JP2017110935A5 - - Google Patents
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Description
本発明のＥＢＳＤ検出装置は、電子線源と、電子線源からの電子線を集束する集束レンズと、電子線をさらに集束することにより試料上に電子プローブを形成する対物レンズと、試料上で電子プローブを走査する走査コイルとを備える。また、ほぼ鉛直下向きに入射する電子線により試料から生じるＥＢＳＤパターンを検出するＥＢＳＤパターン検出器と、入射する電子線に対する試料の傾斜角及び配置を変更する試料ホルダーとを備え、ＥＢＳＤパターンにより試料の結晶方位を解析する。本発明のＥＢＳＤ検出装置では、ＥＢＳＤパターン検出器において、ＥＢＳＤパターン検出器の配置を変更することなく、ＥＢＳＤパターンを撮影する撮像素子部の試料に対する仰角を調整することにより、反射型ＥＢＳＤ法と透過型ＥＢＳＤ法の双方により解析が可能である。
Claims (4)
- 電子線源と、
電子線源からの電子線を集束する集束レンズと、
電子線をさらに集束することにより試料上に電子プローブを形成する対物レンズと、
試料上で電子プローブを走査する走査コイルと、
ほぼ鉛直下向きに入射する電子線により試料から生じる電子線後方散乱回折（electron back scattering diffraction：ＥＢＳＤ）パターンを検出するＥＢＳＤパターン検出器と、
入射する電子線に対する試料の傾斜角及び配置を変更する試料ホルダーと、
を備え、ＥＢＳＤパターンにより試料の結晶方位を解析するＥＢＳＤ検出装置であって、
前記ＥＢＳＤパターン検出器において、ＥＢＳＤパターン検出器の配置を変更することなく、ＥＢＳＤパターンを撮影する撮像素子部の試料に対する仰角を調整することにより、反射型ＥＢＳＤ法と透過型ＥＢＳＤ法の双方により解析が可能なＥＢＳＤ検出装置。 - 前記撮像素子部は、上端部にヒンジを備え、
該ヒンジにより撮像素子部をＥＢＳＤパターン検出器本体と回動自在に連結し、
ＥＢＳＤパターン検出器の長手方向に前進又は後進する棒状体で撮像素子部を回動することにより撮像素子部の試料に対する仰角を調整する
請求項１に記載のＥＢＳＤ検出装置。 - 前記撮像素子部は、該撮像素子部を構成要素とするカメラと一体化している請求項１又は２に記載のＥＢＳＤ検出装置。
- 前記撮像素子部は、仰角を２０度〜５０度に調整する請求項１〜３のいずれかに記載のＥＢＳＤ検出装置。
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