JP2017054125A5 - - Google Patents
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Description
本発明は、光学部材と、前記基材上に反射防止膜と、を有する光学部材であって、前記反射防止膜は、表面に多孔質層を有し、前記多孔質層は、酸化ケイ素粒子と、バインダーとを有し、前記多孔質層上の一部または全部にフッ素樹脂を有し、前記反射防止膜の表面におけるｎ−ヘキサデカン接触角が５０°以上８０°以下であり、かつ、前記多孔質層表面のフッ素／ケイ素の元素比が０．５以上３以下であることを特徴とする光学部材に関する。
また、本発明は、基材と、前記基材上に表面が多孔質層の反射防止膜を有する光学部材の製造方法であって、前記基材上に、酸化ケイ素粒子がバインダーで結合した多孔質層を形成する工程と、前記多孔質層上に、フッ素樹脂を付着する工程を有することを特徴とする光学部材の製造方法に関する。
Claims (23)
- 光学部材と、前記基材上に反射防止膜と、を有する光学部材であって、
前記反射防止膜は、表面に多孔質層を有し、
前記多孔質層は、酸化ケイ素粒子と、バインダーとを有し、
前記多孔質層上の一部または全部にフッ素樹脂を有し、
前記反射防止膜の表面におけるｎ−ヘキサデカン接触角が５０°以上８０°以下であり、
かつ、前記多孔質層表面のフッ素／ケイ素の元素比が０．５以上３以下であることを特徴とする光学部材。 - 前記多孔質層は、前記鎖状の酸化ケイ素であることを特徴とする請求項１に記載の光学部材。
- 前記多孔質層の表面のフッ素濃度／表面から２５ｎｍの深さのフッ素濃度の比は４以上１２以下であることを特徴とする請求項２に記載の光学部材。
- 前記多孔質層の屈折率が、表面から底部に向けて増加していることを特徴とする請求項２乃至３のいずれか一項に記載の光学部材。
- 前記多孔質層の空隙率が、表面から底部に向けて低下していることを特徴とする請求項２乃至４のいずれか一項に記載の光学部材。
- 前記フッ素樹脂が、フッ化炭素基を有するアクリル系フッ素樹脂であることを特徴とする請求項２乃至５のいずれか一項に記載の光学部材。
- 前記フッ素樹脂が、非晶性のテトラフルオロエチレン共重合体であることを特徴とする請求項２乃至５のいずれか一項に記載の光学部材。
- 前記バインダーが酸化ケイ素バインダーであることを特徴とする請求項２乃至７のいずれか一項に記載の光学部材。
- 前記多孔質層の表面に存在する前記酸化ケイ素粒子の少なくとも一部がアルキルシリル基を有していることを特徴とする請求項１に記載の光学部材。
- 前記酸化ケイ素粒子は、５０質量％以上が鎖状粒子であることを特徴とする請求項９に記載の光学部材。
- 前記酸化ケイ素粒子は、５０質量％以上が中空粒子であることを特徴とする請求項９に記載の光学部材。
- 前記バインダーが酸化ケイ素バインダーであることを特徴とする請求項９乃至１１のいずれか一項に記載の光学部材。
- 前記アルキルシリル基が、下記一般式（２）または（３）で表されるアルキルシリル基で置換されていることを特徴とする請求項９乃至１２のいずれか一項に記載の光学部材。
（式（２）中、Ｒ１は水素原子または１価の有機基であって、炭素数１〜８の直鎖または分岐したアルキル基、アルケニル基、フッ素アルキル基である。）
（式（３）中、Ｒ２は１価の有機基であって、炭素数１〜８の直鎖または分岐したアルキル基、アルケニル基、フッ素アルキル基である。） - 基材と、前記基材上に表面が多孔質層の反射防止膜を有する光学部材の製造方法であって、
前記基材上に、酸化ケイ素粒子がバインダーで結合した多孔質層を形成する工程と、
前記多孔質層上に、フッ素樹脂を付着する工程を有することを特徴とする光学部材の製造方法。 - 前記多孔質層を形成する工程が、鎖状の酸化ケイ素粒子とバインダーを含む分散液を塗布する工程を含むことを特徴とする請求項１４に記載の光学部材の製造方法。
- 前記多孔質層を形成する工程で得られる多孔質層が、指触乾燥状態であることを特徴とする請求項１４又は１５に記載の光学部材の製造方法。
- 前記フッ素樹脂を付着する工程が、前記フッ素樹脂の溶液を塗布する工程を含むことを特徴とする請求項１４乃至１６のいずれか一項に記載の光学部材の製造方法。
- 更に、前記多孔質層表面に存在する酸化ケイ素粒子をアルキルシリル化する工程と、を有することを特徴とする請求項１４に記載の光学部材の製造方法。
- 前記アルキルシリル化する工程が、アルキルシラザン化合物の雰囲気に前記多孔質層を暴露する工程を含むことを特徴とする請求項１８に記載の光学部材の製造方法。
- 前記アルキルシリル化する工程が、前記アルキルシラザン化合物の溶液を前記多孔質層上に塗布する工程を含むことを特徴とする請求項１８に記載の光学部材の製造方法。
- 前記フッ素樹脂を付着する工程と前記アルキルシリル化する工程が、同時に行われる。ことを特徴とする請求項１９乃至２１のいずれか一項に記載の光学部材の製造方法。
- 前記アルキルシラザン化合物は、下記一般式（５）、（６）又は（７）のいずれかの化合物を含むことを特徴とする請求項１９又は２０に記載の光学部材の製造方法。
（式（５）中、Ｒ４は水素原子または１価の有機基であって、炭素数１〜８の直鎖または分岐したアルキル基、アルケニル基、フッ素アルキル基であり、Ｒ５およびＲ６はそれぞれ独立して水素原子、炭素数１〜３のアルキル基、アセチル基、またはトリフルオロアセチル基、あるいはＲ４とＲ５でイミダゾリン環を形成している。）
（式（６）中、Ｒ７は水素原子または１価の有機基であって、炭素数１〜８の直鎖または分岐したアルキル基、アルケニル基、フッ素アルキル基であり、Ｒ８は水素原子または炭素数１〜３のアルキル基である。）
（式（７）中、Ｒ９およびＲ１０はそれぞれ独立して１価の有機基であって、炭素数１〜８の直鎖または分岐したアルキル基、アルケニル基、フッ素アルキル基であり、Ｒ１１はメチル基またはトリフルオロメチル基である。） - 前記アルキルシラザン化合物は、下記一般式（８）又は（９）のいずれかの化合物を含むことを特徴とする請求項１９又は２０に記載の光学部材の製造方法。
（式（８）中、Ｒ１２は１価の有機基であって、炭素数１〜８の直鎖または分岐したアルキル基、アルケニル基、フッ素アルキル基であり、Ｒ１３およびＲ１４はそれぞれ独立して水素または炭素数１〜３のアルキル基である。）
（式（９）中、Ｒ１５は１価の有機基であって、炭素数１〜８の直鎖または分岐したアルキル基、アルケニル基、フッ素アルキル基であり、Ｒ１６は水素または炭素数１〜３のアルキル基であり、ｍは３または４である。）
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