JP2017096788A - 検査治具、基板検査装置、及び基板検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基板が伸縮しても、正しく基板検査を実行することが容易な検査治具、基板検査装置、基板検査方法を提供する。【解決手段】板状の固定プレート３１と、固定プレート３１に取り付けられてプローブＰｒを配置する第一及び第二対向部材３０ａ，３０ｂとを備え、固定プレート３１には位置決ピン３６を挿通するための複数の固定側位置決孔２１が形成され、第二対向部材３０ｂには、複数の固定側位置決孔２１とそれぞれ対応して対をなす移動側位置決穴２２が形成され、固定側位置決孔２１１と移動側位置決穴２２１とに位置決ピン３６を挿入して固定プレート３１と第二対向部材３０ｂとを位置決めした状態で、固定側位置決孔２１と移動側位置決穴２２とが、Ｘ軸方向に沿ってずれた位置に位置する対（２１２と２２２の対，・・・、２１７と２２７の対）が形成されている。【選択図】図３

Description

本発明は、基板にプローブを接触させるための検査治具、その検査治具を備えた基板検査装置、及び基板検査方法に関する。

従来、検査対象となる複数の単位基板が複数行複数列のマトリクス状に形成されて集合基板が作成され、隣接する複数の単位基板の検査点に対応して複数の検査治具を配置し、その集合基板内の複数の単位基板に対して一度に検査を行う技術が知られている（特許文献１参照）。

特開平８−２１８６７号公報

しかしながら、複数の単位基板が配置されて一枚の基板に集約された集合基板では、集合基板の製造工程において、集合基板内の各単位基板の検査点に設計上の理想位置からのずれが生じる。これは、ビルドアップ構造により製造される基板は、各層を積層する際に、高温圧着により固着され、基板を構成する基材が収縮する場合がある。特に、フレキシブル基板により構成された集合基板では、薄く柔軟性に富んだ素材が用いられることから、その製造時に基板が伸長する傾向が顕著である。

このように、基板が収縮又は伸長すると、本来プローブを接触させるべき検査点の位置と、検査治具に取り付けられたプローブとの位置関係にずれが生じ、基板を正しく検査できない。特に集合基板の場合、複数の単位基板を含むことから基板面積が大きくなる。その結果、基板が収縮又は伸長した場合の検査点の位置ずれ量が大きくなり易く、従って基板検査を正しく実行できないおそれが増大するという、不都合があった。

本発明の目的は、基板が収縮又は伸長した場合であっても、正しく基板検査を実行することが容易な検査治具、基板検査装置、及び基板検査方法を提供することである。

本発明に係る検査治具は、検査対象となる被検査基板を検査する検査装置本体に取り付けられ、前記被検査基板に設けられる複数の検査点に対してそれぞれプローブを接触させるための検査治具であって、第一面と第二面とを有する板状の固定プレートと、前記固定プレートに取り付けられる第一及び第二対向部材とを備え、前記第一対向部材は、前記被検査基板の一部の第一領域に設けられた検査点の配置に対応するように前記プローブを配置すると共に前記第一領域と対向配置されるための第一対向面と前記固定プレートの前記第二面に取り付けられる第一取付面とを有し、前記第二対向部材は、前記被検査基板の、前記第一領域とは別の第二領域に設けられた検査点の配置に対応するように前記プローブを配置すると共に前記第二領域と対向配置されるための第二対向面と前記固定プレートの前記第二面に取り付けられる第二取付面とを有し、前記固定プレートの前記第一面は、前記検査装置本体に取り付けられるための面であり、前記第二面に前記第二対向部材が取り付けられる領域内に、位置決めのための位置決ピンを挿通するための、前記固定プレートを垂直に貫通する複数の固定側位置決孔が形成され、前記第二対向部材には、前記複数の固定側位置決孔とそれぞれ対応して対となり、かつ前記位置決ピンの先端側を受け入れ可能な位置決めのための移動側位置決穴が形成されて前記固定側位置決孔と前記移動側位置決穴とが複数対とされ、前記複数対の固定側位置決孔と移動側位置決穴とのうち少なくとも一対の固定側位置決孔と移動側位置決穴とに前記位置決ピンを挿入して前記固定プレートと前記第二対向部材とを位置決めした状態で、前記固定側位置決孔と前記移動側位置決穴とが、所定の第一方向に沿ってずれた位置に位置する対が前記複数対に含まれる。

この構成によれば、被検査基板に設けられた検査点の配置に対応するようにプローブを配置する第一及び第二対向部材が、固定プレートに取り付けられる。そして、固定プレートの第二対向部材が取り付けられる領域内に、複数の固定側位置決孔が形成されている。一方、第二対向部材には、複数の固定側位置決孔とそれぞれ対応して対となり、かつ位置決ピンの先端側を受け入れ可能な移動側位置決穴が形成されている。さらに、複数対の固定側位置決孔と移動側位置決穴とのうち少なくとも一対の固定側位置決孔と移動側位置決穴とに位置決ピンを挿入して固定プレートと第二対向部材とを位置決めしたならば、固定側位置決孔と前記移動側位置決穴とが、所定の第一方向に沿ってずれた位置に位置するように配置された対が設けられている。

ここで、前記ずれた位置に位置する対の固定側位置決孔と移動側位置決穴とに位置決ピンを挿入すると、そのずれた位置に位置していた固定側位置決孔の位置と移動側位置決穴の位置とが一致するように、固定プレートに対して第二対向部材が移動されることになる。固定プレートに対して第二対向部材が移動すれば、第一対向部材と第二対向部材との位置関係が変化する。すなわち、この構成によれば、適切なずれ量を有する固定側位置決孔と移動側位置決穴との対に位置決ピンを挿入することによって、第一対向部材と第二対向部材の位置関係を調節し、すなわち第一対向部材により配置されるプローブと第二対向部材により配置されるプローブの位置関係を調節することができるので、被検査基板が収縮又は伸長した場合であっても、被検査基板に設けられた検査点に対して適切にプローブを接触させることが容易となり、その結果、正しく基板検査を実行することが容易となる。

また、前記第一方向は、前記第一対向部材と前記第二対向部材との並び方向に沿う方向であることが好ましい。

この構成によれば、前記ずれた位置に位置する対の固定側位置決孔と移動側位置決穴とに位置決ピンを挿入すると、第一対向部材と第二対向部材との並び方向に沿って第二対向部材が移動し、すなわち第一対向部材により配置されるプローブと第二対向部材により配置されるプローブの間隔を調節することができるので、被検査基板が収縮又は伸長した場合であっても、被検査基板に設けられた検査点に対して適切にプローブを接触させることが容易となり、その結果、正しく基板検査を実行することが容易となる。

また、前記ずれた位置に位置する対は複数対であり、その複数対は、前記第一方向に沿うずれ量が互いに異なることが好ましい。

この構成によれば、位置決ピンを挿入する対を適宜選択することによって、第二対向部材を移動させる移動量を変更することができる。これにより、第二対向部材の位置調整の自由度が高まる。その結果、被検査基板に設けられた検査点に対して適切にプローブを接触させることが容易となり、正しく基板検査を実行することが容易となる。

また、前記少なくとも一対は、前記第一方向に沿うずれ量が互いに等しい複数対であり、前記ずれた位置に位置する対は、前記第一方向に沿うずれ量が互いに等しい複数対であることが好ましい。

この構成によれば、第二対向部材の、互いに異なる位置に形成された複数対の固定側位置決孔と移動側位置決穴とに位置決ピンを挿入することが可能となる。その結果、固定プレートに取り付けられる第二対向部材の向きを規定することができるので、被検査基板に設けられた検査点に対して適切にプローブを接触させることが容易となり、その結果、正しく基板検査を実行することが容易となる。

また、前記ずれた位置に位置する対は、前記第一方向に沿うずれ量が互いに等しい複数の対をそれぞれの組が含む、複数の組を含み、前記複数の組は、前記第一方向に沿うずれ量が互いに異なることが好ましい。

この構成によれば、位置決ピンを挿入する対を複数適宜選択することによって、固定プレートに取り付けられる第二対向部材の向きを規定しつつ、第二対向部材を移動させる移動量を変更することができる。これにより、固定プレートに取り付けられる第二対向部材の向きを規定しつつ第二対向部材の位置調整の自由度が高めることができる。その結果、被検査基板に設けられた検査点に対して適切にプローブを接触させることが容易となり、正しく基板検査を実行することが容易となる。

また、前記位置決ピンの先端部には、当該位置決ピンの外周から軸心へ向かって傾斜し、前記位置決ピンの軸線に対してなす角度が４５度以下の傾斜面が形成されており、前記ずれた位置に位置する対における前記第一方向に沿うずれ量は、前記傾斜面の前記軸線と直交する方向に沿う幅より小さいことが好ましい。

この構成によれば、前記ずれた位置に位置する対に位置決ピンを挿入すると、傾斜面によって、その挿入された固定側位置決孔と移動側位置決穴とのずれをなくす方向に第二対向部材が移動される。その結果、位置決ピンを挿入することにより、第二対向部材を移動させることが可能になる。

また、前記位置決ピンは、後端側に形成されたねじ部と、前記ねじ部より小径で前記ねじ部の先端から前記軸線に沿って延びる円柱形の位置決部とを備え、前記傾斜面は、前記位置決部の先端部に形成され、前記固定側位置決孔の、前記第一面側の開口部付近には、前記ねじ部と螺合するための雌ねじ部が形成され、前記位置決部の後端から前記傾斜面の先端までの前記軸線方向の長さは、前記固定プレートの厚さよりも短いことが好ましい。

この構成によれば、位置決ピンを固定側位置決孔に挿入し、ねじ部と雌ねじ部とを螺合させると、位置決ピンの位置決部が移動側位置決穴に挿入される。ここで、位置決部の後端から傾斜面の先端までの軸線方向の長さは、固定プレートの厚さよりも短くされているので、固定側位置決孔と移動側位置決穴との対に位置決ピンを差し込むと、傾斜面が移動側位置決穴の開口部周縁に到達する前に、位置決ピンのねじ部が固定側位置決孔の雌ねじ部に到達して互いのねじ山が干渉する。この状態で位置決ピンをねじ締め方向に回転させると、位置決ピンが移動側位置決穴方向へ進行し、傾斜面が移動側位置決穴の開口部周縁に当接する。さらに位置決ピンをねじ締め方向に回転させて位置決ピンを進行させると、傾斜面と移動側位置決穴の開口部周縁とが摺動し、位置決ピンの進行に伴い固定側位置決孔の位置と移動側位置決穴の位置とを一致させる方向に第二対向部材が移動され、位置決ピンの位置決部が移動側位置決穴に挿入されて固定側位置決孔と移動側位置決穴とが位置決めされる。従って、第二対向部材を移動させて位置決めすることが容易となる。

また、前記位置決ピンの先端部は、球面状とされており、当該球面状の一部が当該位置決ピンの外周から軸心へ向かって傾斜する傾斜面とされており、前記ずれた位置に位置する対における前記第一方向に沿うずれ量は、前記傾斜面に対する接線が前記位置決ピンの軸線となす角度が４５度となる接点位置から前記位置決ピンの外周までの前記軸線と直交する方向に沿う距離より小さいことが好ましい。

この構成によれば、前記ずれた位置に位置する対に位置決ピンを挿入すると、傾斜面によって、その挿入された固定側位置決孔と移動側位置決穴とのずれをなくす方向に第二対向部材が移動される。その結果、位置決ピンを挿入することにより、第二対向部材を移動させることが可能になる。

また、前記位置決ピンは、後端側に形成されたねじ部と、前記ねじ部より小径で前記ねじ部の先端から前記軸線に沿って延びる円柱形の位置決部とを備え、前記傾斜面は、前記位置決部の先端部に形成され、前記固定側位置決孔の、前記第一面側開口部付近には、前記ねじ部と螺合するための雌ねじ部が形成され、前記位置決部の後端から前記接点位置までの前記軸線方向の長さは、前記固定プレートの厚さよりも短いことが好ましい。

この構成によれば、位置決ピンを固定側位置決孔と移動側位置決穴との対に挿入、ねじ締めすることによって、第二対向部材を移動させて位置決めすることが容易となる。さらに、傾斜面を球面状にすることによって、位置決ピンの軸線位置から遠ざかるに従って、傾斜面と軸線方向とのなす角が小さくなるので、ねじ締めにより位置決ピンを進行させる力が、効率よく第二対向部材を移動させる力に変換される。その結果、ねじ締めするのに必要な力を低減することができる。

また、本発明に係る基板検査装置は、上述の検査治具と、前記検査治具が取り付けられた前記検査装置本体とを備える。

この構成によれば、被検査基板が収縮又は伸長した場合であっても、被検査基板に設けられた検査点に対して適切にプローブを接触させることが容易となり、その結果、正しく基板検査を実行することが容易な基板検査装置が得られる。

また、前記被検査基板には、前記第一領域と前記第二領域とを含む領域であって、互いに略同一の配置で前記検査点が配置された複数の単位領域が設けられ、前記検査装置本体は、前記被検査基板と前記検査治具とを相対的に移動させる駆動部と、前記駆動部によって、前記各単位領域の前記検査点に対し、順次、前記各プローブを接触させるように前記被検査基板と前記検査治具とを相対的に移動させる移動制御部とを備えることが好ましい。

この構成によれば、複数の単位領域相互間の間隔が、被検査基板の収縮又は伸長によって変化した場合であっても、単位領域毎に、その位置に検査治具を移動させることが可能となるので、被検査基板が収縮又は伸長した場合であっても、被検査基板に設けられた検査点に対して適切にプローブを接触させることが容易となり、その結果、正しく基板検査を実行することが容易な基板検査装置が得られる。

また、本発明に係る基板検査方法は、上述の検査治具を用いて前記被検査基板を検査する基板検査方法であって、前記被検査基板には、前記第一領域と前記第二領域とを含む領域であって、互いに略同一の配置で前記検査点が配置された複数の単位領域が設けられ、前記複数対の固定側位置決孔と移動側位置決穴とのうち少なくとも一対の固定側位置決孔と移動側位置決穴とに前記位置決ピンを挿入して前記固定プレートと前記第二対向部材とを位置決めするプレート位置決工程と、前記各単位領域の前記検査点に対し、順次、前記各プローブを接触させるように前記被検査基板と前記検査治具とを相対的に移動させる移動工程とを含む。

この基板検査方法によれば、複数の単位領域相互間の間隔と、各単位領域内の第一領域と第二領域との位置関係とが、被検査基板の収縮又は伸長によって変化した場合であっても、第一領域と第二領域との間の位置変化に対応してプレート位置決工程によって適宜固定プレートに対する第二対向部材の位置を位置決めし、すなわち第一対向部材と第二対向部材との位置関係を調節することができる。また、単位領域相互間の間隔変化については、移動工程によって単位領域毎に、その位置に検査治具を移動させることが可能となる。その結果、被検査基板が収縮又は伸長した場合であっても、被検査基板に設けられた検査点に対して適切にプローブを接触させることが容易となり、正しく基板検査を実行することが容易となる。

また、前記複数の単位領域は、前記第一方向と、前記第一方向に対して垂直な第二方向とに沿うマトリクス状に配置されており、前記移動工程において、前記第二方向に並ぶ一列の各単位領域の前記検査点に対し、順次、前記各プローブを接触させるように前記被検査基板と前記検査治具とを相対的に移動させた後、前記プレート位置決工程において、前記一列に対して前記第一方向に隣接する列の前記単位領域に対応して前記複数対の固定側位置決孔と移動側位置決穴とのうち一対を選択し、その選択された対の固定側位置決孔と移動側位置決穴とに前記位置決ピンを挿入して前記固定プレートと前記第二対向部材とを位置決めし、その後に前記移動工程において、前記第一方向に隣接する列の前記各単位領域の前記検査点に対し、順次、前記各プローブを接触させるように前記被検査基板と前記検査治具とを相対的に移動させることが好ましい。

この構成によれば、複数の単位領域がマトリクス状に配置されている場合に、被検査基板に設けられた検査点に対して適切にプローブを接触させることが容易である。

このような構成の検査治具、基板検査装置、及び基板検査方法は、基板が収縮又は伸長した場合であっても、正しく基板検査を実行することが容易である。

本発明の一実施形態に係る基板検査方法を実行する基板検査装置の構成を概略的に示す正面図である。 図１に示す基板の一例を示す説明図である。 図１に示す検査部駆動機構及び検査部の構成の一例を概念的に示す概念図である。 固定プレートに取付プレートが取り付けられた状態を示す平面図である。 図４におけるＶ−Ｖ線断面図である。 図５に示す固定側位置決孔と移動側位置決穴との対に、位置決ピンを挿入する際の位置決ピンの作用を説明するための説明図である。 図５に示す固定側位置決孔と移動側位置決穴との対に位置決ピンを挿入した状態を示す説明図である。 傾斜面が球面状にされた位置決ピンについて説明するための説明図である。

以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、その説明を省略する。図１は、本発明の一実施形態に係る基板検査方法を実行する基板検査装置１の構成を概略的に示す正面図である。図１に示す基板検査装置１は、検査対象の被検査基板である基板１００に形成された回路パターンを検査するための装置である。図１においては、基板検査装置１の紙面左右方向をＸ軸方向、紙面奥行き方向をＹ軸方向、紙面上下方向をＺ軸方向として方向を示している。

基板１００は、例えばフレキシブル基板、ガラスエポキシ等のリジッド基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板であってもよい。基板１００には、配線パターンが形成されており、その配線パターンの導通、断線、短絡等を検査するための検査点が設定されている。検査点としては、配線パターンの所定箇所、パッド、ランド、電極等が適宜設定されている。

図２は、図１に示す基板１００の一例を示す説明図である。図２に示す基板１００は、例えばフレキシブル基板であり、複数の回路基板が１枚に集約された集合基板である。図２に示す基板１００には、回路基板Ｐ１と回路基板Ｐ２とが一組にされた複数の単位領域Ａ１１〜Ａ１４、単位領域Ａ２１〜Ａ２４、及び単位領域Ａ３１〜Ａ３４が形成されている。単位領域Ａ１１〜Ａ１４、単位領域Ａ２１〜Ａ２４、及び単位領域Ａ３１〜Ａ３４は、それぞれ第一領域Ａ１と第二領域Ａ２とを含む。なお、各図においては、回路基板Ｐ１，Ｐ２に形成された配線パターンや検査点の記載を省略している。以下、単位領域Ａ１１〜Ａ１４、単位領域Ａ２１〜Ａ２４、及び単位領域Ａ３１〜Ａ３４を総称して単位領域Ａと称する。

第一領域Ａ１は、回路基板Ｐ１に形成された検査点を含むように設けられ、第二領域Ａ２は、回路基板Ｐ２に形成された検査点を含むように設けられている。図２に示す例では、回路基板Ｐ１と回路基板Ｐ２とは同じ回路基板である。回路基板Ｐ１，Ｐ２の形状を考慮して、基板１００から効率よく回路基板Ｐ１，Ｐ２を取得できるように、回路基板Ｐ２は、回路基板Ｐ１を１８０度回転させて配置したものである。

なお、回路基板Ｐ１と回路基板Ｐ２とは、異なる回路基板であってもよく、あるいは同じ回路基板を同じ方向に配置したものであってもよい。

図１に示す基板検査装置１は、検査装置本体２と、検査治具３Ｕ，３Ｄとを備えている。すなわち、検査装置本体２は、基板検査装置１から検査治具３Ｕ，３Ｄを取り外した部分に相当している。検査装置本体２は、検査部４Ｕ，４Ｄ、検査治具駆動機構５Ｕ，５Ｄ、基板固定装置６、検査部駆動機構７Ｕ，７Ｄ、制御部９、及びこれらの各部を収容する筐体８を主に備えている。検査治具駆動機構５Ｕ，５Ｄ及び検査部駆動機構７Ｕ，７Ｄは、駆動部の一例に相当している。基板固定装置６は、検査対象の基板１００を所定の位置に固定するように構成されている。

制御部９は、例えばプローブＰｒに検査用の電流や電圧を供給する電源回路、プローブＰｒで検出された電圧又は電流信号を検出する検出回路、及びマイクロコンピュータ等を用いて構成されており、所定の制御プログラムを実行することによって、基板検査装置１の各部の動作を制御し、基板１００の検査を実行する。制御部９は、プローブＰｒを介して例えば各検査点に電圧又は電流を供給し、プローブＰｒによって各検査点から検出された電圧信号又は電流信号を検出し、これら検出値や検出値から算出された抵抗値等を予め記憶された基準値と比較することによって、基板１００の検査を行う。

検査部４Ｕは、基板固定装置６に固定された基板１００の上方に位置する。検査部４Ｄは、基板固定装置６に固定された基板１００の下方に位置する。検査部駆動機構７Ｕは検査部４ＵをＸ軸方向とＹ軸方向とに移動させる移動機構である。検査部駆動機構７Ｄは検査部４ＤをＸ軸方向とＹ軸方向とに移動させる移動機構である。検査部駆動機構７Ｕ，７Ｄは、制御部９からの制御信号に応じて検査部４Ｕ，４ＤをＸ−Ｙ平面上の任意の位置に移動可能にされている。以下、検査部駆動機構７Ｕ，７Ｄを総称して検査部駆動機構７と称する。制御部９は、移動制御部の一例に相当している。

検査部４Ｕ，４Ｄは、基板１００に形成された回路パターンを検査するための検査治具３Ｕ，３Ｄを着脱可能に構成されている。検査部４Ｕと検査部４Ｄとは上下反転している他、同様に構成されているので、以下検査部４Ｕ，４Ｄを総称して検査部４と称し、検査治具駆動機構５Ｕ，５Ｄを総称して検査治具駆動機構５と称し、検査治具３Ｕ，３Ｄを総称して検査治具３と称し、以下、総称により検査部４Ｕ，４Ｄの各部の構成について一括して説明する。

図３は、図１に示す検査部駆動機構７及び検査部４の構成の一例を概念的に示す概念図である。図３に示す検査部４は、検査治具駆動機構５に検査治具３が取り付けられて構成されている。

検査治具３は、固定プレート３１、第一対向部材３０ａ、及び第二対向部材３０ｂを備えている。固定プレート３１は、板状形状を有し、その板面の一方が第一面３１ａとされ、他方が第二面３１ｂとされている。固定プレート３１の第一面３１ａは、検査治具駆動機構５に対して脱着可能に取り付けられている。なお、固定プレート３１は、検査治具駆動機構５に対して固定的に取り付けられていてもよい。

第一対向部材３０ａ及び第二対向部材３０ｂは、固定プレート３１の第二面３１ｂに取り付けられている。

第一対向部材３０ａは、固定プレート３１の第二面３１ｂに取り付けられる板状の取付プレート３２ａと、プローブＰｒと接触するための電極が形成された電極プレート３３ａと、基板１００と対向配置される対向プレート３４ａとがこの順に積層されて構成されている。取付プレート３２ａ、電極プレート３３ａ、及び対向プレート３４ａは、例えば図略のボルト等の締結具や接着剤等によって一体にされている。

取付プレート３２ａは、複数のボルト３５によって、固定プレート３１に取り付けられている。電極プレート３３ａ及び対向プレート３４ａには、ボルト３５をねじ締めするドライバーを差し込むための貫通孔３５１が形成されている。取付プレート３２ａの、固定プレート３１側の板面が第一取付面３２０ａとされている。これにより、第一対向部材３０ａ全体が固定プレート３１に取り付けられている。

対向プレート３４ａの、基板１００と対向配置される側の板面が、第一対向面３４１ａとされている。対向プレート３４ａには、第一領域Ａ１に設けられた各検査点の配置と対応するように、プローブＰｒを保持するための貫通孔が形成されている。この貫通孔にプローブＰｒが挿入され、プローブＰｒの先端部が第一対向面３４１ａからわずかに突出するようにされている。

電極プレート３３ａの、対向プレート３４ａ側の板面には、対向プレート３４ａに形成された各貫通孔と対応するように配置された電極３７が形成されている。これにより、各貫通孔に挿入されたプローブＰｒの後端部が、各電極３７に接触するようにされている。各電極３７は、図略のケーブルによって、制御部９と接続されている。

第二対向部材３０ｂは、固定プレート３１の第二面３１ｂに取り付けられる板状の取付プレート３２ｂと、プローブＰｒと接触するための電極が形成された電極プレート３３ｂと、基板１００と対向配置される対向プレート３４ｂとがこの順に積層されて構成されている。取付プレート３２ｂ、電極プレート３３ｂ、及び対向プレート３４ｂは、例えば図略のボルト等の締結具や接着剤等によって一体にされている。

取付プレート３２ｂは、複数のボルト３５によって、固定プレート３１に取り付けられている。電極プレート３３ｂ及び対向プレート３４ｂには、ボルト３５をねじ締めするドライバーを差し込むための貫通孔３５１が形成されている。取付プレート３２ｂの、固定プレート３１側の板面が第二取付面３２０ｂとされている。これにより、第二対向部材３０ｂ全体が固定プレート３１に取り付けられている。

固定プレート３１の、第二面３１ｂに第二対向部材３０ｂが取り付けられる領域内に、位置決めのための位置決ピン３６を挿通するための、固定プレート３１を垂直に貫通する固定側位置決孔２１１〜２１７が形成されている。

第二対向部材３０ｂの取付プレート３２ｂには、固定側位置決孔２１１〜２１７のそれぞれと対応して対となり、かつ位置決ピン３６の先端側を受け入れ可能な位置決めのための移動側位置決穴２２１〜２２７が形成されている。なお、図３では、移動側位置決穴２２１〜２２７が取付プレート３２ｂを貫通する例を示したが、移動側位置決穴２２１〜２２７は、位置決ピン３６の先端部を受け入れ可能であればよく、必ずしも取付プレート３２ｂを貫通していなくてもよい。

対向プレート３４ｂの、基板１００と対向配置される側の板面が、第二対向面３４１ｂとされている。対向プレート３４ｂには、第二領域Ａ２に設けられた各検査点の配置と対応するように、プローブＰｒを保持するための貫通孔が形成されている。この貫通孔にプローブＰｒが挿入され、プローブＰｒの先端部が第二対向面３４１ｂからわずかに突出するようにされている。

電極プレート３３ｂの、対向プレート３４ｂ側の板面には、対向プレート３４ｂに形成された各貫通孔と対応するように配置された電極３７が形成されている。これにより、各貫通孔に挿入されたプローブＰｒの後端部が、各電極３７に接触するようにされている。各電極３７は、図略のケーブルによって、制御部９と接続されている。

図４は、固定プレート３１に取付プレート３２ａと取付プレート３２ｂとが取り付けられた状態を示す平面図である。図４では、固定プレート３１の第一面３１ａ側から見た平面図を示している。取付プレート３２ａは、第一領域Ａ１を被うことが出来るように第一領域Ａ１と対応した形状にされている。取付プレート３２ｂは、第二領域Ａ２を被うことが出来るように第二領域Ａ２と対応した形状にされている。図４に示す例では、取付プレート３２ａと取付プレート３２ｂとの並び方向がＸ軸方向に沿うようにされており、すなわち第一対向部材３０ａと第二対向部材３０ｂの並び方向がＸ軸方向に沿うようにされている。Ｘ軸方向は第一方向の一例に相当し、Ｙ軸方向は第二方向の一例に相当する。

取付プレート３２ａ，３２ｂは、その角部付近でボルト３５によって固定プレート３１に取り付けられている。固定プレート３１の、取付プレート３２ｂが取り付けられる位置には、固定側位置決孔２１１〜２１７が、三箇所に設けられている。

図５は、図４におけるＶ−Ｖ線断面図である。取付プレート３２ｂがボルト３５によって固定プレート３１に取り付けられた状態で、取付プレート３２ｂの第二取付面３２０ｂには、固定プレート３１の固定側位置決孔２１１〜２１７とそれぞれ対応する位置に、移動側位置決穴２２１〜２２７が固定側位置決孔２１１〜２１７と対をなすように形成されている。図５では、三箇所に設けられた固定側位置決孔２１１〜２１７及び移動側位置決穴２２１〜２２７のうち一箇所を示しているが、他の二箇所についても同様に構成されているのでその説明を省略する。

図６は、図５に示す固定側位置決孔２１４と移動側位置決穴２２４との対に、位置決ピン３６を挿入する際の位置決ピン３６の作用を説明するための説明図である。図５と図６とを参照しながら以下、位置決ピン３６と、固定側位置決孔２１１〜２１７及び移動側位置決穴２２１〜２２７との構成の一例について説明する。

位置決ピン３６は、円柱状の位置決部３６１と、位置決部３６１の先端に設けられた傾斜面３６２と、位置決部３６１よりも大径で、かつ外周にねじ山が形成されたねじ部３６３とを備えている。ねじ部３６３には、ドライバーでねじ締めするための工具穴又は工具溝が形成されている。

傾斜面３６２は、位置決部３６１の外周から軸心へ向かって傾斜し、例えば円錐形状とされている。傾斜面３６２と、位置決部３６１の軸心とのなす角度Ｒは、４５度以下にされている。なお、傾斜面３６２は円錐状に限らず、例えば円錐台状であってもよく、球面状であってもよく、その他の形状であってもよい。

位置決ピン３６は、三箇所の固定側位置決孔２１１〜２１７及び移動側位置決穴２２１〜２２７に対応して三つ用意されている。以下、固定側位置決孔２１１〜２１７を総称して固定側位置決孔２１と称し、移動側位置決穴２２１〜２２７を総称して移動側位置決穴２２と称する。

固定側位置決孔２１１〜２１７には、それぞれ、位置決部３６１を精度よく受け入れ可能にされた円孔状の孔部Ｂと、ねじ部３６３と螺合するように形成された雌ねじ部Ｃとが形成されている。移動側位置決穴２２１〜２２７は、孔部Ｂと同じ径の円孔形状とされている。孔部Ｂの長さＬ２は、位置決ピン３６の位置決部３６１の長さＬｂより短くされており、位置決ピン３６を固定側位置決孔２１１〜２１７に挿入し、ねじ部３６３と雌ねじ部Ｃとを螺合させると、位置決ピン３６の位置決部３６１が移動側位置決穴２２１〜２２７に挿入されるようになっている。

図５に示す例では、固定側位置決孔２１１と移動側位置決穴２２１との対に、位置決ピン３６を挿入した状態を示している。図５では記載を省略しているが、三箇所の固定側位置決孔２１１及び移動側位置決穴２２１の対のうち他の二箇所の固定側位置決孔２１１及び移動側位置決穴２２１の対にも位置決ピン３６が挿入される。以下、固定側位置決孔２１１〜２１７及び移動側位置決穴２２１〜２２７のいずれかの対に位置決ピン３６を挿入するときは、三箇所すべてについて、互いに同じ符号が付された対応する対に位置決ピン３６を挿入するものとする。

固定側位置決孔２１１と移動側位置決穴２２１との対に、位置決ピン３６が挿入された状態では、固定側位置決孔２１１の中心軸と移動側位置決穴２２１の中心軸とは一致する。この状態で、固定側位置決孔２１１及び移動側位置決穴２２１以外の他の対では、各対をなす固定側位置決孔２１２〜２１７と移動側位置決穴２２２〜２２７とが、Ｘ軸方向、すなわち第一対向部材３０ａと第二対向部材３０ｂの並び方向に沿ってずれた位置に位置するようにされている。

具体的に一例を例示すると、移動側位置決穴２２２は、固定側位置決孔２１２に対して−Ｘ方向（紙面左方向）に２０μｍずれた位置に位置する。以下、−Ｘ方向へのずれ量に対して「−」符号を伏し、＋Ｘ方向へのずれ量に対して「＋」符号を伏して示す。移動側位置決穴２２３は、固定側位置決孔２１３に対して−４０μｍずれた位置に位置し、移動側位置決穴２２４は、固定側位置決孔２１４に対して−６０μｍずれた位置に位置し、移動側位置決穴２２５は、固定側位置決孔２１５に対して＋２０μｍずれた位置に位置し、移動側位置決穴２２６は、固定側位置決孔２１６に対して＋４０μｍずれた位置に位置し、移動側位置決穴２２７は、固定側位置決孔２１７に対して＋６０μｍずれた位置に位置する。

すなわち、孔位置がずれた位置に位置する、三箇所に設けられた固定側位置決孔２１２〜２１７と移動側位置決穴２２２〜２２７との各対は、Ｘ軸方向に沿うずれ量が互いに等しい複数の対（三箇所の固定側位置決孔２１２と移動側位置決穴２２２との対、三箇所の固定側位置決孔２１３と移動側位置決穴２２３との対、・・・、三箇所の固定側位置決孔２１７と移動側位置決穴２２７との対）を含む複数の組（三箇所の固定側位置決孔２１２と移動側位置決穴２２２との対からなる組、三箇所の固定側位置決孔２１３と移動側位置決穴２２３との対からなる組、・・・、三箇所の固定側位置決孔２１７と移動側位置決穴２２７との対からなる組）を含み、これら複数の組は、Ｘ軸方向に沿うずれ量が互いに異なっている。

孔位置がずれた位置に位置する固定側位置決孔２１２〜２１７と移動側位置決穴２２２〜２２７との対におけるＸ軸方向に沿うずれ量Ｄは、位置決ピン３６の傾斜面３６２の軸心と直交する方向に沿う幅Ｗより小さくされている。これにより、固定側位置決孔２１２〜２１７と移動側位置決穴２２２〜２２７との対に位置決ピン３６を挿入すると、傾斜面３６２によって、その挿入された固定側位置決孔と移動側位置決穴とのずれをなくす方向に取付プレート３２ｂが移動される。

ここで、ボルト３５は、ボルト３５の軸線方向と直交する方向に対して所定のあそびが設けられている。ボルト３５のあそびは、上記各対のずれ量のうち最大のずれ量以上にされており、図５に示す例では＋Ｘ方向及び−Ｘ方向に対してそれぞれ６０μｍ以上のあそびが設けられている。従って、ボルト３５を少し緩めた状態で位置決ピン３６を挿入すると、ボルト３５のあそびの範囲内で取付プレート３２ｂが移動可能にされている。

図６に示すように、位置決ピン３６の、位置決部３６１と傾斜面３６２とを合わせた長さＬａ、すなわち位置決部３６１の後端から傾斜面３６２の先端までの軸線方向の長さＬａは、固定側位置決孔２１の深さ、すなわち固定プレート３１の厚さＬ１よりも短くされている。これにより、例えば図６に示すように、固定側位置決孔２１４と移動側位置決穴２２４との対に位置決ピン３６を差し込むと、傾斜面３６２が移動側位置決穴２２の開口部周縁に到達する前に、位置決ピン３６のねじ部３６３が固定側位置決孔２１の雌ねじ部Ｃに到達して互いのねじ山が干渉し、直線的に挿入することはできなくなる。

この状態で工具を用いて位置決ピン３６をねじ締め方向に回転させると、位置決ピン３６が移動側位置決穴２２４方向へ進行し、傾斜面３６２が移動側位置決穴２２の開口部周縁に当接する。さらに位置決ピン３６をねじ締め方向に回転させて位置決ピン３６を進行させると、傾斜面３６２と移動側位置決穴２２の開口部周縁とが摺動し、位置決ピン３６の進行に伴い固定側位置決孔２１４の位置と移動側位置決穴２２４の位置とを一致させる方向に取付プレート３２ｂが移動され、位置決ピン３６の位置決部３６１が移動側位置決穴２２４に挿入されて固定側位置決孔２１４と移動側位置決穴２２４とが位置決めされる。

位置決部３６１と傾斜面３６２とを合わせた長さＬａが、固定プレート３１の厚さＬ１よりも長い場合、位置のずれた固定側位置決孔２１と移動側位置決穴２２との対に位置決ピン３６を直線的に挿入しようとしても、傾斜面３６２が移動側位置決穴２２の開口部周縁に当接し、そのまま位置決ピン３６を押し込んで挿入するには、非常に大きな押し込み力が必要になる。

しかしながら、図６に示すように、位置決部３６１と傾斜面３６２とを合わせた長さＬａが、固定プレート３１の厚さＬ１よりも短くされているので、傾斜面３６２が移動側位置決穴２２の開口部周縁に当接しても、以後ドライバなどの工具を用いて位置決ピン３６を回転させることで、取付プレート３２ｂを移動させつつ位置決ピン３６を挿入し、固定プレート３１と取付プレート３２ｂとを位置決めすることができる。従って、位置決部３６１と傾斜面３６２とを合わせた長さＬａが、固定プレート３１の厚さＬ１よりも短くされていることで、取付プレート３２ｂを移動させて位置決めすることが容易となる。

図７は、図５に示す固定側位置決孔２１４と移動側位置決穴２２４との対に位置決ピン３６を挿入した状態を示す説明図である。図５に示す固定側位置決孔２１４と移動側位置決穴２２４との対に位置決ピン３６を挿入することにより、取付プレート３２ｂが移動され、図７に示すように、固定側位置決孔２１４と移動側位置決穴２２４の位置が一致する。そして、その固定側位置決孔２１４と移動側位置決穴２２４に跨がって位置決ピン３６が挿入され、固定プレート３１に対して取付プレート３２ｂが位置決めされ、すなわち固定プレート３１に固定された第一対向部材３０ａに対して第二対向部材３０ｂが位置決めされる。

図５に示すように固定側位置決孔２１１と移動側位置決穴２２１とを一致させたときに、移動側位置決穴２２４は、固定側位置決孔２１４に対して−Ｘ方向に６０μｍずれて配置されている。従って、固定側位置決孔２１４と移動側位置決穴２２４の位置を一致させると、図７に示すように、移動側位置決穴２２４が形成された取付プレート３２ｂを、＋Ｘ方向に６０μｍ移動させたことになる。

ここで、固定側位置決孔２１１と移動側位置決穴２２１との対（ずれ量がゼロ）、固定側位置決孔２１２と移動側位置決穴２２２との対、固定側位置決孔２１３と移動側位置決穴２２３との対、固定側位置決孔２１４と移動側位置決穴２２４との対、固定側位置決孔２１５と移動側位置決穴２２５との対、固定側位置決孔２１６と移動側位置決穴２２６との対、及び固定側位置決孔２１７と移動側位置決穴２２７との対は、互いにずれ量が異なっているので、位置決ピン３６を挿入する対として、いずれの対を選択するかに応じて取付プレート３２ｂの移動量、すなわち第一対向部材３０ａと第二対向部材３０ｂとの間隔を適宜設定することができる。この場合、取付プレート３２ｂの移動量は、位置決ピン３６が挿入された固定側位置決孔と移動側位置決穴のずれ量となるので、第一対向部材３０ａと第二対向部材３０ｂとの間隔を高精度で設定することが可能となる。

これにより、基板１００が収縮又は伸長し、回路基板Ｐ１と回路基板Ｐ２との間隔が設計上の間隔から変化した場合であっても、その変化量に応じて適宜固定側位置決孔と移動側位置決穴との対を選択し、位置決ピン３６を挿入することによって、回路基板Ｐ１と回路基板Ｐ２とに、第一対向部材３０ａと第二対向部材３０ｂとを精度よく対向配置させ、回路基板Ｐ１と回路基板Ｐ２とに設けられた各検査点に、第一対向部材３０ａと第二対向部材３０ｂとに設けられた各プローブＰｒを精度よく接触させることで、正しく基板検査を実行することが容易となる。

図８は、傾斜面３６２が球面状、例えば半球形にされた位置決ピン３６について説明するための説明図である。図８に示す位置決ピン３６は、位置決ピン３６の軸線を含む平面内の線であって球面状の傾斜面３６２に対する接線３６４が、その軸線となす角度Ｒが４５度となる接点位置Ｐｘから、位置決部３６１の後端部までのその軸線に沿う方向の距離である長さＬａが、固定プレート３１の厚さＬ１より短くされている。また、ずれ量Ｄは、接線３６４が、その軸線となす角度Ｒが４５度となる接点位置Ｐｘとその軸線とを含む平面内で、接点位置Ｐｘから位置決部３６１までの、軸線に対して直交する方向の距離Ｗ１以下にされている。

これにより、図６に示す位置決ピン３６と同様、位置決ピン３６を固定側位置決孔２１４と移動側位置決穴２２４とに挿入、ねじ締めすることによって、取付プレート３２ｂを移動させて位置決めすることが容易となる。さらに、傾斜面３６２を球面状にすることによって、軸線位置から遠ざかるに従って、傾斜面３６２と軸線とのなす角が小さくなるので、ねじ締めにより位置決ピン３６を進行させる力が、効率よく取付プレート３２ｂを移動させる力に変換される。その結果、傾斜面３６２が円錐、又は円錐台形状の場合よりもねじ締めするのに必要な力を低減することができる。

一方、図６に示す位置決ピン３６のように傾斜面３６２が円錐形状の場合、軸心位置まで傾斜面３６２と軸心とのなす角度Ｒを４５度以下にすることが容易である。従って、固定側位置決孔２１と移動側位置決穴２２のずれ量を、位置決部３６１の半径に近い値にすることができるので、傾斜面３６２を円錐形状とすれば、固定側位置決孔２１と移動側位置決穴２２とのずれ量を増大させることが容易である。

図３を参照して、検査治具駆動機構５は、検査装置本体２に対してＸ軸方向に検査治具３を移動させるＸ治具駆動部５Ｘと、Ｘ治具駆動部５Ｘに連結されて検査治具３をＹ軸方向に移動させるＹ治具駆動部５Ｙと、Ｙ治具駆動部５Ｙに連結されて検査治具３をＺ軸回りに回転移動させるθ治具駆動部５θと、θ治具駆動部５θに連結されて検査治具３をＺ軸方向に移動させるＺ治具駆動部５Ｚとで構成されている。

これにより、検査治具駆動機構５は、制御部９からの制御信号に応じて、検査治具３を基板１００に対して相対的に位置決めしたり、検査治具３を上下方向（Ｚ軸方向）に昇降させて検査治具３に取り付けられプローブＰｒを基板１００に形成された配線パターン上の検査点に対して接触させたり、離間させたりすることができるように構成されている。

次に、本発明の一実施形態に係る検査治具３が取り付けられた基板検査装置１を用いた基板検査方法について説明する。なお、検査部４Ｕと検査部４Ｄとは同様に動作するので、検査部４Ｄの動作についてはその説明を省略し、検査部４Ｕの動作を説明する。

図２を参照して、基板１００は、その製造ばらつきによって、単位領域Ａ相互間の距離にばらつきが生じ、さらに各単位領域Ａ内でも第一領域Ａ１と第二領域Ａ２との間の距離にばらつきが生じる。そのため、各単位領域Ａ内の各検査点にプローブＰｒを正確に接触させるためには、そのばらつきに応じてプローブの接触位置を調整する必要がある。

そこで、本発明に係る基板検査方法では、各単位領域Ａ相互間の位置調整については、各単位領域Ａの検査点に対し、検査部駆動機構７及び検査治具駆動機構５によって、順次、各プローブＰｒを接触させるように検査治具３を移動させる移動工程によって調整する。また、第一領域Ａ１と第二領域Ａ２との間の位置調整については、複数対の固定側位置決孔２１と移動側位置決穴２２とのうちいずれか一対の固定側位置決孔２１と移動側位置決穴２２とに位置決ピン３６を挿入して固定プレート３１と第二対向部材３０ｂとを位置決めすることによって、第一対向部材３０ａと第二対向部材３０ｂとの距離を調節するプレート位置決工程により調節するようになっている。

移動工程においては、例えば基板１００の表面を撮像するカメラを設け、制御部９が、そのカメラで撮像された単位領域Ａ（回路基板Ｐ１，Ｐ２）の画像に基づき検査部駆動機構７及び検査治具駆動機構５の駆動を制御して検査治具３を移動させ、検査対象の単位領域Ａに設けられた各検査点にプローブＰｒを接触させるようにしてもよい。

プレート位置決工程は、例えば以下のようにして実行される。まず、ユーザが検査対象の基板１００における回路基板Ｐ１と回路基板Ｐ２との間隔を測定し、設計上の基準値との差を算出する。そして、ユーザは、まず第二対向部材３０ｂのボルト３５を緩め、算出した差を相殺するようなずれ量Ｄが設定された固定側位置決孔２１と移動側位置決穴２２との対を選択し、その対に位置決ピン３６を挿入、ねじ締めして第二対向部材３０ｂの位置を調整、位置決めした後、第二対向部材３０ｂのボルト３５を締めて固定する。

これにより、基板１００の伸縮による回路基板Ｐ１と回路基板Ｐ２との間隔のずれが補正され、第一対向部材３０ａに取り付けられたプローブＰｒと、第二対向部材３０ｂに取り付けられたプローブＰｒとを、それぞれ回路基板Ｐ１の検査点と回路基板Ｐ２の検査点とに適切に接触させることが可能となる。

プレート位置決工程は任意のタイミングで適宜実行すればよい。例えば、回路基板Ｐ１と回路基板Ｐ２との間隔のずれは、基板１００の製造ロット毎に変化する場合が多い。そこで、基板１００の製造ロット毎に、プレート位置決工程を実行するようにしてもよい。

また、例えば図２に示す基板１００において、Ｘ軸方向での伸縮のばらつきが大きくなるような伸縮の仕方をする場合がある。このような場合、移動工程により、Ｙ軸方向（第二方向）に並ぶ一列の単位領域Ａ１１〜Ａ１４に順次検査治具３を移動させて単位領域Ａ１１〜Ａ１４の検査を実行した後、単位領域Ａ１１〜Ａ１４の列とＸ軸方向に隣接する列に並ぶ単位領域Ａ２１〜Ａ２４における第一領域Ａ１と第二領域Ａ２との間隔に合わせてプレート位置決工程を実行して第一対向部材３０ａと第二対向部材３０ｂとの間隔を調節し、その後に移動工程により単位領域Ａ２１〜Ａ２４に順次検査治具３を移動させて単位領域Ａ２１〜Ａ２４の検査を実行してもよい。

なお、第二対向部材３０ｂは、取付プレート３２ｂ、電極プレート３３ｂ、及び対向プレート３４ｂが積層されて構成された例を示したが、第二対向部材３０ｂは、積層構造に限られず、一体に構成されていてもよい。また、移動側位置決穴２２が、取付プレート３２ｂを貫通する貫通孔である例を示したが、移動側位置決穴２２は、取付プレート３２ｂを貫通していなくてもよく、あるいは第二対向部材３０ｂ全体を貫通する貫通孔であってもよい。

また、第一領域Ａ１と第二領域Ａ２とが、回路基板Ｐ１と回路基板Ｐ２とにそれぞれ対応し、回路基板Ｐ１と回路基板Ｐ２とが同一の基板である例を示したが、回路基板Ｐ１と回路基板Ｐ２とは互いに異なる基板であってもよい。また、単位領域Ａに、回路基板Ｐ１と回路基板Ｐ２とが含まれる例を示したが、単位領域Ａには、一つの回路基板のみ含まれる構成であってもよい。そして、その一つの回路基板に対して、第一領域Ａ１と第二領域Ａ２とが設定されていてもよい。

また、単位領域Ａに、第一領域Ａ１と第二領域Ａ２との二つの領域が設定され、第一領域Ａ１に対応する第一対向部材３０ａと第二領域Ａ２に対応する第二対向部材３０ｂとが設けられる例を示したが、単位領域Ａには、第一領域Ａ１と、複数の第二領域Ａ２とが設定され、第一領域Ａ１に対応する第一対向部材３０ａと複数の第二領域Ａ２に対応する複数の第二対向部材３０ｂが設けられていてもよい。

また、固定側位置決孔２１１〜２１７及び移動側位置決穴２２１〜２２７が、三箇所に設けられる例を示したが、二箇所又は四箇所以上に設けられていてもよい。また、固定側位置決孔２１１〜２１７及び移動側位置決穴２２１〜２２７は、一箇所であってもよい。しかしながら固定側位置決孔２１１〜２１７及び移動側位置決穴２２１〜２２７は、複数箇所に設けられた方が、複数の位置決ピン３６によって、固定プレート３１に対する取付プレート３２ｂの取付角度を正確に規定できる点でより好ましい。

また、位置決ピン３６の先端に傾斜面３６２が形成される例を示したが、傾斜面３６２が設けられていない構成であってもよい。しかしながら、傾斜面３６２を備えることによって、固定側位置決孔２１と移動側位置決穴２２との対に位置決ピン３６をスムーズに挿入することができ、かつ位置決ピン３６を挿入する力を、取付プレート３２ｂを移動させる力に変換できる点でより好ましい。

また、位置決ピン３６にねじ部３６３が設けられ、固定プレート３１に雌ねじ部Ｃが設けられる例を示したが、ねじ部３６３及び雌ねじ部Ｃは設けられていなくてもよい。

また、駆動部の一例である。検査治具駆動機構５Ｕ，５Ｄ及び検査部駆動機構７Ｕ，７Ｄが、検査治具３を移動させることで基板１００と検査治具３とを相対移動させる例を示したが、駆動部は、基板１００を移動させたり、あるいは基板１００と検査治具３とを両方とも移動させたりすることによって基板１００と検査治具３とを相対移動させてもよい。

また、固定プレート３１の第一対向部材３０ａが取り付けられる領域にも固定側位置決孔２１を形成し、第一対向部材３０ａ（取付プレート３２ａ）にも移動側位置決穴２２を形成する構成であってもよい。

１ 基板検査装置
２ 検査装置本体
３，３Ｕ，３Ｄ 検査治具
４，４Ｕ，４Ｄ 検査部
５，５Ｕ，５Ｄ 検査治具駆動機構
５Ｘ Ｘ治具駆動部
５Ｙ Ｙ治具駆動部
５Ｚ Ｚ治具駆動部
５θ θ治具駆動部
６ 基板固定装置
７，７Ｕ，７Ｄ 検査部駆動機構
８ 筐体
９ 制御部
２１，２１１〜２１７ 固定側位置決孔
２２，２２１〜２２７ 移動側位置決穴
３０ａ 第一対向部材
３０ｂ 第二対向部材
３１ 固定プレート
３１ａ 第一面
３１ｂ 第二面
３２ａ，３２ｂ 取付プレート
３３ａ，３３ｂ 電極プレート
３４ａ，３４ｂ 対向プレート
３５ ボルト
３６ 位置決ピン
３７ 電極
１００ 基板（移動制御部）
３２０ａ 第一取付面
３２０ｂ 第二取付面
３４１ａ 第一対向面
３４１ｂ 第二対向面
３５１ 貫通孔
３６１ 位置決部
３６２ 傾斜面
３６３ ねじ部
３６４ 接線
Ａ，Ａ１１〜Ａ１４，Ａ２１〜Ａ２４，Ａ３１〜Ａ３４ 単位領域
Ａ１ 第一領域
Ａ２ 第二領域
Ｂ 孔部
Ｃ 雌ねじ部
Ｄ ずれ量
Ｌ１ 厚さ
Ｌ２，Ｌａ，Ｌｂ 長さ
Ｐ１，Ｐ２ 回路基板
Ｐｒ プローブ
Ｐｘ 接点位置
Ｒ 角度
Ｗ 幅
Ｗ１ 距離

Claims (13)

1. 検査対象となる被検査基板を検査する検査装置本体に取り付けられ、前記被検査基板に設けられる複数の検査点に対してそれぞれプローブを接触させるための検査治具であって、
   第一面と第二面とを有する板状の固定プレートと、
   前記固定プレートに取り付けられる第一及び第二対向部材とを備え、
   前記第一対向部材は、前記被検査基板の一部の第一領域に設けられた検査点の配置に対応するように前記プローブを配置すると共に前記第一領域と対向配置されるための第一対向面と前記固定プレートの前記第二面に取り付けられる第一取付面とを有し、
   前記第二対向部材は、前記被検査基板の、前記第一領域とは別の第二領域に設けられた検査点の配置に対応するように前記プローブを配置すると共に前記第二領域と対向配置されるための第二対向面と前記固定プレートの前記第二面に取り付けられる第二取付面とを有し、
   前記固定プレートの前記第一面は、前記検査装置本体に取り付けられるための面であり、前記第二面に前記第二対向部材が取り付けられる領域内に、位置決めのための位置決ピンを挿通するための、前記固定プレートを垂直に貫通する複数の固定側位置決孔が形成され、
   前記第二対向部材には、前記複数の固定側位置決孔とそれぞれ対応して対となり、かつ前記位置決ピンの先端側を受け入れ可能な位置決めのための移動側位置決穴が形成されて前記固定側位置決孔と前記移動側位置決穴とが複数対とされ、
   前記複数対の固定側位置決孔と移動側位置決穴とのうち少なくとも一対の固定側位置決孔と移動側位置決穴とに前記位置決ピンを挿入して前記固定プレートと前記第二対向部材とを位置決めした状態で、前記固定側位置決孔と前記移動側位置決穴とが、所定の第一方向に沿ってずれた位置に位置する対が前記複数対に含まれる検査治具。
2. 前記第一方向は、前記第一対向部材と前記第二対向部材との並び方向に沿う方向である請求項１記載の検査治具。
3. 前記ずれた位置に位置する対は複数対であり、その複数対は、前記第一方向に沿うずれ量が互いに異なる請求項１又は２に記載の検査治具。
4. 前記少なくとも一対は、前記第一方向に沿うずれ量が互いに等しい複数対であり、
   前記ずれた位置に位置する対は、前記第一方向に沿うずれ量が互いに等しい複数対である請求項１又は２に記載の検査治具。
5. 前記ずれた位置に位置する対は、前記第一方向に沿うずれ量が互いに等しい複数の対をそれぞれの組が含む、複数の組を含み、前記複数の組は、前記第一方向に沿うずれ量が互いに異なる請求項４記載の検査治具。
6. 前記位置決ピンの先端部には、当該位置決ピンの外周から軸心へ向かって傾斜し、前記位置決ピンの軸線に対してなす角度が４５度以下の傾斜面が形成されており、
   前記ずれた位置に位置する対における前記第一方向に沿うずれ量は、前記傾斜面の前記軸線と直交する方向に沿う幅より小さい請求項１〜５のいずれか１項に記載の検査治具。
7. 前記位置決ピンは、後端側に形成されたねじ部と、前記ねじ部より小径で前記ねじ部の先端から前記軸線に沿って延びる円柱形の位置決部とを備え、
   前記傾斜面は、前記位置決部の先端部に形成され、
   前記固定側位置決孔の、前記第一面側の開口部付近には、前記ねじ部と螺合するための雌ねじ部が形成され、
   前記位置決部の後端から前記傾斜面の先端までの前記軸線方向の長さは、前記固定プレートの厚さよりも短い請求項６記載の検査治具。
8. 前記位置決ピンの先端部は、球面状とされており、当該球面状の一部が当該位置決ピンの外周から軸心へ向かって傾斜する傾斜面とされており、
   前記ずれた位置に位置する対における前記第一方向に沿うずれ量は、前記傾斜面に対する接線が前記位置決ピンの軸線となす角度が４５度となる接点位置から前記位置決ピンの外周までの前記軸線と直交する方向に沿う距離より小さい請求項１〜５のいずれか１項に記載の検査治具。
9. 前記位置決ピンは、後端側に形成されたねじ部と、前記ねじ部より小径で前記ねじ部の先端から前記軸線に沿って延びる円柱形の位置決部とを備え、
   前記傾斜面は、前記位置決部の先端部に形成され、
   前記固定側位置決孔の、前記第一面側開口部付近には、前記ねじ部と螺合するための雌ねじ部が形成され、
   前記位置決部の後端から前記接点位置までの前記軸線方向の長さは、前記固定プレートの厚さよりも短い請求項８記載の検査治具。
10. 請求項１〜９のいずれか１項に記載の検査治具と、
    前記検査治具が取り付けられた前記検査装置本体とを備える基板検査装置。
11. 前記被検査基板には、前記第一領域と前記第二領域とを含む領域であって、互いに略同一の配置で前記検査点が配置された複数の単位領域が設けられ、
    前記検査装置本体は、
    前記被検査基板と前記検査治具とを相対的に移動させる駆動部と、
    前記駆動部によって、前記各単位領域の前記検査点に対し、順次、前記各プローブを接触させるように前記被検査基板と前記検査治具とを相対的に移動させる移動制御部とを備える請求項１０記載の基板検査装置。
12. 請求項１〜９のいずれか１項に記載の検査治具を用いて前記被検査基板を検査する基板検査方法であって、
    前記被検査基板には、前記第一領域と前記第二領域とを含む領域であって、互いに略同一の配置で前記検査点が配置された複数の単位領域が設けられ、
    前記複数対の固定側位置決孔と移動側位置決穴とのうち少なくとも一対の固定側位置決孔と移動側位置決穴とに前記位置決ピンを挿入して前記固定プレートと前記第二対向部材とを位置決めするプレート位置決工程と、
    前記各単位領域の前記検査点に対し、順次、前記各プローブを接触させるように前記被検査基板と前記検査治具とを相対的に移動させる移動工程とを含む基板検査方法。
13. 前記複数の単位領域は、前記第一方向と、前記第一方向に対して垂直な第二方向とに沿うマトリクス状に配置されており、
    前記移動工程において、前記第二方向に並ぶ一列の各単位領域の前記検査点に対し、順次、前記各プローブを接触させるように前記被検査基板と前記検査治具とを相対的に移動させた後、前記プレート位置決工程において、前記一列に対して前記第一方向に隣接する列の前記単位領域に対応して前記複数対の固定側位置決孔と移動側位置決穴とのうち一対を選択し、その選択された対の固定側位置決孔と移動側位置決穴とに前記位置決ピンを挿入して前記固定プレートと前記第二対向部材とを位置決めし、その後に前記移動工程において、前記第一方向に隣接する列の前記各単位領域の前記検査点に対し、順次、前記各プローブを接触させるように前記被検査基板と前記検査治具とを相対的に移動させる請求項１２記載の基板検査方法。

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