃によって可動モジュール１がＺ軸方向の後側に急激に変位し、板バネ部２２９が後側に変位しても、板バネ部２２９がベース２２０の後面や固定カバー２６０の後端縁から後側に突き出ることはない。

（振れ補正機能付き光学ユニット２００の製造方法）
図８は、本発明を適用した振れ補正機能付き光学ユニット２００に用いた可動側アセンブリの説明図である。図９は、本発明を適用した振れ補正機能付き光学ユニット２００の製造工程で行なう調整工程の説明図であり、図９（ａ）、（ｂ）は、調整工程の様子をフレキシブル基板が引き出されている側からみた斜視図、およびフレキシブル基板が引き出されている側とは反対側からみた斜視図である。

本形態の振れ補正機能付き光学ユニット２００の製造方法では、まず、可動側アセンブリ形成工程において、図８に示すように、バネ部材２８０を介して可動モジュール１がバネホルダ２７０に対して搭載された可動側アセンブリ１ｂを形成する。すなわち、バネ部材２８０の固定体側連結部２８１をバネホルダ２７０に固定し、可動モジュール側連結部２８２を可動モジュール側連結部１に固定する。

次に、収容工程では、ベース２２０および固定カバー２６０によって囲まれた空間内に可動側アセンブリ１ｂを収容した状態とする。そして、ベース２２０と固定カバー２６０とを接着や加締などの方法で固定する。かかる工程を行なう際、固定カバー２６０の内側にはストッパ部材２９０を固定しておく。その結果、図１に示す状態となる。この状態では、可動側アセンブリ１ｂとベース２２０との間、および可動側アセンブリ１ｂと固定カバー２６０との間に隙間が介在する。

次に、調整工程では、ベース２２０および固定カバー２６０の内側に収容された可動側アセンブリ１ｂの位置調整を行なう。かかる調整を行なうにあたって、固定カバー２６０において相対向する側板部２６２の後端縁には切り欠き２６２ａ、２６２ｂ、２６２ｃが形成されている。また、切り欠き２６２ａ、２６２ｂ、２６２ｃからは、バネホルダ２７０の枠部分２７６の外周面が露出している。さらに、バネホルダ２７０の枠部分２７６において、切り欠き２６２ａ、２６２ｂ、２６２ｃから露出している部分には段付き凹部２７７が形成されている。そこで、本形態では、図９に示すように、切り欠き２６２ａ、２６２ｂ、２６２ｃから露出するバネホルダ２７０の枠部分２７６の外周面をピン状の３つの冶具４１、４２、４３で両側から保持し、冶具４１、４２、４３を移動させてバネホルダ２７０の位置を調整する。ここで、段付き凹部２７７は上方に段部を備えており、冶具４１、４２、４３の上端は段付き凹部２７７の段部に当接する。従って、バネホルダ２７０は、冶具４１、４２、４３によって確実に保持された状態となる。

かかる調整工程では、具体的には、まず、バネホルダ２７０のＸ軸周りの角度位置、およびバネホルダ２７０のＹ軸周りの角度位置を調整する。その結果、可動側アセンブリ１ｂのＸ軸周りの角度位置、および可動側アセンブリ１ｂのＹ軸周りの角度位置が調整される。また、バネホルダ２７０のＸ軸方向の位置、およびバネホルダ２７０のＹ軸方向の位置を調整する。その結果、可動側アセンブリ１ｂのＸ軸方向の角度位置、および可動側アセンブリ１ｂのＹ軸方向の位置が調整される。すなわち、バネホルダ２７０のＸ軸周りの角度位置、Ｙ軸周りの角度位置、Ｘ軸方向の位置、およびＹ軸方向の位置がずれていると、可動モジュール１の揺動範囲が所望の範囲からずれるが、かかる角度位置を調整すれば、可動モジュール１の揺動範囲を所望の範囲に設定することができる。

このような調整を行なう際、本形態では、可動モジュール１を画像処理装置などで観察しながら、振れ補正用磁気駆動機構（第１手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｘ、および第２手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｙ）に対してフレキシブル基板３００を介して通電し、可動モジュール１を揺動させて、予め設定された揺動範囲が確保できているか否かを確認する。従って、振れ補正用磁気駆動機構（第１手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｘ、および第２手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｙ）の組立精度のばらつきなどを含めた条件で、可動モジュール１の位置を調整することができる。それ故、可動モジュール１の揺動範囲を所望の範囲に確実に設定することができる。

また、本形態では、調整工程において、バネホルダ２７０のＺ軸方向の位置も調整する。その結果、可動側アセンブリ１ｂのＺ軸方向の位置が調整される。従って、バネ部材２８０の付勢力を所望の条件に設定することができる。それ故、可動モジュール１を揺動させるのに必要なモーメントを所定の範囲に設定することができるので、可動モジュール１の揺動を高い精度で行なうことができる。

かかるバネホルダ２７０のＺ軸方向の位置を調整するにあたっては、本形態では、例えば、冶具４１、４２、４３に加わる負荷を監視しながら、バネホルダ２７０をＺ軸方向前側に移動させて可動モジュール１の底板部１８１が揺動支持部２２７から離間する際のバネ部材２８０の付勢力を計測し、この付勢力が、予め設定したレベルになるようにバネホルダ２７０のＺ軸方向の位置を決定する。従って、バネ部材２８０の付勢力を直接、設定することができるので、可動モジュール１を揺動させるのに必要なモーメントを所定の範囲に確実に設定することができる。それ故、可動モジュール１の揺動を高い精度で行なうことができる。

また、本形態では、ベース２２０において揺動支持部２２７が板バネ部２２９に形成されている。従って、板バネ部２２９の変位を監視し、板バネ部２２９の歪量が所定の条件となるように、バネホルダ２７０のＺ軸方向の位置を調整する。

しかる後には、固定工程において、バネホルダ２２０を固定カバー２６０およびベース２２０のうちの少なくとも一方と固定する。本形態では、切り欠き２６２ａ、２６２ｂ、２６２ｃから露出するバネホルダ２７０の枠部分２７６と、固定カバー２６０とを固定する。その結果、振れ補正機能付き光学ユニット２００が完成する。

かかる固定を行なうにあたっては、バネホルダ２２０および固定カバー２６０の材質に応じて、接着剤による固定、あるいはハンダによる固定を行なう。本形態では、かかる固定方法のうち、接着剤による固定を行なう。その際、まず、耐衝撃性は劣るが硬化速度の速いＵＶ硬化性の接着剤によって、バネホルダ２２０と固定カバー２６０とを固定した後、硬化速度は遅いが耐衝撃性に優れた熱硬化性の接着剤によって、バネホルダ２２０と固定カバー２６０とを固定する。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、可動モジュール１、バネ部材２８０およびバネホルダ２７０を、バネ部材２８０を介して可動モジュール１がバネホルダ２７０に対して搭載された可動側アセンブリ１ｂとしておき、かかる可動側アセンブリ１ｂの状態で、ベース２２０および固定カバー２６０によって囲まれた空間内に可動側アセンブリ１ｂを収容する。このため、振れ補正機能付き光学ユニットを効率よく製造することができる。

また、バネホルダ２７０の位置を調整すれば、可動側アセンブリ１ｂ全体の位置を調整することができるので、可動モジュール１の位置を調整することもできる。ここで、固定カバー２６０には、バネホルダ２７０の少なく一部（枠部分２７６の外周面）を露出させる切り欠き２６２ａ、２６２ｂ、２６２ｃが形成されている。このため、ベース２２０および固定カバー２６０によって囲まれた空間内に可動側アセンブリ１ｂを収容した後でも、バネホルダ２７０の位置を調整することができる。それ故、可動モジュール１の後端側をベース２２０に形成した揺動支持部２２７によって支持するとともに、バネ部材２８０によって可動モジュール１を揺動支持部２２７に向けて付勢する構成を採用した場合でも、可動モジュール１の位置精度を高めることができる。

また、本形態では、バネホルダ２７０において切り欠き２６２ａ、２６２ｂ、２６２ｃから露出する部分を冶具４１、４２、４３によって保持し、冶具４１、４２、４３を移動させてバネホルダ２７０の位置を調整する。このため、切り欠き２６２ａ、２６２ｂ、２６２ｃが小さくても、バネホルダ２７０を保持することができ、バネホルダ２７０の位置を容易に調整することができる。

さらに、本形態では、収容工程において固定カバー２６０に対してベース２２０を固定し、この状態で調整工程を行なう。このため、ベース２２０に形成した揺動支持部２２７の最終的な位置が定まった状態で可動側アセンブリ１ｂの位置を調整することになるので、可動モジュール１の位置精度を高めることができる。また、ベース２２０上における揺動支持部２２７の位置などにばらつきがあっても、揺動支持部２２７の最終的な位置が定まった状態で可動側アセンブリ１ｂの位置を調整することになるので、可動モジュール１の位置精度を高めることができる。

［他の実施の形態］
（手振れ補正用磁気駆動機構の構成）
上記形態では、手振れ補正用磁気駆動機構として、可動モジュール１に対して第１手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｘおよび第２手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｙの双方を設けたが、ユーザーが使用する際、手振れが発生しやすい方向の振れのみを補正するように、第１手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｘおよび第２手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｙの一方のみを設けた場合に本発明を適用し、揺動支持部２２７を挟む両側に２つで対をなすように、第１手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｘ、あるいは第２手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｙの一方のみを設けてもよい。この場合には、フレキシブル基板３００の引き出し方向をＹ軸方向に限定した構成のみを採用すればよい。

上記形態では、第１手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｘおよび第２手振れ補正用磁気駆動機構２５０ｙのいずれにおいても、可動体側である可動モジュール１側にマグネット（手振れ補正用マグネット２４０ｘ、２４０ｙ）が保持され、固定体２１０側にコイル（手振れ補正用コイル２３０ｘ、２３０ｙ）が保持されている構成を採用したが、可動体側である可動モジュール１側に手振れ補正用コイルが保持され、固定体２１０側に手振れ補正用マグネットが保持されている構成を採用してもよい。

（付勢部材の構成）
上記形態では、可動モジュール１をベース２２０に向けて付勢するための付勢部材としてバネ部材２８０のみを用いたが、かかる付勢部材としては、バネ部材２８０と併せて、磁気的作用により可動モジュール１をベース２２０に向けて付勢する磁気バネを用いてもよい。かかる磁気バネとしては、固定体２１０において手振れ補正用マグネット２４０ｘ、２４０ｙに対して後側に磁性体を配置した構成を採用すればよい。このように構成すると、可動モジュール１が支持機構４００によって支持されている状態を確実に維持することができる。また、手振れ補正用磁気駆動機構が駆動を停止している中立期間中、磁気バネのみによって可動モジュール１をベース２２０に向けて付勢し、バネ部材２８０については、付勢力を発生させない非変形状態とすることができる。このように構成した場合、可動モジュール１が揺動するとバネ部材２８０が変形し、付勢力を発揮する。すなわち、可動モジュール１が揺動していない期間中、バネ部材２８０はフラットな形状のままである。このため、バネ部材２８０に加わった力と、バネ部材２８０の変形量とがリニアリティを有する部分を有効に利用することができるので、可動モジュール１を適正に揺動させることができ、手振れ補正を確実に行なうことができる。

（揺動支持部の構成）
上記実施の形態では、ベース２２０に対して揺動支持部２２７を突起によって形成したは、凹部によって、揺動支持部２２７を形成してもよく、この場合、センサカバー１８０に突起を形成すればよい。

（その他の構成）
上記実施の形態では、カメラ付き携帯電話機に用いる振れ補正機能付き光学ユニット２００に本発明を適用した例を説明したが、薄型のデジタルカメラなどに用いる振れ補正機能付き光学ユニット２００に本発明を適用した例を説明してもよい。また、上記形態では、可動モジュール１にレンズ１２１や撮像素子１５に加えて、レンズ１２１を含む移動体３を光軸Ｌの方向に磁気駆動するレンズ駆動機構５が支持体２上に支持されている例を説明したが、可動モジュール１にレンズ駆動機構５が搭載されていない固定焦点タイプの振れ補正機能付き光学ユニットに本発明を適用してもよい。

さらに、上記実施の形態では、撮影用の手振れ補正機能付き光学ユニット２００に本発明を適用した例を説明したが、レーザポインタ、携帯用や車載用の投射表示装置など、光を出射する光学ユニットに本発明を適用してもよい。

本発明を適用した振れ補正機能付き光学ユニットの外観を示す説明図である。 本発明を適用した振れ補正機能付き光学ユニットの可動モジュール内に構成したレンズ駆動モジュールの説明図である。 図２に示すレンズ駆動モジュールの動作を模式的に示す説明図である。 本発明を適用した振れ補正機能付き光学ユニットの断面構成を示す説明図である。 本発明を適用した振れ補正機能付き光学ユニットを前側からみた分解斜視図である。 本発明を適用した振れ補正機能付き光学ユニットを後側からみた分解斜視図である。 本発明を適用した振れ補正機能付き光学ユニットに用いたバネ部材の平面図である。 本発明を適用した振れ補正機能付き光学ユニットに用いた可動側アセンブリの説明図である。 本発明を適用した振れ補正機能付き光学ユニットの製造工程で行なう調整工程の説明図である。

符号の説明

１ 可動モジュール
１ａ レンズ駆動モジュール
１ｂ 可動側アセンブリ
１６０ モジュールカバー
１７０ 手振れ検出センサ
１８０ センサカバー
２００ 振れ補正機能付き光学ユニット
２１０ 固定体
２２０ ベース
２２７ 揺動支持部
２５０ｘ 第１手振れ補正用磁気駆動機構
２５０ｙ 第２手振れ補正用磁気駆動機構
２６０ 固定カバー
２７０ バネホルダ
２８０ バネ部材
２９０ ストッパ部材

Claims (10)

1. 少なくともレンズが搭載された可動モジュールと、該可動モジュールの後方で当該可動モジュールを揺動可能に支持する揺動支持部を備えたベースと、該可動モジュールを前記揺動支持部に向けて付勢するバネ部材と、前記ベースの前側で前記バネ部材を保持するバネホルダと、前記ベースの前側で前記可動モジュール、前記バネ部材および前記バネホルダを覆う固定カバーと、該固定カバーと前記可動モジュールとの間に構成され、前記可動モジュールの振れを補正する振れ補正用磁気駆動機構と、を有し、
   前記可動モジュール、前記バネ部材および前記バネホルダは、前記バネ部材を介して前記可動モジュールが前記バネホルダに対して搭載された可動側アセンブリを構成しており、
   前記バネホルダは、前記ベースおよび前記固定カバーのうちの少なくとも一方に固定され、
   前記固定カバーには、前記バネホルダの少なくとも一部を外側に露出させる切り欠きが形成されていることを特徴とする振れ補正機能付き光学ユニット。
2. 互いに直交する３方向を各々Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸としたとき、Ｚ軸に沿う方向に光軸を向けたレンズが搭載された可動モジュールと、該可動モジュールの後方で当該可動モジュールを揺動可能に支持する揺動支持部を備えたベースと、該可動モジュールを前記揺動支持部に向けて付勢するバネ部材と、前記ベースの前側で前記バネ部材を保持するバネホルダと、前記ベースの前側で前記可動モジュール、前記バネ部材および前記バネホルダを覆う固定カバーと、該固定カバーと前記可動モジュールとの間に構成され、前記可動モジュールの振れを補正する振れ補正用磁気駆動機構と、を有する振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法において、
   前記固定カバーに対して、前記バネホルダの少なくとも一部を外側に露出させる切り欠きを形成しておき、
   前記バネ部材を介して前記可動モジュールが前記バネホルダに対して搭載された可動側アセンブリを形成する可動側アセンブリ形成工程と、
   前記ベースおよび前記固定カバーによって囲まれた空間内に前記可動側アセンブリを収容した状態とする収容工程と、
   前記切り欠きを介して前記バネホルダを移動させて前記可動側アセンブリの位置調整を行なう調整工程と、
   該調整工程の後、前記バネホルダを前記固定カバーおよび前記ベースのうちの少なくとも一方と固定する固定工程と、
   を有することを特徴とする振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法。
3. 前記調整工程では、前記バネホルダにおいて前記切り欠きから露出する部分を冶具によって保持し、当該冶具を移動させて当該バネホルダの位置を調整することを特徴とする請求項２に記載の振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法。
4. 前記収容工程では、前記固定カバーに対して前記ベースを固定することを特徴とする請求項２または３に記載の振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法。
5. 前記調整工程では、前記バネホルダのＸ軸周りの角度位置、および前記バネホルダのＹ軸周りの角度位置を調整することを特徴とする請求項２乃至４の何れか一項に記載の振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法。
6. 前記調整工程では、前記バネホルダのＸ軸方向の位置、および前記バネホルダのＹ軸方向の位置を調整することを特徴とする請求項２乃至５の何れか一項に記載の振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法。
7. 前記調整工程では、前記振れ補正用磁気駆動機構によって前記可動モジュールを揺動させて、予め設定された揺動範囲を確保することを特徴とする請求項５または６に記載の振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法。
8. 前記調整工程では、前記バネホルダのＺ軸方向の位置を調整することを特徴とする請求項２乃至７の何れか一項に記載の振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法。
9. 前記バネホルダのＺ軸方向の位置を調整するにあたっては、前記バネホルダをＺ軸方向前側に移動させて前記可動モジュールが前記揺動支持部から離間する際の前記バネ部材の付勢力を計測し、当該付勢力が、予め設定したレベルになるように前記バネホルダのＺ軸方向の位置を決定することを特徴とする請求項８に記載の振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法。
10. 前記固定工程では、前記バネホルダを前記固定カバーおよび前記ベースのうちの少なくとも一方と接着剤、あるいはハンダにより固定することを特徴とする請求項２乃至９の何れか一項に記載の振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法。

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