JP2016537948A - 密封スイッチトリラクタンスモータ - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2013年11月13日に出願された米国仮特許出願第61/903,792号の利益を主張する通常出願であって、その開示内容の全ては、参照により本明細書に組み込まれる。
例示的な実施形態は、概して、真空または腐食性環境、たとえば、基板処理装置内において使用されるモータに関する。
Claims (28)
- 少なくとも1つのロータ突極を有する密封ロータと、
少なくとも1つのステータ突極を備えるステータであって、少なくとも1つのステータ突極が、ステータ突極と関連する励磁巻線を有し、前記少なくとも1つのステータ突極と前記少なくとも1つのロータ突極との間に軸方向磁束回路を生じさせるために、前記少なくとも1つのロータ突極と相互作用する、ステータと、
を備える、
モータ。 - 各ロータ突極が、軸方向で変位した副極のセットを備える、請求項1記載のモータ。
- 前記少なくとも1つのロータ突極が、前記少なくとも1つのステータ突極から密封される、請求項1記載のモータ。
- 前記少なくとも1つのステータ突極が、副極を有する、請求項1記載のモータ。
- 各ロータ突極が、電気角分ずれた副極のセットを備える、請求項1記載のモータ。
- 前記密封ロータが、非磁性コアを備え、前記少なくとも1つのロータ突極が、強磁性である、請求項1記載のモータ。
- 前記少なくとも1つのロータ突極が、強磁性裏当てに取り付けられる、請求項1記載のモータ。
- 前記強磁性の裏当てが、前記軸方向磁束流回路を生じさせるために、前記少なくとも1つのステータ突極に向かって径方向に延在する部材を備える、請求項7記載のモータ。
- 前記少なくとも1つのステータ突極が、前記軸方向磁束流回路を生じさせるために、前記少なくとも1つのロータ突極が通過するスロットとして構成される、請求項1記載のモータ。
- 前記少なくとも1つのロータ突極および少なくとも1つのステータ突極が、対面する端部材を有し、前記軸方向磁束流回路を生じさせるように構成される、請求項1記載のモータ。
- 電気角分ずれたロータ極のセットを2つ有し、少なくとも3相の励磁のために構成されるロータ
を備える、
モータ。 - スイッチトリラクタンスモータとして構成されるロータと、
密封区画によって前記ロータから分離される、ブラシレスステータとして構成されるステータと、
を備える、
モータ。 - 前記ロータおよびステータが、前記モータ内に、軸方向磁束流を発生させるように構成される、請求項12記載のモータ。
- 前記ロータが、少なくとも1つのロータ突極を備える、請求項12記載のモータ。
- 前記少なくとも1つのロータ突極が、軸方向磁束流を生じさせるために、前記ステータに向かって延在する部材を備える強磁性裏当てに取り付けられる、請求項14記載のモータ。
- 前記ロータが、軸方向で変位した副極のセットを備える少なくとも1つのロータ突極を備える、請求項12記載のモータ。
- 前記ステータが、少なくとも3つの相巻線の独立したセットを備える、請求項12記載のモータ。
- 前記ステータが、それぞれがステータ極および励磁コイルを備える独立ステータモジュールのセットを備える、請求項12記載のモータ。
- 引力を前記ロータに印加するように構成される、ロータ極およびステータ極の配置をさらに備える、請求項12記載のモータ。
- 複数の極を備えるロータと、
前記ロータの周りに配置された複数の独立ステータモジュールを備えるステータであって、ステータモジュールが、分離セグメントとして構築されるステータ突極を備える、ステータと、
を備える、
モータ。 - 前記ロータが、非磁性コアおよび強磁性ロータ極を備える、請求項20記載のモータ。
- ロータ極およびステータ極が、前記ロータに対して軸方向の磁束流を生じさせるように配置される、請求項20記載のモータ。
- 前記ロータが、軸方向磁束流を生じさせるために、前記ステータに向かって径方向に延在する部材を備える、請求項22記載のモータ。
- 前記ステータのセグメントが、前記ロータに対して軸方向の磁束流を生じさせるために、前記ロータ極が通過するスロットとして構成される、請求項22記載のモータ。
- 前記ロータ極およびステータのセグメントが、対面する端部材を有し、前記ロータに対して軸方向の磁束流を生じさせるように構成される、請求項22記載のモータ。
- 複数の突極を備えるロータと、
一体として共に設置されるステータ極および励磁コイルを備える少なくとも1つの交換可能なステータモジュールを備えるステータと、
を備える、
モータ。 - 複数の突極を備えるロータと、
選択可能な数の交換可能なステータモジュールを備えるステータであって、前記ステータモジュールのそれぞれが、個々のステータ極を画定する、ステータと、
を備える、
モータ。 - 複数の突極を備えるロータと、
一体として共に設置されるステータ極および励磁コイルを備える少なくとも1つの交換可能なステータモジュールを備える、構成可能なステータと、
を備え、
前記ステータの構成が、前記ステータに設置されるステータモジュールの数の選択によってもたらされる、
モータ。
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