JP2017017219A - 太陽電池 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、バックコンタクト型の太陽電池であって、光電変換機能を発現する第一導電型の結晶系シリコンからなる基板と、前記基板に対して光が入射する一面とは反対側に位置する他面に配され、前記第一導電型と同じ導電型の部位Aおよび前記第一導電型と異なる導電型の部位Bと、前記部位Aおよび前記部位Bを含む前記基板の他面全域を覆う第一透明導電膜と、を少なくとも備え、前記第一透明導電膜は、前記部位Aおよび前記部位Bに対して個別に電気的に接続される低抵抗部、および、前記低抵抗部どうしの間をなす高抵抗部、から構成されている。
【選択図】図1
Description
本発明の請求項2に記載の太陽電池は、請求項1において、前記第一透明導電膜を覆うように反射膜を備えていることを特徴とする。
本発明の請求項3に記載の太陽電池は、請求項1又は2において、前記基板の一面を覆うように第二透明導電膜を備えていることを特徴とする。
本発明の請求項4に記載の太陽電池は、請求項1乃至3のいずれか一項において、前記基板の一面に直接、または、前記第二透明導電膜を介して、反射防止層を備えていることを特徴とする。
本発明の請求項5に記載の太陽電池は、請求項3又は4において、前記基板の一面と前記第二透明導電膜との間、または、前記基板の一面と前記反射防止層との間、にパッシベーション膜をさらに備えていることを特徴とする。
本発明の請求項6に記載の太陽電池は、請求項3乃至5のいずれか一項において、前記第二透明導電膜が、前記第一透明導電膜と同じ厚さを有することを特徴とする。
本発明の請求項7に記載の太陽電池は、請求項1乃至6のいずれか一項において、前記部位Aおよび前記部位Bが各々、前記基板の表層部に所望の元素をドーピングして形成された局在領域であることを特徴とする。
本発明の請求項8に記載の太陽電池は、請求項1乃至6のいずれか一項において、前記部位Aおよび前記部位Bが各々、前記基板の表面上に所望の元素からなる被膜を堆積して形成された局在領域であることを特徴とする。
<第一実施形態>
図1は、本発明の第一実施形態に係る、BC型太陽電池100の構成について説明する図である。第一実施形態の太陽電池100は、後述する「n+ 部位とp+ 部位」が、基板内部の裏面近傍に拡散法により形成する場合であり、本発明の第一基本構成である。太陽電池100は、図12に示した従来の構成例を改良したものに相当する。
すなわち、第一実施形態に係る太陽電池100は、部位(A)102および部位(B)103が各々、基板101の表層部に所望の元素をドーピングして形成された局在領域である場合である。
基板101の一面101a側には、必要に応じて反射防止層(Anti Reflection Layer:AR層)104が配される構成としてもよい。反射防止層104としては、たとえば絶縁性の窒化膜、窒化ケイ素膜、酸化チタン膜、酸化アルミニウム膜などが好適に用いられる。
図2は、本発明の第二実施形態に係る、BC型太陽電池200の構成について説明する図である。第二実施形態の太陽電池200は、上述した第一基本構成の応用例である。
第二実施形態に係る太陽電池200は、図2に示すように、プラズマ処理により低抵抗部Lと高抵抗部Hからなる構成の第一透明導電膜(TCO1)206は、プラズマ処理の前後において、その表面の平坦性が保持される。これにより、第一透明導電膜(TCO1)206を覆うように反射膜Rを備えた構成の太陽電池200(図2)が安定して形成される。これにより、太陽電池200において、反射膜Rの表面(図2では下面)や、反射膜Rと第一透明導電膜(TCO1)206との界面は、平坦なプロファイルを有するものとなる。
図3は、本発明の第三実施形態に係る、BC型太陽電池300の構成について説明する図である。第三実施形態の太陽電池300は、上述した第一基本構成の応用例である。
第三実施形態に係る太陽電池300は、図3に示すように、基板301に光(矢印にて表示)が入射する一面301aを覆うように第二透明導電膜(TCO2)309を備えた点のみ、図1の太陽電池100と構成が異なっている。すなわち、基板301において一面301aとは反対側に位置する他面301bの構成は、図1の太陽電池100と同様の構成を備えている。
図4は、本発明の第四実施形態に係る、BC型太陽電池400の構成について説明する図である。第四実施形態の太陽電池400は、後述する「n+ 部位とp+ 部位」が、基板の裏面上に成膜法により形成する手法により形成する場合であり、本発明の第二基本構成である。太陽電池400は、図13に示した従来の構成例を改良したものに相当する。
すなわち、第四実施形態に係る太陽電池400は、部位(A)402および部位(B)403が各々、基板401の裏面上に成膜法により形成された局在領域である場合である。
基板401の一面401a側には、必要に応じて反射防止層404が配される構成としてもよい。反射防止層404としては、たとえば絶縁性の窒化膜、窒化ケイ素膜、酸化チタン膜、酸化アルミニウム膜などが好適に用いられる。
図5は、本発明の第五実施形態に係る、BC型太陽電池500の構成について説明する図である。第五実施形態の太陽電池500は、上述した第二基本構成の応用例である。
第五実施形態に係る太陽電池500は、図5に示すように、基板501の両面(一面501a、他面側501b)に、i型のアモルファス層AIを備えた点のみ、図4の太陽電池400と構成が異なっている。すなわち、基板501において一面501aとは反対側に位置する他面501bの構成は、i型のアモルファス層AIを挟んで第一透明導電膜(TCO1)506が配置されている。
図1に示した、第一実施形態に係るBC型太陽電池100の製造方法について、説明する。図6は、太陽電池の製造工程を示すフロー図であり、(a)は従来例(図12の構成)、(b)は本発明(図1の構成)である。
これに対し、図6(b)に示す第一実施形態に係る工程フローによれば、太陽電池100は、従来の工程から「高価なフォトリソ工程やエッチング工程」が不要となる。ゆえに、図6(b)に示す本発明によれば、従来必要とした複雑な工程を削減できるので、より安定した工程管理において製造が可能となる。すなわち、第一実施形態によれば、高価な製造装置が不要となることから、安価なBC型太陽電池の提供に本発明は寄与する。
次いで、基板101内部の裏面101b近傍にあって、p+ 部位(B)103どうしの間で、かつ、p+ 部位(B)103と重ならない位置に、リン(P)イオン等のn型イオンを局所的に注入することにより、n+ 部位(A)102を形成する(第三工程)。
上記の第一工程や第二工程におけるイオンの注入は、たとえば、図7に示すイオン注入装置1200を用いて行う。
上記透明導電膜の形成には、たとえば、図9に示すインターバック式のスパッタリング装置1400を用いて行う。
上記の各室1451,1452、1453、1454には個別に、その内部空間を減圧可能とするための排気手段1451P、1452P、1453P、1454Pが配されている。
次いで、透明導電膜が形成された基板1458に対して、後処理(大気雰囲気、135℃、60minのアニール処理)を行う。このような後処理を施すことにより、比抵抗が約150Ω/□の透明導電膜が得られる。上述した透明導電膜の代表的な作製条件を、表1に示す。
上記工程により得られた基板1458の透明導電膜(ITO膜:TCO1)に対して、反応性イオンエッチング装置を用い、酸素プラズマ処理を行う。
図10は、透明導電膜に対してプラズマ処理を行っている状態を示すイメージ図である。
図10に示すように、開口部を有するマスクを挟んで、透明導電膜に対して酸素プラズマ(「小円の中にO」と表示)を照射することにより、透明導電膜の中に低抵抗部と高抵抗部とを作り分ける。
これに対して、透明導電膜のうち、マスクの開口部を通してプラズマが照射された領域は、膜中に含まれるキャリア量が減少することにより、比抵抗の高い(約740Ω/□)状態に変化し、高抵抗部Hとなる。
上述したプラズマ処理により低抵抗部から高抵抗部を形成する作製条件を、表2に示す。
また、透明導電膜の中に低抵抗部と高抵抗部とを作り分ける作製方法は、上記の手法に限定されるものではない。すなわち、最初に高抵抗部の透明導電膜をスパッタ法により形成した後、たとえば、レーザー照射やランプ加熱などのアニール処理により、高抵抗部のうち特定の領域を酸化還元作用によって低抵抗部に変化させる方法を採用してもよい。
Claims (8)
- バックコンタクト型の太陽電池であって、
光電変換機能を発現する第一導電型の結晶系シリコンからなる基板と、
前記基板に対して光が入射する一面とは反対側に位置する他面に配され、前記第一導電型と同じ導電型の部位Aおよび前記第一導電型と異なる導電型の部位Bと、
前記部位Aおよび前記部位Bを含む前記基板の他面全域を覆う第一透明導電膜と、
を少なくとも備え、
前記第一透明導電膜は、前記部位Aおよび前記部位Bに対して個別に電気的に接続される低抵抗部、および、前記低抵抗部どうしの間をなす高抵抗部、から構成されていることを特徴とする太陽電池。 - 前記第一透明導電膜を覆うように反射膜を備えていることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池。
- 前記基板の一面を覆うように第二透明導電膜を備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載の太陽電池。
- 前記基板の一面に直接、または、前記第二透明導電膜を介して、反射防止層を備えていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の太陽電池。
- 前記基板の一面と前記第二透明導電膜との間、または、前記基板の一面と前記反射防止層との間、にパッシベーション膜をさらに備えていることを特徴とする請求項3又は4に記載の太陽電池。
- 前記第二透明導電膜が、前記第一透明導電膜と同じ厚さを有することを特徴とする請求項3乃至5のいずれか一項に記載の太陽電池。
- 前記部位Aおよび前記部位Bが各々、前記基板の表層部に所望の元素をドーピングして形成された局在領域であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の太陽電池。
- 前記部位Aおよび前記部位Bが各々、前記基板の表面上に所望の元素からなる被膜を堆積して形成された局在領域であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の太陽電池。
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