JP2016533029A - 基板ウェハ上に形成された発光デバイスを分離する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 基板上に成長された発光半導体構造を用意することであり、該基板は、正面側と、該正面側とは反対の裏面側とを有する、用意することと、
前記基板にノッチを形成することであり、該ノッチは、前記基板の前記正面側から前記基板の中まで延在する、形成することと、
前記基板にノッチを形成することの後に、前記基板の前記裏面側を薄化して前記ノッチを露出させることと、
を有する方法。 - 前記基板の前記裏面側を薄化して前記ノッチを露出させることは第2の薄化工程であり、
当該方法は更に第1の薄化工程を有し、且つ
前記基板にノッチを形成することは、
前記第1の薄化工程にて、前記基板の前記裏面側から前記基板を薄化することと、
前記第1の薄化工程で前記基板を薄化した後に、前記基板をレーザスクライビングすることと
を有する、
請求項1に記載の方法。 - 前記発光半導体構造は、前記基板にノッチを形成することの後に、前記基板の前記正面側に成長される、請求項1に記載の方法。
- 前記基板にノッチを形成することは、
複数の開口を有するマスクを前記基板上に形成することと、
前記複数の開口内でノッチをエッチングすることと
を有する、請求項1に記載の方法。 - 前記基板にノッチを形成することは、前記基板内にノッチをソーイングすることを有する、請求項1に記載の方法。
- 前記基板はサファイアである、請求項1に記載の方法。
- 前記基板にノッチを形成することの後に、前記発光半導体構造をLEDへと処理すること、を更に有する請求項1に記載の方法。
- 前記発光半導体構造は複数のLEDに形成され、且つ
前記基板の前記裏面側を薄化して前記ノッチを露出させることの後に、前記複数のLEDの各々に前記基板の一部が取り付けられたままである、
請求項1に記載の方法。 - サファイア基板の第1の表面上に、n型領域とp型領域との間に配置された発光層を有する半導体構造を成長させることと、
前記半導体構造を複数のLEDに形成することと、
前記サファイア基板にクラックを形成することであり、該クラックは、前記サファイア基板の前記第1の表面から延在し、前記サファイア基板の厚さ全体は貫かない、形成することと、
前記サファイア基板にクラックを形成することの後に、前記第1の表面とは反対側の、前記サファイア基板の第2の表面から、前記サファイア基板を薄化することと、
を有する方法。 - 前記サファイア基板にクラックを形成することの前に、前記第2の表面から前記サファイア基板を薄化すること、を更に有する請求項9に記載の方法。
- クラックを形成することは、レーザスクライビングすることを有する、請求項9に記載の方法。
- クラックを形成することは、機械的にスクライビングすることを有する、請求項9に記載の方法。
- クラックを形成することは、エッチングすることを有する、請求項9に記載の方法。
- クラックを形成することは、ソーイングすることを有する、請求項9に記載の方法。
- 前記サファイア基板の第2の表面から前記サファイア基板を薄化することは、前記サファイア基板を薄化して前記クラックを露出させることを有する、請求項9に記載の方法。
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