JP2016522957A - MgO−Ti(ON)中間層を含む磁気スタック - Google Patents
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Abstract
Description
本明細書中に記載される実施形態は、基板と、磁気記録層と、基板と磁気記録層との間に配置されるMgO−Ti(ON)層とを含む磁気スタックに関する。
熱アシスト磁気記録(HAMR)は、記録層内に用いられる材料の高い磁気結晶異方性のために、磁気記録の面密度を増大させる能力を有する。HAMR媒体を形成するために、1つ以上の副層を用いて、高異方性磁気記録層の粒径を方位付けるおよび/または制御することができる。たとえば、FePtを含む記録層については、これらの副層を用いてFePt膜のLl0(001)テクスチャを誘発することができる。FePt(または他の磁気層)の微細構造は、c軸分散および粒径などの磁気層の微細構造を制御する際に役割を果たす真下の副層に依存する。たとえば、副層は以下の特性、すなわち、1)磁気層エピタキシャル成長のための好適な格子構造、2)化学的安定性および拡散障壁、3)単数または複数の磁気層からヒートシンク層への迅速な熱輸送に適した熱抵抗および/または伝導、ならびに(4)単数または複数の磁気層を必要な記録温度に加熱するのに必要なレーザ出力の制御、のうちの1つ以上を提供し得る。
Claims (25)
- 基板と、
磁気記録層と、
前記基板と前記磁気記録層との間に配置されるMgO−Ti(ON)層とを備える、スタック。 - 前記MgO−Ti(ON)層はNaCl型結晶構造を有する、請求項1に記載のスタック。
- 前記磁気記録層の成長方位は前記MgO−Ti(ON)層に基づく、請求項1に記載のスタック。
- 前記MgO−Ti(ON)層は(MgO)x(Ti(ON))1-x層である、請求項1に記載のスタック。
- 前記MgO−Ti(ON)層は(MgO)x(Ti0.5(OyN(1-y))0.5)1-x層である、請求項1に記載のスタック。
- 前記MgO−Ti(ON)層の厚みは、前記スタックを加熱するために印加されるレーザ出力の量を決定する、請求項1に記載のスタック。
- 前記(MgO)x(Ti(ON))1-x層の組成(x)は前記スタックの熱伝導率を決定する、請求項4に記載のスタック。
- 前記(MgO)x(Ti0.5(OyN(1-y))0.5)1-x層の窒素含有量(1−y)は、前記スタックを加熱するために印加されるレーザ出力の量を決定する、請求項5に記載のスタック。
- 前記MgO−Ti(ON)層は1〜500オングストロームの厚みを有する、請求項1に記載のスタック。
- 前記MgO−Ti(ON)層は最大でも20体積%のMgOを含む、請求項1に記載のスタック。
- 前記MgO−Ti(ON)層は前記スタックの内部で横方向に熱を伝導する、請求項1に記載のスタック。
- 前記MgO−Ti(ON)層は連続層である、請求項1に記載のスタック。
- 基板と、
磁気記録層と、
前記基板と前記磁気記録層との間に配置されるヒートシンク層と、
前記ヒートシンク層と前記磁気記録層との間に配置されるMgO−Ti(ON)層とをとを備える、スタック。 - 前記磁気記録層の成長方位は前記MgO−Ti(ON)層に基づき、前記MgO−Ti(ON)層は前記スタックの内部で横方向に熱を伝導する、請求項13に記載のスタック。
- 前記MgO−Ti(ON)層は最大でも20体積%のMgOを含む、請求項13に記載のスタック。
- 前記MgO−Ti(ON)層は(MgO)x(Ti(ON))1-x層である、請求項13に記載のスタック。
- 前記MgO−Ti(ON)層は(MgO)x(Ti0.5(OyN(1-y))0.5)1-x層である、請求項13に記載のスタック。
- 窒素環境で複合スパッタリングターゲットを用いてMgOおよびTiOを堆積させてMgO−Ti(ON)層を形成することと、
前記MgO−Ti(ON)層の上にFePt磁気層をエピタキシャル成長させることとを備える、方法。 - 前記MgO−Ti(ON)層はDCスパッタリングを用いて堆積される、請求項18に記載の方法。
- 前記複合スパッタリングターゲットは最大でも25体積%のMgOを含む、請求項18に記載の方法。
- ヒートシンク層を形成することをさらに備え、前記MgO−Ti(ON)層は、前記ヒートシンク層の上に形成される熱抵抗器である、請求項18に記載の方法。
- 前記MgO−Ti(ON)層は10秒未満で堆積される、請求項18に記載の方法。
- 前記窒素環境は0.1〜100%のN2を含む、請求項18に記載の方法。
- 装置であって、
基板と、
磁気記録層と、
前記磁気記録層の成長方位を決定するための、かつ前記装置の内部で横方向に熱を伝導するための手段とを備える、装置。 - 成長方位を決定するための、かつ横方向に熱を伝導するための前記手段はNaCl型結晶構造を有する、請求項24に記載の装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10127939B2 (en) | 2017-02-21 | 2018-11-13 | Showa Denko K.K. | Magnetic storage apparatus including a magnetic recording medium having a barrier layer between two heat sink layers |
JP2020184393A (ja) * | 2019-05-09 | 2020-11-12 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9672854B2 (en) | 2013-09-30 | 2017-06-06 | Seagate Technology Llc | Magnetic stack including MgO-Ti(ON) interlayer |
US10276201B1 (en) | 2015-11-02 | 2019-04-30 | WD Media, LLC | Dual phase MgO-X seed layers for heat assisted magnetic recording media |
JP2017224371A (ja) * | 2016-06-15 | 2017-12-21 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
TWI640644B (zh) * | 2017-01-19 | 2018-11-11 | 國立中興大學 | Sputtering target for DC sputtering and perpendicular magnetic recording medium having the same |
WO2018163658A1 (ja) * | 2017-03-10 | 2018-09-13 | 富士電機株式会社 | 磁気記録媒体 |
JP7041597B2 (ja) * | 2018-06-29 | 2022-03-24 | 昭和電工株式会社 | 熱アシスト磁気記録媒体および磁気記憶装置 |
US11521648B2 (en) * | 2020-11-04 | 2022-12-06 | Western Digital Technologies, Inc. | Heat-assisted magnetic recording (HAMR) medium with multilayered underlayer for the recording layer |
JP2022159710A (ja) * | 2021-04-05 | 2022-10-18 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法、磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
US11900978B1 (en) * | 2022-08-11 | 2024-02-13 | Western Digital Technologies, Inc. | Magnetic recording medium with underlayer configured to reduce diffusion of titanium into a magnetic recording layer |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06259743A (ja) * | 1993-03-10 | 1994-09-16 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体及び磁気記録装置 |
JP2001291230A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-19 | Sony Corp | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
JP2003036525A (ja) * | 2001-07-25 | 2003-02-07 | Fuji Electric Co Ltd | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
JP2011165232A (ja) * | 2010-02-04 | 2011-08-25 | Showa Denko Kk | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
JP2012048792A (ja) * | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Showa Denko Kk | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
US20130016591A1 (en) * | 2011-07-14 | 2013-01-17 | Tdk Corporation | Thermally-assisted magnetic recording medium and magnetic recording/reproducing device using the same |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4309979B2 (ja) | 1998-09-16 | 2009-08-05 | Tdk株式会社 | 窒化アルミニウム膜の製造方法および磁気ヘッドの製造方法 |
US20020160194A1 (en) * | 2001-04-27 | 2002-10-31 | Flex Products, Inc. | Multi-layered magnetic pigments and foils |
JP2005122872A (ja) * | 2003-09-22 | 2005-05-12 | Ricoh Co Ltd | 2層相変化型情報記録媒体及びその記録再生方法 |
JP2005276367A (ja) | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Toshiba Corp | 垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
JP4069205B2 (ja) | 2004-03-29 | 2008-04-02 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | 磁気記録媒体の製造方法 |
US7300711B2 (en) | 2004-10-29 | 2007-11-27 | International Business Machines Corporation | Magnetic tunnel junctions with high tunneling magnetoresistance using non-bcc magnetic materials |
US7862914B2 (en) | 2005-07-26 | 2011-01-04 | Seagate Technology Llc | Heatsink films for magnetic recording media |
US8576515B2 (en) | 2007-02-16 | 2013-11-05 | Seagate Technology Llc | Thin film structure with controlled lateral thermal spreading in the thin film |
AU2008219354B2 (en) * | 2007-09-19 | 2014-02-13 | Viavi Solutions Inc. | Anisotropic magnetic flakes |
JP4621899B2 (ja) | 2007-09-26 | 2011-01-26 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | 磁気媒体 |
JP2009223940A (ja) | 2008-03-14 | 2009-10-01 | Tdk Corp | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
JP5385558B2 (ja) | 2008-06-30 | 2014-01-08 | アネスト岩田株式会社 | 塗装ブース用スラッジ回収装置 |
US8268462B2 (en) * | 2008-12-22 | 2012-09-18 | Seagate Technology Llc | Hybrid grain boundary additives |
US8509039B1 (en) | 2012-06-28 | 2013-08-13 | HGST Netherlands B.V. | Thermally-assisted recording (TAR) disk with low thermal-conductivity underlayer |
US8993134B2 (en) | 2012-06-29 | 2015-03-31 | Western Digital Technologies, Inc. | Electrically conductive underlayer to grow FePt granular media with (001) texture on glass substrates |
MY178275A (en) * | 2012-09-27 | 2020-10-07 | Seagate Technology Llc | Magnetic stack including tin-x intermediate layer |
US9672854B2 (en) | 2013-09-30 | 2017-06-06 | Seagate Technology Llc | Magnetic stack including MgO-Ti(ON) interlayer |
-
2013
- 2013-10-31 US US14/068,871 patent/US9672854B2/en active Active
-
2014
- 2014-09-26 TW TW103133535A patent/TWI629179B/zh not_active IP Right Cessation
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-
2015
- 2015-12-10 US US14/965,579 patent/US10453487B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06259743A (ja) * | 1993-03-10 | 1994-09-16 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体及び磁気記録装置 |
JP2001291230A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-19 | Sony Corp | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
JP2003036525A (ja) * | 2001-07-25 | 2003-02-07 | Fuji Electric Co Ltd | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
JP2011165232A (ja) * | 2010-02-04 | 2011-08-25 | Showa Denko Kk | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
JP2012048792A (ja) * | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Showa Denko Kk | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
US20130016591A1 (en) * | 2011-07-14 | 2013-01-17 | Tdk Corporation | Thermally-assisted magnetic recording medium and magnetic recording/reproducing device using the same |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10127939B2 (en) | 2017-02-21 | 2018-11-13 | Showa Denko K.K. | Magnetic storage apparatus including a magnetic recording medium having a barrier layer between two heat sink layers |
JP2020184393A (ja) * | 2019-05-09 | 2020-11-12 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 |
JP7258275B2 (ja) | 2019-05-09 | 2023-04-17 | 株式会社レゾナック | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 |
Also Published As
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