JP2017054911A - 撮像素子および撮像装置 - Google Patents
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Abstract
Description
p+CIGS層62:不純物濃度1019〜1020/cm3程度、厚さ10〜30nm程度
光電変換膜60:厚さ300〜500nm程度
基板表面層76:不純物濃度1018/cm3程度、厚さ30〜50nm程度
第1蓄積層74:不純物濃度1017/cm3程度、厚さ500nm程度
シリコン基板70:不純物濃度1017/cm3程度
32 撮像センサ(撮像素子)
37 測距センサ(撮像素子)
38 測光センサ
60 CIGS系光電変換膜(光電変換膜、第2種半導体)
62 p+CIGS層
70 シリコン基板(第1種半導体、半導体基板)
74 第1蓄積層(第1の半導体領域)
76 基板表面層(第2の半導体領域)
76A 電荷増倍領域
Claims (7)
- 第1種半導体である第1導電型の半導体基板内に形成された第1種半導体の第2導電型からなる第1の半導体領域と、
前記第1の半導体領域に接合するように前記半導体基板の表面部分に形成された第1種半導体の第1導電型からなる第2の半導体領域と、
前記第2の半導体領域と接合するように形成される第2種半導体を用いた光電変換膜とを備え、
前記光電変換膜は、生成された光電荷が前記半導体基板側に移動するようにエネルギーバンドが傾斜されて形成され、
前記光電荷が第1の半導体領域と第2の半導体領域との接合部に注入されたとき、その接合部において電荷増倍が生じるように、前記半導体基板の不純濃度プロファイルが形成されていることを特徴とする撮像素子。 - 前記第1の半導体領域の不純物濃度がおよそ1017/cm3程度、厚さがおよそ500nmであり、
前記第2の半導体領域の不純物濃度がおよそ1018/cm3、厚さが30〜50nmであり、
前記第1の半導体領域をリセットする電圧が少なくとも5V以上であることを特徴とする請求項1に記載の撮像素子。 - 前記光電変換膜を覆うように形成される第1導電型の半導体領域をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至2のいずれかに記載の撮像素子。
- 前記光電変換膜が、前記半導体基板から前記光電変換膜の表面側に向けて、第1導電型、真性半導体型、第2導電型の順に導電性領域を形成していることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の撮像素子。
- 前記第1種半導体がシリコン半導体、前記第2種半導体がカルコパイライト系化合物半導体であり、
前記第1導電型がp型、第2導電型がn型であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の撮像素子。 - 請求項1乃至5のいずれに記載の撮像素子を備えた撮像装置であって、
前記撮像素子を、撮像センサ、測光センサ、測距センサのうち少なくとも測距センサとして備えていることを特徴とする撮像装置。 - 前記撮像素子を駆動する撮像素子駆動部を備え、
前記撮像素子駆動部が、光電変換期間中、前記第1の半導体領域に蓄積された電荷を、前記第1の半導体領域と隣接して形成される第2導電型の第3の半導体領域へ間欠的に転送することを特徴とする請求項6に記載の撮像装置。
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